DE3321741C2 - Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselben - Google Patents
Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselbenInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 20
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 title claims description 14
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 title description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 10
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 9
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 206010010774 Constipation Diseases 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- GGNALUCSASGNCK-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;propan-2-ol Chemical compound O=C=O.CC(C)O GGNALUCSASGNCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000009415 formwork Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D41/00—Regeneration of the filtering material or filter elements outside the filter for liquid or gaseous fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Description
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zum zerstörungs
freien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermateria
lien, insbesondere Metall filtern, unter Verwendung von Ul
traschall und mit einer Vorrichtung zur Durchführung dieses
Verfahrens.
Ein Verfahren der vorstehend genannten Art sowie eine Vorrichtung
zur Durchführung desselben sind aus US 3 056 698 bekannt. Hierbei
wird ein Ultraschallgerät zur Reinigung und Ablösung von
Ablagerungen von Filtern eingesetzt. Das zu reinigende und von
Ablagerungen zu befreiende Gut wird in ein schwaches Reinigungs
fluid eingebracht, das ein Lösungsmittel für Öle und Fett ist,
das aber gegenüber den Metallteilen nicht korrosiv wirkt, und das
in flüssiger Form vorliegt. Mit Hilfe eines Ultraschallgenerators
werden Schwingungen mit Ultraschallfrequenzen in unmittelbarer
Nähe einer Fläche des Filtersiebes des eingetauchten Filters
erzeugt, wodurch äußerst starke Hohlraumbildungen in einer
begrenzten Säule des Reinigungsfluids erzeugt werden.
Die Regeneration von Metallfiltern bei ihrer Verblindung und
Verstopfung durch Rückstände von kunststoffenthaltenden Suspen
sionen kann beispielsweise mit chemischen Lösungsmitteln, wie
temperierten Säuren und Laugen, erfolgen. Hierbei ergibt sich als
Problem ein nicht zu unterschätzendes Handhabungsrisiko und zudem
ist zur Durchführung dieser Regenerationsarbeit geschultes
Personal erforderlich. Auch tragen die hohen Chemikalienkosten
zu erhöhten Regenerationskosten bei, worunter die Wirtschaft
lichkeit der Regeneration derartiger Trägermaterialien leidet.
Auch wurde versucht, Metallfilter, die durch magnetische Suspen
sionen verschmutzt sind, in flüssigem Stickstoff mit Ultraschall
während fünf Minuten zu behandeln. Analoge Versuche wurden in
Gegenwart von Isopropanol-CO₂ mit einer Einwirkungsdauer bis zu
drei Stunden durchgeführt. Hierbei hat sich gezeigt, daß trotz
der durch den Ultraschall bewirkten Erschütterungen (Mikro- und
Makroturbulenzen) die Elastizität der kunststoffhaltigen
Suspensionen genügt, um deren Ablösung vom Metallfilter zu
widerstehen. Ferner besteht bei längerer Einwirkungsdauer von
Ultraschall die Gefahr eines Versagens des Filters durch
Materialermüdung.
Aus JP-57-147 414 (A) ist die Verwendung eines sauerstoffhaltigen
Mediums zur Regeneration von Metallfiltern bekannt. Die dort
beschriebenen Versuchsergebnisse zeigen, daß ausschließlich das
sauerstoffhaltige Medium zur Regeneration der Metallfilter
genutzt wird.
In CH-272 271 ist ein Ultraschallgerät zur Reinigung und Ablösung
von Ablagerungen von Filtern beschrieben. Hierbei kann das zu
reinigende Teil von einem chemischen Fluid oder einer Flüssigkeit
umgeben sein, welche das abgelagerte Material angreift und
anlöst, welches bei der Reinigung zu entfernen ist. Hierdurch
kann die durch Ultraschallbeaufschlagung vorgenommene Reinigung
unterstützt und verstärkt werden.
Aus US 4 278 493 ist eine Ionenstrahlbehandlung zur Reinigung von
Ablagerungen auf Trägermaterialien bekannt. Ionenstrahlen
enthalten ionisierte Teile, während ein Plasma per Definition nur
Atome ohne Elektronenhülle umfaßt.
In US 4 289 598 ist eine Plasmabehandlung beschrieben, bei er ein
Vakuumbehälter eingesetzt wird, welcher eine darin befindliche
Kammer hat, die das Plasmareaktorgehäuse bildet. Bei dieser Plas
mabehandlung wird ausschließlich im Vakuum gearbeitet, so daß
jegliches ultraschalleitende Medium bei einer derartigen Behand
lungsweise fehlt. Ferner sind dort zum Hintergrund noch ein ent
weder nasses chemisches (mit Säure arbeitendes) Verfahren oder
eine trockenarbeitendes (mit Plasma arbeitendes) Verfahren ange
geben.
Der Erfindung hingegen liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von
Trägermaterialien sowie eine Vorrichtung zur Durchführung
desselben bereitzustellen, welche eine effektive Reinigung und
Ablösung von Ablagerungen auf möglichst einfache Weise ohne
Lösungsmittel gestatten.
Nach der Erfindung wird hierzu ein Verfahren zum zerstörungs
freien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermateria
lien, insbesondere Metall filtern, unter Verwendung von Ul
traschall bereitgestellt, weiches sich dadurch auszeichnet, daß
das zu reinigende Trägermaterial einem Plasma ausgesetzt wird und
gleichzeitig der Ultraschall körperschalleitend pulsierend auf
das Trägermaterial übertragen wird.
Durch die kombinatorische Verknüpfung und des hierbei erzielten
synergistischen Effekts von Ultraschallbehandlung und körper
schal leitender Übertragung auf das Trägermaterial im Hochvakuum
eines Plasmas lassen sich das Ultraschallreinigen und das
Plasmareinigen in der Weise miteinander verknüpfen, daß man die
Reinigungswirkungen beider Verfahrensweisen bei möglichst geringem
Verlust erhält, wodurch sich die Reinigungswirkung wesentlich
gegenüber den bisher getrennt zur Anwendung kommenden Einzelver
fahren steigern läßt. Hiermit ermöglicht das erfindungsgemäße
Verfahren eine effektive Reinigung und Ablösung von Ablagerungen
von Trägermaterialien ohne den Einsatz eines Lösungsmittels.
Obgleich an sich bei einem Plasma ein schalleitendes Medium
fehlt, erfolgt bei der erfindungsgemäßen Verfahrensweise die
Ultraschallbeaufschlagung körperschalleitend, das heißt, die
Ultraschallbeaufschlagung wird unmittelbar durch körperliche
Schalleitung auf das zu reinigende Trägermaterial übertragen.
Hierdurch können bisher benötigte zusätzliche Reinigungshilfs
mittel, wie Lösungsmittel für die abzureinigenden und abzulösen
den Ablagerungen, ersatzlos entfallen, so daß die Erfindung eine
umweltfreundliche Regeneration von Trägermaterialien, ins
besondere Metall filtern gestattet.
Aus Umweltschutzgründen ist das Plasma vorzugsweise ein Sauer
stoffplasma.
Ferner wird nach der Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung
des Verfahrens nach der Erfindung bereitgestellt, welche im
Anspruch 3 angegeben ist.
Vorteilhafte Weiterbildung dieser Vorrichtung sind in den
Ansprüchen 4 bis 6 wiedergegeben.
Nachstehend wird zur näheren Erläuterung der Erfindung eine
bevorzugte Ausführungsform als Beispiel erörtert.
Zur Reinigung und Regenerierung von Metallfiltern von von
Suspensionen herrührenden Verunreinigungen, welche organischer
oder anorganischer Natur sein können, und bei denen es sich
insbesondere um bindemittelhaltige magnetische Lacke handeln
kann, wird ein mit Sauerstoff betreibbarer Plasmaionisator
eingesetzt. Dieser umfaßt eine Prozeßkammer und einen Hoch
frequenzregenerator. In die Prozeßkammer wird nach dem Einbringen
eines zu reinigenden Filters bei einem Druck bis einem Torr
Sauerstoff eingeleitet, und das Gas durch Anlegen eines Hoch
frequenzfeldes ionisiert. Der angeregte Sauerstoff verascht schon
bei Temperaturen bis 200°C die an der Oberfläche des Metall
filters beispielsweise haftenden Lackrückstände. Über einen mit
einer Bohrung versehenen Deckel der Prozeßkammer wird vor der
Einführung des zu reinigenden Metallfilters die Sonde eines
Ultraschallhomogenisators eingeführt, welcher einen Generator und
einen piezoelektrischen Kristallwandler umfaßt. Mit Hilfe der
Sonde wird die elektrische Leistung in eine akustische umgewan
delt. Die am Deckel der Kammer befestigte Sonde wird gegenüber
der Prozeßkammer mit Hilfe eines Simmerrings abgedichtet. Die
Sondenspitze ist zweckmäßigerweise als Halteeinrichtung für den
zu reinigenden Metallfilter ausgebildet, damit eine optimale
Übertragung der Schallwellen als Körperschall gewährleistet ist.
Ein zu reinigendes bzw. von Ablagerungen zu beifreiendes Trägerma
terial wurde bei einem Beispiel zwei Stunden lang dem Plasma
ausgesetzt und währenddessen pulsweise für eine Dauer von ca. 1
bis 3 Minuten mit Ultraschall beaufschlagt. Hierbei hat sich
gezeigt, daß das so gereinigte Trägermaterial den größten Teil
seiner ursprünglichen Leistungsfähigkeit wieder zurückerhalten
hat. Somit erlaubt das Verfahren in einfacher und wirksamer Weise
und ohne Verbrauch von Lösungsmitteln eine lohnende Regenerierung
von Metallfiltern.
Claims (6)
1. Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von
Ablagerungen von Trägermaterialien, insbesondere Metall
filtern, unter Verwendung von Ultraschall, dadurch gekenn
zeichnet, daß das zu reinigende Trägermaterial einem Plasma
ausgesetzt wird, und gleichzeitig der Ultraschall körper
schalleitend pulsierend auf das Trägermaterial übertragen
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Plasma ein Sauerstoff-Plasma ist.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch
1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Plasmaionisator
mit einer Prozeßkammer vorgesehen ist, die mit einer
Vakuumpumpe verbunden ist, und daß in der Prozeßkammer die
Sonde eines Ultraschallhomogenisators angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
Ultraschallhomogenisator einen piezoelektrischen Kristall
wandler aufweist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Prozeßkammer einen Deckel aufweist, welcher mit
einer Bohrung zur Einführung und Befestigung der Sonde
versehen ist, und daß die Bohrung und die Sonde über einen
Simmerring abgedichtet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spitze der in die Prozeßkammer
hineinragenden Sonde mit einer Halteeinrichtung für das
Trägermaterial, insbesondere den Metallfilter, zur direkten
Übertragung der Schallwellen auf den Filterkörper versehen
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833321741 DE3321741C2 (de) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833321741 DE3321741C2 (de) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselben |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3321741A1 DE3321741A1 (de) | 1984-12-20 |
DE3321741C2 true DE3321741C2 (de) | 1996-08-29 |
Family
ID=6201640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833321741 Expired - Fee Related DE3321741C2 (de) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselben |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3321741C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102527132A (zh) * | 2010-11-19 | 2012-07-04 | 精工爱普生株式会社 | 微粒分离装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19502133A1 (de) * | 1995-01-25 | 1996-08-01 | Tiller Hans Juergen | Verfahren zur Sterilisation von metallischen medizinischen Instrumenten |
DE10311552B4 (de) * | 2003-03-17 | 2006-02-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von anhaftenden Verunreinigungen |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH272271A (fr) * | 1947-05-19 | 1950-12-15 | Saint Gobain | Procédé pour le nettoyage de pièces présentant des dépôts sur leur surface. |
US3056698A (en) * | 1959-11-02 | 1962-10-02 | Cavitron Ultrasonics Inc | Method and apparatus for cleaning porous objects |
US4278493A (en) * | 1980-04-28 | 1981-07-14 | International Business Machines Corporation | Method for cleaning surfaces by ion milling |
US4289598A (en) * | 1980-05-03 | 1981-09-15 | Technics, Inc. | Plasma reactor and method therefor |
JPS5924847B2 (ja) * | 1981-03-09 | 1984-06-12 | 東レ株式会社 | 金属フイルタ−の再生方法 |
-
1983
- 1983-06-16 DE DE19833321741 patent/DE3321741C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102527132A (zh) * | 2010-11-19 | 2012-07-04 | 精工爱普生株式会社 | 微粒分离装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3321741A1 (de) | 1984-12-20 |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
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|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee | ||
8170 | Reinstatement of the former position | ||
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee | ||
8370 | Indication of lapse of patent is to be deleted | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee | ||
8370 | Indication of lapse of patent is to be deleted | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |