DE3244856C1 - Fotolitographisches Verfahren zum Aufbringen einer Kennzeichnung - Google Patents

Description

• Durch diese Maßnahmen können die nach dem Ätzen vorliegenden Perforationen oder durchlässigen Bereiche dieser Kennung mittels einer Lesestation erfaßt werden. Hierdurch wird eine gezielte Zuordnung der zu den jeweiligen Nutzen gehörenden Daten erreicht. Eine Identifizierung der Nutzen bei der Weiterverarbeitung des Folienstapels ist durch diese integrierte Lesestation möglich. Hierbei wird jeder Nutzen, der gestapelt wird, erkannt und die entsprechende Nummer auf einem Datenträger hinterlegt. Nach Fertigstellung des Stapels können mit Hilfe einer Rechnerauswertung die gestapelten Nutzen anhand ihrer Kennung, die eine Numerierung oder bestimmte Codierung sein kann zusammengefaßt werden. Somit kann der Folienstapel weitgehend lückenlos als Gesamtheit über das entsprechende Auswerteprogramm hinsichtlich seiner Strukturweiten beschrieben werden.

Claims (1)

1. Patentanspruch: Fotolitographisches Verfahren zum Aufbringen einer Kennzeichnung auf Ätzteile enthaltende Nutzen, dadurch gekennzeichnet, daß während des fotolitographischen Prozesses Kennzeichnungen mittels einer Lichtquelle in die fotoempfindliche Schicht belichtet werden und daß in den sich anschließenden Entwicklungsprozessen parallel zu den Aktivstrukturen auch die Kennzeichnung entwickelt wird, daß als Lichtquelle Lichtleiter verwendet werden, deren jeweilige Beleuchtung über entsprechende elektromagnetische oder elektropneumatisch betätigte Verschlüsse gesteuert wird und daß die Kennzeichnungen binär aufgebaut sind.

   Die Erfindung betrifft ein fotolitographisches Verfahren zum Aufbringen einer Kennzeichnung auf Formätzteile enthaltende Nutzen.

   Bei der Herstellung von Trenndüsenstrukturen nach dem Siemens-Formätzverfahren werden sehr feine Strukturen deckungsgleich unter Verwendung von hochgenauen Masken in photosensitive Lackschichten durch Belichten und Entwickeln übertragen. Als Folie wird im Anwendungsfall eine 20 bzw. IO)lm starke Cu-Be-Folie eingesetzt. Die freientwickelten Bereiche werden durch einen Ätzprozeß herausgeätzt. Nach dem Ätzen werden diese sich in einem quasi Endlosband befindlichen Nutzen (der Nutzen ist eine Bearbeitungseinheit, in der eine Vielzahl von Strukturen zusammengefaßt sind) hinsichtlich der Strukturweiten zerstörungsfrei gemessen und die Meßwerte protokolliert.

   Fehlerhafte Nutzen werden mit einer Ausschußsenkung versehen. Im nachfolgenden Bearbeitungsprozeß werden die fehlerhaften Nutzen aus dem Endlosband vereinzelt und zu Folienstapeln verarbeitet. Beim Folienstapeln werden mehrere Nutzen deckungsgleich übereinandergestapelt und zu einem Folienstapel mittels Nieten zusammengefaßt.

   Bisher konnten die Meßergebnisse der Nutzen nicht nutzenspezifisch dem Stapel zugeordnet werden, weil während des Stapelvorganges durch Störungen und ähnlicher Erscheinungen Nutzen verloren gingen und somit keine genaue Zuordnung getroffen werden konnte.

   Aus der US-Patentschrift 40 73 588 ist ein Verfahren zur Kennzeichnung von Filmen und zugehörigen Verpackungen beschrieben. Dabei wird auf eine nicht belichtete Stelle des ansonsten bereits belichteten Filmes durch weiteres Belichten eine Markierung aufgebracht, die -zugleich auch auf dem zugehörigen Behälter erscheint, wenn dieser bereits belichtet ist.

   Aus der US-Patentschrift 33 56 000 sowie der österreichischen Patentschrift 2 47 561 sind außerdem fotomechanische Verfahren zur durchlaufenden Markierung von lichtempfindlichen Werkstücken bekannt.

   Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, durch das in einfacher Weise eine Kennung auf Formätzteile enthaltende Nutzen aufgebracht werden kann.

   Zur Lösung dieser Aufgabe wird gemäß der Erfindung derart verfahren, daß während des fotolitographischen Prozesses Kennzeichnungen mittels einer Lichtquelle in die fotoempfindliche Schicht belichtet werden und daß in den sich anschließenden Entwick lungsprozessen parallel zu den Aktivstrukturen auch die Kennzeichnung entwickelt wird, daß als Lichtquelle Lichtleiteroverwendet werden, deren jeweilige Belichtung über entsprechende elektromagnetische oder elektropneumatisch betätigte Verschlüsse gesteuert wird und daß die Kennzeichnungen binär aufgebaut sind.