DE3248157C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3248157C2 DE3248157C2 DE3248157A DE3248157A DE3248157C2 DE 3248157 C2 DE3248157 C2 DE 3248157C2 DE 3248157 A DE3248157 A DE 3248157A DE 3248157 A DE3248157 A DE 3248157A DE 3248157 C2 DE3248157 C2 DE 3248157C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- infrared
- infrared radiation
- radiation
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen der
Dicke einer Beschichtung auf einer Unterlage, z. B. der Dicke
einer Farbschicht, Lackschicht oder Kunststoffschicht auf
einem Metallblech oder dergleichen, und zwar durch kontinuierliche
Messung unter Verwendung von Infrarotstrahlen.
Mit Farbe, Lack, Kunststoff, Kautschuk oder dergleichen
beschichtete Bleche oder sonstige Unterlagen werden in den
verschiedensten Industriezweigen zur Herstellung von Pro
dukten wie z. B. Baumaterialien, Geräten, Konservendosen
oder dergleichen verwendet. Es ist in vielen Fällen wichtig,
hierbei eine Beschichtung von sehr genau eingehaltener
Dicke aufzubringen, und zu diesem Zweck wird eine Meß
vorrichtung von hoher Genauigkeit benötigt.
Bekannt sind Meßvorrichtungen unter Verwendung von
Strahlen, z. B. Röntgenstrahlen oder Betastrahlen. Auf
grund der hierbei zu beachtenden strengen Sicherheits
vorschriften können diese Vorrichtungen aber nicht über
all eingesetzt und insbesondere nicht von ungelerntem
Personal gehandhabt werden. Auch ist die Meßgenauigkeit
dieser Vorrichtungen häufig nicht genügend. Diese Vor
richtungen haben daher nur beschränkt Verwendung gefun
den.
Bekannt sind ferner Meßvorrichtungen, die anstelle
von Röntgen- oder Betastrahlen Infrarotstrahlen verwenden,
z. B. gemäß US-PS 39 73 122. Meßvorrichtungen dieser Art
nützen die Tatsache aus, daß ein Teil der Infrarotstrahlen
in einem bestimmten Wellenlängenbereich beim Durchtritt
durch die Beschichtung von dieser absorbiert werden, ins
besondere wenn diese z. B. aus einer hochpolymeren Ver
bindung besteht.
Der in US-PS 39 73 122 beschriebene Meßapparat um
faßt einen schwarzen Strahler oder Hohlraumstrahler, der
gebündelte Infrarotstrahlen von bestimmter Wellenlänge
auf einen auf einen Träger laminierten Film aussendet,
sowie ein elektronisches Pyrometer zum Messen der von
der Oberfläche des Substrats reflektierten Infrarot
strahlungsbündel, wobei die Dicke der Beschichtung
auf der Basis der Intensität der reflektierten Infra
rotstrahlen gemessen wird, von denen ein Teil bei ihrem
Durchtritt durch die Beschichtung absorbiert worden ist.
Mit dieser bekannten Vorrichtung kann jedoch
eine hohe Meßgenauigkeit nicht konstant und gleichmäßig
in Bezug auf verschiedene Arten von Beschichtungen er
zielt werden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde,
eine Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Beschichtung
unter Verwendung von Infrarotstrahlen zu schaffen, die
die Dicke von Beschichtungen auf verschiedenen Werk
stoffen mit hoher Genauigkeit messen kann.
Zur Lösung dieser Aufgabe schafft die Erfindung
eine Vorrichtung, bei der der Einfluß der von der Be
schichtung selbst sowie dem Substrat aufgrund deren Eigen
temperatur ausgestrahlten Infrarotstrahlung eliminiert
und dadurch die Meßgenauigkeit verbessert wird.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Messung der
Dicke von Beschichtungen, Anstrichen, Lackierungen,
Kaschierungen und dergleichen auf einer Unterlage, wie
z. B. Metallblech, umfaßt: einen schwarzen Strahler
oder Hohlraumstrahler, der kontinuierlich konstante
Infrarotstrahlen in Richtung auf die Beschichtung
des Substrats aussendet, welches kontinuierlich in
einer Richtung gefördert wird; mindestens ein Band
paßfilter zum Durchlassen von Infrarotstrahlen in
einem vorgegebenen Wellenlängenbereich, der sowohl
von dem Strahler ausgesendete und von der Substrat
oberfläche durch die Beschichtung hindurch reflek
tierte Infrarotstrahlen als auch von der Beschichtung
und dem Substrat aufgrund ihrer Eigentemperatur aus
gesendete Infrarotstrahlung umfaßt; Infrarotsensoren,
von denen einer die Intensität der vom Substrat re
flektierten Infrarotstrahlen mißt und sie in ent
sprechenden elektrische Signale umwandelt, während
der andere Sensor die Intensität der Infrarot-Eigen
strahlung sowohl der Beschichtung als auch des Sub
strates detektiert und sie in entsprechende elektrische
Signale Umwandelt; eine Bezugssignalquelle, in der
verschiedene vorweggemessene Bezugskoeffizienten
für die Infrarotabsorption in Bezug auf verschiedene
Dicken der Beschichtung und/oder verschiedene Be
schichtungsmaterialien sowie verschiedene vorweg
gemessene Bezugs-Reflektionskoeffizienten bezüglich
verschiedener Arten von Reflektionsoberflächen von
verschiedenen Substraten gespeichert sind und diesen
Bezugskoeffizienten entsprechende Bezugssignale
erzeugbar sind; und eine Signalverarbeitungseinheit in
der die Signale von beiden Infrarotsensoren miteinander
verglichen werden und Signale, die nur die Intensität
der vom Substrat reflektierten Infrarotstrahlung wieder
geben, nach Verarbeitung auf der Grundlage der von der
Bezugssignalquelle gelieferten Bezugskoeffizienten als
die Dicke der Beschichtung repräsentierende Signale
erzeugt werden.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Dicke
von verschiedenen Arten von Beschichtungen mit hoher Ge
nauigkeit gemessen werden. Da der Signalverarbeitung nur
derjenige Signalanteil zugrundegelegt wird, der die an
der Substratoberfläche reflektierte Strahlung darstellt,
wird der Einfluß der Eigenstrahlung des Substrates und
der Beschichtung aufgrund ihrer Eigentemperatur völlig
ausgeschaltet und damit die Meßgenauigkeit weiter verbessert.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Aus
führungsbeispiels und unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 die schematische Darstellung einer Meßvorrichtung
gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Er
findung;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die in der Vorrichtung
nach Fig. 1 verwendete Drehscheibe.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung ist mit
1 das zu messende Objekt, z.B. ein lakiertes Blech be
zeichnet, welches aus einem Träger 1 und einer damit ver
bunden, z.B. laminierten, Beschichtung 2 besteht. Dieses
Werkstück wird in Richtung des Pfeiles P durch einen
(nicht dargestellten) Förderer gefördert.
Die Meßvorrichtung umfaßt eine Infrarotdetektorein
richtung 4, die im Förderweg des Werkstückes 1 so ange
ordnet ist, daß sie der die Beschichtung 3 tragenden Seite
zugewendet ist. Die Infrarotdetektoreinrichtung 4 umfaßt
ein Gehäuse 5, einen schwarzen Strahler oder Hohlraum
strahler 6 zum Aussenden der Infrarotstrahlung auf das
Werkstück 1, sowie einen im wesentlichen gleichgeformten
Hohlraum 8, der neben und in Förderrichtung des Werk
stückes 1 hinter dem Hohlraumstrahler 6 angeordnet ist.
Der Hohlraumstrahler 6 kann im wesentlichen die
gleiche Konstruktion wie der Hohlraumstrahler gemäß der
US-PS 39 73 122 aufweisen. Insbesondere kann der Hohl
raumstrahler 6 einen halbkugelförmigen Hohlraum auf
weisen, der am Scheitelpunkt ein Loch 7 aufweist und
elektrisch auf eine konstante Temperatur unter der Kon
trolle eines (nicht dargestellten) thermostatischen
Reglers aufgeheizt wird, um das Werkstück 1 Infrarot
strahlen auszusetzen, die einen Wellenlängenbereich auf
weisen, der Wellenlängen umfaßt, die von der Beschichtung
3 auf der Unterlage 2 des durchlaufenden Werkstückes stark
absorbiert werden.
Die von der Innenfläche des Hohlraumstrahlers 6 aus
gesandten Infrarotstrahlen treten in die Beschichtung 3
ein und werden an der Oberfläche 2 a des Trägers 2 reflek
tiert, und treten dann erneut durch die Beschichtung 3
hindurch und laufen dann durch das Loch 7 des Hohlraum
strahlers. Die durch das Loch 7 tretende Infrarotstrahlung
umfaßt nicht nur die am Werkstück reflektierten Infrarot
strahlen, sondern auch solche Infrarotstrahlen, die von
dem Werkstück 1 aufgrund von dessen Eigentemperatur ab
gestrahlt werden.
Der andere Hohlraum 8 hat die gleiche Form mit einem
Loch 9, welches die von dem Werkstück 1 aufgrund von dessen
Eigentemperatur ausgestrahlten Infrarotstrahlen hindurch
treten läßt.
Die Infrarotdetektoreinrichtung umfaßt ferner eine
Drehscheibe 10 mit einer Vielzahl von Bandpaßfiltern 11,
die Infrarotstrahlung aus den Löchern 7 und 9 der Hohl
räume 6 und 8 durchtreten lassen, Sammellinsen 14 und 15,
die die durch die entsprechenden Teile der Drehscheibe 11
durchgetretenen Strahlen bündeln und sie auf je einen
Infrarotsensor 16 und 17 konzentrieren.
Die Drehscheibe 10 ist so angeordnet, daß sie
durch einen Elektromotor 13 mit vorgegebener konstanter
Drehzahl rotiert. Die Bandpaßfilter 11 sind in konzen
trischer Anordnung auf dem Scheibenkörper 12 angeordnet,
so daß sie die Infrarotstrahlen von dem Werkstück 1 empfangen.
Jedes Filter 11 gestattet den Durchtritt eines bestimmten
Wellenlängenbereichs, z.B. den Bereich von 1 bis 3 µm oder
von 3 bis 6 µm.
Die Infrarotsensoren 16 und 17 detektieren die durch
die Filter 11 durchgetretene Infrarotstrahlung, sowie
diejenige Infrarotstrahlung, die von dem Scheibenkörper 12
an sich aufgrund von dessen Eigentemperatur ausgestrahlt
wird, wobei der Scheibenkörper 12 insbesondere durch die
Nachbarschaft zu dem Hohlraumstrahler 6 aufgeheizt wird.
Die Infrarotsensoren 16 und 17 wandeln die ihnen zugeführte
Infrarotstrahlung in elektrische Signale um, die der Menge
der Infrarotstrahlung entsprechen, und führen diese Signale
in einer zeitlich versetzten Art bzw. im Zeitmultiplex zu
geordneten Signalverarbeitungsschaltungen 18 und 19 zu.
In jeder dieser Signalverarbeitungsschaltungen 18 und 19
werden die Signale, die der durch die Filter 11 durchge
lassenen Infrarotstrahlung entsprechen, und die Signale,
die der Eigenstrahlung des Scheibenkörpers 12 entsprechen,
miteinander verglichen, und es werden Signale, die die
Differenz zwischen diesen beiden Arten von Infrarot
strahlung darstellen, erzeugt und in einen Vergleicher
21 eingegeben, der Bestandteil einer Verarbeitungsein
heit 20 ist. Mit anderen Worten, die in der Signalver
arbeitungsschaltung 18 erzeugten Signale repräsentieren
die Gesamtmenge sowohl der vom Werkstück 2 reflektierten
Strahlung als auch der vom Werkstück 2 ausgestrahlten
Eigenstrahlung, jedoch ohne Einschluß der durch die
Temperatur des Hohlraumstrahlers selbst in der Meß
vorrichtung erzeugten Strahlung. Andererseits repräsen
tieren die von der Signalverarbeitungsschaltung 19 er
zeugten Signale nur die Menge der Infrarotstrahlung, die
von dem Werkstück 2 aufgrund seiner Eigentemperatur ab
gestrahlt wird, jedoch ohne Einschluß der aufgrund der
Temperatur des Hohlraumstrahlers 6 in der Vorrichtung
selbst erzeugten Strahlung.
Die Verarbeitungseinheit 20 umfaßt den genannten
Vergleicher 21 und eine Funktionskonvertierschaltung 22.
In dem Vergleicher 21 werden die Signale von den Signal
verarbeitungsschaltungen 18 und 19 miteinander verglichen,
und Signale, die die Differenz zwischen den Signalen von
den Signalverarbeitungsschaltungen 18 und 19 darstellen,
werden umgewandelt in Signale, die die Absorption in Bezug
auf die Beschichtung 2 des Werkstückes 1 repräsentieren,
und diese Signale werden in die Fuktionskonvertierschaltung
22 eingegeben. Die genannte Differenz kennzeichnet nur den
Betrag derjenigen Infrarotstrahlung, die durch die Be
schichtung 3 des Werkstückes hindurchgetreten ist, ohne
Einschluß der vom Werkstück 1 aufgrund seiner Temperatur
abgegebenen Eigenstrahlung.
Es ist ferner eine Bezugssignalquelle 23 vorge
sehen, in der Bezugsdaten, insbesondere verschiedene
Bezugskoeffizienten für die Infrarotabsorption für
verschiedene Dicken von Beschichtungen 2 sowie ver
schiedene Bezugs-Reflektionskoeffizienten in Bezug
auf die Oberfläche 2 a von verschiedenen Unterlagen
oder Trägerwerkstoffen 2 gespeichert sein können. Be
zugssignale, die diese Koeffizienten für die Infrarot
absorption und die Reflektionskoeffizienten repräsen
tieren, werden von der Bezugssignalquelle 23 der Funktions
konvertierschaltung 22 zugeführt. Ferner ist eine Eingabe
schaltung 24 für Korrekturdaten vorgesehen, über welche
Korrekturdaten bezüglich der Behandlungsbedingungen des
Metallblechs oder dergleichen Trägers in einer vorhergehenden
Bearbeitungsstufe kontinuierlich oder periodisch zugeführt
werden können. Die Reflektionskoeffizienten der Oberfläche
2 a des Trägers 2 hängen ab von den Bearbeitungsbedingungen
wie z.B. der Rauheit der Oberfläche des Trägers 2 sowie der
Dicke einer z.B. durch chemische Umwandlung erzeugten Be
schichtung auf der Oberfläche 2 a des Trägers 2. Elektrische
Korrektursignale entsprechend diesen Vorbehandlungsbedingungen
können daher in solcher Weise erzeugt und der Funktionskon
vertierschaltung 22 zugeführt werden, daß die von der
Bezugssignalquelle 23 der Funktionskonvertierschaltung
22 zugeführten Bezugssignale durch die entsprechenden
Korrektursignale vom Korrekturdateneingang 24 korri
giert werden.
In der Funktionskonvertierschaltung 22 werden die
von dem Vergleicher 21 zugeführten Signale auf der Grund
lage einer bestimmten Umwandlungsformel unter Verwendung
der Bezugsinformation, nämlich der die Bezugs-Absorptions
koeffizienten für die Beschichtung 3 und die Bezugs-Reflek
tionskoeffizienten für die Oberfläche 2 a des Trägers 2
darstellenden Signale, verarbeitet, und hierdurch werden
Signale, die die Dicke der Beschichtung 2 darstellen,
erzeugt und einer Anzeigeeinrichtung 25 zugeführt, an der
die Dicke der Beschichtung 2 angezeigt werden kann. Die
die Dicke der Beschichtung 2 darstellenden Signale können
auch zum Steuern einer die Beschichtung aufbringenden Vor
richtung (nicht dargestellt) zwecks Einhaltung einer kon
stanten Beschichtungsdicke verwendet werden.
Die Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der be
schriebenen Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise
kann der Hohlraum 8 auch in Bezug auf die Förderrichtung
des Werkstücks 1 vor dem Hohlraumstrahler 6 angeordnet
sein, da die Aufheizung des Werkstücks durch die Infrarot
strahlen von dem Hohlraumstrahler 6, je nach der Förder
geschwindigkeit des Werkstücks, in der Regel sehr gering
ist. Ferner können die Signale, die die Menge der vom
Scheibenkörper 12 abgegebenen Eigenstrahlung darstellen,
getrennt von den Infrarotsensoren 16 und 17 gesondert
erfaßt und z. B. in die Korrekturdateneingabeschaltung
24 eingegeben werden. Ferner brauchen die Filter 11
nicht auf der Drehscheibe angeordnet sein, sondern können
auch stationär angeordnet werden, wobei lediglich eine
Drehscheibe mit Löchern verwendet wird, die periodisch
den Durchgang der Strahlung zu den feststehenden Filtern
11 freigibt. Auch ist es möglich, die Drehscheibe 10 so
auszubilden, daß sie nur ein einziges Bandpaßfilter auf
weist. Solche und ähnliche Abwandlungen der Vorrichtung
liegen im Rahmen der Erfindung.
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Beschichtung
auf einer Unterlage mit einem Infrarotstrahler, der kon
tinuierlich konstante Infrarotstrahlung auf das Werk
stück abgibt, mit einer Meßvorrichtung für die vom
Werkstück kommende Infrarotstrahlung, mit einem Band
paßfilter (11) für den Durchtritt von Infrarotstrahlung
in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich, der die von
dem Infrarotstrahler (6) erzeugte und von der Unter
lage (2) durch die Beschichtung (3) hindurch reflektierte
Infrarotstrahlung und vom Werkstück (1) aufgrund von
dessen Eigentemperatur ausgestrahlte Infrarotstrahlung
umfaßt, mit einem Sensor (16) zum Detektieren der
Intensität der vom Werkstück (1) reflektierten Infra
rotstrahlung und der Eigenstrahlung des Werkstücks (1),
und mit einem Bezugsgrößenspeicher, in dem verschiedene
vorweggemessene Bezugskoeffizienten für die Infrarot
absorption bei verschiedenen Beschichtungsdicken, so
wie verschiedener vorweggemessener Bezugsreflexions
koeffizienten für verschiedene Arten von reflektierenden
Oberflächen von verschiedenen Unterlagen gespeichert
sind, dadurch gekennzeichnet, daß
ein zweiter Sensor (17) vorgesehen ist zum Detektieren
der Intensität der Eigenstrahlung des Werkstücks (1),
daß mehrere Bandpaßfilter (11) kranzförmig auf einer
Drehscheibe (10) angeordnet sind, derart, daß sie bei
Drehung der Drehscheibe (10) abwechselnd Infrarot
strahlung durchlassen und sperren und daß eine Ver
arbeitungseinheit (20) vorgesehen ist, in der die
Signale, die der durch die Bandpaßfilter (11) durch
gelassene Infrarotstrahlung entsprechen und die
Signale, die der Eigenstrahlung der Drehscheibe (10)
entsprechen, miteinander verglichen werden und
Signale erzeugt werden, die der Differenz zwischen
diesen beiden Arten von Infrarotstrahlung entsprechen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch ge
kennzeichnet, daß der Infrarotstrah
ler ein Hohlraumstrahler (6) ist mit einem halb
kugelförmigen Hohlraum, von dessen Innenfläche die
Infrarotstrahlen emittiert werden und der am Schei
tel ein Loch (7) zum Durchlassen der vom Werkstück (1)
reflektierten Infrarotstrahlung zum Bandpaßfilter (11)
und dem Sensor (16) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2 , dadurch ge
kennzeichnet, daß ein zweiter Hohl
raum (8) vorgesehen ist, der dem Hohlraumstrahler (6)
in Förderrichtung des Werkstücks (1) benachbart an
geordnet ist und an seinem Scheitel ein Loch (9) zum
Durchlassen der vom Werkstück (1) aufgrund seiner
Temperatur ausgestrahlten Infrarotstrahlung zu dem
Bandpaßfilter (11) und dem zweiten Sensor (17) auf
weist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3 , dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verarbeitungs
einheit (20) eine Korrekturdateneingabeschaltung (24)
aufweist, in der Korrekturdaten in Bezug auf eine
den Reflektionskoeffizienten der Unterlage (2) be
einflussende Vorbehandlung der Unterlage (2) einge
geben bzw. gespeichert und dann in die Verarbeitungs
einheit (20) zur Korrektur der von der Bezugssignal
quelle (23) zugeführten Reflektionskoeffizienten
eingegeben werden können.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56212029A JPS58115306A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 塗膜厚連続測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3248157A1 DE3248157A1 (de) | 1983-07-07 |
DE3248157C2 true DE3248157C2 (de) | 1990-05-17 |
Family
ID=16615685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823248157 Granted DE3248157A1 (de) | 1981-12-29 | 1982-12-27 | Vorrichtung zum messen der dicke einer beschichtung auf einer unterlage |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4549079A (de) |
JP (1) | JPS58115306A (de) |
DE (1) | DE3248157A1 (de) |
FR (1) | FR2519139B1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4007363A1 (de) * | 1990-03-08 | 1991-09-12 | Weber Maschinenbau Gmbh | Verfahren zur messung der dicke einer schicht auf einem traegermaterial |
DE4030801A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-30 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS617445A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-14 | Toshiba Corp | 銅酸化被膜の酸化度判別装置 |
JPS61155804A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Toshiba Electron Syst Kk | 光学式水膜厚計 |
JPS62232506A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-13 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 表面層厚測定装置 |
JPS63137968U (de) * | 1987-02-28 | 1988-09-12 | ||
GB2209107A (en) * | 1987-08-26 | 1989-04-26 | Rank Taylor Hobson Ltd | Imaging apparatus |
DE3728704A1 (de) * | 1987-08-28 | 1989-03-09 | Agfa Gevaert Ag | Vorrichtung zur bestimmung der dicke von schichttraegern |
DE3728705A1 (de) * | 1987-08-28 | 1989-03-09 | Agfa Gevaert Ag | Vorrichtung zur ueberpruefung von beschichteten und unbeschichteten folien |
JPH07101704B2 (ja) * | 1990-08-09 | 1995-11-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウェーハ上に堆積される薄膜の厚さをその場で測定する方法及び装置 |
US5258824A (en) * | 1990-08-09 | 1993-11-02 | Applied Materials, Inc. | In-situ measurement of a thin film deposited on a wafer |
EP0629450B1 (de) * | 1993-05-07 | 2000-06-28 | Nordson Corporation | Pulverbeschichtungssystem und Pulverbeschichtungsdicke-Sensor |
US5564830A (en) * | 1993-06-03 | 1996-10-15 | Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Method and arrangement for determining the layer-thickness and the substrate temperature during coating |
ES2140567T3 (es) * | 1994-12-23 | 2000-03-01 | Findlay Ind Deutschland Gmbh | Procedimiento y dispositivo para determinar la cantidad de un pegamento presente sobre una unidad de superficie, asi como procedimiento y dispositivo para controlar la cantidad de un pegamento que se ha de aplicar sobre una unidad de superficie. |
US5823474A (en) * | 1996-09-05 | 1998-10-20 | Sunlase, Inc. | Aircraft ice detection and de-icing using lasers |
US6206325B1 (en) * | 1998-09-18 | 2001-03-27 | Sunlase, Inc. | Onboard aircraft de-icing using lasers |
GB2348279A (en) * | 1999-03-20 | 2000-09-27 | C A Technology Limited | Coating thickness measurement by remote non-contact photothermal method |
US6784431B2 (en) * | 2002-06-13 | 2004-08-31 | The Boeing Company | Method of measuring anodize coating amount using infrared absorbance |
US6797958B2 (en) * | 2002-06-13 | 2004-09-28 | The Boeing Company | Method of measuring sol-gel coating thickness using infrared absorbance |
US6903339B2 (en) * | 2002-11-26 | 2005-06-07 | The Boeing Company | Method of measuring thickness of an opaque coating using infrared absorbance |
US7119336B2 (en) * | 2003-06-20 | 2006-10-10 | The Boeing Company | Method of measuring coating using two-wavelength infrared reflectance |
US7075086B2 (en) * | 2003-08-28 | 2006-07-11 | The Boeing Company | Measurement of metal polish quality |
US7514268B2 (en) | 2003-11-24 | 2009-04-07 | The Boeing Company | Method for identifying contaminants |
US8315834B2 (en) * | 2003-12-17 | 2012-11-20 | Siemens Energy, Inc. | System and method for measuring coating thickness |
AT506109B1 (de) * | 2007-11-20 | 2010-06-15 | Palfinger Systems Gmbh | Verfahren zur untersuchung der oberflächenbeschaffenheit von flächigen strukturen |
CN104713485B (zh) * | 2015-03-17 | 2017-06-16 | 许筱晓 | 利用SiO2膜测量微纳长度的系统及方法 |
CN108168446B (zh) * | 2016-03-30 | 2019-12-17 | 南通大学 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 |
CN108355861A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-08-03 | 广州泽亨实业有限公司 | 一种基于热波的粉末厚度检测喷涂控制方法及装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3413474A (en) * | 1965-02-03 | 1968-11-26 | Industrial Nucleonics Corp | Coating thickness determination by means of measuring black-body radiation resultant from infrared irradiation |
US3433052A (en) * | 1965-07-26 | 1969-03-18 | Automation Ind Inc | Material tester |
US3620814A (en) * | 1968-08-09 | 1971-11-16 | Bell Telephone Labor Inc | Continuous measurement of the thickness of hot thin films |
US3973122A (en) * | 1974-06-17 | 1976-08-03 | Ixcon Inc. | Measuring apparatus |
US3994586A (en) * | 1975-10-30 | 1976-11-30 | Aluminum Company Of America | Simultaneous determination of film uniformity and thickness |
JPS5535214A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method and device for film-thickness measurement making use of infrared-ray interference |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP56212029A patent/JPS58115306A/ja active Granted
-
1982
- 1982-12-27 DE DE19823248157 patent/DE3248157A1/de active Granted
- 1982-12-28 US US06/453,935 patent/US4549079A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-12-29 FR FR8221998A patent/FR2519139B1/fr not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4007363A1 (de) * | 1990-03-08 | 1991-09-12 | Weber Maschinenbau Gmbh | Verfahren zur messung der dicke einer schicht auf einem traegermaterial |
DE4030801A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-30 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
DE4030801C2 (de) * | 1990-09-28 | 1998-02-05 | Siemens Ag | Meßanordnung zur berührungslosen Bestimmung der Dicke und/oder thermischen Eigenschaften von Folien und dünnen Oberflächenbeschichtungen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6217167B2 (de) | 1987-04-16 |
DE3248157A1 (de) | 1983-07-07 |
FR2519139A1 (fr) | 1983-07-01 |
FR2519139B1 (fr) | 1987-04-30 |
JPS58115306A (ja) | 1983-07-09 |
US4549079A (en) | 1985-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3248157C2 (de) | ||
DE2739585C2 (de) | Spektrophotometer | |
DE102020107632A1 (de) | Gassensorsonde und Detektionsvorrichtung basierend auf einem Spirallichtweg mit Mehrpunktreflexion | |
EP2299899B1 (de) | Diagnostische bandeinheit und diagnostisches messsystem | |
DE19830794B4 (de) | Schichtdickenmeßsystem und -verfahren | |
EP1745265B1 (de) | Dosismessfilm und dosismessverfahren | |
EP0304795B1 (de) | Vorrichtung zur Überprüfung von beschichteten und unbeschichteten Folien | |
EP2825859B1 (de) | Vorrichtung zum bestimmen der temperatur eines substrats | |
DE102022130221A1 (de) | Messzelle zur Durchführung optischer Messungen | |
DE102010031919A1 (de) | Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie | |
DE69007534T2 (de) | Ultraschallmikroskopsonde. | |
DE69120302T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Kontrolle des kleinen Raums zwischen einem Magnetkopf und einem Magnetspeichermedium | |
DE102013224949A1 (de) | Messung des Aushärtegrades der Bedruckung oder Beschichtung eines Behälters | |
DE1623196A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Folie | |
EP3640580B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum berührungslosen und zerstörungsfreien bestimmen der schichtdicken von lackschichten von fahrzeugteilen | |
DE2724919B2 (de) | Verfahren zum Messen physikalischer Eigenschaften dünner Körper mit Hilfe von Ultrarot-Strahlung, z.B. zur Dickenmessung oder Feuchtigkeitsmessung | |
DE19925645A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Oberflächen-Reflexionsgrades eines lichtdurchlässigen Films mit Antireflexionseigenschaften und Verfahren zum Herstellen des Films | |
DE4219565A1 (de) | Verfahren und vorrichtung fuer die quantitative messung einer farbbeschichtung | |
EP0557845A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von band- oder blattförmigen, fotografischen Schichtträgern | |
DE69010280T2 (de) | Verfahren zur Inspektion einer Düse zur Herstellung einer Wabenstruktur. | |
DE3149709A1 (de) | Infrarot-dickenmessvorrichtung | |
DD268049A1 (de) | Verfahren zur ueberwachung des auftrages von fliessfaehigem stoff | |
DE2252527A1 (de) | Verfahren zur schichtdickenbestimmung organischer methylverbindungen | |
DE2135076A1 (de) | Vorrichtung zur ermittlung und anzeige der schwebfeststoffkonzentration in einer fluessigkeit | |
DE19907804C9 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01B 11/06 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |