DE3239575C2 - Meßvorrichtung zur Messung der Konzentration von Partikeln in einer Flüssigkeit - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zur Messung der Konzentration von Partikeln, gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.

Bei einer derartigen Meßvorrichtung werden in der Rohrwandung Meßsonden angeordnet, die mit der Flüssigkeit in Berührung stehen.

Die US-PS 42 43 883 zeigt eine Meßvorrichtung für die Blut­ überwachung. Bei dieser Vorrichtung besteht die Meßsonde aus einer Lichtquelle und einem Phototransistor, die in einem ge­ meinsamen Gehäuse angeordnet sind. Aus Fig. 2 und der zuge­ hörigen Beschreibung, Spalte 3, Zeilen 30 bis 36, läßt sich entnehmen, daß im Bereich der Meßvorrichtung der Durchmesser des dortigen Rohres vermindert ist. Zusätzlich sind einander gegenüberliegend zwei Glasfenster 38 eingebaut, durch welche hindurch gemessen werden soll.

Die aus dieser Druckschrift bekannte Meßvorrichtung eignet sich für die Überwachung von Blutwerten. Als Meßvorrichtung für die Überwachung von Partikel aufweisenden Prozeßflüssig­ keiten, oder beispielsweise von kommunalen Abwässern, ist diese Vorrichtung jedoch nicht geeignet.

Die aus der DE-OS 21 37 585 bekannte Meßvorrichtung erlaubt zwar ebenfalls das Messen der Lichtdurchlässigkeit eine strömenden Flüssigkeit. Hierbei wird sowohl die Transmission (Fühler 3) als auch die Reflexion (Fühler 4) in Folge der ver­ unreinigenden Partikel gemessen. Zur Verbesserung der Meßge­ nauigkeit ist zudem die Strömungsgeschwindigkeit der Flüssig­ keit im Meßbereich etwas reduziert.

Bei der Messung der Konzentration von Teilchen in im wesent­ lichen stillstehenden Flüssigkeiten ist es bekannt, beispiels­ weise im Zusammenhang mit der Reinigung von kommunalem oder industriellem Abwasser, eine photometrische Messung mit Hilfe von pulsierendem Infrarotlicht anzuwenden, wie dies aus der SE-PS 382 116 hervorgeht.

Die bekannte Methode ist jedoch begrenzt anwendbar, u. zw. in erster Linie bei stillstehenden Flüssigkeiten mit im wesent­ lichen konstanter Temperatur. Bei wechselnder Temperatur würde das bekannte Verfahren zu wesentlichen Meßfehlern führen. Au­ ßerdem ist die bekannte Methode mit Nachteilen behaftet, die darin liegen, daß die Meßsonden nach kurzer Anwendungszeit von Partikelablagerungen gereinigt werden müssen und daß beträcht­ liche Umbauten und Komplettierungen vorgenommen werden müssen, wenn der für das Verfahren angewendete Apparat bei der Teil­ chenmessung in strömenden Flüssigkeiten, wie bei Stofförder­ ern in der Zellstoffindustrie, zu verwenden sein soll.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine auch für die ungestörte Langzeitmessung geeignete Meßvorrich­ tung zu schaffen, mit welcher beispielsweise in Verfahrens­ flüssigkeiten oder kommunalen Abwässern vorliegende Verunrei­ nigungen genau gemessen werden können, ohne daß die an sich bekannten Entwässerungszentrifugen eingesetzt werden müssen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteran­ sprüchen.

Mit der vorliegenden Meßvorrichtung konnte nunmehr gezeigt werden, daß die Messung mit Meßsonden der vorhandenen Art sehr wohl an einer mit Partikeln angereicherten Flüssigkeit durch­ führbar ist, die durch eine Rohrleitung gefördert wird. Fach­ leute haben bisher behauptet, daß beispielsweise die Messung der Faserkonzentration in fortbewegtem Papierzellstoff mit Hilfe von IR-Sonden unmöglich sei oder zumindest eine sich ständig wiederholende Reinigung der Meßsonden erfordert. Dies ist jedoch ein Standpunkt, der durch die vorliegende Erfindung vollkommen widerlegt wird. Durch Änderung der Querschnitts­ fläche des Rohres hat sich gezeigt, daß die mit der Flüssig­ keit in Berührung stehenden Flächen der Meßsonden automatisch sauber gehalten werden.

Mit Meßsonden, die an einen Elektronikkreis angeschlossen sind, der weiters an eine Bezugseinrichtung angeschlossen ist, die aus mit dem Rohr zur Förderung der Flüssigkeit in wärme­ leitendem Kontakt stehenden Bezugsmeßorganen besteht, hat die Meßvorrichtung nach der Erfindung außerdem bisher schwer lös­ bare Probleme mit der Instabilität bei Meßkreisen zur Messung an Flüssigkeiten der angegebenen Art beseitigt. Diese Bezugs­ einrichtung hat eine mit der Ausbildung des Meßbereichs ver­ knüpfte Funktion und ist von
einem Gehäuse umschlossen, welches das flüssigkeitsfördernde Rohr und die Meßsonden umgibt.

Der Anwendungsbereich der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung liegt sowohl in der Verfahrensindustrie als auch auf dem Gebiet der Wasserversorgung und Kanalisation. Die Vorrichtung ist zur genauen Konzentrationsmessung vorgesehen, beispielsweise in der Papier- und Zellstoffindustrie, wo die Messung vor Drucksieben und Wirbelreinigern sowie am Mahlgut vor dem Eintrittsbehälter einer Papiermaschine und an Rücklaufwasser sowohl für Verdünnung als auch für Faserrückgewinnung durchgeführt werden kann. Innerhalb des Gebietes der Wasserversorgung und Kanalisation ist die Vorrichtung zur Schlammgehalts- und Trübheitsmessung sowie zur Messung des Inhaltes von suspendiertem Material in beispielsweise Rückwasser von Entwässerungszentrifugen oder anderen mechanischen Entwässerungsmaschinen anwendbar.

Das Meßprinzip beruht auf dem Vermögen der Teilchen, Licht zu absorbieren und zu reflektieren.

Um die höchstmögliche Dynamik zu erreichen, ist ein Teil der Elektronik im Geber montiert. Die Messung erfolgt mit IR-Licht über eine Meßstrecke von 20 mm. Das IR-Licht ist pulsierend mit sehr kurzen Impulsen und hat sehr hohe Lichtintensität, was dank einer Schwingung mit äußerst kurzen Impulsen und langen Zwischenräumen zwischen den Impulsen möglich ist. Durch die große Lichtintensität wird der Vorteil erhalten, daß verschiedene Meßbereiche durch einfaches Umschalten eines zum Elektronikkreis gehörenden Verstärkers ausgenützt werden können. Da die Lichtausbeute von einer IR-Diode stark temperaturabhängig ist, wird dies über ein separates Bezugssystem im Geber kompensiert. Dieses kompensiert auch Abweichungen in sonstigen Komponenten sowie eventuell einfallendes Streulicht.

Das Meßsignal vom Geber besteht aus einem Impuls, dessen Höhe proportional zur Konzentration ist. Dieser Impuls kann in eine Gleichspannung in einem Haltekreis umgewandelt werden, welcher gleichzeitig an den Integrator angeschlossen ist. Dieser hat für seinen Meßwert eine feste Zeit und zur Dämpfung von größeren Variationen der Konzentration eine einstellbare Zeit.

Nach dem Haltekreis geht das Signal direkt oder über einen logarithmischen Verstärker weiter zu einer MAX- und MIN-Einstellung. Die Verstärkung der Ausgangsstufe kann durch Umschalter geändert werden. Ein digitaler Meßwertgeber zeigt 0-100% des eingestellten Bereiches, u. zw. unabhängig davon, welches Ausgangssignal gewählt wird.

Bevorzugte Ausführungsform

Die Meßvorrichtung nach der Erfindung wird nachstehend im Zusammenhang mit einer bevorzugten Ausführungsform und unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 eine Vorderansicht des Gebers einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung von der in Förderrichtung der Flüssigkeit stromaufwärts liegenden Seite gesehen,

Fig. 2 einen Schnitt II-II gemäß Fig. 1,

Fig. 3 ein Blockschema einer bevorzugten elektrischen Schaltung der im Geber enthaltenen Sender und Detektoren zu einer Meßwerteinheit und

Fig. 4 ein Kurvendiagramm zur Veranschaulichung von möglichen differenzierenden zuschaltbaren Meßbereichen.

Die Meßvorrichtung nach der Erfindung umfaßt einen Geber 1, der bei einer bevorzugten Ausführungsform nach Fig. 1 und 2 ein Rohr 2 zum Transport der mit Partikeln vermengten Flüssigkeit aufweist, an welcher die Messungen durchgeführt werden sollen. Das Rohr 2 ist mit Anschlußelementen 3, 4 zum Einbau in eine Rohrleitung (nicht gezeigt) versehen. Im Meßbereich ist die Querschnittsfläche des Rohres 2 in ihrer Form verändert, weist jedoch vorzugsweise die gleiche Größe auf. Somit geht die Querschnittsfläche des Rohres 2 bei der bevorzugten Ausführungsform von einem normalerweise kreisförmigen Querschnitt bei den Anschlußelementen 3, 4 in einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt 5 über, wie dies am besten aus Fig. 1 hervorgeht. Der Übergang vom kreisförmigen zum rechteckigen Querschnitt ist kontinuierlich und kann auf mehrere Arten bewirkt werden, jedoch am einfachsten durch Zusammenpressen eines ursprünglich durchgehend kreisförmigen Rohres.

In den im rechteckigen Bereich 5 einander gegenüberliegenden Wandungen 6, 7 des Rohres 2 sind Öffnungen zur Anbringung von Meßsonden 8, 9 vorgesehen. Die Meßsonden 8, 9 füllen die Öffnungen in den Wänden 6, 7 des Rohres 2 ganz aus und ihre nach innen der geförderten Flüssigkeit zugewandten Sondenflächen 10, 11 liegen im wesentlichen mit der Innenfläche der Wände 6, 7 des Rohres in einer Ebene.

Der Meßbereich mit dem rechteckigen Abschnitt 5 des Rohres 2 und den Meßsonden 8, 9 ist von einem Gehäuse 12 umgeben. Dieses Gehäuses 12 ist, vorzugsweise rohrförmig und hat eine Längsachse, die sich senkrecht zur Längsachse sowohl des Rohres 2 als auch zu der von den Meßsonden 8, 9 gebildeten Achse erstreckt. Im Gehäuse 12 sind Öffnungen zur Einführung und Kontrolle der Meßsonden 8, 9 vorgesehen, welche wie gezeigt aus dem Gehäuse 12 vorragen können.

Weiters umschließt das Gehäuse 12 eine Bezugseinrichtung 13, 14, welche aus Meßorganen besteht, die den Meßsonden 8, 9 entsprechen, jedoch nicht über die Flüssigkeit messen wie die Meßsonden, sondern über eine hindernisfreie Bahn innerhalb des Gehäuses. Die Bezugseinrichtung 13, 14 steht mit dem Rohr 2 in wärmeleitender Berührung und kann unter (wie in Fig. 2 angedeutet) oder vorzugsweise oberhalb des Rohres 2 angebracht sein.

Das Gehäuse 12 umschließt ferner zumindest einen Teil jenes Elektronikkreises, der zur Behandlung jener Signale angewendet wird, die von den Meßsonden 8, 9 und der Bezugseinrichtung 13, 14 erhalten werden. Sowohl die Meßsonden als auch die Bezugseinrichtung sind vorteilhafterweise vom IR-Typ, obwohl auch andere Typen wie solche, sie mit sichtbarem Licht oder Ultraschall arbeiten, bei der Verwirklichung der vorliegenden Erfindung zur Anwendung kommen können. Eine bevorzugte Ausführungsform des Elektronikkreises wird nachfolgend unter Hinweis auf Fig. 3 beschrieben.

Aus dem Blockschema gemäß Fig. 3 geht hervor, daß die Meßsonden 8, 9 und die Bezugseinrichtung 13, 14 von IR-Organen gebildet werden, d. h. genauer gesagt können mit Vorteil IR-Dioden angewendet werden. Weiters ist der Sender 8 der Meßsonden als ein Organ wiedergegeben, das mit dem Sender 13 der Bezugseinrichtung gemeinsam ist. So kann eine IR-Diode 8, 13 als gemeinsamer Sender sowohl über die Meßstrecke M als auch über die Bezugsstrecke R angewendet werden, wobei die verschiedenen Lichtbahnen E und R beispielsweise von einer Faseroptik ausgehen können, die an die Diode 8, 13 angeschlossen ist. Eine andere praktizierbare Lösung ist, zwei exakt gleiche IR-Dioden 8 und 13 in Serie zu schalten, die somit den Sender für die Meßstrecke M bzw. den Sender für die Bezugsstrecke R darstellen.

Der Detektor 9 der Meßsonden ist ebenso wie der Detektor 14 der Bezugseinrichtung von einer separaten Fotodiode gebildet. Diese beiden Fotodioden sind vom gleichen Typ und jeweils an einen Temperaturkompensationsschaltkreis 19-22 bzw. 15-18 mit identisch gleicher Ausbildung angeschlossen. So ist der Ausgang der jeweiligen Fotodiode 9, 14 an einen Verstärker 19-15 angeschlossen, der über einen Haltekreis 20, 16 einen Integrator 21, 17 speist. Das integrierte Signal wird über einen Widerstand 22, 18 zum Eingang des Verstärkers 19, 15 rückgekoppelt. Eine Diode ist relativ temperaturabhängig, doch wird mit den Temperaturkompensationsschaltkreisen 15-18 und 19-22 eine stabilisierende Funktion erreicht, so daß das Ausgangssignalniveau vom jeweiligen Verstärker 19, 15 konstant gehalten wird, u. zw. unabhängig von Temperaturänderungen, die um die Detektoren 9, 14 herum ebenso wie in der Flüssigkeit, deren Partikelkonzentration gemessen werden soll, sowie in der Luft auf der hindernisfreien Bezugsbahn und im Rohr, mit welchem die Bezugseinrichtung in thermischem Kontakt steht, auftreten können. Mit diesen Temperaturkompensationsschaltkreisen 19-22, 15-18 wird auch eine stabilisierende Funktion für eventuelles Streulicht erzielt, das die Detektoren 9, 14 treffen kann. Somit wird jede langsamere Ausgangssignalveränderung von den Detektoren 9, 14 ausgeglichen, so daß ein stabiles Bezugsniveau am Ausgang der Verstärker 19, 15 erhalten wird.

Der oder die für die Meß- und Bezugssignale angeordnete bzw. angeordneten Signalsender 8, 13 wird bzw. werden von einem als Energiequelle dienenden Oszillator 23 gespeist. Der Oszillator 23 erzeugt ein Impulssignal S mit sehr kurzen Impulsen und verhältnismäßig langen Intervallen zwischen den Impulsen. Dies gestattet, daß eine hohe Lichtintensität erhalten werden kann, ohne daß die IR-Diode 8, 13 aufgrund von Eigenerwärmung, beschädigt wird.

Der Sender 8, 13 ist ebenfalls empfindlich für Temperaturänderungen, da er auch von einer Diode gebildet wird. Seine Änderungen werden von einem Kreis 24-26 kompensiert, der aus einem Komparator 24 besteht, dem ein Integrator 25 und eine Leistungsverstärkerstufe 26 folgen. Der Komparator 24 wird mit Impulssignalen S vom Oszillator 23 und mit Ausgangssignalen S_R vom Verstärker 15 der Bezugseinrichtung gespeist. Dieses Ausgangssignal S_R ist ebenfalls ein Impulsssignal und ist direkt abhängig von der Größe jener Lichtimpulse, die der Sender 8, 13 über die Bezugsstrecke R abgibt. Die Größe der abgegebenen Lichtimpulse des Senders 8, 13 wird vom Komparator 24 und der Leistungsverstärkerstufe 26 geregelt, so daß die Impulssignale S und S_R gleich groß werden. Dadurch werden somit Lichtimpulse mit konstantem Wert erhalten, u. zw. unabhängig von Temperaturänderungen am Sender 8, 13. Auch wenn der Sender von zwei separaten Dioden 8 und 13 gebildet wird, wie oben angegeben, werden von jeder Diode 8 und 13 Lichtimpulse erhalten, die einen konstanten Wert haben, weil die beiden Dioden 8 und 13 elektrisch in Serie geschaltet und mechanisch auf derselben Unterlage angebracht sind und damit von den gleichen Temperaturänderungen beeinflußt werden.

Die mit konstantem Wert vom Sender 8, 13 ausgesandten Lichtimpulse werden auch vom Detektor 9 aufgefangen, nachdem sie die Meßstrecke M passiert haben, d. h. nachdem sie die Flüssigkeit und darin vorhandene Partikel passiert haben. Bei Änderung der Partikelkonzentration ändern sich aufgrund der Lichtabsorptionseigenschaften der Partikel auch die vom Detektor 9 aufgefangenen Lichtimpulse. Die Folge davon ist, daß das Ausgangssignal S_M am Verstärker 19 des Meßdetektors 9 in Abhängigkeit von der Partikelkonzentration in der Flüssigkeit variiert.

Damit die Temperaturkompensationsschaltkreise 19-22, 15-18 der Detektoren 9, 14 nicht durch die Nutzsignale S_R und S_M beeinflußt werden, ist in jedem der Temperaturkompensationsschaltkreise 15-18, 19-22 zwischen dem Verstärker 15, 19 und dem Integrator 17, 21 ein Haltekreis 16, 20 zwischengeschaltet. Diese Haltekreise 16, 20 werden durch das Ausgangssignal S vom Oszillator 23 gesteuert, so daß die Nutzsignale S_R, S_M geerdet werden, sobald sie im jeweiligen Haltekreis 16, 20 auftreten. Eine beitragende Ursache dafür, daß die Nutzsignale S_R, S_M nicht zu den Eingängen der Verstärker 15, 19 rückgekoppelt werden, ist die langsamere Funktion der Temperaturkompensationsschaltkreise 15-18, 19-22.

Das am Ausgang des Verstärkers 19 des Meßdetektors 9 entnommene Nutzsignal S_M stellt somit ein genaues Maß für die Konzentration von Partikeln in der durch das Rohr 2 (Fig. 2) geförderten Flüssigkeit dar. Dieses Signal S_M ist demzufolge für verschiedene Zwecke bei Prozessen verschiedener Art anwendbar.

Zu Meßzwecken, jedoch auch für andere Anwendungen, kann es wünschenswert sein, anstelle des pulsierenden Ausgangssignals S_M ein gleichmäßig verlaufendes Ausgangssignal zu erhalten. Durch Einspeisung des Ausgangssignals S_M in einen Haltekreis 27, der durch das Signal S des Oszillators 23 gesteuert wird, wird ein logarithmisch variierendes Signal S_log erhalten. Wünscht man ein linear variierendes Signal S_lin, wird das vom Haltekreis 27 erhaltene Signal S_log in einen logarithmischen Verstärker 28 eingespeist. Mit einem Umschalter 29 kann ein Meßgerät 30 wahlweise mit dem Signal S_log oder dem Signal S_lin gespeist werden.

Der Haltekreis 27 kann von einem Feldleistungstransistor FET und das Meßgerät 30 von einem digitalen Indikator gebildet sein.

Das Ausgangssignal vom Verstärker des Meßdetektors 9 kann wahlweise über verschiedene Widerstände 31 zu seinem Eingang rückgeführt werden, so daß verschiende Meßbereiche I-IV erhalten werden. So können beispielsweise vier verschiedene Meßbereiche vorliegen. In Fig. 4 ist mittels eines Kurvendiagramms veranschaulicht, wie der Meßbereich verschoben werden kann, u. zw. einerseits das logarithmische Signal S_log und andererseits das diesem entsprechende lineare Signal S_lin betreffend. Hierbei entspricht der Bereich I einem maximal größten in den Rückkopplungszweig des Verstärkers 17 eingeschalteten Widerstandswert, während der Bereich IV einer direkten Rückkopplung des Ausgangssignals S_M zum Eingang des Verstärkers 19 entspricht.

Wie aus der oben gegebenen Beschreibung hervorgeht, wird damit lediglich auf eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung Bezug genommen, welche folglich auf verschiedene Weise modifiziert werden kann, ohne den Erfindungsgedanken zu verlassen. So kann beispielsweise die Querschnittsfläche des Rohres 2 auf eine andere Form als rechteckig geändert worden oder größer als die Leitungsfläche sein. Die Querschnittsfläche kann auch durch Anordnung eines Einsatzes in einen erweiterten Teil des Rohres oder durch Anordnung einer die Flüssigkeitsförderung beeinflussenden Form der Rohrwandung geändert werden. Betreffend die Meßsonden und die Bezugseinrichtung wurde bereits gesagt, daß diese nicht auf die Anwendung von IR-Licht beschränkt sind. Auch der für IR-Komponenten beschriebene Elektronikkreis kann jedoch auf verschiedene Weise modifiziert werden, ohne vom Erfindungsgedanken abzuweichen. Beispielsweise kann der Kreis mit Umschaltorganen zum Studium von jeweils einem Teil jeder Kurve, beispielsweise dem Intervall 60-70% des gesamten Meßbereiches, versehen sein. Weiters ist es möglich, Regelorgane zur Umstellung der Integrierungszeit einzuführen, so daß eine ruhige Anzeige am Meßgerät 30 erhalten wird.

Aus dem obigen Angeführten geht hervor, daß die Erfindung nicht auf die oben beschriebene und in den Zeichnungen gezeigte bevorzugte Ausführungsform beschränkt ist, sondern innerhalb des Rahmens der Patentansprüche Gegenstand für verschiedene Modifikationen sein kann.

Claims (9)

1. Meßvorrichtung zur Messung der Konzentration von mit einer Flüssigkeit durch ein Rohr (2) transportierten Partikeln, mit einer Meßsonde (8, 9), die einen Sender (8) und einem Detektor (9) aufweist, die einander gegenüberliegend in den Wänden des Rohrs (2) axial zueinander fluchtend angeordnet sind, wobei eine Bezugseinrichtung vorgesehen ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Bezugseinrichtung einen Bezugssen­ der (13) und einen Bezugsdetektor (14) aufweist, die an den Enden einer von der Flüssigkeit freien Bezugsbahn (R) angeord­ net sind und im Infrarotbereich arbeiten, wobei der Sender (8) und der Bezugssender (13) von einer gemeinsamen Energiequelle (23) beaufschlagt sind, die kurze Hochenergieimpulse mit rela­ tiv langen Zeitintervallen zwischen den Impulsen aussendet, der Detektor (9) und der Bezugsdetektor (14) je einen Tempe­ raturkompensationsschaltkreis aufweisen, der mit einem Refe­ renzpfad in einem elektronischen Schaltkreis verbunden ist.

2. Meßvorrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Querschnittsfläche des Rohres (2) bei den Meßson­ den (8, 9) sich in Form und/oder Größe im Vergleich zur Quer­ schnittsfläche des Rohres vor und nach den Meßsonden unter­ scheidet.

3. Meßvorrichtung nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Querschnittsfläche des Rohres (2) bei den Meßson­ den (8, 9) rechteckig ist, während die Querschnittsfläche vor und nach den Meßsonden unter Beibehaltung von konstanter Durchstromfläche kreisförmig ist, wobei das Rohr (2) bei den Meßsonden von einem äußeren Gehäuse (12) zum Einschluß der Meßsonden (8, 9) und der Bezugseinrichtung (13, 14) umgeben ist, so daß der Bezugssender (13) und der Bezugsdetektor (14) axial miteinander fluchtend und in wärmeübertragender Berüh­ rung mit dem Rohr (2) angeordnet sind.

4. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Patentansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der Sender (8) und der Be­ zugssender (13) ein gemeinsames Organ sind, das den Detektor (9) der Meßsonden über die Partikel enthaltende Flüssigkeit und den Bezugsdetektor (14) über die Bezugsbahn (R) speist.

5. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Patentansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturkompensations­ schaltkreise für den Detektor (9) und den Bezugsdetektor (14) jeweils in Form einer rückgekoppelten Verstärker-Integrator stufe (19-22, 15-18) ausgebildet sind, die jeweils eine Halte­ stufe (20, 16) aufweisen, die von der Energiequelle (23) ge­ speist ist.

6. Meßvorrichtung nach Patentanspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß die Energiequelle (23) den Sender (8) und den Bezugs­ sender (13) über einen Leistungsverstärkungskreis (24-26) speist, der einen Komparator (24) zum Vergleich der von der Energiequelle abgegebenen pulsierenden Energie mit der vom Bezugsdetektor (14) abgegebenen und nach Verstärkung in dem dazugehörenden Temperaturkompensationsschaltkreis (15-18) in den genannten Komparator (24) eingespeisten pulsierenden Ener­ gie umfaßt, dessen Ausgangssignal nach Integrierung und Verstärkung in den Sender (8) und den Bezugssender (13) ein­ speisbar ist, wobei ein die Konzentration angebendes Meßsignal vom Ausgang des an den Detektor (9) der Meßsonden angeschlos­ senen Verstärkers (19) in dessen Temperaturkompensations­ schaltkreis (19-22) entnehmbar ist.

7. Meßvorrichtung nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß das Meßsignal von dem an dem Detektor (9) der Meßson­ den angeschlossenen Verstärker (19) in dessen Temperaturkom­ pensationsschaltkreis (19-22) in einen Haltekreis (27) ein­ speisbar ist, der einen an die Energiequelle (23) angeschlos­ senen Steuereingang aufweist, wobei der erhaltene Meßwert vom Haltekreis (27) logarithmisch mit der Partikelkonzentration variiert.

8. Meßvorrichtung nach Patentanspruch 7, gekennzeichnet durch einen logarithmischen Verstärkerkreis (28), der zur Erzielung eines in Abhängigkeit von der Partikelkonzentration linear va­ riierenden Meßwertes an den Haltekreis (27) anschließbar ist.

9. Meßvorrichtung nach einem der Patentansprüche 5 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß der Verstärker (19) in dem Tempera­ turkompensationsschaltkreis (19-22) für den Detektor (9) der Meßsonden verschiedene zuschaltbare Rückkopplungsstufen zur Aufteilung des Meßbereichs für verschiedene Partikelkonzentra­ tionen aufweist.