CN108168446B - 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 - Google Patents
基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108168446B CN108168446B CN201711398642.1A CN201711398642A CN108168446B CN 108168446 B CN108168446 B CN 108168446B CN 201711398642 A CN201711398642 A CN 201711398642A CN 108168446 B CN108168446 B CN 108168446B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thickness
- sensing device
- infrared reflection
- measurement
- metal sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法,该系统包括机械结构和测控系统两部分。其中机械结构包括Y向的测量进给机构和Z向测厚调整机构。在Z向调整机构中,传感装置固定在型材上再与导轨滑块固定。电机控制滑块进行上下运动实现Z向测量机构的调整。Y向测厚进给机构上固定红外传感装置,根据红外反射法测厚原理对金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量。测控系统控制传感装置在Y方向相对运动,根据生产线上关键点的测量值拟合单板单线和多板全平面的印涂湿膜厚度,以此来评估一组金属薄板的印涂湿膜厚度情况,并显示其三维曲面图形,为调整印涂装置提供指导。本发明结构合理,使用方便,可以高效的对湿膜厚度进行检测以及对涂层厚度进行在线评估。
Description
本申请是申请号:201610192586.5、申请日:2016-03-30、名称“基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统”的分案申请。
技术领域
本发明涉及金属薄板印涂厚度检测领域,具体涉及一种金属薄板印涂湿膜厚度在线检测以及评估。
背景技术
自17世纪初F.W.Herschel发现红外辐射原理以来,红外技术在许多领域内得到了越来越多的应用。有一段时间红外技术在在线测厚的应用中受到了条纹干涉现象的技术瓶颈而没有什么发展,但是如今红外技术很好地解决了这个问题,从而可以对超薄薄膜厚度进行精确测量。运用红外技术进行测量可以不受环境的湿度、缝隙间温度变化和空气压力等因素的影响,以保证测量精度。信号源没有放射性,成本不高,设备维护难度也相对较低,红外技术还可以用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层共挤薄膜等生产检测中。因为红外测厚技术应用范围广泛、无放射性使用安全而且成本低,所以其是当今最具发展潜力的薄膜在线检测技术。
国内研究机构对红外厚度测量技术的研究始于上世纪80年代。目前己经将红外测厚技术应用到了广泛的领域,例如纸张厚度、无损厚度检测、圆筒壁厚、涂层厚度、纸币真伪检测等。
目前国内对于湿膜在线测厚的相关专利比较少,华中科技大学发明的一种单镜头激光三角法厚度测量仪。工作时,同轴对准的上下激光器发出两束准直光线,由激光器前端透镜聚焦到被测物表面,被测物表面的漫反射光线经过孔径光阑、平面玻璃后由组合成像透镜汇聚到图像探测器上,再将图像数据传输至图像处理器进行图像处理,进而由两光斑之间的间距计算得出被测物的实际厚度,最后显示测量厚度这是一种激光测量的方法。
同样也是华中科技大学发明的一种基于红外成像的薄膜测厚仪,测量时参考物经反射镜、分光镜和成像透镜成像到CCD光敏面,被测物经反射镜和成像透镜也成像到CCD光敏面,CCD将图像传送至计算机,经图像处理后根据图像的灰度值求得被测物的厚度;如此形成双光路测量系统,避免了光源光强变化的影响;使用散射光透射成像的测量体系,避免了传统红外测厚装置中存在的干涉影响;设置具有多个局部标准厚度的参考物,该装置可以获取参考物各个局部标准厚度,从而能够更加精确地测量薄膜厚度。但是此装置结构比较复杂,设计难度大,且利用的是透射法测量,对于本发明来说由于测量的是金属表面的涂层厚度,光线透不过金属表面,因此不能运用此方法来进行测量。
广东省测试分析研究所的林瑞国、刘青等人研制的IM-C型红外水份/薄膜厚度测试仪其测量原理与本专利极其类似,不同的是IM-C型红外水份/薄膜厚度测试仪光源经过透镜后直接经过滤光片进行滤光,这种方法在高速薄膜生产在线不适用因为调制盘旋转一定的角度时,涂层薄板已经行进一段距离,导致测量光和参考光两束光照射到被测薄膜上的不同区域从而测量结果不准确,而本专利光源经过透镜后先分为两条光路,测量涂层厚度的光路直接向照射到涂层上,待反射后再通过两个滤光片分别进行滤光,然后分别有各自的信号处理单元对光信号进行处理,从而消除了时间差带来的测量误差。
南通大学邱自学教授等人研发的一种金属薄板印刷涂层的湿膜厚度差分测量及均匀性评估方法是一种非在线式的测量方法。传感装置采用的是激光双测头,测量方法是一种差分式的测量方法。该方法解决了整个机械结构因震动等外因而引起的测量误差,测量精度较高。但是激光测头价格昂贵,并且双测头测量方法对测头的安装要求较高,上下激光测头如果测量的不是同一个点就会引起很大的测量误差。
国外的美国NDC公司是世界领先的在线检测及红外技术应用的制造商。其测厚仪能够保持对厚度测量的高精度,即使薄膜在传感器间隙内来回抖动,它是采用不同物质具有不同吸收波长的原理来可测量薄膜的厚度。它的近红外传感器具有测量精度高,不受环境温度影响,测量稳定,响应速度快和分辨率高的特点。但是在国内NDC公司的产品价格非常的昂贵,约是国产仪器的10倍以上。
英国SENCON公司的SC8800型号的在线测量装置能实现在线测量,其工作原理也是利用电机转动产生两个波长的光照射到涂层后再经过反射,对反射回来的型号在进行处理从而得到厚度值。此装置响应速度块工作效率高;测量精准,产品的质量得到保证;同时也是一种非接触式的在线测量方法;安装时比较方便拆卸也容易;可以通过网络远程监控,也内置多种国家的语言使用方便。但是价格昂贵,并且在他的生产在线只是在金属薄板上方的两侧固定安装了传感装置,因此只能测量整个金属薄板固定两条线的在线厚度值,所以其应用有局限性。
目前,就金属薄板表面印涂湿膜厚度的在线检测,并对测量得到的数据进行分析与曲面拟合从而对湿膜厚度进行评估的问题,尚未发现完整的相关资料和研究。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,可以方便高效的对湿膜厚度进行检测以及对涂层厚度进行在线评估。
为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种基于新型红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,主要由机械机构和测控系统两部分组成。
所述的机械机构包括Y向的进给机构和Z向的调整机构。
所述Z向的调整机构包括传感装置与Z向丝杠传动机构,传感装置固定在型材上再与滑块固定。中间连接板上两侧各安装一个导轨滑块机构起到Z向的导向作用。步进电机带动丝杠旋转控制滑块进行上下运动从而实现Z向测量机构的调整。
所述Y向的进给机构包括中间连接板和Y向同步齿形带传送机构。整个Z向调整机构固定在中间连接板上。步进电机带动齿形带转动,同步齿形带通过一个齿形带夹板与中间连接板连接组成Y向同步齿形带传送机构。通过Y向同步齿形带传送机构,Z向测量调整机构可以延Y向间歇运动。Y向测厚进给机构上固定红外传感装置,根据红外反射法测厚原理对金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量。
该测量方法是基于一种新型的红外反射式传感装置。该传感装置的测量原理为:测量光经透镜再经过分光棱镜后形成两条光路,这两条光路互相垂直,光路1不经过待测物体直接通过次检测器,通过两个不同滤光特性滤光片滤出两种波长的光,再交由次信号1处理单元、次信号2处理单元分别进行处理。而光路2通过照射被测物体,经反射后由凹面聚光镜汇聚再射向主检测器,在主检测器前设置与次探测器前设置的具有相同滤光特性的两个滤光片再次得到对应的两种光。将这两种光分别导入主信号1处理单元和主信号2处理单元进行处理,形成一种双光路、双波长对比的测量方法。
所述的测控系统由硬件和软件两部分组成。硬件部分采用运动控制卡、数据采集卡实现控制。运动控制卡通过上位机的输出的脉冲实现Y向和Z向的电机行程控制。数据采集卡采集限位开关的开关量信号,以此来判断传感装置的位置,同时采集光电开关的开关量信号,以此来判断经过生产线的金属薄板的位置和数目。软件部分采用LabVIEW图形化语言进行编程,实现运动的控制与数据的处理,完成金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量。
进一步,所述传感装置利用光的折射、干涉以及反射定律,对金属表面涂层厚度进行非接触式的测量。红外反射法测量系统响应的速度快,可用于金属表面涂层湿膜的在线测量与监控。
进一步,所述测量方式采用了比值测量,具有了光学自补偿性能,使仪器获得良好的稳定性和准确度。由于光源是首先经过涂层反射之后再经过滤光片进行滤光的,消除了因时间差而带来的误差。
进一步,所述在线测厚平台测量完成后即可以得到每一块金属薄板上特定位置单线测点的数据,同时也能评估一组金属薄板印涂厚度变化,然后运用MATLAB软件和神经网络法进行全板的曲面拟合,从而能够更加直观地观察与分析金属薄板印涂厚度变化的分布情况。从而对生产仪器进行调整使得产品的合格率得到提升。
进一步,所述传感装置再X方向进给6次实现对全板厚度更为全面的在线评估,在生产线运行的方向安装光电开关,用来控制传感装置在X向测完一遍时经过板的个数,所以全平面厚度评估是以一批板为最小度量单位,对一批板上的关键点印涂湿膜厚度进行测量与评估。
所述一种基于新型红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,其特征在于包括以下步骤:
第一步:打开红外传感器,使得传感装置复位。电机转动,带轮通过齿形带夹板与中间连接板连接。在齿形带夹板上装有限位开关,当限位开关检测到中间连接板的位置时,步进电机停止转动,复位完成;
第二步:调整传感装置与测量金属板之间距离,使得传感装置能够读取数据。Z向步进电机驱动线性模块控制型材上下运动,进而调整传感装置的位置。使得传感装置更为容易的被调整到其测量的范围之内;
第三步:控制生产线运行。设置传感装置每次Y向进给前测量的板数为5,当光电开关检测到经过的板数为5时,控制传感装置在Y方向进给100mm,然后传感装置继续测量,此时光电开关继续检测经过生产线的板数。当传感装置进给6次后,此时测得的所有数据记为一批板的关键点印涂湿膜厚度;
第四步:数据的处理。具体步骤如下:
A.对测量的数据进行预处理,即剔除异常值,对数据进行重组;
把5块板在一条测量线上的测量数据取均值,来表征这5块板在一条测量线上的平均厚度情况。同理,可得其它测量线上金属薄板印涂湿膜平均厚度情况;
B.根据处理后的数据进行曲线与曲面的拟合,实现对这一批(30块板)金
属薄板的印涂厚度的评估;
其中曲面拟合的具体步骤是:(1)对六条测量线的平均湿膜厚度值神经网络曲线拟合;(2)将曲线拟合得到的数据运用MATLAB软件进行神经网络曲面拟合;(3)根据两次拟合后的数据绘制三维图形,直观地显示这一批板的关键点印涂湿膜厚度。
本发明结构合理,使用方便,可以高效的对湿膜厚度进行检测以及对涂层厚度进行在线评估。
附图说明
图1是本发明提供的厚度检测系统的红外反射式测量光路原理图;
图2是本发明提供的厚度检测系统的红外反射式测量机械结构三维立体图;
图3是本发明提供的厚度检测系统的红外反射式测量机械结构局部三维立体图;
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是,对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明,但并不构成对本发明的限定。此外,下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
由图2、图3可知,一种基于新型红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,由机械机构以及测控系统两部分构成:
所述的机械机构包括Y向测量进给机构和Z向调整机构;其中Z向调整机构包括传感装置(28)与Z向丝杠传动机构,传感装置(28)通过连接板(25)固定在型材(29)上,型材(29)再与导轨滑块(24)固定;电机(23)控制滑块(24)进行上下运动实现Z向测量机构的调整;在中间连接板(20)上两侧安装导轨(22),型材(29)通过连接块(21)与导轨(22)连接,起到导向的作用。Y向的进给机构包括中间连接板(20)和Y向同步齿形带传送机构。整个Z向调整机构固定在中间连接板(20)上,长导轨(17)固定在横梁立柱(18)上,横梁立柱(18)与底座(12)固定。中间连接板(20)通过滑块安装在导轨(17)上。通过Y向同步齿形带传送机构,整个Z向调整机构可以延Y向间歇运动;Y向测量进给机构上固定红外传感装置,根据红外反射法测厚原理对金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量;在红外传感装置中:光源被分成两条光路,一条光路直接射向次探测器(4),另一条光路经过待测金属薄板再由汇聚透镜(8)汇聚射向主探测器(9),在两个探测器前分别设置相同滤光特性的两种滤光片,形成一种双光路双波长的对比测量方法;
所述测控系统采用运动控制卡(32)、数据采集卡(33)实现控制;运动控制卡(32)通过上位机的输出的脉冲实现Y向和Z向的电机行程控制;数据采集卡(33)采集限位开关(19)的开关量信号,以此来判断传感装置(28)的位置,同时采集光电开关(14)的开关量信号,以此来判断经过生产线的金属薄板的位置和数目;光电开关安装在金属薄板印涂生产线运行的方向;限位开关(19)装在齿形带夹板(31)上,Y向同步齿形带传送机构的带轮通过齿形带夹板(31)与中间连接板(20)连接。采用LabVIEW图形化语言进行编程,实现运动的控制与数据的处理,完成金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量。
如图1所示,所述的传感装置的测量原理为:测量光源(1)经透镜(2)再经过分光棱镜(3)后形成两条光路,这两条光路互相垂直,第一光路不经过待测物体直接通过次检测器(4),通过两个不同滤光特性滤光片滤出两种波长的光,再交由次信号1处理单元(5)、次信号2处理单元(6)分别进行处理。而第二光路通过照射被测物体(7),经反射后由凹面聚光镜(8)汇聚再射向主检测器(9),在主检测器(9)前设置与次探测器(4)前设置的具有相同滤光特性的两个滤光片,再次得到对应的两种光。将这两种光分别导入第一主信号处理单元(10)和第二主信号处理单元(11)进行处理,形成一种双光路、双波长对比的测量方法。
测量时,假设经过滤片5后的两个波长信号为a’和b’,其中a’为内部光路的测量信号,b’为内部光路的参考信号。同样在主探测器前设置的滤光片(此滤光片与次探测器上的滤光片滤光特性相同)滤出对应的两个波长信号为a和b,其中a为外部光路的测量信号,b为外部光路的参考信号。在一定厚度范围内涂层的厚度T可用下式表示:
其中A1为由现场标定的曲线的斜率,B1由现场标定曲线的截距。
进一步,所述传感装置利用光的折射、干涉以及反射定律,对金属表面涂层厚度进行非接触式的测量。红外反射法测量系统响应的速度快,可用于金属表面涂层湿膜的在线测量与监控。
进一步,所述测量方式采用了比值测量,具有了光学自补偿性能,使仪器获得良好的稳定性和准确度。由于光源是首先经过涂层反射之后再经过滤光片进行滤光的,消除了因时间差而带来的误差。
进一步,所述在线测厚平台测量完成后即可以得到每一块金属薄板上特定位置单线测点的数据,同时也能评估一组金属薄板印涂厚度变化,然后运用MATLAB软件和神经网络法进行全板的曲面拟合,从而能够更加直观地观察与分析金属薄板印涂厚度变化的分布情况。从而对生产仪器进行调整使得产品的合格率得到提升。
进一步,所述传感装置再X方向进给6次实现对全板厚度更为全面的在线评估,在生产线运行的方向安装光电开关,用来控制传感装置在X向测完一遍时经过板的个数,所以全平面厚度评估是以一批板为最小度量单位,对金属薄板表面印涂厚度进行测量与评估。
所述一种基于新型红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,其特征在于包括如下步骤:
第一步:打开红外传感装置(28),使其复位。电机(27)转动带动主动轮(26)及从动轮(30)转动。带轮通过齿形带夹板(31)与中间连接板(20)连接。在齿形带夹板(20)上装有限位开关(19),当限位开关(19)检测到中间连接板(20)的位置时,步进电机(27)停止转动,复位完成;
第二步:调整传感装置与测量金属板之间距离,使得传感装置能够读取数据。Z向步进电机(23)驱动线性模块控制型材(29)上下运动,进而调整传感装置(28)的位置。使得传感装置(28)更为容易的被调整到其测量的范围之内;
第三步:控制金属薄板印涂生产线运行。电机控制滚轴(13)转动,滚轴(13)带动带轮(15)运动,待测金属板(16)置于带轮(15)上。生产线上各个部件的运动参数为:待测金属薄板的运行速度为2m/s,板在运动方向的长度为1000mm,前后两块板之间的间隙为500mm,所以光电开关(14)检测到无板的时间为0.25s。传感装置在Y向进给一次的距离设为100mm,进给速度为0.4m/s。设置传感装置(28)每次Y向进给前测量的板数为5,当光电开关(14)检测到经过的板数为5时,控制传感装置在Y方向进给100mm,然后传感装置(28)继续测量,此时光电开关(14)继续检测经过生产线的板数。当传感装置(28)进给6次后,此时测得的所有数据记为一批板的关键点印涂湿膜厚度。重复上述步骤使得传感装置在进给方向来回往复运动,当测量出来的厚度超过预警值时,警报灯会响起,整个生产线停止运作,通过调整原先液态涂层的量进而控制印涂湿膜厚度值;
第四步:数据的处理。具体步骤如下:
A.对测量的数据进行预处理,即剔除异常值,对数据进行重组。
B.把5块板在一条测量线上的测量数据取均值,来表征这5块板在一条测量线上的平均厚度情况。同理,可得其它测量线上金属薄板印涂湿膜平均厚度情况;
C.根据处理后的数据进行曲线与曲面的拟合,实现对这一批(30块板)金属薄板的印涂厚度的评估。
其中曲面拟合的具体步骤是:(1)建立三层BP神经网络:隐含层神经元数为5,隐含层各个神经元激活函数为双正切型函数,输出层神经元激活函数为线性函数。最大允许误差eg=0.001,学习速率lr=0.01,最大步数me=18000。利用MATLAB中的trainbp或trainlm两种训练法进行训练练习。对六条测量线的平均湿膜厚度值进行神经网络曲线拟合;(2)利用MATLAB中的initff()函数初始化三层BP网络。隐含层神经元数为5,隐含层各个神经元激活函数为双正切型函数,输出层神经元激活函数为线性函数。最大允许误差eg=0.001,学习速率lr=0.01,最大步数me=18000。利用trainlm()函数进行训练学习,将曲线拟合得到的数据进行神经网络曲面拟合;(3)根据两次拟合后的数据绘制三维图形,直观地显示这一批板的关键点印涂湿膜厚度。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法,其特征是:采用基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统,所述基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统由机械机构以及测控系统两部分构成;所述的机械机构包括Y向测量进给机构和Z向调整机构;其中Z向调整机构包括红外反射式传感装置(28)与Z向丝杠传动机构,红外反射式传感装置(28)通过连接板(25)固定在型材(29)上,型材(29)再与导轨滑块(24)固定;第一步进电机(23)控制导轨滑块(24)进行上下运动实现Z向测量机构的调整;在中间连接板(20)上两侧安装导轨(22),型材(29)通过连接块(21)与导轨(22)连接,起到导向的作用;Y向测量进给机构包括中间连接板(20)和Y向同步齿形带传送机构;整个Z向调整机构固定在中间连接板(20)上,长导轨(17)固定在横梁立柱(18)上,横梁立柱(18)与底座(12)固定;中间连接板(20)通过滑块安装在长导轨(17)上;通过Y向同步齿形带传送机构,整个Z向调整机构可以沿Y向间歇运动;Y向测量进给机构上固定红外反射式传感装置,根据红外反射法测厚原理对金属薄板印涂厚度进行非接触式在线测量;在红外反射式传感装置中:光源被分成两条光路,一条光路直接射向次探测器(4),另一条光路经过待测金属薄板再由凹面汇聚透镜(8)汇聚射向主探测器(9),主探测器与次探测器前分别设置有不同滤光特性的两种滤光片,主探测器前的两种滤光片与次探测器前的两种滤光片的滤光特性分别相同,形成一种双光路双波长的对比测量方法;
所述测控系统采用运动控制卡(32)和数据采集卡(33)实现控制;运动控制卡(32)通过上位机输出的脉冲实现Y向和Z向的电机行程控制;数据采集卡 (33)采集限位开关(19)的开关量信号,以此来判断红外反射式传感装置(28)的位置,同时采集光电开关(14)的开关量信号,以此来判断经过生产线的金属薄板的位置和数目;光电开关安装在金属薄板印涂生产线运行的方向;限位开关(19) 装在齿形带夹板(31)上,Y向同步齿形带传送机构的带轮通过齿形带夹板(31)与中间连接板(20)连接;
在线检测方法是基于红外反射式传感装置进行测量:测量光经透镜(2)再经过分光棱镜(3)后形成两条光路,这两条光路互相垂直,第一光路不经过金属薄板直接通过次探测器(4),通过两个不同滤光特性滤光片滤出两种波长的光,再交由第一次信号处理单元(5)、第二次信号处理单元(6)分别进行处理;第二光路通过照射金属薄板(7),经反射后由凹面汇聚透镜(8)汇聚再射向主探测器(9),通过主探测器(9)前设置的两个滤光片,再次得到对应的两种光;将这两种光分别导入第一主信号处理单元(10)和第二主信号处理单元(11)进行处理;经过次探测器(4)后的两个波长信号为a’和b’,其中a’为内部光路的测量信号,b’为内部光路的参考信号,同样在主探测器前面设置的滤光片滤出对应的两个波长信号为a和b,其中a为外部光路的测量信号,b为外部光路的参考信号;在一定厚度范围内涂层的厚度T可用下式表示:
,其中为现场标定的曲线的斜率,为现场标定曲线的截距;代入数据以后即可得到金属薄板上某一点的涂层湿膜厚度;
检测步骤:
第一步:打开红外传感器,使红外反射式传感装置复位,复位动作由Y向测量进给机构来完成;第二步进电机(27)转动,带轮通过齿形带夹板(31)与中间连接板(20)连接;在齿形带夹板(31)上装有限位开关(19),当限位开关(19)检测到中间连接板(20)的位置时,第二步进电机(27)停止转动,复位完成;
第二步:调整红外反射式传感装置与金属薄板之间距离,使得红外反射式传感装置能够读取数据;调整红外反射式传感装置的位置靠Z向调整机构来完成;Z向第一步进电机(23)控制型材(29)上下运动,进而调整红外反射式传感装置(28)的位置;使得红外反射式传感装置(28)更为容易的被调整到其测量的范围之内;
第三步:控制金属薄板印涂生产线运行;生产线运行靠X向运动机构来完成;设置红外反射式传感装置(28)每次Y向进给前测量的金属薄板数为5,当光电开关(14)检测到经过的金属薄板数为5时,控制红外反射式传感装置在Y方向进给100mm,然后红外反射式传感装置(28)继续测量,此时光电开关(14)继续检测经过生产线的金属薄板;当红外反射式传感装置(28)进给6次后,此时测得的所有数据记为一批金属薄板的关键点印涂湿膜厚度;
第四步:数据的处理,具体步骤如下:
(A)对测量的数据进行预处理,即剔除异常值,对数据进行重组;
把5块金属薄板在一条测量线上的测量数据取均值,来表征这5块金属薄板在一条测量线上的平均厚度情况;同理,可得其它测量线上金属薄板印涂湿膜平均厚度情况;
(B)根据处理后的数据进行曲线与曲面的拟合,实现对这一批金属薄板的印涂厚度的评估;
其中曲面拟合的具体步骤是:(1)对六条测量线的平均湿膜厚度值运用MATLAB软件进行神经网络曲线拟合;(2)将曲线拟合得到的数据运用MATLAB软件进行神经网络曲面拟合;(3)根据两次拟合后的数据绘制三维图形,直观地显示这一批金属薄板的关键点印涂湿膜厚度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711398642.1A CN108168446B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610192586.5A CN105783743B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
CN201711398642.1A CN108168446B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610192586.5A Division CN105783743B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108168446A CN108168446A (zh) | 2018-06-15 |
CN108168446B true CN108168446B (zh) | 2019-12-17 |
Family
ID=56392107
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711398642.1A Active CN108168446B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 |
CN201610192586.5A Active CN105783743B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
CN201711398641.7A Active CN108168445B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 使用方便的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610192586.5A Active CN105783743B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
CN201711398641.7A Active CN108168445B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 使用方便的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (3) | CN108168446B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108942403B (zh) * | 2018-06-26 | 2019-08-02 | 北京理工大学 | 一种精确控制透镜厚度的加工方法 |
CN109405770B (zh) * | 2018-11-02 | 2020-12-25 | 上海华力微电子有限公司 | 一种通过光阻膜厚监控涂胶显影机台涂胶槽水平程度的方法 |
CN115804466A (zh) * | 2022-12-02 | 2023-03-17 | 南通金源新材料有限公司 | 一种稠浆法烟草薄片厚度反馈调节方法 |
CN117739875B (zh) * | 2024-02-19 | 2024-04-23 | 湖南沃尔博精密工具有限公司 | 一种基于光电效应的刀具涂层均匀性检测系统及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4549079A (en) * | 1981-12-29 | 1985-10-22 | Chugai Ro Kogyo Co., Ltd. | Apparatus for measuring thickness of paint coating |
CN201273814Y (zh) * | 2008-07-04 | 2009-07-15 | 上海曙光机械制造厂有限公司 | 在线铝膜测厚装置 |
CN102735176A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-17 | 浙江大学 | 一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法 |
CN103003661A (zh) * | 2011-02-24 | 2013-03-27 | 康宁股份有限公司 | 用于测量膜厚度的方法和设备 |
CN103415757A (zh) * | 2010-12-20 | 2013-11-27 | 霍尼韦尔阿斯卡公司 | 用于测量包含反射层的产品的厚度或重量的单侧红外传感器 |
CN104613883A (zh) * | 2015-02-11 | 2015-05-13 | 南通大学 | 金属薄板印刷涂层的湿膜厚度差分测量及均匀性评估方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101512783B1 (ko) * | 2011-10-26 | 2015-04-16 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 막두께 측정방법 |
-
2016
- 2016-03-30 CN CN201711398642.1A patent/CN108168446B/zh active Active
- 2016-03-30 CN CN201610192586.5A patent/CN105783743B/zh active Active
- 2016-03-30 CN CN201711398641.7A patent/CN108168445B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4549079A (en) * | 1981-12-29 | 1985-10-22 | Chugai Ro Kogyo Co., Ltd. | Apparatus for measuring thickness of paint coating |
CN201273814Y (zh) * | 2008-07-04 | 2009-07-15 | 上海曙光机械制造厂有限公司 | 在线铝膜测厚装置 |
CN103415757A (zh) * | 2010-12-20 | 2013-11-27 | 霍尼韦尔阿斯卡公司 | 用于测量包含反射层的产品的厚度或重量的单侧红外传感器 |
CN103003661A (zh) * | 2011-02-24 | 2013-03-27 | 康宁股份有限公司 | 用于测量膜厚度的方法和设备 |
CN102735176A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-17 | 浙江大学 | 一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法 |
CN104613883A (zh) * | 2015-02-11 | 2015-05-13 | 南通大学 | 金属薄板印刷涂层的湿膜厚度差分测量及均匀性评估方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108168445A (zh) | 2018-06-15 |
CN108168445B (zh) | 2019-12-17 |
CN108168446A (zh) | 2018-06-15 |
CN105783743A (zh) | 2016-07-20 |
CN105783743B (zh) | 2018-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108168446B (zh) | 基于红外反射法的金属薄板印涂湿膜厚度在线检测方法 | |
KR100437024B1 (ko) | 박막 검사 방법 및 그 장치 | |
TWI426227B (zh) | 移動樣品之形貌的量測方法及其裝置 | |
US20050174567A1 (en) | Crack detection system | |
CN107121095B (zh) | 一种精确测量超大曲率半径的方法及装置 | |
US20100315653A1 (en) | Optical sensor for positioning tasks | |
JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
CN101819165A (zh) | 用于检测图案化基板的缺陷的方法及系统 | |
JPH01121711A (ja) | センサ装置 | |
KR100876257B1 (ko) | 광학적 측정 방법 및 그 장치 | |
US8279410B2 (en) | Optical measurement instrument for body height | |
JPH06509875A (ja) | 反射性の表面の生理的印象を定量化して評価する方法および装置 | |
CN109000797A (zh) | 一种镭射烟标色差测量方法 | |
CN108801463A (zh) | 一种镭射烟标色差测量装置 | |
JP2007163340A (ja) | 板長さ測定装置及び板長さ測定方法 | |
CN110470608A (zh) | 一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置 | |
CN108759690B (zh) | 工作效果好的基于双光路红外反射法的涂层测厚仪 | |
JPH04157344A (ja) | ガラス歪自動測定装置 | |
CN114383500A (zh) | 一种多参数检测方法与装置 | |
KR20100026619A (ko) | 디스플레이용 평판 유리 검사 장치 및 그 방법 | |
CN109059809A (zh) | 一种采集带钢上下表面毛刺和浪形数据的方法 | |
JP3218723B2 (ja) | 干渉計装置 | |
RU1795277C (ru) | Измерительный комплекс дл контрол шероховатости поверхностей | |
JPH0356826A (ja) | 流速測定法 | |
CN115655125A (zh) | 用于盖板玻璃油墨厚度在线检测方法及设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB03 | Change of inventor or designer information | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Xu Yiming Inventor after: Lu Guan Inventor after: Qiu Zixue Inventor after: Cao Guan Inventor after: Deng Yong Inventor after: Yuan Jiang Inventor after: Shao Jianxin Inventor after: Cai Ting Inventor before: Xu Yiming Inventor before: Lu Guan |
|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |