DE102010031919A1 - Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie - Google Patents

Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie Download PDF

Info

Publication number
DE102010031919A1
DE102010031919A1 DE102010031919A DE102010031919A DE102010031919A1 DE 102010031919 A1 DE102010031919 A1 DE 102010031919A1 DE 102010031919 A DE102010031919 A DE 102010031919A DE 102010031919 A DE102010031919 A DE 102010031919A DE 102010031919 A1 DE102010031919 A1 DE 102010031919A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
infrared
carrier
detector
measuring probe
reference detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102010031919A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102010031919B4 (de
Inventor
Martin Kram
Gerhard Röhner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schaeffler Technologies AG and Co KG
Original Assignee
Carl Freudenberg KG
Schaeffler Technologies AG and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Freudenberg KG, Schaeffler Technologies AG and Co KG filed Critical Carl Freudenberg KG
Priority to DE102010031919.8A priority Critical patent/DE102010031919B4/de
Publication of DE102010031919A1 publication Critical patent/DE102010031919A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102010031919B4 publication Critical patent/DE102010031919B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/27Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
    • G01N21/274Calibration, base line adjustment, drift correction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3577Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing liquids, e.g. polluted water

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarot-Spektroskopie und ein Verfahren zu ihrer Herstellung. Die Messsonde umfasst mindestens einen Infrarot-Sender (02) und einen Infrarot-Detektor (09). Erfindungsgemäß umfasst die Messsonde weiterhin einen Referenzdetektor (03), wobei der Infrarot-Detektor (09) und der Referenz-Detektor (03) auf zueinander beabstandeten Flächen (01, 06) angeordnet sind.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums, insbesondere zur Analyse eines Schmiermittels in einem Gleit- oder Wälzlager, mittels Infrarotspektroskopie gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Messsonde.
  • Gattungsgemäße Sensoren bzw. Messsonden umfassen mindestens einen Infrarotsender und einen Infrarotdetektor.
  • Das Verfahren der Infrarotspektroskopie gehört zu den Methoden der Molekülspektroskopie, die auf der Anregung von Energiezuständen in Molekülen beruhen. Die IR-Spektroskopie wird zur quantitativen Bestimmung von bekannten Substanzen, deren Identifikation anhand eines Referenzspektrums erfolgt, oder zur Strukturaufklärung unbekannter Substanzen genutzt. Heutzutage kommen hauptsächlich Fouriertransformations-Infrarotspektrometer (FTIR-Spektrometer) zum Einsatz. Es gibt verschiedene Infrarotspektroskopie-Techniken: Transmission, Reflexion und Absorption, diffuse Reflexion (DRIFTS) und abgeschwächte Totalreflexion (ATR).
  • Aus der DE 199 21 304 A1 ist ein Verfahren zur Prüfung von Schmierstoffen bekannt, bei welchem der zu prüfende Schmierstoff einer mechanisch dynamischen Prüfung unterzogen und vor und nach der mechanisch dynamischen Prüfung untersucht wird. Das Verfahren eignet sich zur Vorbestimmung, ob sich die Durchführung eines Langzeitprüfverfahrens lohnt. Zu Beginn des Prüfverfahrens wird eine Probe des zu prüfenden Schmierstoffes beispielsweise für ein Wälzlager bei Zimmertemperatur entnommen, auf einem Objektträger in einer Firmdicke von ca. 25 bis 50 μm aufgetragen und unter ein Lichtmikroskop gelegt. Ein angeschlossenes Infrarotspektrometer misst innerhalb eines vorgegebenen Wellenzahlbereichs die Infrarotabsorption. Anschließend wird der Schmierstoff einer mechanisch-dynamischen Prüfung in einem Shell-Vierkugel-Apparat eingebracht, wo er belastet und dabei erwärmt wird. Eine zweite Probe wird nach dieser Prüfung entnommen und in gleicher Weise wie die erste Probe untersucht. Zur Auswertung erfolgt ein Vergleich der beiden entnommenen Schmierstoffproben. Hierfür werden die aus beiden Proben ermittelten Histogramme durch Differenzbildung miteinander verglichen.
  • Aus der EP 1 980 840 A1 sind ein Sensor zur Erkennung einer Schmiermittelverschmutzung und ein Lager mit einem solchen Detektor bekannt. Der Sensor umfasst eine Lichtsendeeinheit und eine Lichtempfangseinheit, welche so angeordnet sind, dass zwischen ihnen eine Lücke verbleibt, in der das Schmiermittel ein zu erkennendes Objekt bildet. Der Sensor umfasst weiterhin eine Recheneinheit zur Bestimmung einer Lichtdurchlässigkeit des Schmiermittels in Referenz zu einer Ausgabe der Lichtsendeeinheit. Aus der Lichtdurchlässigkeit des Schmiermittels wird dann auf den Grad der Verschmutzung geschlossen. Das Schmiermittel ist jeweils zwischen Sende- und Empfangseinheit angeordnet. Bei der Verwendung in einem Wälzlager wird vorgeschlagen, Lichtleitkabel zu verwenden.
  • Aus der WO 2009/030202 A1 ist eine Messvorrichtung zur Analyse des Schmiermittels eines Lagers bekannt, welche einen Sender und einen Empfänger von Infrarot-Strahlung umfasst, wobei ein Probenbereich zwischen dem Sender und dem Empfänger angeordnet ist und sich der Probenbereich mindestens abschnittsweise im Inneren des Lagers befindet. Der Empfänger liefert ein Spektrum der von dem Probenbereich veränderten elektromagnetischen Strahlung. Vorzugsweise ist hierbei vorgesehen, dass in dem Probenbereich eine Reflexion, insbesondere eine totale Reflexion der von dem Sender ausgestrahlten Infrarotstrahlung stattfindet. In diesem Fall liefert das Reflexionsspektrum, beispielsweise das Spektrum bei diffuser Reflexion bzw. das Spektrum bei Totalreflexion die Information über die chemische Zusammensetzung des Schmiermittels. In der Anordnung sind Sender und Empfänger benachbart zueinander angeordnet, sodass die Messanordnung kleinbauend ausgelegt werden kann. Mit dieser Anordnung ist keine Referenzmessung möglich.
  • Mittels der MID(molded interconnected devices)-Technologie lassen sich zwar beispielsweise durch Heißprägen Laserstrukturierung unter Einsatz von Masken oder hinterspritzten Folien dreidimensionale Bauteile fertigen. Messsonden für Infrarotdetektoren lassen sich jedoch aufgrund der sehr geringen Abmessungen (einige Millimeter für die Messsonde insgesamt) nicht zuverlässig in großen Stückzahlen fertigen.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Messsonde und ein Verfahren zu deren Herstellung bereitzustellen, welche bei extrem kleinen Abmessungen in großer Stückzahl einfach und kostengünstig herstellbar ist. Die Messsonde soll dabei in der Lage sein, eine Referenzmessung der ausgesendeten Infrarotstrahlung durchzuführen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Messsonde mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Verfahren zur Herstellung einer Messsonde mit den Merkmalen des Anspruchs 6 gelöst.
  • Eine erfindungsgemäße Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie umfasst mindestens einen Infrarot-Sender und einen Infrarot-Detektor.
  • Erfindungsgemäß umfasst die Messsonde weiterhin einen Referenzdetektor, wobei der Infrarot-Detektor und der Referenzdetektor auf voneinander beabstandeten Flächen, also in mindestens zwei Etagen innerhalb der Messsonde angeordnet sind. Folglich ist der Infrarot-Detektor auf einer ersten Fläche angeordnet, während der Referenzdetektor auf einer zweiten Fläche angeordnet ist, wobei die erste Fläche von der zweiten Fläche beabstandet ist. Die erste Fläche und die zweite Fläche sind bevorzugt parallel zueinander angeordnet. Die erste Fläche und die zweite Fläche sind bevorzugt senkrecht zur Messrichtung angeordnet. Der Infrarot-Detektor ist bevorzugt mittig über dem Referenzdetektor angeordnet, sodass eine den Infrarot-Detektor und den Referenzdetektor verbindende Gerade senkrecht zu der ersten Fläche und zu der zweiten Fläche ausgerichtet ist.
  • Die Vorteile der Messsonde mit Referenzmessung sind insbesondere darin zu sehen, dass Einflussfaktoren, welche beim Betrieb des Lagers entstehen, ausgeblendet werden können. Beispielsweise kann durch die direkte Referenzmessung ein Vergleich der zeitgleich von beiden Detektoren erfassten Spektren erfolgen, wobei beide Spektren bei denselben Bedingungen (Temperatur, Drehzahl des Wälzlagers usw.) aufgenommen werden. Das heißt, das aufgenommene Spektrum muss nicht mit einem in einer Datenbank gespeicherten Referenzspektrum für das entsprechende Schmiermittel verglichen werden, welche möglicherweise bei einer anderen Temperatur des Mediums bzw. des Schmiermittels aufgenommen wurde und daher eine andere Vergleichsgrundlage bietet. Es muss lediglich dafür gesorgt werden, dass ein Teil des von dem Infrarot-Sender ausgesendeten Licht direkt im Referenzdetektor empfangen wird, ohne durch das Medium beeinflusst worden zu sein.
  • Durch die erfindungsgemäße Anordnung von Referenzdetektor und Infrarot-Detektor auf zueinander beabstandeten Flächen, vergleichbar mit zwei Etagen, lässt sich der Referenzdetektor sehr einfach mit mikroelektronischen Standard-Bauteilen durch Anwendung herkömmlicher Bestückungstechnik aufbauen, wobei die gesamte Messsonde nur einen sehr kleinen Bauraum benötigt.
  • Vorzugsweise sind die elektronischen Komponenten der Messsonde als so genannte Dies (Nacktchips aus einem Halbleitersubstrat) ausgeführt.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Messsonde weiterhin eine Reflexionsfläche, welche mit dem zu untersuchenden Medium eine Grenzfläche bildet, an der die vom Infrarot-Sender ausgesendeten Wellen reflektiert vom Infrarot-Detektor empfangen werden.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführungsform umfasst die Messsonde eine Spiegelfläche, an der das ausgesendete Infrarotlicht innerhalb der Messsonde reflektiert und von dem Referenzdetektor empfangen wird. Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Spiegelfläche auf derselben Fläche (Etage) angeordnet wird wie der Infrarot-Detektor, jedoch beide auf verschiedenen Seiten der Fläche, sodass die Spiegelfläche dem Referenzdetektor zugewandt ist. Die Spiegelfläche kann auf alle möglichen Arten ausgeführt sein, sofern sie möglichst eine Totalreflexion der IR-Strahlung gestattet.
  • Der Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, dass der Referenzdetektor gleichzeitig durch den etagenartigen Aufbau von dem vom Medium reflektierten Infrarot-Licht weitgehend abgeschottet ist, was die Referenzmessung einfach und zuverlässig macht.
  • In einer besonders gut für die automatisierte Fertigung geeigneten Ausführungsvariante sind der Infrarot-Sender und der Referenzdetektor auf einem Träger angeordnet, wobei der Infrarot-Detektor und die Spiegelfläche auf einem Brückenelement ausgebildet sind. Dabei ist die Spiegelfläche dem Träger zugewandt und der Infrarot-Detektor ist auf dem Brückenelement dem Träger abgewandt. Das Brückenelement und der Träger sind vorzugsweise durch Stützelemente verbunden.
  • Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarot-Spektroskopie erfolgt unter Anwendung einer Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und umfasst folgende Schritte:
    • – Bereitstellen eines Trägers;
    • – Anordnen und Befestigen mindestens jeweils eines Infrarot-Senders und eines Referenzdetektors auf dem Träger;
    • – Anordnen und beabstandetes Befestigen eines Brückenelementes, das auf jeweils einer seiner flachen Seiten einen Infrarot-Detektor und eine Spiegelfläche trägt, auf dem Träger, wobei die Spiegelfläche dem Referenzdetektor zugewandt ist.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren wird bevorzugt zur Herstellung der erfindungsgemäßen Messsonde durchgeführt.
  • Vorzugsweise werden vier Infrarot-Sender auf dem Umfang des Trägers gleichmäßig verteilt angeordnet, es können aber ebenso mehr oder weniger Infrarot-Sender verwendet werden.
  • Vorzugsweise wird das Brückenelement mit mindestens einem Stützelement auf dem Träger durch Kleben mit einem elektrisch leitenden Kleber befestigt.
  • Das Stützelement ist im einfachsten Fall durch zwei Stützpfeiler gebildet, kann aber beispielsweise auch ein Hohlzylinder sein, der entsprechende Durchlassöffnungen für das Infrarotlicht aufweist.
  • Bei einer abgewandelten Durchführung des Verfahrens wird ein Verbund aus vorzugsweise zwei Stützelementen, dem Brückenelement und dem Infrarotdetektor bereitgestellt und zusammen mit dem Referenzdetektor sowie den Referenzlichtquellen auf dem Träger befestigt.
  • Bei einer weiter abgewandelten Durchführung des Verfahrens wird der Zuschnitt des Trägers nicht zu Beginn des Verfahrens bereitgestellt, sondern eine Leiterplatte oder anderes Trägermaterial wird ggf. an mehreren Stellen bestückt und zu Ende des Verfahrens werden die Träger beispielsweise mittels eines Stanzverfahrens oder Laserns vereinzelt.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:
  • 1: eine erfindungsgemäße Messsonde mit einem Brückenelement in verschiedenen Ansichten.
  • In 1 ist eine erfindungsgemäße Messsonde in einer Seitenansicht, einer Draufsicht sowie in einer perspektivischen Darstellung schematisch dargestellt.
  • Die Messsonde umfasst einen Träger 01, welcher in der dargestellten Ausführungsform als runder Zuschnitt bereitgestellt ist und eine Dicke von ca. 0,2 mm bis 1 mm oder mehr, sowie einen Durchmesser von beispielsweise 5 mm aufweist.
  • Der Träger 01 ist vorzugsweise ein Zuschnitt einer Leiterplatte. Die Leiterplatte ist als mehrlagiger Verbund aus elektrisch leitenden, insbesondere metallischen Lagen, sowie elektrisch isolierenden, insbesondere Kunststofflagen, ausgebildet. Die Leiterplatte kann selbstverständlich auch keramische Lagen umfassen, in denen so genannte MEMS (micro electro mechanical system) ausgebildet sein können.
  • Auf dem Träger 01 sind am Rand vier Infrarot-Sender 02 gleichmäßig über den Umfang verteilt angeordnet. Die Infrarot-Sender 02 sind als Dies ausgebildet. Auf dem Träger 01 ist weiterhin ein Referenzdetektor 03 für Infrarotstrahlung angeordnet. Der Referenzdetektor 03 ist vorzugsweise im Wesentlichen mittig auf dem Träger 01 angeordnet. Seitlich des Referenzdetektors 03 sind zwei Stützelemente 04 angeordnet. Diese stehen auf der Oberfläche des Trägers 01 im Wesentlichen senkrecht.
  • Die Stützelemente 04 überragen sowohl den Referenzdetektor 03 als auch die Infrarot-Sender 02. Sie sind vorzugsweise so angeordnet, dass von den Infrarot-Sendern 02 ausgesendetes Licht den Referenzdetektor 03 erreichen kann, das heißt, dass von den Stützelementen 04 möglichst kein abgeschatteter Bereich auf dem Referenzdetektor 03 erzeugt wird.
  • Die Stützelemente 04 tragen ein Brückenelement 06, welches vorzugsweise ebenfalls als Zuschnitt aus einer Leiterplatte hergestellt ist. Das Brückenelement 06 überdeckt dabei den Referenzdetektor 03 in einer Richtung senkrecht auf die Fläche des Trägers 01.
  • Auf einer dem Referenzdetektor 03 zugewandten Seite 07 des Brückenelementes 06 ist eine Spiegelfläche angeordnet und zwar dem Referenzdetektor 03 gegenüberliegend. Die Spiegelfläche kann als Abschnitt des Leiterplattenmaterials des Brückenelementes 06 ausgebildet sein, wobei beispielsweise in einem Abschnitt eine metallische Schicht des Leiterplattenmaterials freigelegt ist. Auf der anderen Seite 08 des Brückenelementes ist ein auf Infrarot-Detektor 09 angeordnet.
  • Die in dem Brückenelement 06 in dem Leiterplattenmaterial befindlichen elektrischen Leitungen sind zwischen den beiden Stützelementen 04 unterbrochen, sodass zwischen den Stützelementen 04 ein Spannungsgefälle auftritt, dass das Detektorelement 09 beaufschlagt. Das Spannungsgefälle zwischen den Stützelementen 04 entspricht im Wesentlichen dem Spannungsgefälle an den Basispunkten der beiden Stützelemente 04 auf der Fläche des Trägers 01, da die Stützelemente 04 als Null-Ohm-Elemente ausgebildet sind.
  • Auf der Oberfläche des Trägers 01 befinden sich nicht dargestellte elektrische Leitungen sowie Kontaktierungen.
  • Der Referenzdetektor 03, die Infrarot-Sender 02 sowie die Stützelemente 04 sind mittels eines elektrisch leitenden Klebers auf dem Träger 01 befestigt und elektrisch leitend kontaktiert. Weiterhin sind der Referenzdetektor 03, die Infrarot-Sender 02 und die Stützelemente 07 durch bei einem Bonden hergestellte elektrische Leitungen (nicht gezeigt) verbunden. Ebenso ist der Infrarotdetektor 09 mit den elektrischen Leitungen in dem Brückenelement 06 über einen elektrisch leitenden Kleber befestigt und mittels Bonden kontaktiert.
  • Die dargestellte Messsonde wird in einer Hülse (nicht gezeigt) aufgenommen und mit einer entsprechenden elektrischen Beschaltung versehen, und ist als ein Messkopf eines nicht weiter dargestellten Infrarotsensors vorgesehen.
  • Vorzugsweise umfasst die Hülse, in der die Messsonde aufgenommen wird, eine Grenzfläche aus einem für ATR-Spektroskopie geeigneten reflektierenden Material. Die Grenzfläche ist dann oberhalb des IR-Detektors 09 angeordnet, so dass das zu untersuchende Medium an der Grenzfläche zur Anlage kommt. Beispielsweise ist die Grenzfläche an einer Stirnseite oder einer Lauffläche eines Wälz- oder Gleitlagers vorgesehen, in das die Messsonde integriert ist.
  • Im Betrieb strahlen die vier Infrarot-Sender 02 IR-Strahlung ab und beeinflussen über die Reflexion an der Grenzfläche das Medium, wobei die im Medium teilweise diffus reflektierte Infrarotstrahlung teilweise vom Infrarot-Detektor 09 erfasst wird. Dies ist eine so genannte diffuse Reflexionsanordnung, wie sie typisch für eine DRIFTS-Geometrie ist. Allerdings ist die Auswertung der Spektren nicht auf die Fourier-Transformations-Auswertung der Spektren beschränkt.
  • Ein Bruchteil der von den Infrarotlicht-Sendern 02 abgestrahlten Infrarotstrahlung trifft nicht auf das Medium, sondern auf die Spiegelfläche an der Unterseite 07 des Brückenelementes 06 und wird auf den Referenzdetektor 03 gelenkt. Der Referenzdetektor 03 ist durch das Brückenelement 06 von der von der Probe abgegebenen IR-Strahlung abgeschirmt und dient als Referenz für die von dem Infrarotdetektor 09 empfangene Infrarotstrahlung.
  • In einer speziellen Auswerteeinheit, die zum Sensor gehört, erfolgt eine Analyse der Spektren, wie dies in der WO 2009/030202 A1 beschrieben ist. Das Infrarotspekroskopie-Verfahren ist dem Fachmann bekannt. Aus der Auswertung der Spektren kann auf den Zustand des Mediums geschlossen werden. Gegebenenfalls kann durch die Auswerteeinheit ein Alarm ausgelöst werden, wenn das Schmiermittel nicht mehr die geforderten Eigenschaften aufweist.
  • Die Auswerteeinheit kann in einer anderen Ausführungsform ebenfalls auf dem Träger integriert werden, so dass ein sehr kompakter Infrarot-Spetkroskopie-Sensor zur Verfügung gestellt werden kann.
  • Bezugszeichenliste
  • 01
    Träger
    02
    Infrarot-Sender
    03
    Referenzdetektor
    04
    Stützelement
    05
    06
    Brückenelement
    07
    Unterseite
    08
    Oberseite
    09
    Infrarot-Detektor
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 19921304 A1 [0004]
    • EP 1980840 A1 [0005]
    • WO 2009/030202 A1 [0006, 0042]

Claims (10)

  1. Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarot-Spektroskopie, umfassend mindestens einen Infrarot-Sender (02) und einen Infrarot-Detektor (09), dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin einen Referenzdetektor (03) umfasst, wobei der Infrarot-Detektor (09) und der Referenz-Detektor (03) auf zueinander beabstandeten Flächen (01, 06) angeordnet sind.
  2. Messsonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin eine Reflexionsfläche umfasst, welche mit dem zu untersuchenden Medium eine Grenzfläche bildet, an der die vom Infrarot-Sender (02) ausgesendeten Wellen reflektiert vom Infrarot-Detektor (09) empfangen werden.
  3. Messsonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Spiegelfläche umfasst, an der das von dem Infrarot-Sender (02) ausgesendete Infrarot-Licht innerhalb der Messsonde reflektiert und dem Referenzdetektor (03) zugeführt wird.
  4. Messsonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Infrarot-Sender (02) und der Referenzdetektor (03) auf einem Träger (01) und der Infrarot-Detektor (09) und die Spiegelfläche auf entgegen gesetzten flachen Seiten (07, 08) eines Brückenelementes (06) ausgebildet sind, wobei die Spiegelfläche dem Träger (01) zugewandt und der Infrarot-Detektor (09) dem Träger (01) abgewandt ist, und wobei der Träger (01) und das Brückenelement (06) mittels mindestens eines Stützelementes (04) beabstandet verbunden sind.
  5. Messsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Infrarot-Sender (01), der Infrarot-Detektor (09) und der Referenzdetektor (03) als Dies ausgeführt sind.
  6. Verfahren zum Herstellen einer Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarot-Spektroskopie unter Anwendung einer Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), folgende Schritte umfassend: – Bereitstellen eines Trägers (01); – Anordnen und Befestigen mindestens eines Infrarot-Senders (02) und eines Referenzdetektors (03), welche als Dies ausgeführt sind, auf dem Träger (01); – Anordnen und beabstandetes Befestigen eines Brückenelementes (06) auf dem Träger (01), wobei das Brückenelement (06) auf jeweils einer seiner flachen Seiten (07, 08) eine Spiegelfläche und einen als Die ausgeführten Infrarot-Detektor (09) trägt, wobei die Spiegelfläche dem Referenzdetektor (03) zugewandt ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Brückenelement (06) mit mindestens einem Stützelement (04) auf dem Träger (01) durch Kleben mit einem elektrisch leitendem Kleber befestigt wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet dass der Träger (01) nach der Bestückung mit einer vielfachen Anzahl an Messsonden vereinzelt wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass vor einer Bestückung auf dem Träger (01) Verbindungsstrukturen vorgesehen werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine elektrische Verbindung der Komponenten mittels Bonden erfolgt.
DE102010031919.8A 2010-07-22 2010-07-22 Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Messsonde Active DE102010031919B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010031919.8A DE102010031919B4 (de) 2010-07-22 2010-07-22 Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Messsonde

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010031919.8A DE102010031919B4 (de) 2010-07-22 2010-07-22 Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Messsonde

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102010031919A1 true DE102010031919A1 (de) 2012-01-26
DE102010031919B4 DE102010031919B4 (de) 2020-12-03

Family

ID=45443423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102010031919.8A Active DE102010031919B4 (de) 2010-07-22 2010-07-22 Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Messsonde

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102010031919B4 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013110320B3 (de) * 2013-09-19 2014-09-25 AEMtec GmbH, Berlin Sensorvorrichtung zur Überwachung eines Schmierstoffzustands sowie Verfahren zur Fertigung der Sensorvorrichtung
DE102013220456A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels, Verfahren zu deren Betrieb und Maschinenelement
DE102013220459A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels und Verfahren zu deren Betrieb sowie Maschinenelement
DE102013220457A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels sowie Maschinenelement und Maschinenanordnung
DE102014214486A1 (de) * 2014-07-24 2016-01-28 Aktiebolaget Skf Verfahren zum Betrieb eines Lagers
DE102017001175A1 (de) 2017-02-08 2018-08-09 Spectrolytic GmbH Spektrometer

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19921304A1 (de) 1999-05-07 2000-12-07 Walter Holweger Verfahren zur Prüfung von Schmierstoffen
EP1980840A1 (de) 2006-01-23 2008-10-15 Ntn Corporation Schmiermittelverfalldetektor und lager mit dem detektor
WO2009030202A1 (de) 2007-09-06 2009-03-12 Schaeffler Kg Messvorrichtung und verfahren zur analyse des schmiermittels eines lagers

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004239611A (ja) * 1999-10-12 2004-08-26 Nok Corp Coセンサ
GB2445956B (en) * 2007-01-26 2009-12-02 Valtion Teknillinen A spectrometer and a method for controlling the spectrometer
EP1969997A1 (de) * 2007-03-12 2008-09-17 Radiometer Basel AG Sensorensystem

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19921304A1 (de) 1999-05-07 2000-12-07 Walter Holweger Verfahren zur Prüfung von Schmierstoffen
EP1980840A1 (de) 2006-01-23 2008-10-15 Ntn Corporation Schmiermittelverfalldetektor und lager mit dem detektor
WO2009030202A1 (de) 2007-09-06 2009-03-12 Schaeffler Kg Messvorrichtung und verfahren zur analyse des schmiermittels eines lagers

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105556286A (zh) * 2013-09-19 2016-05-04 舍弗勒技术股份两合公司 用于监控润滑剂状态的传感器设备以及用于制造传感器设备的方法
WO2015039792A1 (de) * 2013-09-19 2015-03-26 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensorvorrichtung zur überwachung eines schmierstoffzustands sowie verfahren zur fertigung der sensorvorrichtung
US9989460B2 (en) 2013-09-19 2018-06-05 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensor device for monitoring the state of a lubricant and method for producing said sensor device
DE102013110320B3 (de) * 2013-09-19 2014-09-25 AEMtec GmbH, Berlin Sensorvorrichtung zur Überwachung eines Schmierstoffzustands sowie Verfahren zur Fertigung der Sensorvorrichtung
DE102013220459A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels und Verfahren zu deren Betrieb sowie Maschinenelement
WO2015051791A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoreinheit zum bestimmen von eigenschaften eines schmiermittels und verfahren zu deren betrieb sowie maschinenelement
WO2015051792A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoreinheit zum bestimmen von eigenschaften eines schmiermittels sowie maschinenelement und maschinenanordnung
WO2015051793A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoreinheit zum bestimmen von eigenschaften eines schmiermittels, verfahren zu deren betrieb und maschinenelement
DE102013220457A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels sowie Maschinenelement und Maschinenanordnung
US9709547B2 (en) 2013-10-10 2017-07-18 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensor unit for determining properties of a lubricant and machine element and machine assembly
DE102013220456A1 (de) 2013-10-10 2015-04-16 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoreinheit zum Bestimmen von Eigenschaften eines Schmiermittels, Verfahren zu deren Betrieb und Maschinenelement
DE102014214486A1 (de) * 2014-07-24 2016-01-28 Aktiebolaget Skf Verfahren zum Betrieb eines Lagers
DE102017001175A1 (de) 2017-02-08 2018-08-09 Spectrolytic GmbH Spektrometer
DE102017001175B4 (de) 2017-02-08 2019-05-09 Spectrolytic GmbH Spektrometer

Also Published As

Publication number Publication date
DE102010031919B4 (de) 2020-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102010031919B4 (de) Messsonde für einen Sensor zur Analyse eines Mediums mittels Infrarotspektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Messsonde
EP2057446A2 (de) Optisches filter und verfahren zur herstellung desselben, sowie vorrichtung zur untersuchung elektromagnetischer strahlung
EP0777119A2 (de) Vorrichtung für Lichtreflexionsmessungen
EP2513873B1 (de) Sensor zur prüfung von wertdokumenten
DE102007062112A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beurteilen der Reinheit von Pflanzenölen mit Hilfe der Terahertz-Zeitdomäne-Spektroskopie
EP2356414B1 (de) Infrarotlichtdetektor und herstellung desselben
WO2004070329A2 (de) Kompakt-spektrometer
DE102005009262A1 (de) Verfahren zur Messung der Schichtdicke
EP1061371A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Flüssigkeitsaufnahme einer Testschicht eines Analyseelementes
DE102013110320B3 (de) Sensorvorrichtung zur Überwachung eines Schmierstoffzustands sowie Verfahren zur Fertigung der Sensorvorrichtung
DE112017003510T5 (de) Messverfahren, Messanordnung und Messvorrichtung
EP3296721B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum zerstörungsfreien bestimmen eines laminierten zustands einer anordnung von laminierten kunststofffolienschichten für einen kunststoffkartenkörper
DE102017001175B4 (de) Spektrometer
EP3104164B1 (de) Messsystem zur qualitätsüberwachung von tabletten
WO2019185903A1 (de) Messsystem für spektroskopische untersuchungen von lebendem gewebe
DE102006039073A1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung der spektralen und örtlichen Verteilung einer elektromagnetischen, von einem Gegenstand ausgehenden Strahlung
DE10042003A1 (de) Materialprüfvorrichtung und deren Verwendung
DE102014222257A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren zumindest eines Analyten
EP1857808A1 (de) Messanordnung
DE102014108399A1 (de) Sensoranordnung, Messanordnung und Verfahren
DE3514801A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der wandschubspannung an modellen und anderen umstroemten koerpern
DE102018112955A1 (de) Messsystem für kleinvolumige Schüttgüter
EP4130792A1 (de) Verfahren zur überwachung der alterung einer oberfläche
DE19731241C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Fluidkomponenten und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP3124958B1 (de) Verbundwerkstoff und verfahren zur detektion von kontaminationen auf einer oberfläche eines verbundwerkstoffs

Legal Events

Date Code Title Description
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH &, , DE

Effective date: 20120828

Owner name: CARL FREUDENBERG KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH &, , DE

Effective date: 20120828

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH &, , DE

Effective date: 20120828

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNERS: CARL FREUDENBERG KG, 69469 WEINHEIM, DE; SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, 91074 HERZOGENAURACH, DE

Effective date: 20120828

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO, , DE

Effective date: 20140211

Owner name: CARL FREUDENBERG KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO, , DE

Effective date: 20140211

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO, , DE

Effective date: 20140211

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNERS: CARL FREUDENBERG KG, 69469 WEINHEIM, DE; SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, 91074 HERZOGENAURACH, DE

Effective date: 20140211

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH &, , DE

Effective date: 20140922

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNERS: CARL FREUDENBERG KG, 69469 WEINHEIM, DE; SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, 91074 HERZOGENAURACH, DE

Effective date: 20140922

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL FREUDENBERG KG, SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH &, , DE

Effective date: 20140922

R012 Request for examination validly filed
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20141114

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES GMBH & CO. KG, 91074 HERZOGENAURACH, DE

Effective date: 20150407

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final