DE3314258C2 - Lichtempfindliches Gemisch - Google Patents
Lichtempfindliches GemischInfo
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
Description
Die Erfindung betrifft ein lichtempfindliches Gemisch.
Lichtempfindliche Gemische werden in der Präzisionsgüter
industrie verwendet, insbesondere auf dem Gebiet gedruckter
Schaltungen, um korrosionsbeständige Filmbilder zur Galvani
sierung und Ätzung zu bilden. Diese Gemische sollten eine
überlegene Lichtempfindlichkeit, Bildauflösung, Ätzbestän
digkeit, Galvanisierbeständigkeit und eine gute Adhäsion be
sitzen.
Im allgemeinen wird eine Diisocyanatverbindung mit zwei end
ständigen Cyanatgruppen, die eine Glykolkomponente enthält,
durch Reaktion eines Polyalkohols und einer Diisocyanatver
bindung hergestellt. Die Polyalkohole, die bei der vorste
hend beschriebenen Reaktion verwendet werden können, sind
Ethylenglykol, Diethylenglykol, Triethylenglykol, Tetraethy
lenglykol, Propylenglykol, 1,3-Butylenglykol, 1,4-Butylen
glykol, Neopentylenglykol,
1,6-Hexamethylenglykol, Trimethylolpropan und Pentaerythrit. Um eine geeignete Diisocyantverbindung mit zwei endständigen Isocyanatgruppen, die eine Urethanbindung enthält, herzu stellen, muß die Art des bei der Herstellung verwendeten Polyalkohols sorgfältig ausgewählt werden.
1,6-Hexamethylenglykol, Trimethylolpropan und Pentaerythrit. Um eine geeignete Diisocyantverbindung mit zwei endständigen Isocyanatgruppen, die eine Urethanbindung enthält, herzu stellen, muß die Art des bei der Herstellung verwendeten Polyalkohols sorgfältig ausgewählt werden.
Die DE-A-31 36 818 offenbart eine photoempfindliche Harzmasse,
die (a) 20 bis 75 Gew.-Teile einer Urethandiacrylat- oder
Urethandimethacrylatverbindung, erhalten durch Umsetzung von
(1) mindestens einer Diisocyanatverbindung aus der Gruppe
Trimethylhexamethylendiisocyanat und Isophorondiisocyanat,
(2) einen zweiwertigen Alkohol und (3) einen Acryl- oder
Methacrylmonoester eines zweiwertigen Alkohols, (b) 20 bis
75 Gew.-Teile einer linearen, polymeren Verbindung mit einer
Glasübergangstemperatur von etwa 40 bis 150°C und (c) einen
Sensibilisator und/oder ein Sensibilisatorsystem, der bzw.
das aufgrund von aktinischem Licht freie Radikale erzeugt,
enthält.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein lichtempfind
liches Gemisch zur Verfügung zu stellen, das zu einem Bild
mit einer überlegenen Bildauflösung und einer guten Adhäsion
beispielsweise an einer Platte mit einem Polyethylentereph
thalatfilm, die in einem Photowiderstand bei Belichtung mit
aktiver Strahlung, wie Elektronenstrahlen, fernen Ultra
violettstrahlen, Ultraviolettstrahlen und Laserstrahlen,
verwendet wird, führt.
Diese Aufgabe wird durch ein lichtempfindliches Gemisch mit
einem polymeren Bindemittel mit filmbildenden Eigenschaften,
einem organischen Lösungsmittel, üblichen Zusatzstoffen
sowie als photopolymerisierbaren Bestandteil mindestens
einem ungesättigten Monomer oder Oligomer, das hergestellt
wird durch Umsetzen von a) einem Glykolmono(meth)acrylat mit
b) einem Monomeren oder einem Oligomeren mit endständigen
Diisocyanatgruppen, die in Urethanbindung an 2-Methyl-1,3-
propylenglykol gebunden sind, gelöst.
2-Methyl-1,3-propylenglykol, das die Glykolkomponente für
das ungesättigte Monomer oder Oligomer ist,
kann durch Oxidationsreaktion von Isobuten oder durch eine
Oxoreaktion von Allylalkohol industriell hergestellt werden.
Was die chemische Struktur betrifft, so enthält
2-Methyl-1,3-propylenglykol eine Methylgruppe an dem Kohlen
stoffatom in der 2-Stellung, wodurch die Hauptmolekülkette
asymmetrisch wird, und zwei endständige primäre Hydroxyl
gruppen. Aufgrund dieser chemischen Struktur ist das Glykol
chemisch äußerst reaktiv.
Das ungesättigte Monomer oder Oligomer, bei dem das Glykol
in Urethanbindung vorliegt, wird allgemein nach der im
folgenden beschriebenen Methode hergestellt. Das Glykol und
die Diisocyanatverbindung werden während mehrerer Stunden
bei einer Temperatur zwischen Raumtemperatur und 200°C, be
vorzugt zwischen Raumtemperatur und 100°C, in Anwesenheit
eines Polymerisationsinhibitors, wie Hydrochinon,
p-Methoxyphenol oder Pyrogallol, umgesetzt. Diese Methode
führt leicht zu einem Monomer oder Oligomer, welches einen
Polymerisationsgrad von weniger als 20, bevorzugter von
weniger als 10 besitzt, enthaltend zwei endständige Diiso
cyanatgruppen in Urethanbindung. Darüber hinaus wird ein
Glykolmonoacrylat oder Glykolmonomethacrylat tropfenweise
zugesetzt unter Bildung eines ungesättigten Monomers oder
Oligomers. Die Reaktion kann in einem
inerten organischen Lösungsmittel, wie Aceton, Methyl
ethylketon, Dimethylsulfoxid, Toluol, Xylol oder Benzol,
durchgeführt werden. Es ist auch möglich, die reaktions
fähigen Komponenten in verschiedene Anteile aufzuteilen
und sie allmählich in den Reaktor zur Teilnahme an der
Reaktion zu fügen.
Da eine nicht umgesetzte Isocyanatgruppe sich im all
gemeinen schädlich auf die Stabilität einer Verbindung
auswirkt, ist es günstig, äquivalente Mengen des Iso
cyanatrests und der Hydroxylgruppe in dem Glykolmonoester
rest umzusetzen.
Nicht umgesetzte Glykolmonoester wirken sich im allgemei
nen nicht nachteilig auf die Lichtempfindlichkeit aus,
und es ist möglich, einen geringen Überschuß des Glykol
monoesters gegenüber dem Diisocyanat zu verwenden.
Gewöhnlich ist ein Hydroxylgruppenüberschuß von mehr als
10% bevorzugt. Nach der Reaktion ist es üblich, das
Reaktionsgemisch mit einem hochaktiven niedrigsiedenden
Alkohol wie Methanol, zu behandeln, wenn die Gefahr besteht,
daß das Reaktionssystem noch restliche Isocyanatgruppen
enthalten kann.
Es besteht zwar keine spezielle Einschränkung hinsichtlich
der Diisocyanatverbindungen, die erfindungsgemäß verwen
det werden, jedoch sind aliphatische Diisocyanatverbin
dungen, die gut mit den Hydroxylgruppen zur Bildung der
Urethanbindungen reagieren, bevorzugt. Beispiele für
solche Diisocyanatverbindungen sind 1,3- oder 1,4-Pheny
lendiisocyanat, 1-Methylbenzol-2,4-(2,6-, 2,5- und 3,5-)
diisocyanat, 1,3-Dimethylbenzol-2,4-(4,6-)-diisocyanat,
1-Ethylbenzol-2,4-diisocyanat, Naphthalin-1,4-(1,5-,
2,6-, 2,7-)-diisocyanat, Biphenyl-2,4′-(4,4′-)-diiso
cyanat, Diphenylmethan-4,4′-diisocyanat, 2,2′-Dimethyl
diphenylmethan-4,4′-diisocyanat, Benzophenon-3,3′-diiso
cyanat, Ethandiisocyanat, Propandiisocyanat, Butandiiso
cyanat, Pentandiisocyanat, Hexandiisocyanat und Thio
dipropyldiisocyanat. Von diesen Diisocyanatverbindungen
sind 1-Methylbenzol-2,4-(2,6-, 2,5- und 3,5-)-diisocya
bat am wirksamsten.
Es besteht zwar keine spezielle Begrenzung hinsichtlich
des Glykolmonoacrylats oder des Glykolmonomethacrylats,
das erfindungsgemäß verwendet wird, jedoch sind
aliphatische Glykolmonoacrylate und Glykolmonomethacry
late, die leicht mit den Isocyanatgruppen unter Bildung
der Urethanbindung reagieren, bevorzugt. Beispiele für
solche Glykolmonoacrylate und Glykolmonomethacrylate
sind 2-Hydroxyethylacrylat, 2-Hydroxyethylmethacrylat,
2-Hydroxypropylacrylat, 2-Hydroxypropylmethacrylat,
Pentaerythrittriacrylat, Pentaerythrittrimethacrylat,
Trimethylolpropandiacrylat und Trimethylolpropandimeth
acrylat.
Wenn ein ungesättigtes Monomer oder Oligomer, erhalten durch
Reaktion eines Glykolmonoacrylats oder Glykolmonometh
acrylats mit einer Diisocyanatverbindung mit zwei endständi
gen Isocyanatgruppen, in Urethanbindung an einen Polyalkohol
in einem Photowiderstand als photopolymerisierbare Verbin
dung verwendet wird, werden diese Verbindung, ein polymeres
Bindemittel, die filmbindenden Eigenschaften und übliche
Zusatzstoffe, wie ein Sensibilisator, ein Farbstoff, ein
Inhibitor für die thermische Polymerisation, zuerst in einem
organischen Lösungsmittel unter Bildung einer homogenen
Lösung gelöst. Diese Lösung wird im allgemeinen auf eine
Platte in der gewünschten Dicke aufgetragen, und das
Lösungsmittel wird zur Bildung eines sogenannten licht
empfindlichen Harzfilms entfernt. Dieser Film wird mit
aktiver Strahlung, wie Elektronenstrahlen, fernen Ultra
violettstrahlen oder Ultraviolettstrahlen, bestrahlt, um
eine Kopie des Bildes nach der photographischen Methode her
zustellen.
Wenn das erfindungsgemäße lichtempfindliche Gemisch
beispielsweise in einem Photowiderstand verwendet wird, ist
die Härtungsgeschwindigkeit überraschend groß, und das Bild
haftet sehr gut an der Platte mit einem PET-Film.
Der Grund für die überraschend gute Leistungsfähigkeit ist
zwar nicht geklärt, doch wurde folgende Theorie aufgestellt.
Das erfindungsgemäß verwendete 2-Methyl-1,3-propylenglykol
weist den polaren Effekt einer Elektronen-abgebenden Wirkung
der Methylgruppe, gebunden an das Kohlenstoffatom in der
2-Stellung, auf, und neigt auch zur Bildung eines stabilen
tertiären Radikals durch den Releasing-Effekt des Wasser
stoffatoms (ein Methinwasserstoffatom), das kovalent an das
gleiche Kohlenstoffatom wie die Methylgruppe gebunden ist.
Es wird angenommen, daß diese Effekte den Vernetzungseffekt
verstärken. Dies bedeutet, daß diese Verbindung wie Verbin
dungen mit mehr als drei Funktionen wirkt, selbst wenn sie
nur zwei endständige ungesättigte Gruppen aufweist, die zur
Photopolymerisation geeignet sind.
Die erfindungsgemäß verwendeten polymeren Bindemittel
können ein Homopolymer oder Copolymer von
Methylmethacrylat, Cellulosederivate, Polyvinylalkohole,
oder Harze von Novolaktyp sein. Der erfindungsgemäß ver
wendete Photosensibilisator kann Michler′s-Keton, N,N′-
Tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenon, Benzophenon, 5-Nitro
acenaphthen, 1,2-Benzoanthrachinon, Benzyl, Benzoin,
α-Naphthochinon und 9-Fluorenon sein. Darüber hinaus kann
das ungesättigte Monomer oder Oligomer mit Urethanbindungen
mit anderen bekannten polyfunktionellen ungesättigten Ver
bindungen, wie Pentaerythrittriacrylat oder Trimethylol
propantrimethacrylat, in einem geeigneten Verhältnis ge
mischt werden, wobei eine rasche Härtungsgeschwindigkeit und
ein Bild mit ausgezeichneter Adhäsion erhalten werden.
Das erfindungsgemäße lichtempfindliche Gemisch sollte einen
Inhibitor für die thermische Polymerisation aus Stabilitäts
gründen enthalten. Beispiele für derartige Inhibitoren sind
Hydrochinon, para-Methoxyphenol, Pyrogallol, 2,2′-Methylen
bisphenolderivate, tert-Butylcatechin bzw. t-Butyl-Brenz
catechin, Naphthylamin, β-Naphthol und p-Toluchinon.
Es ist möglich, das lichtempfindliche Gemisch nach dem Zu
satz verschiedener Weichmacher, Farbstoffe und Pigmente für
verschiedene Anwendungszwecke zu verwenden. Es ist auch
wirksam, ein wärmehärtendes Harz, wie ein Epoxyharz, zuzu
setzen, um die Adhäsion des lichtempfindlichen Gemisches an
dem Trägermaterial zu verbessern oder verschiedene Anti
schleiermittel zur Verhinderung der Schleierbildung zuzu
setzen.
Bei der Verwendung des erfindungsgemäßen lichtempfindlichen
Gemisches werden die thermischen Polymerisationsinhibitoren,
Sensibilisatoren und polymeren Bindemittel gleichmäßig in
einem inerten Lösungsmittel, wie einem aliphatischen
Alkohol, Keton oder aromatischen Kohlenwasserstoff, gelöst,
auf das Trägermaterial nach einer üblichen Methode aufge
tragen, um ein korrosionsbeständiges Bild zu bilden, und zur
Entfernung des Lösungsmittels getrocknet. Es muß nicht näher
ausgeführt werden, daß das erfindungsgemäße lichtempfind
liche Gemisch in
der Wärme ausreichend stabil ist und mit geheizten Walzen
ohne Anwendung eines Lösungsmittels unter Bildung eines
gleichmäßigen Gemisches aufgetragen werden kann. Nach der
Erzielung des lichtempfindlichen Harzfilms auf dem Träger
material wird der Film mit aktivierter Strahlung durch eine
Maske in üblicher Weise belichtet. Der Film wird unter Er
zielung eines scharfen Negativ-Bildes, das der Form der
Maske entspricht, entwickelt. Der Film kann als korrosions
beständiger Film beim Ätzen und Galvanisieren verwendet
werden.
Vorzugsweise enthält das erfindungsgemäße Gemisch 100
Gew.-Teile der lichtempfindlichen Verbindung, 30 bis 200,
insbesondere 50 bis 150 Gew.-Teile des polymeren Binde
mittels, eine übliche Menge an Zusätzen, wie vorstehend
erwähnt, und eine geeignete Lösungsmittelmenge.
Die folgenden Beispiele dienen zur weiteren Erläuterung der
Erfindung.
In einem 500 ml Rundkolben, ausgerüstet mit einem Stick
stoffeinlaßrohr, Tropftrichter, Thermometer, Kühler und
Rührer, wurden 200 ml trockenes Toluol, 0,8 g p-Methoxy
phenol und 10 g 2-Methyl-1,3-propylenglykol vermischt.
Zu diesem Gemisch wurden 30,0 g 2,4-Toluoldiisocyanat
in einer trockenen Toluollösung tropfenweise während
1 Stunde bei 30°C gefügt, und die Reaktion wurde 30 Minu
ten bei 80°C fortgesetzt. Anschließend wurden 25 g
2-Hydroxyethylmethacrylat tropfenweise während 1 Stunde
unter Rühren bei 80°C zugefügt. Die Reaktion wurde
1 Stunde bei 80°C fortgesetzt. Schließlich wurden 10 ml
Methanol zugesetzt, und es wurde 1 Stunde unter Rückfluß
gehalten. Das Reaktionsgemisch wurde unter verringertem
Druck getrocknet unter Bildung eines weißen festen Reak
tionsprodukts.
In 20 g Trichlorethylen wurden 2,75 g des vorstehend erhal
tenen Reaktionsprodukts, 2,0 g Polymethacrylsäuremethyl
ester, 0,2 g Benzophenon, 0,3 g Hydrochinon und 0,1 g
Kristallviolett gelöst, und das Gemisch wurde kräftig unter
Verwendung eines Homogenisators während etwa 10 Minuten zur
feinen Dispergierung des Pigments gerührt. Die so erhaltene
Auftragslösung wurde auf eine Polyethylenterephthalat(PET)-
Folie (75 µm) unter Verwendung eines Stabbeschichters aufge
tragen und 5 Minuten bei 60°C unter Erzielung einer blauen
Folie getrocknet. Die Dicke der aufgetragenen Schicht betrug
etwa 5 µm. Anschließend wurde der auf diese Weise erhaltene
lichtempfindliche Film mit einem klaren photographischen
Negativ abgedeckt und mit Licht aus einer Lichtquelle in
einer Entfernung von 40 cm während 120 Sekunden belichtet.
Unmittelbar nach dem Belichten wurde der mit Licht bestrahl
te Teil gelb, und es konnte ein submerses Bild festgestellt
werden. Schließlich wurde ein Gemisch von 10 Teilen
1,1,1-Trichlorethan und 90 Teilen n-Hexan zur Entwicklung
des Films verwendet, und der unbelichtete Anteil wurde von
der PET-Folie entfernt. Der lichtgehärtete Teil wurde unlös
lich und verblieb auf der PET-Folie. Das auf diese Weise er
haltene Bild wies eine ausgezeichnete Ahäsion und Dichtig
keit mit der PET-Basis auf.
3 g des in Beispiel I erhaltenen Reaktionsprodukts, 2,0 g
Polymethacrylsäuremethylester-Methacrylsäure-Copolymer (95/5
Gewichtsverhältnis), 0,2 g Michler′s-Keton, 0,1 g Hydro
chinon und 0,01 g Kristallviolett wurden in 19 g Toluol in
gleicher Weise wie in Beispiel 1 zur Erzielung eines licht
empfindlichen Gemisches gelöst. Diese Lösung wurde auf ein
mit Kupfer bedecktes Laminat aufgetragen, das vorher gerei
nigt wurde, und 5 Minuten bei 60°C getrocknet. Die Dicke des
aufgetragenen Films betrug 20 µm. Anschließend wurde der Film
mit Licht aus
der Lichtquelle (2-kw-Quecksilberlampe) während etwa 60
Sekunden in einem Abstand von 40 cm belichtet. Dann wurde
der Film unter Verwendung von 1,1,1-Trichlorethan ent
wickelt. Der so erhaltene korrosionsbeständige Film war aus
reichend beständig gegenüber dem Kupferätzen durch
Eisen(III)-chlorid und konnte in zufriedenstellender Weise
in verschiedenen Galvanisierverfahren verwendet werden. Die
Methode ergab so eine gute gedruckte Schaltung.
Claims (1)
- Lichtempfindliches Gemisch mit einem polymeren Binde mittel mit filmbildenden Eigenschaften, einem organischen Lösungsmittel, üblichen Zusatzstoffen sowie als photopoly merisierbaren Bestandteil mindestens einem ungesättigten Monomer oder Oligomer, das hergestellt wird durch Umsetzen von
- a) einem Glykolmono(meth)acrylat mit
- b) einem Monomeren oder einem Oligomeren mit endständigen Diisocyanatgruppen, die in Urethanbindung an 2-Methyl- 1,3-propylenglykol gebunden sind.
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