DE2518518A1 - Vorrichtung zur bestimmung einer schichtdicke bzw. zur messung einer oberflaechentopographie - Google Patents

Description

Priorität aus der schwedischen Patentanmeldung Nr. 7405630-0 vom 26. April 1974

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung mittels Licht der durchschnittlichen Dicke einer Schicht, die für das verwendete Licht durchlässig ist und die sich auf einer Oberfläche befindet, deren Eigenschaften von denjenigen der Schicht mit Bezug auf das verwendete Licht verschieden sind, oder zum Erzielen eines Maßes der Oberflächentopographxe einer für das verwendete Licht im wesentlichen undurchlässigen Fläche,

.Seit langem besteht ein Bedarf für eine einfache Messung der Dicke einer Schicht, die auf irgendeiner Form eines Trägers

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angeordnet ist, beispielsweise einer Kunststoffschicht, die auf einem Papierbogen oder auf irgendeinem festen Material vorgesehen ist, z.B. einer Kunststoffschicht auf einer Plattenoberfläche od. dgl.. Besonders bei der Kunststoffbeschichtung von Papierbahnen durch Extrudieren war es bisher sehr schwierig, diese so zu regeln, daß die Dicke der Kunststoffschicht quer zur Bahn gleichmässig ist und daß sich die Dicke im zeitlichen Verlauf nicht verändert, da infolge der Herstellungsverfahren, die hier nicht beschrieben zu werden brauchen, eine Tendenz besteht, daß die Schicht in der Mitte dicker als an den Seiten ist, Ausserdem gibt es bisher kein einfaches Verfahren zur kontinuierlichen Regelung der Schichtdicke ohne Zerstörung der Papierbahn.

Zur Messung der Schichtdicke während des Herstellungsverfahrens an den Stellen, an denen die Messung durchgeführt werden kann, wurde die Papierbahn vor der Kunststoffbeschichtung in der Regel mit einer Wachsschicht von Kante zu Kante versehen. Hierauf wurde der gewachste Teil der Papierbahn ausgeschnitten. Da angenommen wird, daß die Kunststoffschicht gleichmässig längs der Papierbahn aufgebracht wird, und daher die gleiche Dicke sowohl quer zum unbehandelten Papier als auch quer zu dem mit Wachs beschichteten Papier erhält, wurde die Dicke der Kunststoffschicht, mit der die Wachsschicht beschichtet worden ist, welche Kunststoffschicht leicht abgelöst und gemessen werden kann, als Maß für die Kunststoffdicke genommen.

Die Nachteile dieses Verfahrens sind offensichtlich. Die Papierbahn muß mit Wachs versehen und geschnitten werden, was bedeutet, daß die Messung nicht kontinuierlich vorgenommen werden kann, Nach der herkömmlichen Praxis wird diese Messung erst nach Einstellung der Maschine durchgeführt, durch welche die Kunststoffbeschichtung vorgenommen

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wird, so daß die Schichtdicke später geändert werden kann, ohne daß dies während des Herstellungsverfahrens ohne weiteres bemerkt wird.

Der Erfindung liegt daher in erster Linie die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu entwickeln, mit welcher eine zerstörungsfreie Messung der Schichtdicke erzielt werden kann, die vorzugsweise kontinuierlich durchgeführt wird. Dieses Ziel wird dadurch erreicht, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung mit einer Abschirmung versehen ist, die für Licht im wesentlichen undurchlässig ist und die mit einer Kante im wesentlichen senkrecht gegen die Schicht im Falle der Dickenbestimmung anliegt oder gegen die Fläche im Falle der Messung der Oberflächentopographie, und daß zumindest ein Leuchtanzeiger, der gegen den direkten Einfall des verwendeten Lichtes abgeschirmt ist, auf der entgegengesetzten Seite der Abschirmung mit Bezug auf die Seite angeordnet ist, auf welcher das verwendete Licht einfällt, wobei der Leuchtanzeiger lediglich dazu dient, den emittierten verwendeten Lichtstrom anzuzeigen, der bei der Dickenbestimmung an der Unterkante der Abschirmung über die durchlässige Schicht oder bei der Messung der Oberflächentopographie über Hohlräume in der Oberfläche zu der Seite der Abschirmung übertragen wird, über welcher sich der Leuchtanzeiger befindet, und daß das von dem Leuchtanzeiger infolge des übertragenen LichtStroms gelieferte Signal dazu dient, gegebenenfalls nach einer weiteren Bewertung, die Schichtdicke bzw, Oberflächentopographie anzuzeigen. Für eine sichere Wirkungsweise soll die Kante der Abschirmung, die sich gegen die Schicht bzw, Oberfläche abstützt, im Verhältnis zur erwarteten Dicke der Schicht dünn sein.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die Abschirmung um den Leuchtanzeiger bzw, um die Leuchtanzeiger herum angeordnet und mehrere Lichtquellen um die Abschirmung herum. Natürlich kann die Abschirmung stattdessen um die Lichtquelle

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bzw, um die Lichtquellen herum angeordnet und können mehrere Leuchtanzeiger um die Abschirmung herum angeordnet werden.

Am unteren Rand der Abschirmung soll die der Lichtquelle bzw, den Lichtquellen zugekehrte Seite vorzugsweise gegen störendes Licht abgeschirmt sein bzw, alles störende Licht abschirmen, das den Leuchtanzeiger bzw. die Leuchtanzeiger beeinflussen kann. Um den Einfluß von störendem Licht auf ein Mindestmaß herabzusetzen, kann die Lichtquelle bzw. können die Lichtquellen Licht innerhalb eines oder mehrerer schmaler Frequenzbereiche emittieren, die nicht innerhalb des sichtbaren Bereiches zu liegen brauchen, wobei der Leuchtanzeiger bzw. die Leuchtanzeiger vorzugsweise nur für bestimmte Frequenzbereiche empfindlich sind, innerhalb welchen das Licht von der Lichtquelle bzw.von den Lichtquellen vorhanden ist. Polarisiertes Licht kann ebenfalls verwendet werden.

Der Leuchtanzeiger bzw, die Leuchtanzeiger und/oder die Lichtquelle bzw. die Lichtquellen sind vorzugsweise aus einem Material gegossen, das für das verwendete Licht transparent ist, wobei die Gestaltung so getroffen ist, daß die Abschirmung guten Kontakt mit der Oberfläche hat. Die Abschirmung kann vorteilhaft in Form einer Beschichtung vorgesehen werden, die vorzugsweise durch Aufdampfen auf das transparente Material erhalten wird und so angeordnet ist, daß das Licht von der Lichtquelle bzw. von den Lichtquellen den Leuchtanzeiger bzw, die Leuchtanzeiger nur über die Testoberfläche erreichen kann. Für ein noch sichereres Ergebnis können die Lichtquelle bzw. Lichtquellen und/oder der Leuchtanzeiger bzw. die Leuchtanzeiger ferner gegen die Testoberfläche so abgeschirmt werden, daß das Licht auf die Oberfläche einfallen oder von dieser emittiert werden kann und zwar in.Richtung zu einem der Abschirmung benachbarten

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Abschnitt bzw. von diesem.

Um zu erreichen, daß der Lichtstrom von der Lichtquelle bzw, von den Lichtquellen einen gewünschten Pegel hat, der vorzugsweise konstant ist, ist bzw. sind ein zusätzlicher Leuchtanzeiger bzw. mehrere zusätzliche Leuchtanzeiger auf der gleichen Seite der Abschirmung wie die Lichtquelle bzw. Lichtquellen angeordnet, und jeder zusätzliche Leuchtanzeiger wirkt mit einer oder mehreren der Lichtquellen zusammen, so daß das Ausgangssignal jedes zusätzlichen Leuchtanzeigers einem Einstellorgan zugeführt werden kann, welches die Speisung der zu dem entsprechenden zusätzlichen Leuchtanzeiger gehörenden Lichtquellen so einstellt, daß das Ausgangssignal des zusätzlichen .Leuchtanzeigers auf einem konstanten Wert gehalten wird.

Zur gleichzeitigen Feststellung, ob die Schichtdicke die gleiche an verschiedenen Stellen einer Oberfläche ist, kann die Vorrichtung ferner mit zusätzlichen Organen der gleichen Art versehen werden, welche alle gegeneinander für gesonderte Bestimmungen der Schichtdicke oder Messungen der Oberflächentopographie an verschiedenen Bereichen der Oberfläche abgeschirmt sind. Zur kontinuierlichen Messung, beispielsweise eines Kunststoffüberzugs auf einer Papierbahn ist es vorteilhaft, wenn alle Organe von ähnlicher Art in einer Reihe nebeneinander angeordnet sind. Die vorstehenden und weitere Ziele und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen und zwar zeigen;

Fig. 1 eine Schnittansicht einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung}

Fig. 2 eine Ansicht im Schnitt nach der Linie II-II in Fig, I;

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Fig. 3 eine Ansicht einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung und

Fig. 4- eine Ansicht im Schnitt durch die Vorrichtung nach der Linie IV-IV in Fig. 3.

In Fig. 1 und 2 ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt, bei welcher eine Photodiode 1 durch Licht von vier Lichtquellen 2 erregt wird, die aus Lampen von der gezeigten Ausführungsform bestehen. Das Licht aus den Lichtquellen erregt die Photodiode 1 nicht direkt sondern über eine Schicht 3 aus transparentem Kunststoff, die auf einem Material angeordnet ist, welches für das verwendete Licht relativ undurchlässig ist, für welchen Zweck eine Abschirmung 4 aus einem Material, welches für das verwendete Licht im wesentlichen undurchlässig ist, nahe der Schicht 3 liegt, so daß das Licht von den Lichtquellen 2 die Photodiode 1 nicht unmittelbar, sondern über die Schicht 3 erreicht.

Natürlich können auch Photodioden, die in geeigneter Weise geschaltet sind, an Stelle einer einzigen verwendet werden. Bei der gezeigten Ausführungsform ist die Photodiode 1, die in den Zeichnungen nur schematisch dargestellt ist, in einem transparenten Kunststoffzylinder 5 eingebettet, auf welchem die Abschirmung 4 um die Mantelfläche und an der einen Endfläche, beispielsweise in Form einer Aluminiumschicht, angeordnet ist, die durch Aufdampfen aufgebracht worden ist, welche Schicht mit Bezug auf die erwartete Dicke des Überzugs, zumindest an der Kante, die an der Schicht 3 anliegt, dünn sein soll. Bei einer erwarteten Schichtdicke der Schicht 3 von 15 Mikron hat sich eine Dicke der Aluminiumschicht von 4 Mikron als geeignet erwiesen.

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Auch die Lichtquellen 2 sind in einem hohlen finder 6 aus Kunststoff eingebettet, der für das verwendete Licht durchlässig ist und den Zylinder 5 zusammen mit der Abschirmung 4 umgibt und verhältnismässig dicht gegen die Abschirmung 4 abschließt. Die Aussenseite des Hohlzylinders 6 ist ebenfalls mit einer Abschirmung 7 versehen, jedoch ist diese vorzugsweise viel dicker als die Abschirmung 4 da sie störendes Licht ausschließen soll. Es ist wichtig, daß die Abschirmung 4 wirklich gegen die Schicht 3 anliegt, weshalb der Zylinder 5 mit der Abschirmung 4 gegen die Schicht 3 mit Hilfe eines Gummibandes 9' gepreßt wird, das über dem Zylinder 5 angeordnet und an seinen beiden Enden in Haken 8 befestigt ist. Natürlich kann irgendeine andere Vorrichtung, welche einen zufriedenstellenden Kontakt zwischen dem Zylinder 5 und der Schicht 3 ergibt, verwendet werden. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Seite der Lichtquellen und der Leuchtanzeiger, die der Testfläche gegenüberliegen, durch Abschirmungen 9 und 10 abgeschirmt, so daß Licht nur in Richtung zu oder von einem der Abschirmung benachbarten Abschnitt auf die Fläche einfallen bzw. von dieser emittiert werden kann.

Bei dieser Ausführungsform ist es ferner möglich, anstelle einer Photodiode, die in der Mitte angeordnet ist, und eine Abschirmung um sich herum hat, wobei die Lichtquellen um die Abschirmung herum angeordnet sind, eine solche Anordnung zu verwenden, bei welcher eine oder mehrere Lichtquellen mit einer Abschirmung um sich herum vorgesehen ist, und die Photodioden in geeigneter Weise geschaltet um die Abschirmung herum vorgesehen sind.

Derjenige Teil des Zylinders 5 und der Abschirmung 4, der der Schicht 3 zugekehrt ist, ist ferner so ausgebildet, daß die Abschirmung 4 guten Kontakt mit der Fläche hat, und

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bei dem dargestellten Fall mit einer flachen zusammenhängenden Schicht ist der Zylinder 5 mit der Abschirmung 4-plangeschliffen ebenso wie der Hohlzylinder 6 mit der Abschirmung 7.

Fig. 3 und ·+ zeigen in schematischer Darstellung eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung in erster Linie zur kontinuierlichen Regelung der Dicke der Kunststoffschicht einer Papierbahn, die mit einem Kunststoff beschichtet ist, der für das verwendete Licht durchlässig ist. Mehrere Abschnitte 11, 12 sind nebeneinander angeordnet, welche Abschnitte bei der dargestellten Ausführungsform je aus einer Lichtquelle 13, 14 und einem Leuchtanzeiger 16, 17 auf der anderen Seite der Abschirmung 15 bestehen, der über die Schicht 3 durch das Licht von der Lichtquelle beeinflußt wird, Ausserdem ist auf der gleichen Seite der Abschirmung 15 wie die Lichtquä-le 13 ein weiterer Leuchtanzeiger 19, 20 angeordnet, dessen Ausgangssignal einer Regleranordnung 25, 26 zugeführt wird, die die Stromzufuhr zur Lichtquelle in der Weise einstellt, daß das Ausgangssignal des anderen Leuchtanzeigers 19, konstant gehalten wird. Durch diese Maßnahme ist gewährleistet, daß das Licht, das von der Lichtquelle ausgestrahlt wird, konstant gehalten wird, auf welche Weise ein sichereres Meßergebnis erhalten wird, da die Veränderung des zum Leuchtanzeiger 16, 17 übertragenen Lichtes lediglich von den Eigenschaften der Schicht 3 und gegebenenfalls auch von denjenigen des Materials, das sich unter der Schicht 3 befindet, abhängt und nicht von möglichen Schwankungen des von der eigentlichen Lichtquelle abgestrahlten Lichtes.

Z wischen allen benachbarten Abschnitten 11, 12 befinden sich verhältnismässig breite Zwischenwände 18, 21, um zu verhindern, daß die verschiedenen Abschnitte einander er-

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regen, Ausserdem ist ein Gehäuse 22 um die ganze Meßvorrichtung herum angeordnet, um zu verhindern, daß äusseres Licht störender Art in die Vorrichtung eindringt, und Fehler in den Meßergebnissen verursacht.

Damit sich die Abschirmung 15 in gutem Kontakt mit der Schicht 3 befindet, ist ein bestimmter Unterdruck in diesem Falle um die Abschirmung herum vorgesehen, so daß z.B. im Falle einer Papierbahn, die mit Kunststoff beschichtet ist, diese in Kontakt mit der Abschirmung 15 gesaugt wird. Bei der dargestellten Ausführungsform wird dies mit Hilfe eines Rohrleitungssystems 23, 24 erreicht, von dem ein Rohr im Dach jeder Kammer in jedem Abschnitt endet und die Rohre vorzugsweise mit einer gemeinsamen Unterdruckquelle verbunden sind. Da weder die Lichtquelle noch die Leuchtanzeiger in einem Material eingebettet sind, das für das verwendete Licht transparent ist, besteht die Abschirmung 15 bei der dargestellten Ausführungsform aus Gründen der Festigkeit aus einer verhältnismässxg dicken Scheibe, die an ihrem unteren Rand abgeschrägt ist und gegen die Schicht 3 anliegt, so daß eine Kante erhalten wird, da es für ein gutes Ergebnis erwünscht ist, daß der Rand der Abschirmung 15, der sich gegen dieSohicht abstützt, dünn mit Bezug auf die erwartete Dicke der Schicht ist. In diesem Falle muß jedoch darauf geachtet werden, daß die Kante nicht so scharf und/oder die Saugwirkung nicht so stark ist, daß die Kante das Material, dessen Dicke gemessen werden soll, dadurch beschädigen kann, daß sie durch das Material hindurchschneidet. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Unterkante der Abschirmung etwas abgerundet und ausserdem ist die Abschrägung so gerichtet, daß das Meßobjekt, das sich in der Richtung des Pfeils F bewegt, nicht auf die Kante auftrifft, sondern längs derselben gezogen wird.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist nicht nur zur Messung

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- ίο -

der Dicke einer Schicht bestimmt, die für das verwendete Licht transparent ist und auf einer Oberfläche einer Vorrichtung aus einem Material angeordnet ist, das für das verwendete Licht relativ undurchlässig ist, sondern kann auch mit einem verhältnismässxg guten Ergebnis zur Messung der Dicke einer Schicht aus einem Material verwendet werden, das nicht direkt transparent für das verwendete Licht ist, sondern lediglich durchlässig und auf einer Fläche einer Vorrichtung aus einem Material angeordnet ist, das für das verwendete Licht weniger durchlässig ist als dasjenige der auf der erwähnten Fläche angeordneten Schicht.

Es wurde ferner festgestellt, daß es möglich ist, die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu zu verwenden, um in einfacher Weise eine Messung der Oberflächentopographie einer Fläche zu erhalten, d.h. eine Messung davon zu erhalten, wie eben oder rauh eine Fläche ist, da, wenn die Abschirmung Kontakt mit einer Fläche macht, mehr Licht unter der Abschirmung hindurchtreten kann, je rauher die Oberfläche ist.

Innerhalb des Rahmens der Erfindung sind mehrere verschiedene Abänderungen möglich,

Patentansprüche;

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Claims (1)

1. - li -

   Patentansprüche :

   ,*1. ^Vorrichtung zur Bestimmung mittels Licht der mittleren —'Dicke einer Schicht, die für das verwendete Licht durchlässig und auf einer Fläche angeordnet ist, deren Eigenschaften von denjenigen der Schicht mit Bezug auf das verwendete Licht verschieden sind, oder zur Durchführung einer Messung der Oberflächentopographie einer Fläche, die für das verwendete Licht im wesentlichen undurchlässig ist, gekennzeichnet durch eine Abschirmung (H), die im wesentlichen lichtundurchlässig ist und sich im wesentlichen senkrecht mit einer Kante gegen die erwähnte Schicht (3) im Falle einer Dickenbestimmung oder gegen die erwähnte Fläche im Falle einer Messung der Oberflächentopographie abstützt, und mindestens einen Leuchtanzeiger (1), der gegen direktes Einfallen des verwendetenLichtes abgeschirmt und auf der entgegengesetzten Seite der Abschirmung (M-) mit Bezug auf diejenige Seite angeordnet ist, auf der das verwendete Licht einfällt, welcher Leuchtanzeiger (1) lediglich dazu dient, den emittierten verwendeten Lichtstrom anzuzeigen, der bei der Dickenbestimmung am unteren Rand der Abschirmung über die durchlässige Schicht oder bei der Messung der Oberflächentopographie über Hohlräume in der Fläche auf der Seite der Abschirmung übertragen wird, auf welcher sich der erwähnte Leuchtanzeiger (1) befindet, und das Signal, das von dem Leuchtanzeiger infolge des Übertragenen Lichtstroms abgegeben wird, dazu dient, gegebenenfalls nach einer weiteren Aus-

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   Wertung, die Schichtdicke oder die Oberflächentopographie anzuzeigen.

   2, Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rand der Abschirmung (¹O, der sich gegen die Schicht (3) der Fläche abstützt, mit Bezug auf die erwartete Dicke der Schicht oder der Oberflachentopographie dünn ist.

   3, Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (*O um den Leuchtanzeiger (1) oder um die Leuchtanzeiger (Fig. 1 und 2) herum angeordnet ist.

   Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere das verwendete Licht emittierende Lichtquellen C2) um die Abschirmung herum angeordnet sind*

   Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2₉ dadtareh gekennzeichnet, d*Ä die Abschirmung um die das verendete Licht emittierende Lichtquelle bzw» emittierenden Lichtquellen herum angeordnet ist.

   6, Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Leuchtanzeiger um die Abschirmung herum angeordnet sind»

   Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß der untere Rand der Abschirmung (t), vorzugsweise auf der der Lichtquelle (2) bzw. den Licht-

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   quellen zugekehrten Seite abgeschirmt ist oder alles störende Licht abschirmt, welches den Leuchtanzeiger (1) bzw, die Leuchtanzeiger beinflussen kann.

   8, Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (2) bzw. die Lichtquellen Licht innerhalb eines oder mehrerer schmaler Frequenzbereiche emittieren und/oder der Leuchtanzeiger (1) bzw. die Leuchtanzeiger vorzugsweise nur für bestimmte Frequenzbereiche empfindlich sind, innerhalb welcher das Licht der Lichtquelle bzw, der Lichtquellen liegt.

   9, Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Licht polarisiert ist.

   10, Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtanzeiger Cl) bzw, die Leuchtanzeiger und/oder die Lichtquelle (2) bzw, die Lichtquellen von einem Material umgössen sind, welches für das verwendete Licht durchlässig ist, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß die Abschirmung (U) guten Kontakt mit der erwähnten Fläche hat.

   11, Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (4) in Form einer Beschichtung vorgesehen ist, die vorzugsweise durch Aufdampfen auf das transparente Material erhalten worden und zwischen dem Leuchtanzeiger (1) oder den Leuchtanzeigern so angeordnet ist,

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   daß das Licht von der Lichtquelle (2) bzw. von den Lichtquellen den Leuchtanzeiger bzw. die Leuchtanzeiger nur über die Fläche erreichen kann.

   12, Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß diejenige Seite der Lichtquelle (2) bzw. der Lichtquellen und/oder diejenige des Leuchtanzeigers (1) bzw, der Leuchtanzeiger, die der Fläche zugekehrt ist, abgeschirmt (9, 10) ist, so daß Licht nur in Richtung zu oder von einem der Abschirmung (4) (Fig. 1) benachbarten Abschnitt auf die Fläche einfallen bzw. von dieser emittiert werden kann.

   13, Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß ein zusätzlicher bzw. mehrere zusätzliche Leuchtanzeiger (19; 20) auf der gleichen Seite der Abschirmung (15) wie die Lichtquelle (13; 14) oder die Lichtquellen angeordnet sind und daß jeder zusätzliche Leuchtanzeiger mit einer oder mehreren der Lichtquellen so zusanmenwirkt, daß das Ausgangssignal jedes zusätzlichen Leuchtanzeigers einem Einstellorgan zugeführt wird, das dazu dient, die Speisung der Lichtquellen, die zu dem jeweiligen zusätzlichen Leuchtanzeiger gehört, so einzustellen, daß das Ausgangssignal des jeweils zusätzlichen Leuchtanzeigers konstant gehalten wird.

   Vorrichtung nach den vorangehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß diese ferner mit zusätzlichen Organen

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   von einer den jeweiligen Abschirmungen, Lichtquellen und Leuchtanzeigern ähnlichen Art versehen ist, welche Organe mit Bezug aufeinander für gesonderte Bestimmungen der Schichtdicke oder Messungen der Oberflächentopographie verschiedener Bereiche der erwähnten Fläche abgeschirmt sind.

   15,.Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß alle Organe von ähnlicher Art in einer Reihe nebeneinander angeordnet sind»

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