DE3316689A1 - Rohrofen - Google Patents

Rohrofen

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DE3316689A1
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Karlheinz Dipl.-Ing. 6450 Hanau Henry
Richard 8764 Klein-Heubach Keilberth
Heinz-Werner 6490 Schlüchtern Koy
Waltraud Dipl.-Ing. 6450 Hanau Werdecker
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WC Heraus GmbH and Co KG
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WC Heraus GmbH and Co KG
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/64Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/02Furnaces of a kind not covered by any preceding group specially designed for laboratory use

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

  • -* "Rohrofen"
  • Die Erfindung betrifft einen Rohrofen, der elektrisch mittels Heizelementen aus Keramik beheizt wird, insbesondere einen stehend angeordneten Gradientenofen für Temperaturen von etwa 1600 bis ~2200 °C.
  • Elektrisch mittels Heizelementen aus Keramik beheizte Öfen sind bekannt, z.B. aus der DE-AS 2 236 328. Auf die DE-AS 2 236 328 und den darin angezogenen Stand der Technik wird verwiesen.
  • Elektrische Heizelemente aus Keramik (zur02) für Öfen waren demnach ebenso bekannt, wie das Stapeln der einzelnen Heizelemente übereinander. Dabei waren jedoch, wie die genannte Auslegeschrift zeigt, elektrisch isolierende Abstandshalter notwendig. Die Form der keramischen Heizelemente wird hierdurch notwendigerweise kompliziert und die Querschnitte der Einzelelemente lassen sich nicht in gewünschter Weise für den Stromdurchfluß gestalten. An den beiden äußersten Enden eines Heizelementstapels muß jeweils Strom zu- bzw. abgeführt werden, damit eine direkte Beheizung während des Stromdurchflusses durch alle gestapelten <eizelemente erfolgen kann.
  • Dabei war die Stromzuführung oder Kontaktierung bzw. das Versehen der äußersten Heizelemente eines Stapels mit Elektroden immer problematisch. Aus Gründen der elektrischen Leitfähigkeit ist es wünschenswert ein gut leitfähiges Metall hierfür anzuwenden. Die hierfür am besten geeigneten Metalle, wie Silber, Kupfer und Gold, sind andererseits nicht temperaturstabil genug, um bei den hier erwünschten hohen Betriebstemperaturen standzuhalten. Die unterschiedlichen Wärmedehnungen von für die Elektroden oder Stromanschlußteile in Frage- kommenden Metallen gegenüber der Keramik müssen berü-cksichtigt werden. Außerdem der normalerweise hohe elektrische Übergangswiderstand und erschwerend hinzu kommt die Forderung einer hohen Oxidationsbeständigkeit, die an den Elektroden- oder Kontaktierungswerkstoff gestellt werden muß. Auch den bei den hier in Rede stehenden hohen Temperaturen und gegebenenfalls in ungünstiger, insbesondere oxidierender Atmosphäre.
  • Um diese und gegebenenfalls weitere zum Teil konträre Forderungen zu erfüllen, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Rohrofen, insbesondere einen Gradientenofen für hohe Temperaturen zu schaffen, dessen Heizelemente aus Keramik bestehen. Die jeweils einstückig und in für die Stapelbarkeit und den Stromfluß gewünschter Weise ausgebildet werden können, ohne daß isolierende Abstandshalter notwendig sind oder die einzelnen Elemente geschlitzt werden müßten. Die Elektroden bzw. Kontaktierungen sollten möglichst großflächig, elektrisch gut leitend ausgebildet sein und mit dem Keramik körper einen spaltfreien Vcrbund eingehen, welcher darüber hinaus gut temperaturwechselbest.indig sein muß, so daß weder diese noch die Stromzuührungen oder Stromzuleitungen, die direkt an dieser Elektrode oder KontakEflichc anbringbar sein müssen, im Betrieb abplatzen, abblät:t ern 0 der si eh abschälen.
  • Die erfindungsgemäße Lösung nach dem Hauptanspruch erfüllt diese Aufgabe und wird auch den gegenläufigen Forderungen, die gestellt wurden, durch einen gelungenen Kompromiß gerecht.
  • In Unteransprüchen sind weitere Ausgestaltungen der Erfindung beschrieben.
  • Die wesentlichen Vorteile der Erfindung sind einfache, gegenseitige Abstandshaltung der Heizelemente ohne zusätzliche isolierende Abstandshalter. Die Form der Heizelemente läßt sich in weiten Grenzen wählen, um geeignete Gradienten für elektrisch beheizte Öfen auszubilden und trotzdem der Forderung nach guter Stapelbarkeit und geeigneten Querschnitten für den Stromfluß zu genügen. Die keramischen Heizelemente sind einfach geformt und zu Ihrer Kontaktierung ist ein Schlitzen oder Teilen der einzelnen Elemente nicht nötig.
  • Die keramischen Körper weisen eine hohe elektrische Leitfähigkeit infolge ihrer hohen geometrischen Dichte auf. Die Verbindung zwischen Metall und Keramik ist spaltfrei und gut gegenseitig verankert. Trotz unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten der zu verbindenden Teile wird eine hohe thermische Wechselbeständigkeit erreicht und die Lebensdauer beträgt nicht nur einen oder wenige Zyklen des Ofens. Der erzielte Keramik-Metallverbund besitzt nicht nur einen ausgezeichneten elektrischen Stromübergang, sondern auch einen ganz ausgezeichneten Wärmeübergang. Die Zuleitungs- oder Anschlußdrähte lassen sich direkt auf der Elektrode oder der Kontaktierungsschicht anlöten oder anschweißen und sind somit ebenfalls temperaturwechselbeständig bei Betriebstemperatur.
  • Ein Ausführungsbeispicl ist in den beigcfügten Zeichnungen rein schematisch dargestcllt und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert, ohne hierauf beschränkt zu sein.
  • Es zeigen: Figur 1 den Ofen in seinen wesentlichen Teilen im Schnitt Figur 2 ein einzelnes keramisches Heizelement mit Elektroden-oder Kontaktierungsschicht und elektrischem Anschluß Figur 3 eine Draufsicht auf den Gegenstand der Figur 2 Der Ofen weist, wie Figur 1 zeigt, ein Gehäuse bevorzugt aus einem Blech 1 bestehend auf, hinter dem eine Isolationswand 2, z.B. aus Kalziumsilikat angeordnet ist, wobei die Wand aus mehreren einzelnen Platten oder anderen Elementen bestehen kann, je nach gewünschter Gehäuseform, wie z.B.
  • Rohr, Hohlzylinder, Topf, Kasten oder ähnlichen. Mit 3 ist ein Formkörper vorzugsweise in Ringform bestehend aus einer Aluminiumoxidkeramik bezeichnet und mit 4 eines der keramischen Heizelemente mit Kontaktierung und elektrischem Anschluß, wie n-achstehend im einzelnen beschrieben wird.
  • Wie Figur 1 zeigt, ist das Heizelement 4 das unterste bei einem stehend angeordnetem Gradientenofen und die übereinander gestapelten einzelnen Heizelemente weisen etwa zur Ofenmitte hin einen immer kleiner werdenden Außendurchmesser auf, der in Figur 1 nach oben hin spiegelbildlich ausgeführt sein kann, das heißt, daß sich die Außendurchmesser nach oben hin wieder entsprechend umgekehrt vergrößern bis zur gegenüberliegenden bzw. abgekehrten Anordnung des obersten Heizelementes mit Kontaktierung und elektrischem Anschluß in gcrade umgekehrter Anordnung wie in Figur 1 dargestcllt.
  • Dabei verhalten sich die Querschnitte der Ringfläche der einzelnen Heizelemente 4 bis etwa 1 zu 40 weil der Innendurchmesscr 5 aller Heizelemente und auch einer entsprechenden Ausnehmung in deren Formtcil 3 glcichblcibend ausgebildet ist.
  • Infolge der konvex/konkaven Ausbildung der jeweils korrespondierenden, das heißt aneinander liegenden Oberflächen 6 bzw. 7, der Heizelemente 4 sind diese beim Stapeln über einander selbsttätig zentrierend und wie in Figur 1 dargestellt, konzentrisch zur Mittelachse 8 aller ringförmigen Teile.
  • Figur 2 zeigt im einzelnen ein Heizelement 4 mit einer konkaven Anlagefläche 7, einer Elektroden- oder Kontaktschicht (Folie, Blech oder dergleichen) 9 und dem elektrischen Anschlußdraht 10 angelötet oder angeschweißt bei 11 in eine entsprechende Ausnehmung 12 des keramischen Heizelemts 4.
  • Beispiele für die keramischen Heizelemente sind wie folgt: Beispiel 1 Feinkörniges Zirkondioxid-Pulver mit möglichst hoher Reinheit wird mit einem für die elektrische Leitfähigkeit geeigneten Anteil Yttriumoxid-Pulver, hoher Reinheit, keramisch stabilisiert. Danach wird das stabilisierte Material bei höchstmöglicher Temperatur gebrannt und von organischen Bestandteilen gereinigt. Anschließend wird das Pulver gepreßt, vorzugsweise kalt gepreßt, und dadurch zu einem Keramikkörp er geformt, dessen Querschnitt zu dicsem Zeitpunkt noch ein Vielfaches des endgültigen Heizelementquerschnittes beträgt. Dic geometrische Grundform wird jedoch bereits während dieses Preßvorgang erzeugt.
  • Der so erhaltene ("grüne") Keramikformkörper wird nun gesintert nach einem vorgegebenen Programmablauf. Nach Uccndigun des Sintervorganges weist der keramische Formkörper eine höhere Dichte und Festigkeit auf als zuvor.
  • Mit von Vorteil ist eine Oberfläche eines hierfür ausgewählten gesinterten Formkörpers rür die Korlt;lkticrung bzw. Aurbrirlt3url9 einer Elektrodenschicht z.B. durch Abschleifen oder in anderer Weise zu glätten bzw. für den Metall-Keramikverbund vorzubereiten.
  • Auf eine in solcher oder anderer Weise geeignete Fläche wird anschließend ein aus einer Platin-Rhodium-Folie ausgestanzte Scheibe, insbesondere in Ringform, aufgelegt, wobei die zentrale Ausnehmung entsprechend dem Innendurchmesser des späteren Heizelements ausgebildet sein kann. Die zu verbindenden teile werden in eine größenmäßig diesen angepaßte Stahlkapsel eingebracht-unter Verwendung eines Kerns mit einem Außendurchmesser entsprechend dem Innendurchmesser der späteren Heizlemente, z.B. aus Stahl. Diese Kapsel wird gasdicht verschweißt.
  • Danach folgt eine Behandlung mit hohem Druck und hoher Temperatur in einem Ofen zum heißisostatischen Pressen, bei der sich die folgenden Parameter als günstig erwiesen: Temperatur: ca. 1400 °C Arbeitsdruck:ca. 1800 bar Haltezeit: ca. 90 min Anheizzeit: ca. 30 min Abkühlzeit: ca. 90 min Als nächster Verfahrensschritt der Herstellung folgt das Abheizen, z.B. in HCL oder H2504, der Kapsel und des Kernes, dem wiederum eine oxidieren dc thermische Behandlung über einen längeren Zeitraum folgt. Dic Zulcitungsdrihtc, möglichst Üus dem gleichen Material wie die Elektroden- oder Kontaktierungsschicht bzw. Folie, können nach einer üblichen Vorbereitung mit einem geeigneten Hochtemperaturlot in oxidierender Atmosphäre angelötet werden. Die Lotc sollten nach ihrem Schmelzbereich ausgewählt werden, wie z.B. 75/25 AuP d oder auch ein reines Palladiumlot oder ein Lot mit 20% Palladium und 75°Ó Platin, Rest Gold.
  • Die Zuleitungsdrähte können auch in einem üblichen Schmelzschweißverfahren angeschweißt werden.
  • Beispiel 2 Ausgangsmaterial und Verarbeitung des keramischen Grundkörpers wie in Beispiel 1.
  • Anstelle der in Beispiel 1 genannten Platin- oder Rhodiumschicht oder Platin-Rhodium in Form von Folie, Blech oder dergleichen Material für die Elektrodenoder Kontaktierungschicht wird Iridium hierfür verwendet mit dem Vorteil höherer anwendbarer Betriebstemperatur. Für die Verbindung des Iridiums mit dem Keramikkörper können beim heißisostatischen Pressen folgende Parameter in geeignet er Weise angewandt werden: Temperatur: etwas über 1450 OC Arbeitsdruck: etwa 2000 bar Haltezeit: etwa 120 min Anheiz-/Abkühlzeit entsprechend größer als- in Beispiel 1 Die mit Hilfe der vorstehenden Beispiele erhaltenen keramischen Heizelemente besaßen eine Dichte zwischen etwa 90 bis 95°Ó der theoretischen Dichte (geometrische Dichtc). Dic geeignetste Schichtdickc der Elektroden- oder Kontaktschicht lag etwa im Bereich zwischen 0,05 bis etwa 0,3 mm.
  • Anstelle der rcinen Platingruppenmetalle sind auch geeignete Legierungei, wie Platin-lhodium 90/10, 70/30, 60/40 uid andere, wobei ein höherer Rhodiumanteil den Vorteil höherer Bctriebsteinperatur bringt.
  • Sowie Platin-Iridium-Legierungen z.B. 80/20 sowie Iridium-Rhodium-Legierungen z.B. 60/40 und andere, wobei ein höherer Iridium-Gehalt ebenfalls eine höhere Betriebstemperatur erreichen läßt.
  • Als geeignete elektrische Anschlüsse dienen flexible, verdrillte Platindrähte, wobei jedoch auch die anderen erwähnten Platingruppenmetalle oder deren Legierungen in der Dicke wie bei den Elektroden- bzw. Kontaktschichten geeignet sind.
  • Zur Erfindung gehören ausdrücklich alle Kombinationen und Unterkombinationen der beschriebenen, dargestellten und beanspruchten Merkmale sowohl untereinander als auch mit an sich bekannten Merkmalen.
  • - Leer'seite -

Claims (10)

  1. "Rohrofen" Schutzansprüche 1. Rohrofen mit elektrischer Beheizung, insbesondere stehend angeordneter Gradientenrohrofen für hohe Temperaturen zwischen etwa 1600 bits ~ 2200 OC zur Behandlung von Einsatzgut mit übereinander gestapelten, keramischem Heizelementen aus insbesondere gepreßtem, stabilisiertem Zirkondioxid, dadurch gekennzeichnet, daß die aus keramischem Pulver gepreßten und gesinterten Heizelemente eine Dichte aufweisen, die größer ist als 90°Ó der theoretischen Dichte und für Stromzu- bzw. Ableitung eine Stirnfläche je eines Elementes im Ofen einander abgekehrt mit einer dünnen Schicht aus einem Metall oder einer Metallegierung eines Platingruppenmetalls verbunden ist, die Schicht ihierseits, die Zuleitunge und Kontaktierungen trägt, welche mit der Heizstromzufuhr des Ofens in elektrisch leitender Verbindung stehen.
  2. 2. Rohrofen nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß die keramischen Heizelementc isostatisch gepreßt sind.
  3. 3. Rohrofen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die keramischen Heizelemente mit der dünnen Schicht, die die Zuleitungen oder Kontaktierungen trägt, heißisostatisch gepreßt sind.
  4. 4. Rohrofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Schicht durch ein dünnes Blech, eine Folie oder dergleichen ersetzt ist.
  5. 5. Rohrofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Schicht aus Platin, Rhodium, Iridium oder Legierungen dieser Metalle besteht.
  6. 6. Rohrofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Schicht 0,05 bis 0,3 mm beträgt.
  7. 7. Rohrofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Schicht auf einem kaltisostatisch gepreßtem Heizelement aus keramischem Pulver heißisostatisch aufgepreßt ist.
  8. 8. Rohrofen nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daßdie kaltisostatisch gepreßten Heizelemente aus mit Y203 stabilisiertem Zirkondioxid Keramikpulver bestehen, die ein Querschnittverhältnis der Ringflächen je nach Gradienten bis zu etwa 1 zu 40 aufweisen.
  9. 9. Rohrofen nach Anspruch 8 dadurch gekennzeichnet, daß auf dem mit Y203 stabilisiertem ZrO2-Keramikheizelement eine Platinfolie aufgepreßt ist und zwischen beiden in Ausnehmungen, wie Nuten, des keramischen Heizelementes Platinanschlußdrähte angeordnet und mit diesen durch Löten oder Schweißen mit der Folie fest verbunden sind.
  10. 10. Rohrofen nach einem der vorh ergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet:, daß die einzelnen keramischen lleizelemcnte mit: einander zugekel)rtenw korrespondierenden, konkaven bzw. konvexen oder dergleichen Ausnehmungen bzw. Erhebungen versehen sind, durch die sie ohne zusätzliche Haltemittel zentriert stapelbar sind.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1818639A1 (de) * 2004-08-04 2007-08-15 Ibiden Co., Ltd. Brennofen und verfahren zur herstellung eines gebrannten porösen keramikartikels unter verwendung des brennofens

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GB1096336A (en) * 1965-08-02 1967-12-29 Atomic Energy Authority Uk Improvements in or relating to oxide resistor furnace elements
DE2236328B2 (de) * 1972-07-25 1978-02-09 Kuhlmann-Schafer, Wilhelm, Dipl Phys, 3000 Hannover, Hagen, Klaus, 3150 Peine, Peters, Hans Dieter, 3151 Schmedenstedt, Wolters, Günther, 4660 Gel senkirchen Buer Elektrisch mittels heizelementen aus keramik beheizter ofen

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