CN110470608A - 一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置，属于光电成像与计算机技术领域。本发明包括：（1）构造偏振成像装置，从目标物体端到成像端，依次包括照明光源、汇聚透镜、旋转架、位于旋转架上的偏振片、相机、控制器，在相机前置入偏振片，偏振片可旋转，旋转架的旋转和相机成像均由控制器控制；（2）构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库，使用控制器控制自动化偏振成像并计算，获取光滑度指标。本发明基于光学成像链路计算一体化思维，面向待测物体，即可实现光滑度或者粗糙度的精确判定。利用光学硬件设计与软件计算相结合，直接面向目标物体，能有效实时地给出光滑度/粗糙度指标等级。
Description
技术领域
本发明涉及光电成像与计算机技术领域，更具体地，涉及一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置。
背景技术
现代制造加工工艺不断提升，对各类零件或物体的表面光滑度/粗糙度的测量要求越来越高，一是速度，二是精度，三是成本。光学方法测量光滑度有着长久的历史，尤其是非接触的方式更是研究追求的目标，因为非接触不会损伤物体表面。通常，光学间接测量法又分为有散射法、散斑法、光学触针法、干涉衍射法、光纤传感法等，但基础的思路都是基于反射或者散射的状况来确定表面光滑度或者粗糙度。
典型的测量方法，如散射法测量物体表面光滑度/粗糙度。用一束光经过一柱面透镜，透射光束经过一物镜聚焦为光点，聚焦光点照射在被测表面上。物体表面上被照射着的光点通过物镜成像于一特定位置。当光点与物镜距离(光轴方向)前后变化时，则成像位置也会移动。若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化，也就是可以检测光束直径的变化量来判定成像位置。在物镜后面插入一块只能在垂直于光轴的平面上、竖直方向聚焦的柱面透镜，则竖直方向的成像将往前移动，以后光束便发散。由于在垂直于光轴方向的平面上2个垂直方向上(水平方向和竖直方向)成像位置的不同，光束呈椭圆状。光点远离物镜时，则为长轴在竖直方向的椭圆；相反，靠近物镜时，则为长轴在水平方向的椭圆。用光电探测器(四等分光电二极管)作为传感器，光束经光电转换后，再经放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的精确输出信号。可参考文献：王政平，张锡芳，张艳娥.表面粗糙度光学测量方法研究进展.传感器与微系统,2007,26(9):4-6.
一般的测量策略就是基于重复操作与后期计算结合的算法，有的需要高级设备与装置，耗时耗力，成本较高，且反射型的思路对于强烈的镜面反射时会出现过曝而难以区分细微光滑度。目前，还没有研究者使用偏振手段直接测量物体的光滑度/粗糙度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置，再辅助简单的后处理的方法及装置，有效地避免后处理过程中计算时间长，在成像过程中先进行偏振光学信息分析，其基于成像硬件与算法软件计算结合的方式，利用可见光波段偏振片的经济实惠与单片机的控制与简单运算，旨在解决目前的光学非接触测量方法而导致操作复杂、耗时多等问题，实现光滑度/粗糙度测定。
为实现上述目的，本发明提供了一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置，主要思路体现为：设计构造自动化偏振成像系统装置(简称偏振成像装置)；构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库；使用自动化偏振成像，基于STM32单片机简单计算，获取光滑度指标。具体如下：
一种利用偏振成像测定物体光滑度的装置，包括相机，从目标物体端到成像端，依次包括照明光源，汇聚透镜，旋转架、位于旋转架上的偏振片、相机、控制器，在相机前置入偏振片，偏振片可旋转，旋转架的旋转和相机成像均由控制器控制。
进一步的，所述的照明光源采用自然光或者其他非偏振光。
进一步的，所述的目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机均处于同一光轴上。
一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，包括以下步骤：
(1)构造偏振成像装置，从目标物体端到成像端，依次包括照明光源、汇聚透镜、旋转架、位于旋转架上的偏振片、相机、控制器，在相机前置入偏振片，偏振片可旋转，旋转架的旋转和相机成像均由控制器控制；
(2)构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库，使用控制器控制自动化偏振成像并计算偏振角图数据，获取光滑度指标。
进一步的，所述偏振成像装置的设计为：
目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机均处于同一光轴上，照明光源采用自然光或者其他非偏振光。
进一步的，所述的控制器控制自动化偏振成像的方法为：利用照明光源照明目标物体，调整照明角度，使得经目标物体的反射光路平行光轴并可进入汇聚透镜；光线经汇聚透镜成像于相机位置。
进一步的，构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库的方法为：
对光滑度划定指标，将光滑度分为M(0，1，…，M-1)个等级；
利用偏振成像装置，面向已知光滑度等级的物体，获取计算偏振角图像，计算目标物体在偏振角图上的局部方差，构建光滑度等级i(i＝0，1，…，M-1)与该局部方差σi的对应关系；面向不同的光滑度，不同材质的物体，计算大量数据，由此获取“偏振角图vs光滑度数据库”。
进一步的，所述的偏振角图的计算方法为：
物体的偏振信息用Stokes图像，起偏角θ与Stokes参量之间存在公式(1)所示的关系，I(θ,0)表示获得的光强图像，S0、S1、S2表示Stokes的三个分量；
I(θ,0)＝S0+S1cos(2θ)+S2sin(2θ) (1)
为利用光强图像求取S0、S1、S2三个分量，旋转偏振片，可在360°内N个角度采集N幅图像，然后根据(1)式计算偏振参数图像
式中：θj＝2πj/N。则偏振角图(Orient)可用公式(5)来描述，
进一步的，在面向待测物体时，通过计算获取光滑度指标，表现在：
使用自动化偏振成像装置，利用控制器计算获取待测物体x偏振角度图，获取物体区域的方差σx，结合“偏振角图vs光滑度数据库”，基于控制器分析其位于对应的光滑度等级，最终获取光滑度指标等级。
进一步的，所述的控制器采用STM32系列单片机。
本发明的有益效果与优势：
现有的光滑度或者粗糙度，操作要求高，且都不是自动化的，耗时耗力，未能一体化观测；并且，基于反射或者散射，如果由于光滑度较高出现镜面反射，那是非常强烈的反光，图像上极有可能过曝甚至难以区分光滑度。而本发明则是基于偏振成像，融入了直接光学分析手段，一方面直接利用控制器一体化，大大提升了速度，也减少了由于大量运算带来的耗能；另一方面，多角度偏振成像获取，可以有效避免由于镜面反射带来的负面影响，提升了评估光滑度的能力。光滑度在计算速度与能力的提升，可广泛应用于工件零件监控、精密器件合格与否的生产线一体化观测判断等具体的民用任务中。
附图说明
图1为本发明的处理流程图；
图2为本发明中偏振成像装置的工作原理简图；
图3(a)为本发明具体实施例中为较光滑铝块在起偏角θ＝0时的图；
图3(b)为本发明具体实施例中为较光滑铝块的偏振角图；
图3(c)为本发明具体实施例中为较粗糙铝块在起偏角θ＝0时的图；
图3(d)为本发明具体实施例中为较粗糙铝块的偏振角图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合说明书附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。
以下结合附图图1至图3(d)及实施例对本发明的实施作进一步说明，这里以铝块表面光滑度为例。
如图1所示，本发明包括以下步骤：
1、构造偏振成像装置。
面向目标物体，如图3(a)为较为光滑的铝块，图3(c)为较为粗糙的铝块。
将目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机如图2所示搭建，目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机均处于同一光轴上。照明光源采用自然光/非偏振光照明目标物体，调整照明角度，使得经目标物体的反射光路平行光轴并可进入汇聚透镜；光线经汇聚透镜可成像于相机位置；在相机前置入偏振片，该偏振片置于旋转架上，使得偏振片可旋转。STM32单片机作为控制器控制偏振片旋转角度，θ从0°开始，每隔30°获取图像，图像由STM32单片机控制相机成像采集，以便于后续计算偏振角图。
2、构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库。
一方面，对光滑度划定指标，将光滑度分为M(0，1，…，M-1)个等级；另一方面，利用偏振成像装置，面向已知光滑度等级的物体，获取计算偏振角图像，计算目标物体在偏振角图上的局部方差，构建光滑度与该局部方差的对应关系，即光滑度等级i(i＝0，1，…，M-1)与σi的对应关系；面向不同的光滑度，不同材质的物体，计算大量数据，由此获取“偏振角图vs光滑度数据库”。
偏振角图的计算方式如下：
物体的偏振信息可以用Stokes图像，起偏角θ与Stokes参量之间存在公式(1)所示的关系，I(θ,0)表示获得的光强图像，S0、S1、S2表示Stokes的三个分量。
I(θ,0)＝S0+S1cos(2θ)+S2sin(2θ) (6)
为利用光强图像求取S0、S1、S2三个分量，旋转偏振片，可在360°内N个角度采集N幅图像，然后根据(1)式计算偏振参数图像
式中：θj＝2πj/N。则偏振角图(Orient)可用公式(5)来描述，
由此获取的图即偏振角图。
3、面向实际物体，计算获取光滑度指标。
对于未知光滑度的待测铝块，使用自动化偏振成像装置，利用STM32单片机计算获取待测物体偏振角度图(获取方式如2中的偏振角图的计算方式)，如图3(b)所示，为较光滑铝块的偏振角图，图3(d)为较粗糙铝块的偏振角图。结合“偏振角图vs光滑度数据库”，基于STM32单片机简单计算判定待测铝块的偏振角度的物体方差接近库中的哪个等级，由此获取光滑度指标等级，0级(较光滑)或者1级(较粗糙)。
在本发明的具体实施例中，为简单说明，所用到的光滑度只用了M＝2个等级，并且只对铝块进行了建库。在实际应用中，一般M>10(以精密区分)，材质层面包括较多的金属、木材、塑料等各类材质，具体可根据工业等应用要求来决定。
Claims (10)
1.一种利用偏振成像测定物体光滑度的装置，包括相机，其特征在于从目标物体端到成像端，依次包括照明光源、汇聚透镜、旋转架、位于旋转架上的偏振片、相机、控制器，在相机前置入偏振片，偏振片可旋转，旋转架的旋转和相机成像均由控制器控制。
2.根据权利要求1所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的装置，其特征在于所述的照明光源采用自然光或者其他非偏振光。
3.根据权利要求1所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的装置，其特征在于所述的目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机均处于同一光轴上。
4.一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)构造偏振成像装置，从目标物体端到成像端，依次包括照明光源、汇聚透镜、旋转架、位于旋转架上的偏振片、相机、控制器，在相机前置入偏振片，偏振片可旋转，旋转架的旋转和相机成像均由控制器控制；
(2)构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库，使用控制器控制自动化偏振成像并计算偏振角图数据，获取光滑度指标。
5.根据权利要求4所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于，所述偏振成像装置的设计为：
目标物体、汇聚透镜、偏振片、相机均处于同一光轴上，照明光源采用自然光或者其他非偏振光。
6.根据权利要求4或5所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于所述的控制器控制自动化偏振成像的方法为：利用照明光源照明目标物体，调整照明角度，使得经目标物体的反射光路平行光轴并可进入汇聚透镜；光线经汇聚透镜成像于相机位置。
7.根据权利要求4所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于构建物体偏振角图与光滑度对应关系数据库的方法为：
对光滑度划定指标，将光滑度分为M(0，1，…，M-1)个等级；
利用偏振成像装置，面向已知光滑度等级的物体，获取计算偏振角图像，计算目标物体在偏振角图上的局部方差，构建光滑度等级i(i＝0，1，…，M-1)与该局部方差σi的对应关系；面向不同的光滑度，不同材质的物体，计算大量数据，由此获取“偏振角图vs光滑度数据库”。
8.根据权利要求7所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于所述的偏振角图的计算方法为：
物体的偏振信息用Stokes图像，起偏角θ与Stokes参量之间存在公式(1)所示的关系，I(θ,0)表示获得的光强图像，S0、S1、S2表示Stokes的三个分量；
I(θ,0)＝S0+S1 cos(2θ)+S2 sin(2θ) (1)
为利用光强图像求取S0、S1、S2三个分量，旋转偏振片，可在360°内N个角度采集N幅图像，然后根据(1)式计算偏振参数图像
式中：θj＝2πj/N；则偏振角图(Orient)可用公式(5)来描述，
9.根据权利要求4所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于，在面向待测物体时，通过计算获取光滑度指标，表现在：
使用自动化偏振成像装置，利用控制器计算获取待测物体x偏振角度图，获取物体区域的方差σx，结合“偏振角图vs光滑度数据库”，基于控制器分析其位于对应的光滑度等级，最终获取光滑度指标等级。
10.根据权利要求4、5、7、8、9任一所述的一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法，其特征在于所述的控制器采用STM32系列单片机。
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110470608A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110929691A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种冰层检测方法、装置、设备及可读存储介质 |
| CN111308494A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-06-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种物体表面结冰检测系统 |
| CN113055566A (zh) * | 2021-02-23 | 2021-06-29 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于分时法的快速偏振成像装置及方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100039646A1 (en) * | 2006-10-20 | 2010-02-18 | Thales | Polarimetric imaging system having a matrix of programmable waveplates based on a material with an isotropic electrooptic tensor |
| CN104880161A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-09-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法 |
| CN108414088A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 南京理工大学 | 一种高光谱显微偏振成像装置与方法 |
| CN109781665A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-05-21 | 大连理工大学 | 一种采用偏振激光散射检测半导体材料亚表面损伤的装置 |
| CN109840899A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-04 | 上海理工大学 | 一种基于深度卷积神经网络的粗糙度等级识别方法 |
-
2019
- 2019-08-15 CN CN201910756608.XA patent/CN110470608A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100039646A1 (en) * | 2006-10-20 | 2010-02-18 | Thales | Polarimetric imaging system having a matrix of programmable waveplates based on a material with an isotropic electrooptic tensor |
| CN104880161A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-09-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法 |
| CN108414088A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 南京理工大学 | 一种高光谱显微偏振成像装置与方法 |
| CN109781665A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-05-21 | 大连理工大学 | 一种采用偏振激光散射检测半导体材料亚表面损伤的装置 |
| CN109840899A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-04 | 上海理工大学 | 一种基于深度卷积神经网络的粗糙度等级识别方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 张国雄: "表面粗糙度测量的新方法", 《工艺与检测》 * |
| 白清等: "多核并行DSP光场偏振图像快速处理技术", 《计算机工程与应用》 * |
| 韩勇等: "快速旋转式偏振成像探测装置的设计", 《光学精密工程》 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110929691A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种冰层检测方法、装置、设备及可读存储介质 |
| CN111308494A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-06-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种物体表面结冰检测系统 |
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