DE3309848A1

DE3309848A1 - Optische strahlabtastvorrichtung

Info

Publication number: DE3309848A1
Application number: DE19833309848
Authority: DE
Inventors: Toyotsugu Hachioji Tokyo Itoh; Toshio Musashino Tokyo Muramatsu
Original assignee: Konishiroku Photo Industry Co Ltd Tokyo; Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1982-03-21
Filing date: 1983-03-18
Publication date: 1983-09-29
Also published as: GB2119952B; US4496209A; GB8306962D0; DE3309848C2; GB2119952A

Description

Optische Strahlabtastvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine optische Strahlabtastvorrichtung, bei der ein von einer Lichtquelle stammender Lichtstrahl durch einen drehbaren Polygonalspiegel reflektiert und dann über eine Sammellinse auf eine Abtastfläche geworfen wird, um diese mit ihm abzutasten.

Eine optische Strahlabtastvorrichtung dieser Art besitzt, wie in Fig. 1 schematisch dargestellt, grundsätzlich einen solchen Aufbau, daß ein von einem Laser 2 oder einer

10 anderen Lichtquelle emittierter Lichtstrahl auf einen in Pfeilrichtung drehbaren Polygonalspiegel 1 geworfen, von dessen SpegeIflache(n) reflektiert und sodann durch eine Sammellinse {f«.Θ-Linse) 3 geleitet wird, so daß ein Lichtpunkt erzeugt wird, der sich mit gleichmäßiger Geschwin-

15 digkeit in Abtastrichtung (d.h. x-Richtung) längs einer

ta « * β *

β α α β * ί-

• ν * *

-sr-C-

Abtastlinie oder -zeile SP1 auf einer Abtastfläche SP bewegt. Falls dabei die einzelnen Spiegelflächen nicht (genau) parallel zur Drehachse des Polygonalspiegels 1 liegen bzw. eine Winkelabweichung zwischen den Spiegelflächen und der Drehachse (d.h. ein Neigungswinkelfehler) vorliegt, verlagert sich der Lichtpunkt ungleichmäßig in einer Richtung senkrecht zur Abtastrichtung (d.h. in y-Richtung). Wenn gemäß Fig. 2 der Neigungswinkelfehler der Spiegelfläche 1a mit Δ θ angenommen wird, ergibt sich auf der Abtastfläche, d.h. der abgetasteten Fläche, eine Verschiebungsgröße von ^d= 2ί·Δθ (mit f = Brennweite der Sammellinse 3). Dieser Neigungswinkelfehler und Schwingungen der Drehachse oder Welle führen zu einer Änderung in der Teilung (pitch) der Abtastzeilen, so daß zur Ausschaltung dieser ungünstigen Wirkung bestimmte Gegenmaßnahmen getroffen werden müssen. Als eine solche Gegenmaßnahme könnte daran gedacht werden, die Fertigungsgenauigkeit zu verbessern und damit den Neigungswinkelfehler möglichst zu verkleinern. In der Praxis hat aber die Fertigungsgenauigkeit bereits nahezu ihre möglichen Grenzen erreicht, und selbst wenn eine noch höhere Fertigungsgenauigkeit erreicht werden könnte, würden sich weitere schwerwiegende Probleme dahingehend ergeben, daß die Fertigung zahlreiche Arbeitsgänge erfordert, die Massenfertigung schwierig wird und die Fertigungskosten entsprechend ansteigen.

Gemäß den Fig. 3 und 4 ist auch eine andere Abtastvorrichtung bekannt, bei der mittels einer Zylinderlinse 4 usw. ein Lichtstrahl in Form einer zur Abtastrichtung parallelen Linie auf den drehbaren Poiygonalspiegel geworfen wird und eine Zylinderlinse (oder Toroidlinse) 5 sowie eine Sammellinse 3 zwischen dem Polygonalspiegel 1

tee· ♦ e

s a ♦ · 6-

-■er-?-

und der AbtastflMche SP angeordnet sind, um dabei den Zeilen(abtast)strahl (line beam), und die Abtaststelle in eine optisch aneinander angepaßte Beziehung zu der unter einem rechten Winkel zur Abtastrichtung liegenden Richtung zu setzen und damit eine Korrektur zu erreichen (vgl. JP-OS 49315/73). Bei Verwendung einer Zylinderlinse 5 der in Fig. 3 und 4 dargestellten Form ist es jedoch unmöglich, eine gleichmäßige Punktgröße über die gesamte Abtastbreite hinweg zu erreichen. Wenn anstelle der Zylinderlinse 5 eine Toroidlinse (torische Linse) mit der vorgegebenen Krümmung auch in x-Richtung verwendet wird, kann eine praktisch gleichmäßige Punktgröße erzielt werden. Die hohen Kosten für eine solche Linse werfen jedoch ein anderes Problem auf, daß nämlich die optische Strahlabtastvorrichtung sehr teuer wird.

Weiterhin ist eine in den Fig. 5 und 6 dargestellte Abtastvorrichtung bekannt, bei welcher Zylinderlinsen 6 und 7 benutzt werden, um praktisch parallel zur Richtung der optischen Achse einen flachen Strahl zu erzeugen (Fig. 7 zeigt dabei eine Strahl(querschnitts)form auf einer Spiegelfläche 1a des sich drehenden Polygonalspiegels 1). Der flache Strahl wird auf den Polygonalspiegel 1 geworfen, wobei zwischen der Sammellinse 3 und der Abtastfläche SP eine weitere Zylinderlinse 8 angeordnet ist. Bei dieser Vorrichtung ergibt sich ebenfalls das Problem, daß eine gleichmäßige (Abtast-)Punktgröße über die gesamte Abtastbreite hinweg nicht erreicht werden kann.

Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung einer einfach aufgebauten und kostensparend herzustellenden optischen Strahlabtastvorrichtung, bei wel-

eher die (Abtast-)Punktgröße über die gesamte Abtastbreite hinweg gleichmäßig ist und der Teilungsabstand der Abtastzeilen keinen Abweichungen unterworfen ist.

Diese Aufgabe wird bei einer optischen Abtastvorrichtung der eingangs umrissenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Strahlformeinrichtung zur Erzeugung eines flachen Lichtstrahls, der eine große Breite in Abtastrichtung besitzt und im wesentlichen parallel zur Richtung der optischen Achse verläuft, zwischen Lichtquelle und Polygonalspiegel angeordnet ist und daß zwischen der Sammellinse und der Abtastfläche in der Nähe der letzteren eine Zylinderlinse einer derart bogenförmig gekrümmten Form, daß sich ihre Längsenden an die Abtastfläche annähern, angeordnet ist.

Gegenstand der Erfindung ist auch eine optische Strahlabtastvorrichtung, bei der ein von einer Lichtquelle stammender Lichtstrahl durch einen drehbaren Polygonalspiegel reflektiert und dann über eine Sammellinse auf eine Abtastfläche geworfen wird, um diese mit ihm abzutasten, die dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Strahlformeinrichtung zur Erzeugung eines flachen Lichtstrahls, der eine große Breite in Abtastrichtung auf der optischen Achse besitzt, zwischen der Lichtquelle und dem drehbaren Polygonalspiegel angeordnet ist und daß eine flexible bzw. biegsame Zylinderlinse und ein Spannelement, welches die Zylinderlinse zwangsweise so durchbiegt bzw. wölbt, daß sich ihre beiden Längsenden der Abtastfläche annähern, zwischen der Sammellinse und der Abtastfläche in der Nähe der letzteren angeordnet sind.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfin-

• » *■ · ν« ff λ ib ι

β · * * * « 40 β

-y-B-

dung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Grundauf-

haus des Hauptteils einer optischen Strahlabtastvorrichtung,

Fig. 2 eine schematische Darstellung zur Verdeutlichung eines Neigungswinkelfehlers (inclining angle error),

Fig. 3 bis 7 schematische Darstellungen bisheriger Strahlabtastvorrichtungen,

Fig. 8a bis 8c schematische Darstellungen des Aufbaus einer optischen Strahlabtastvorrichtung gemäß der Erfindung,

Fig. 9 eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung eines Leitelements als Beispiel für ein Spannelement für eine Zylinderlinse,

Fig. 10 eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung eines anderen Leitelements,

Fig. 11 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Schnittansicht eines Teils des Leitelements nach Fig. 10 und

Fig. 12, 13a, 14a und 14b schematische Darstellungen zur Veranschaulichung einer Strahlfbr meinrichtung.

Die Fig. 1 bis 7 sind eingangs bereits erläutert worden.

Die Fig. 8a bis 8c veranschaulichen schematisch einen Lichtstrahl und ein optisches System zwischen einem drehbaren Polygonalspiegel und der Abtastfläche oder -ebene bei der optischen Strahlabtastvorrichtung gemäß der Erfindung. Fig. 8b ist dabei eine im Schnitt gehaltene Aufsicht, während Fig. 8a eine im Schnitt gehaltene Seitenansicht im Abtastzentrum und Fig. 8c eine entsprechende Seitenansicht am einen Ende der Abtastbewegung sind. Gemäß den Fig. 8a bis 8c weist ein drehbarer Polygonalspiegel 11 Reflexions- bzw. Spiegelflächen auf, auf die von einer nicht dargestellten Strahlformeinrichtung ein flacher Lichtstrahl geworfen wird, der eine große Breite in Abtastrichtung besitzt und parallel zur Richtung der optischen Achse verläuft. Eine Sammellinse 12 (d.h. eine f#9-Linse) nimmt den vom Polygonalspiegel 11 reflektierten Lichtstrahl ab, während eine flexible bzw. biegsame, konvexe. Zylinderlinse 13 in der Nähe der Abtastfläche SP (normalerweise plan bzw. nahezu plan in bezug auf die Abtastzeilen) angeordnet ist. Die konvexe Zylinderlinse 13 ist in einer Richtung (d.h. y-Richtung) senkrecht zur Abtastrichtung (d.h. x-Richtung) mit einer Biegekraft beaufschlagt. Die Zylinderlinse 13 ist mittels eines Spannelements 100 in der Weise durchgebogen, daß sich ihre beiden Enden {von denen in Fig. 8b nur das eine Ende 13a sichtbar ist) der Abtastfläche SP nähern.

In Fig. 9 ist als Beispiel für das Spannelement ein Führungs- bzw. Leitelement 100 dargestellt. Gemäß Fig. 9 sind ein Grundelement 101, ein Halte- bzw. Gegenelement

102 und zwei aus einem elastischen Werkstoff, wie Polyurethan oder Gummi bzw. Kautschuk, hergestellte Stäbe

103 vorgesehen. Ersichtlicherweise können diese elastisehen Stäbe 103 einstückig ausgebildet oder lagenweise

β 6 « «· 4 4 4

ft β » a- O ir

^" ff

aufgebaut sein. Die Zylinderlinse 13 wird mit ihrer einen Fläche in Anlage gegen das Grundelement 101 gebracht und an ihrer anderen Fläche im oberen und unteren Bereich durch die elastischen Stäbe 103 an das Gegenelement 102 angedrückt, so daß die Zylinderlinse 13 eine auf vorbestimmte Weise gekrümmte Form erhält. Diese Krümmung wird durch die jeweiligen Formen von bogenförmig gekrümmten Flächen 101b und 102b der beiden Elemente 101 bzw. 102 bestimmt. Durch entsprechende Ausbildung dieser gekrümmten Flächen kann eine beliebige Krümmung der Zylinderlinse 13 erreicht werden. In den Elementen 101 und 102 sind Lichtdurchtritts-Fenster 101a bzw. 102a ausgebildet, über welche der Lichtstrahl durch die Zylinderlinse hindurchtreten kann. Die beiden Leitelementteile sind außerdem mittels nicht dargestellter Schrauben, Verklebungen o.dgl. miteinander verbunden.

Wahlweise kann das Leitelement 100 den in Fig. 10 dargestellten Aufbau besitzen. Bei dieser Ausführungsform sind zahlreiche Schrauben 101c und 102c in die Abschnitte der Leitelementteile 101 bzw. 102 eingeschraubt, die mit der zylinderlinse 13 in Berührung gebracht werden sollen. Die Köpfe dieser Schrauben 101c und 102c bestimmen dabei die Krümmungsform der Zylinderlinse 13 auf die in Fig. 11 gezeigte Weise (bei 101d und 102d sind dabei Kontermuttern angedeutet). Bei dieser Ausfuhrungsform des Leitelements kann mittels einer entsprechenden Einschraubstellung der einzelnen Schrauben 101c und 102c der Zylinderlinse 13 eine beliebige Krümmung erteilt werden.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform sind die Reflexionsfläche(n) des drehbaren Polygonalspiegels 11 und die Abtastfläche SP in optischer Hinsicht geometrisch

so aufeinander abgestimmt, daB der Lichtstrahl nach dem Durchtritt durch die Sammellinse 12 auf die Abtastfläche SP fällt, während er in x-Richtung konvergiert wird, während er nach dem Durchtritt durch die Sammellinse 12 in y-Richtung zunächst etwas und dann nach dem Durchtritt durch die Zylinderlinse 13 stark konvergiert wird.

Die effektive Brennweite der Zylinderlinse 13 wird hierbei aufgrund des schrägen Einfalls des Lichtstrahls verkürzt. Wenn daher die verwendete Zylinderlinse 13 in Abtastrichtung (d.h. x-Richtung) gerade wäre, würde sich der Brennpunkt (waist) des Lichtstrahls nach dem Durchtritt durch die Zylinderlinse 13 zu einer vorderhalb der Abtastfläche SP bzw. näher zur Zylinderlinse 13 hinbiegenden Stelle verschieben, wenn sich der Lichtstrahl von der Mitte der Abtastzeile entfernt. Erfindungsgemäß wird jedoch die biegsame Zylinderlinse 13 in dem vorher erwähnten gekrümmten Zustand verwendet, so daß der Lichtstrahl-Brennpunkt sich stets an der Abtastfläche SP bzw. auf dieser Fläche befindet. Diese Gegebenheiten sind nachstehend mittels Formeln bzw. Gleichungen noch näher erläutert.

Wenn die Zylinderlinse 13 beispielsweise flach und konvex ist, wobei der Krümmungsradius ihrer Brechungsfläche mit R, die Brennweite mit f und die Brechzahl mit η vorausgesetzt; sind, ergibt sich zwischen diesen Parametern die folgende Beziehung:

Weiterhin seien ein Einfallswinkel mit φ und ein Brechungswinkel/ίζΓ¹ vorausgesetzt; wenn in diesem Fall der Licht-

• · « · · ϋ 4 n

• ö 4*0 β ο» ο

strahl vom Mittelpunkt der Abtastzeile entfernt ist und somit schräg auf die Zylinderlinse 13 auftrifft, ergibt sich nach dem Brechungsgesetz die folgende Beziehung zwischen den genannten Parametern:

sin φ = η sin φ' ... (2)

Weiterhin sei angenommen, daß die effektive Brennweite gleich f' und der Krümmungsradius am kleinsten bzw. kürzesten Teil (minute portion) der optischen Achse R' sind. Wenn dabei der Lichtstrahl schräg auf die Zylinderlinse 13 auftrifft, ergeben sich die folgenden Beziehungen:

R¹ = R² / (R / cos 0¹) = R cos φ' ... (3)

f = R¹ / (n - 1) ... (4)

Nach obigen Gleichungen (1) bis (4) ergibt sich somit das Verhältnis f / f· zu:

f / f' = R / R¹
= 1 / cos φ^λ

\J A _

= 1 / Y 1 - (sin φ / η)' ... (5)

Anhand der Beziehung ν 1 - (sin 0 / n) <1 ergibt sich somit f>f, so daß sich die Brennweite, wie erwähnt, verkürzt, wenn der Lichtstrahl schräg auf die Zylinderlinse 13 auftrifft. Erfindungsgemäß wird daher die Krümmung der Zylinderlinse 13 so gewählt, daß die Größe (sowie die Form) der Lichtstrahlpunkte auf der Abtastfläche SP durch Konvergenz des Lichtstrahls durch die Zylinder-

linse 13 in y-Richtung gleichmäßig wird. Insbesondere ist die beschriebene Ausführungsform so ausgeführt, daß der Strahlbrennpunkt (beam waist) nahe an der Abtastfläche SP (einschließlich dieser Fläche selbst) liegt und die Reflexionsfläche 1a des drehbaren Polygonalspiegeis 1 und die Abtastfläche SP eine abgestimmte (conjugate) Beziehung zueinander besitzen.

Durch entsprechende Einstellung der Relativstellungen oder -lagen des drehbaren Polygonalspiegels 11, der Sammellinse 12, der Zylinderlinse 13 und der Abtastfläche SP, der Brennweiten der genannten Linsen, des Durchmessers des in dieses optische System eintretenden Lichtstrahls, des Krümmungsradius seiner Wellenfront und andere Parameter wird es somit möglich, einen gewünschten Lichtfleck zu erzeugen und dessen Form (einschließlich nicht nur einer echten Kreisform, sondern auch einer Ellipsenform) über die gesamte Abtastbreite hinweg zu vergleichmäßigen.

Versuchsweise wurde die Aufzeichnung von Zeichen unter solchen Bedingungen durchgeführt, bei denen die Hauptabtasteinrichtung aus einem optischen System mit der Zylinderlinse 13 einer Brennweite ^{von 50} n™ besteht, die Sammellinse (f»9-Linse) 12 eine Brennweite von 350 mm besitzt und die Abtastlänge 280 mm beträgt, wobei eine mit einem Krümmungsradius von etwa 2100 mm bogenförmig gekrümmte zylindrische Linse 13 verwendet wird und photographisches Papier auf einem sich mit konstanter Geschwindigkeit bewegenden Träger angeordnet ist. Hierbei wurde über die gesamte Abtast- bzw. Aufzeichnungsbreite hinweg eine nahezu vollkommene Aufzeichnung erzielt. Bei einem unter Verwendung des bisherigen optischen Systems

· * S ΦΑ «Α

gemäß Fig. 5 durchgeführten Versuch wurde andererseits eine einwandfreie Aufzeichnung (nur) im Mittelbereich der Abtastzeile erzielt, während an den beiden Endabschnitten der Abtastzeile Fehler, wie Verdickung von Linien und Unvollständigkeit der Zeichen, auftraten.

Wenn eine Gleichförmigkeit des Lichtpunktdurchmessers als wesentliches Erfordernis angestrebt wird, kann diesem Erfordernis erfindungsgemäß dadurch entsprochen werden, daß die Zylinderlinse 13 in eine von der bogenförmig gekrümmten Form abweichende optimale Form gebogen wird. Insbesondere dann, wenn die zu erzielende Wölbungsform nicht einem Kreisbogen mit vorgegebener Krümmung entspricht, ist es nahezu unmöglich, eine solche Zylinderlinse nach dem normalen Glaspolierverfahren herzustellen. Mit der erfindungsgemäß verwendeten biegsamen Zylinderlinse kann dagegen jede gewünschte Krümmungsform ohne Schwierigkeiten gewährleistet werden.

Die in Fig. 8 nicht dargestellte Strahlformeinrichtung kann gemäß den Fig. 12, 13a und 13b beispielsweise aus einer Strahlvergrößerungs- oder -erweiterungseinheit 15 in Form von sphärischen Linsen, die den Laserstrahl von einer Laserquelle 14 abnehmen, einer Zylinderlinse 16 großer Brennweite und einer Zylinderlinse 17 kurzer Brennweite bestehen, durchweiche der Laserstrahl nach der Strahlerweiterungseinheit 15 hindurchtritt. Wahlweise kann die Strahlformeinrichtung auch gemäß den Fig. 14a und 14b eine einzige Zylinderlinse 19, welche den von der Laserquelle 14 emittierten Laserstrahl über einen Modulator 18 abnimmt, und eine Strahlerweiterungseinheit 20 aus sphärischen Linsen aufweisen, durch welche der Laserstrahl nach dem Durchtritt durch die Zylinderlinse

19 hindurchfällt. Die Strahlformeinrichtung muß vorgesehen sein, um einen Lichtstrahl mit den gewünschten Parametern bzw. Eigenschaften zu erhalten, ohne den Strahlengang des optischen Systems vor dem drehbaren Polygonalspiegel zu verlängern, unter den Bedingungen, daß der auf den Polygonalspiegel 11 auftreffende Lichtstrahl einen sehr großen Krümmungsradius der Wellenfront iⁿ y-Richtung besitzt, während seine Breite oder Weite klein ist. Bei der vorstehend beschriebenen Erfindung sind somit die Reflexionsfläche des drehbaren Polygonalspiegels und die Abtastfläche in optischer Hinsicht in y-Richtung aufgrund der Verwendung des optischen Systems

geometrisch

aus der Sammellinse und der Zylinderlinse einander/im

so

wesentlichen/angepaßt, daß eine Änderung des Teilungsabstands der Abtastzeilen aufgrund eines Neigungswinkelfehlers des Polygonalspiegels verhindert wird. Die Zylinderlinse ist dabei in der Nähe der Abtastfläche mit einer bogenförmig gekrümmten Form angeordnet, so daß die Lichtpunktgröße über die gesamte Abtastfläche hinweg gleichmäßig ist. Im Vergleich zum Stand der Technik wird daher die Korrekturwirkung für den Neigungswinkel verbessert, so daß nahezu vollkommen gleichmäßige Lichtpunkte über die gesamte Abtastfläche hinweg gewährleistet werden. Mit der erfindungsgemäßen Strahlabtastvorrichtung kann daher eine Abtast-Lese- oder -Aufzeichnungsvorrichtung realisiert werden, die ohne die Notwendigkeit für torische Linsen oder andere aufwendige Bauteile bei niedrigeren Fertigungskosten eine überlegene Leistung gewährleistet.

Claims

PATENTANSPRÜCHE ϊ

1. Optische Strahlabtastvorrichtung, bei der ein von einer Lichtquelle stammender Lichtstrahl durch einen drehbaren Polygonalspiegel reflektiert und dann über eine Sammellinse auf eine Abtastfläche geworfen wird, um diese mit ihm abzutasten,

dadurch gekennzeichnet , daß eine Strahlformeinrichtung (15, 16, 17) zur Erzeugung eines flachen Lichtstrahls, der eine große Breite in Abtastrichtung besitzt und im wesentlichen parallel zur Richtung der optischen Achse verläuft, zwischen Lichtquelle (14) und Polygonalspiegel (11) angeordnet

βλ« »1* ·■»

ist und daß zwischen der Sammellinse (12) und der Abtastfläche (SP) in der Nähe der letzteren eine Zylinderlinse (13) einer derart bogenförmig gekrümmten Form, daß sich ihre Längsenden an die Abtastfläche (SP) annähern, angeordnet ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,

IQ dadurch gekennzeichnet , daß die

Spiegel- bzw. Reflexionsfläche des drehbaren Polygonalspiegels (11) und die Abtastfläche (SP) so angeordnet sind, daß sie in optischer Hinsicht eine aneinander angepaßte bzw. aufeinander abgestimmte (conjugate) geometrische Beziehung zueinander besitzen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet , daß der Lichtstrahl so konvergierbar ist, daß eine Strahleinschnürung bzw. ein Brennpunkt (beam waist) nahe der bzw. an der Abtastfläche (SP) erzeugbar ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet , daß der Lichtstrahl ein Laserstrahl ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1,

dadurch gekenn zeichnet , daß die Strahlformeinrichtung eine Strahlvergrößerungsoder -erweiterungseinheit (15) aus sphärischen Linsen, eine Zylinderlinse (16) großer Brennweite und eine Zylinderlinse (17) kurzer Brennweite, durch welche der Lichtstrahl nach dem Durchgang durch die Strahlerweiterungseinheit hindurchfällt, aufweist.

β β» β β * «β

«Ο 0 β β β * * β £

6. Vorrichtung nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet , daß die Strahlformeinrichtung eine einzige Zylinderlinse (19) und eine Strahlerweiterungseinheit (20) aus zylindrischen Linsen„ auf welche der Lichtstrahl nach dem Durchgang durch die Zylinderlinse fällt, aufweist,

7. Optische Strahlabtastvorrichtung, bei der ein von

einer Lichtquelle stammender Lichtstrahl durch einen drehbaren Polygonalspiegel reflektiert und dann über eine Sammellinse auf eine Äbtastfläche geworfen wird, um diese mit ihm abzutasten,

dadurch gekennzeichnet , daß eine Strahlformeinrichtung (15, 16, 17) zur Erzeugung eines flachen Lichtstrahls, der eine große Breite in Abtastrichtung auf der optischen Achse besitzt, zwisehen der Lichtquelle (14) und dem drehbaren Polygonalspiegel (11) angeordnet ist und daß eine flexible bzw. biegsame Zylinderlinse (13) und ein Spannelement (100), welches die Zylinderlinse zwangsweise so durchbiegt bzw. wölbt, daß sich ihre beiden Längsenden der Abtastfläche (SP) annähern, zwischen der Sammellinse (12) und der Abtastfläche (SP) in der Nähe der letzteren angeordnet sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekenn zeichnet , daß ein Leitelement (101, 102) als Spannelement (100) vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet , daß die

10. Vorrichtung nach Anspruch 7,

11. Vorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl ein Laserstrahl ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet , daß die Strahlformeinrichtung eine Strahlvergrößerungsoder -erweiterungseinheit (15) aus sphärischen Linsen, eine Zylinderlinse (16) großer Brennweite und eine Zylinderlinse (17) kurzer Brennweite, durch welche der Lichtstrahl nach dem Durchgang durch die Strahlerweiterungseinheit hindurchfällt, aufweist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet , daß die Strahlformeinrichtung eine einzige Zylinderlinse (19) und eine Strahlerweiterungseinheit (20) aus zylindrischen Linsen, auf welche der Lichtstrahl nach dem Durchgang durch die Zylinderlinse fällt, aufweist.