DE3319328C2 - - Google Patents

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DE3319328C2
DE3319328C2 DE19833319328 DE3319328A DE3319328C2 DE 3319328 C2 DE3319328 C2 DE 3319328C2 DE 19833319328 DE19833319328 DE 19833319328 DE 3319328 A DE3319328 A DE 3319328A DE 3319328 C2 DE3319328 C2 DE 3319328C2
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DE
Germany
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plate
intermediate plate
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carrier
outer ring
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DE19833319328
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German (de)
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Other versions
DE3319328A1 (de
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Lawrence Mount Prospect Ill. Us Day
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SPX Technologies Inc
Original Assignee
General Signal Corp
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of DE3319328C2 publication Critical patent/DE3319328C2/de
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
DE19833319328 1982-06-01 1983-05-27 Vorrichtung zur feinbearbeitung zerbrechlicher werkstuecke Granted DE3319328A1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US38353382A 1982-06-01 1982-06-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3319328A1 DE3319328A1 (de) 1983-12-08
DE3319328C2 true DE3319328C2 (enrdf_load_stackoverflow) 1988-12-22

Family

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JPS591158A (ja) 1984-01-06
DE3319328A1 (de) 1983-12-08

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