DE3208195A1 - Ultraschall-reinigungsverfahren - Google Patents
Ultraschall-reinigungsverfahrenInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 12
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 2
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823208195 DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823208195 DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3208195A1 true DE3208195A1 (de) | 1983-09-08 |
| DE3208195C2 DE3208195C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | 1992-01-02 |
Family
ID=6157561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19823208195 Granted DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3208195A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4404473A1 (de) * | 1994-02-14 | 1995-09-07 | Gevi Gmbh | Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen |
| DE19602917A1 (de) * | 1996-01-20 | 1997-07-24 | Hielscher Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von faden- oder von bandförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE743794C (de) * | 1940-02-29 | 1944-01-03 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum Reinigen von Gegenstaenden |
| US3175567A (en) * | 1962-08-10 | 1965-03-30 | Elliott Brothers London Ltd | Apparatus for effecting ultrasonic cleaning of the interior of vessels |
| DE2624369A1 (de) * | 1975-06-02 | 1976-12-09 | Mccord James W | Ueberschallreinigungsgeraet |
| DE2747082A1 (de) * | 1976-10-26 | 1978-05-03 | Branson Ultrasonics Corp | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von werkstuecken mittels ultraschall |
-
1982
- 1982-03-06 DE DE19823208195 patent/DE3208195A1/de active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE743794C (de) * | 1940-02-29 | 1944-01-03 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum Reinigen von Gegenstaenden |
| US3175567A (en) * | 1962-08-10 | 1965-03-30 | Elliott Brothers London Ltd | Apparatus for effecting ultrasonic cleaning of the interior of vessels |
| DE2624369A1 (de) * | 1975-06-02 | 1976-12-09 | Mccord James W | Ueberschallreinigungsgeraet |
| DE2747082A1 (de) * | 1976-10-26 | 1978-05-03 | Branson Ultrasonics Corp | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von werkstuecken mittels ultraschall |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4404473A1 (de) * | 1994-02-14 | 1995-09-07 | Gevi Gmbh | Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen |
| DE4404473C2 (de) * | 1994-02-14 | 1998-01-15 | Gevi Gmbh | Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen |
| DE19602917A1 (de) * | 1996-01-20 | 1997-07-24 | Hielscher Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von faden- oder von bandförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht |
| DE19602917C2 (de) * | 1996-01-20 | 1998-10-08 | Hielscher Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von fadenförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3208195C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | 1992-01-02 |
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| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
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| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE |
|
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |