DE3204535A1

DE3204535A1 - Verfahren zur herstellung einer farbauswahlelektrode fuer eine farbbildroehre

Info

Publication number: DE3204535A1
Application number: DE19823204535
Authority: DE
Inventors: Adrianus Henricus Maria 5621 Eindhoben Van den Berg
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1981-02-16
Filing date: 1982-02-10
Publication date: 1982-09-02
Also published as: US4427396A; NL8100730A; CA1191193A; KR900004185B1; FR2500212A1; KR830009636A; IT1149644B; JPS57152639A; DE3204535C2; GB2092920A; IT8219654A0; FR2500212B1; JPH0320007B2; GB2092920B

Description

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Verfahren zur Herstellung einer Farbauswahlelektrode für eine Farbbildröhre

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Farbauswahlelektrode für eine Farbbildröhre, bei dem die Farbauswahlelektrode mit einem mit einem Muster von Offnungen versehenen Lochmaskenblatt versehen wird, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

a) die Anbringung von Mustern von Offnungen in einem Stahlband mit Hilfe eines Photoätzvorgangs,

b) das Schneiden von Maskenblättern aus dem Stahlband, wobei jedes Maskenblatt mit einem Muster von Offnungen versehen wird,

c) das Ausglühen eines Stapels von Maskenblättern bei einer Höchsttemperatur, die über der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter aneinander zu haften beginnen, und

d) das Tiefziehen jedes Maskenblatts zu einer Schalenform. Eine Farbbildröhre enthält gewöhnlich in einem Glaskolben ein Elektronenstrahlerzeugungssystem zum Erzeuger dreier Elektronenstrahlen und einen Bildschirm, der mit Trios in den Farben Rot, Grün und Blau aufleuchtender Leuchtstoffe versehen ist. In geringer Entfernung vor dem BiIdschirm ist eine mit einer Vielzahl von Offnungen versehene Farbauswahlelektrode derart aufgehängt, dass jeder Elektronenstrahl den Leuchtstoffen einer bestimmten Farbe zugeordnet wird. Die Farbauswahlelektrode ist meistens eine mit Reihen schlitzförmiger Offnungen versehene Lochmaske.

Ein Verfahren eingangs erwähnter Art ist aus der US-PS k 210 8A-3 bekannt. Dabei wird von einem Stahlband mit einer Dicke von 0,15 mm bis 0,20 mm ausgegangen. Das Band besteht aus einem porenfreien ("interstitial free") Stahl. Ein porenfreier Stahl ist dabei ein Stahl mit einer verhältnismässig grossen Härte und einem niedrigen Kohlenstoffgehalt, der geringe Mengen eines oder mehrerer Elemente, wie Titan,. Niob, Zirkonium und Aluminium, enthält. Diese Elemente bilden mit den im Stahl vorhandenen Kohlenstoff-

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und Stickstoffatomen Carbide und Nitride. In dem Stahlband werden mit Hilfe~eines Photoätzvorgangs Muster von Offnungen angebracht. Das Stahlband wird dann derart in Stücke geschnitten, dass flache mit einem Muster von Offnungen versehene Maskenblätter erhalten werden. Um Ausschuss infolge mechanischer Beschädigungen während der vorhergehenden Verfahrensschritte zu vermeiden, ist das Ausgangsmaterial verhältnismässig hart.

Die flachen Maskenblätter sind jedoch zu hart, um zu ihrer endgültigen Schalenform tiefgezogen zu werden.

Um die Härte der Maskenblätter für das Tiefziehen herabzusetzen, werden die Maskenblätter während einer bestimmten Zeitdauer bei einer verhältnismässig niedrigen Temperatur ausgeglüht. Die Maskenblätter werden dazu z.B. zu zwanzig

^ Stück aufeinandergestapelt und.1 bis 2 Stunden in einem Ofen ausgeglüht, wobei die maximale Ausglühtemperatur zwischen 6OO°C und 85O⁰C liegt. Die maximale Ausglühtemperatur ist aber in allen Fällen niedriger als die Temperatur, bei der die Maskenblätter durch molekulare thermische Schweissvorgänge ("sintering") aneinanderheften. Durch das Ausglühen der Maskenblätter unter diesen Bedingungen findet eine Rekristallisation des Stahlmaterials statt, wobei eine Korngrösse mit einem Durchmesser von höchstens O,O4 mm erhalten wird. Durch das Wachstum der Korngrösse bekommen die Maskenblätter eine geringe Härte, so dass die Maskenblätter zu ihrer endgültigen Form tiefgezogen werden können.

Der Vorteil der Anwendung porenfreien Stahls bei dem obenbeschriebenen Verfahren ist der, dass dieser Stahl nahezu keine Streckgrenzverlängerung ("yield point elongation") aufweist, wodurch beim Tiefziehen der Maske keine Fliessfiguren ("stretcher strains") auftreten. Dadurch kann bei niedrigeren Temperaturen als bei dem üblichen Herstellungsverfahren ausgeglüht werden und brauchen die Maskenblätter nach dem Ausglühen auch nicht durch Rollen

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flachgemacht (,"roll-levelled") zu werden.

Dieses bekannte Verfahren weist jedoch den Nachteil auf, dass durch das Ausglühen tei einer Höchsttemperatur, die unter der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter

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aneinander zu haften beginnen, eine geringe mittlere Korngrösse erhalten_jtfird. Durch diese geringe mittlere Korngrösse tritt eine schlechte magnetische Abschirmung durch die Lochmaske auf. In einer Farbbildröhre sollen die Elektronenstrahlen gegen das erdmagnetische Feld abgeschirmt werden, um Farbfehler infolge einer Fehllandung der Elektronen zu vermeiden. In einer Farbbildröhre werden die Elektronenstrahlen durch eine gewöhnlich in der Röhre angebrachte Abschirmkappe aus ferromagnetischem Material

^O und durch die ebenfalls aus ferromagnetischem Material bestehende Lochmaske gegen das erdmagnetische Feld abgeschirmt. Die geringe magnetische Abschirmung bei nach dem bekannten Verfahren hergestellten Lochmasken tritt vor allem bei grossen Bildröhrenformaten, wie Bildröhren mit einer Schirmdiagonale von 56 cm und 66 cm, auf. Bei kleinen Bildröhrenformaten stellt der am Maskenblatt befestigte Maskenring noch eine angemessene magnetische Abschirmung sicher. Um eine bessere magnetische Abschirmung zu erhalten, ist eine grössere mittlere Korngrösse des Maskenmaterials erforderlich. Diese grössere mittlere Korngrösse kann dadurch erhalten werden, dass dio Maskenblätter bei einer Höchsttemperatur ausgeglüht werden, die über der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter durch thermomolekulare Schweisstellen aneinander zu haften beginnen. Ein Maskenblatt kann in diesem Falle nach dem Ausglühen eines Stapels nicht ohne weiteres von Maskenblättern vom Stapel abgezogen werden, weil dann Kratzer, Risse und Knicke in den Maskenblättern gebildet werden können, wodurch die Maskenblätter unbrauchbar werden. Die gegenseibige Haftung der Maskenblätter ist denn auch ein Problem, wenn die Maskenblätter bei einer Höchsttemperatur ausgeglüht werden, die über der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter aneinander zu haften beginnen.

Bei dem üblichen Herstellungsverfahren, das auch in der US-PS k 210 843 als Stand der Technik beschrieben ist, werden Stähle verwendet, die eine Streckgrenzverlängerung aufweisen. Um zu vermeiden, dass durch diese Streckgrenzverlängerung beim Tiefziehen der Maske Fliessfiguren

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auftreten, soll diese Streckgrenzverlängerung vor dem Tiefziehen möglichsf^beseitigt werden. Dazu werden die Maskenblätter bei einer verhältnismässig hohen Temperatur (900 bis 95O°C) und während einer verhältnismässig langen Zeitdauer (3)5 bis 5i5 Stunden) ausgeglüht und werden die Maskenblätter nach dem Ausglühen durch Rollen flachgemacht ("rolllevelled"). Dadurch, dass bei hohen Temperaturen ausgeglüht wird, haften die Maskenblätter durch thermomolekulare Schweissvorgänge aneinander. Um diese gegenseitige Haftung von Maskenblättern in einem Stapel herabzusetzen, kann eine Anzahl von Abstandselementen zwischen den Maskenblättern angeordnet werden, wobei zwischen zwei Abstandselementen z.B. fünf Maskenblätter vorhanden sind. Die Abstandselemente rufen selbst jedoch neue Probleme hervor. Die Abstandselemente, die gewöhnlich aus Glas bestehen, können Kratzer auf den Maskenblättern herbeiführen. Die Abstandselemente werden ausserdem nach einiger Zeit spröde, so dass die Abstandselemente häufig ersetzt werden müssen, wodurch ihre Anwendung kostspielig wird. Infolge der Abstandselemente können überdies weniger Maskenblätter aufeinander gestapelt werden, wodurch pro Zeiteinheit weniger Maskenblätter ausgeglüht werden können. Dadurch werden die Kosten des Ausglühvorgangs erhöht. Die Abstandselemente lösen das Problem der gegenseitigen Haftung der Maskenblätter denn auch nicht.

Die Erfindung hat daher zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung einer Färbauswahlelektrode für eine Farbbildröhre anzugeben, mit dem auf einfache Weise eine Lösung für das Problem der gegenseitigen Haftung der Maskenblätter beim Ausglühen erhalten wird.

Ein Verfahren eingangs genannter Art ist zur Lösung dieser Aufgabe dadurch gekennzeichnet, dass die Maskenblätter vor dem Ausglühen auf einem gekrümmten Substrat gestapelt werden und dass der Stapel von Maskenblättern nach dem Ausglühen auf einen flachen oder ebenen Untergrund gesetzt wird. Durch das Ausglühen nimmt der Stapel von Maskenblättern nahezu die Form des Substrats an. Nach dem Ausglühen wird der Stapel von Maskenblättern

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von dem Gitter oder Rost entfernt und auf einen flachen oder ebenen'Untergrund gesetzt. Durch das Gewicht des Stapels werden die Maskenb.lätter gegen den flachen oder ebenen Untergrund gedrückt. Die Maskenblätter schieben sich dabei übereinander, wobei die vorhandenen thermomolekularen Schweisstellen unterbrochen werden, ohne dass Risse, Knicke und andere Beschädigungen der Maskenblätter auftreten. Die Maskenblätter können nun von dem Stapel genommen werden, wonach jedes Maskenblatt wieder die Form des gekrümmten Substrats annimmt. Ein Maskenblatt erhält seine endgültige Schalenform dadurch, dass das Maskenblatt auf eine z.B. kugelförmige Lehre gesetzt und dann die Maske mit Hilfe eines Stempels auf der Lehre tiefgezogen wird.

Eine Ausführungsform des Verfahrens nach der

^ Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat die Form eines Teiles eines Zylinders aufweist, dessen Radius nahezu gleich dem Radius des Maskenblatts nach dem Tiefziehen ist. Dadurch, dass ein Maskenblatt nach dem Ausglühen bereits nahezu die Form dieses Substrats annimmt, liegt das Maskenblatt besser an der Lehre an. Dadurch wird eine Faltenbildung in den Ecken des Maskenblatts beim Tiefziehen vermieden. Es hat sich nämlich herausgestellt, dass beim Tiefziehen grosser Maskenblätter, die nach dem Ausglühen noch ganz flach sind, auf einer kugelförmigen Unterlehre ungleichmässige Verformungen in den Ecken des Maskenblattes auftreten können. Dadurch, dass das Maskenblatt nicht gut an der Lehre anliegt, ist die Stelle, an der das Maskenblatt beim Tifziehen an seinem Umfang

festgehalten wird, nicht auf reproduzierbare Weise bein

stimmt. Ein Überschuss an Maskenmaterial in einer oder mehreren Ecken bewirkt, dass das Maskenblatt beim Tiefziehen nicht straff gegen die Lehre gezogen wird. Dadurch bilden sich nach dein Tiefziehen sichtbare Falten in den betreffenden Ecken.

Eine weitere Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass ein aus einem porenfreien Stahl bestehendes Stahlband verwendet wird, dass die Höchsttemperatur beim

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Ausglühen zwischen etwa 6OO°C und 85O⁰C liegt und dass etwa drei Viert'elstund^n bis zwei Stunden ausgeglüht wird. Das unter diesen Bedingungen durchgeführte Ausglühen von Maskenblättern, die aus einem porenfreien Stahl bestehen, ergibt eine Korngrösse des Maskenmaterials, die zwischen etwa 0,015 mm und O,O'VO mm liegt. Damit wird eine befriedigende magnetische AbscliLrmunf? durch die Lochmaske erhallen.

Eine bevorzugte Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass die Höchsttemperatur beim Ausglühen etwa 76O⁰C beträgt, wobei die Temperatur etwa 15 Minuten lang oberhalb etwa 75O°C gehalten wird. Auf diese Weise hat es sich als möglich erwiesen, eine mittlere Korngrösse von 0,025 mm zu erhalten.

Eine Ausführungsform der Erfindung ist in, der ^⁵ Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 schematisch einen Schnitt durch eine Farbbildröhre mit einer Farbauswahlelektrode, Fig. 2a eine Draufsicht auf die Farbauswahlelek-

^u trode der in Fig. 1 dargestellten Röhre, Fig. 2b einen Schnitt längs der Linie II-II der

Fig. 2a, und

Fig. 3 eine nähere Erläuterung der Herstellung der Farbauswahlelektrode.

Die in Fig. 1 dargestellte Farbbildröhre 1 wird durch einen Glaskolben gebildet, der mit einem rechteckigen Frontglas 2, einem Konus 3 und einem Hals h versehen ist. Auf dem Frontglas 2 ist ein Muster in den Farben Rot, Grün und Blau aufleuchtender Leuchtstoffe 5 angebracht. In geringer Entfernung von dem Frontglas 2 ist eine mit einer Vielzahl von Offnungen 7 versehene Farbauswahlelektrode, und zwar eine Lochmaske 6, mit Hilfe schematisch dargestellter Aufhängungen 8 befestigt. Im Hals k der Röhre ist ein Elektronenstrahlerzeugungssystem zum Erzeugen dreier Elektronenstrahlen 10, 11 und 12 montiert. Diese Strahlen werden mit Hilfe eines rings um die Röhre angeordneten Ablenkspulensystems I3 abgelenkt und schneiden sich nahezu auf der Höhe der Lochmaske 6, wonach

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jeder der Elektronenstrahlen einen der drei auf dem Frontglas 2 angebrachten Leuchtstoffe trifft. In der Röhre ist weiter eine konusförmige Abschirmkappe i4 befestigt, die zusammen mit der Lochmaske 6 sicherstellt, dass die Elektronenstrahlen 10, 11 und 12 gegen das erdmagnetische Feld abgeschirmt werden.

In Fig. 2a ist eine Draufsicht auf die Lochmaske der in Fig. 1 gezeigten Röhre dargestellt. Die rechteckige Lochmaske 6 ist mit einer Vielzahl von Reihen schlitzförmiger Offnungen 7 versehen. Die Offnungen 7 weisen z.B. eine Länge von 0,665 mm und eine Breite von 0,188 mm auf. Der Abstand zwischen zwei Öffnungen beträgt z.B. 0,110 mm und der Teilungsabstand zwischen den Reihen von Offnungen z.B. 0,775 nim. Statt schlitzförmiger Offnungen kann die Lochmaske auch runde, längliche oder anders gestaltete Offnungen aufweisen. Das Maskenblatt kann auch zur Herstellung einer Farbauswahlelektrode mit sogenannter Vierpolnachfokussierung verwendet werden, wie es aus der niederländischen Patentanmeldung 7904653 bekannt ist. Fig. 2b zeigt einen Schnitt längs der Linie II—II der Fig. 2a. ""Die Lochmaske 6 ist aus dem mit Offnungen 7 versehenen Lochmaskenblatt 15 mit einem hochgezogenen Rand 16 aufgebaut. Das Lochmaskenblatt 15 ist entsprechend der Form des Frontglases aufgebauscht. Am hochgezogenen Rand ist ein Maskenring 17 befestigt, der die Lochmaske versteift und dessen Flansch 18 Reflexionen von Elektronen am hochgezogenen Rand 16 verhindert.

Die Weise, auf die die Lochmaske hergestellt wird, wird an Hand der Fig. 3 näher erläutert. Dabei wird von einem Stahlband 20 (Fig. 3a) mit einer Dicke zwischen etwa 0,10 und 0,20 mm, je nach der gewünschten Dicke der Lochmaske, ausgegangen. Das Stahlband 20 besteht aus einem porenfreien Stahl. Dieser Stahl weist einen niedrigen Kohlenstoffgehalt, vorzugsweise zwischen etwa 0,004 und 0,01$ Kohlenstoff auf und enthält geringe Mengen eines oder mehrerer der Elemente Niob, Titan, Vanadium und Zirkonium und/oder eines oder mehrerer der Elemente Aluminium, Silicium oder Phosphor. Diese Zusätze binden die im Stahl

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vorhandenen Kohlenstoff- und Stickstoffatome zu Carbiden und Nitriden. Die im Stahl vorhandenen Versetzungen werden im Gegensatz zu freien Kohlenstoff- und Stickstoffatomen von diesen Carbiden und Nitriden nicht blockiert. Dadurch weist dieser Stahl nahezu keine Streckgrenzverlängerung ("yield point elongation") auf, so dass beim nachfolgenden Tiefziehen des Maskenblatts keine ungleichmässige plastische Verformung auftritt, die zu der Bildung von Fliessfiguren ("stretcher strains" oder"Luder lines")führt.

Ein geeignetes porenfreies Stahl weist z.B. in Gew.$> ausgedrückt, die folgende Zusammensetzung auf: C 4; 0,01 S ^ 0,02 Al »ο 0,02 - 0,08

Mn i 0,4 P + S ^- 0,03 Cr -^ 0,01

P £_- 0,02 Si -L·. 0,015 Fe : Rest Ein anderer geeigneter porenfreier Stahl ist zusammengesetzt aus :

C L· 0,01 S £. 0,02 Al ^ 0,03 Cr <--. 0,02 Mn L. 0,2 P+S i 0,03 Ti" v-~ 0, 1 . Fe : Rest P ί. 0,02 Si «λ 0,03 Nb -ί 0,01 Hinsichtlich weiterer Eigenschaften von porenfreiem Stahl sei auf die vorgenannte US-PS 4 210 843 verwiesen.

In das Stahlband 20 werden mit Hilfe eines an sich bekannten Photoätzverfahrens Muster von Offnungen geätzt. Dazu wird auf beiden Seiten des Stahlbandes 20 bei 21 je eine Photoresistschicht angebracht (Fig. 3t>) · Die Photoresistschicht wird dann mit einer Lichtquelle 22 durch eine Maske 23 hindurch belichtet. Nach einer Entwicklung bei 24 ist nur an den nicht belichteten Stellen Photoresist vorhanden. Die Photoresistschichten werden in einem Ofen 25 ausgehärtet (Fig. 3c). Danach wird das Muster von Offnungen dadurch in das Stahlband 20 geätzt, dass ein Atzmittel gegen die beiden Seiten des Bandes gespritzt wird (Fig. 3d)· Nach dem Atzen der Offnungen wird die Photoresistschicht entfernt. Das Band wird anschliessend in Stücke geschnitten, so dass Maskenblätter 28 erhalten werden, die mit je einem Muster von Offnungen versehen sind (Fig. 3e).

Das Stahlband 20 ist verhältnismässig hart, um

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Beschädigungen und dadurch. Ausschuss von Maskenblättern während des PhotTöätzverf ahrens zu vermeiden. Die Maskenblätter sind aber zu hart, um zu ihrer endgültigen Form tiefgezogen zu werden. Um die Maskenblätter weicher zu machen, werden die Maskenblätter ausgeglüht. Die flachen Maskenblätter werden z.B. zu fünfundzwanzig Stück ohne Zwischenfügung von Abstandselementen aufeinandergestapelt. Ein Stapel von Maskenblättern 29 wird dann auf ein Substrat 30 gelegt, das bzw. der nahezu die Form eines Teiles ^ eines Zylinders aufweist, dessen Radius nahezu gleich dem Radius des Maskenblattes nach dem Tiefziehen ist (Fig. 3f, 3g). Die Maskenblätter werden derart auf das Substrat 30 gelegt, dass die Maskenblätter in der Längsrichtung gekrümmt werden. Der Stapel von Maskenblättern auf dem Gitter oder Rost 30 wird anschliessend in einem Ofen 31 ausgeglüht (Fig. 3h). Um eine befriedigende magnetische Abschirmung durch die Lochmaske zu erhalten, soll das Maskenmaterial eine Korngrösse zwischen 0,015 nun und Ο,θ4θ mm mit einer mittleren Korngrösse zwischen 0,020 mm und 0,030 mm aufweisen. Um diese Korngrösse zu erhalten, ist aber beim Ausglühen eine Höchsttemperatur erforderlich, die höher als die Temperatur ist, bei der die Maskenblätter durch thermomolekulare Schweisstellen aneinander haften können. Die Maskenblätter werden z.B. in Λτζ Stunden durch den Ofen 3I hindurchgeleitet, wobei die maximale Ausglüh.— temperatur 76O⁰C beträgt und wobei die Temperatur etwa 15 Minuten lang oberhalb 75O°C gehalten wird. Das Maskenmaterial erhält dadurch eine mittlere Korngrösse von etwa 0,025 mm. Die Ausglühtemperatur kann zwischen etwa 600°C und 85O⁰C liegen und die Ausglühzeit kann etwa drei Viertelstunden bis zwei Stunden betragen.

Nach dem Durchlaufen des Ausglühofens 31 wird der

Stapel von Maskenblättern 29 von dem Substrat 30 entfernt (Fig. 3i). Durch das Ausglühen nimmt der Stapel von Maskenblättern 29 die Form des gekrümmten Substrats 30 an. Der Stapel von Maskenblättern 29 wird dann auf einen flachen Untergrund 32 gesetzt (Fig. 3k). Durch das Gewicht des Stapels 29 werden die Maskenblätter gegen den Untergrund

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gedrückt (Fig. 3 l). Die Maskenblätter schieben sich dabei teilweise übereinander, wobei die vorhandenen thermomolekularen Schweisstellen unterbrochen werden, ohne dass dabei die Maskenblätter beschädigt werden. Die Maskenblätter können nun von dem Stapel genommen werden, wonach jedes Maskenblatt wieder die Form des gekrümmten Substrats3O annimmt.

Ein Maskenblatt wird anschliessend dadurch tiefgezogen, dass ein Maskenblatt auf eine Lehre 33 gesetzt wird.

Dadurch, dass das Maskenblatt "}>h bereits in einer Richtung nahezu die Krümmung der Lehre aufweist, liegt das Maskenblatt 3^- bereits nahezu völlig in der Lehre 33 a (Fig. 3m) · Dadurch tritt beim Tiefziehen mit dem Stapel 35 keine Faltenbildung in den Ecken de® Maskenblatts auf. Auf die

'5 obenbeschriebene Weise werden mit einem hochgezogenen Rand 37 versehene Maskenblätter 36 erhalten, die in der Röhre für eine gute magnetische Abschirmung sorgen, ohne dass bei der Herstellung der Masken infolge beim Ausglühen gebildeter thermomolekularer Schweisstellen und infolge durch das Tiefziehen herbeigeführter Faltenbildung Ausschuss auftritt.

Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die oben— beschriebene Ausführungsform, sondern kann bei jedem Verfahren zur Herstellung von Lochmasken verwendet werden, bei dem die Maskenblätter bei einer Höchsttemperatur ausgeglüht werden, die über der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter aneinander zu halten beginnen.

Claims

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PATENTANSPRÜCHE

1J Verfahren zur Herstellung einer Farbauswahlelektrode für eine Farbbildröhre, bei dem die Farbauswahlelektrode mit einem mit einem Muster von Öffnungen versehenen Lochmaskenblatt versehen wird, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

a) die Anbringung von Mustern von Offnungen in einem Stahlband mit Hilfe eines Photoätzvorgangs,

b) das Schneiden von Maskenblättern aus dem Stahlband, wobei jedes Maskenblatt mit einem Muster von Offnungen versehen wird,

c) das Ausglühen eines Stapels von Maskenblättern bei einer Höchsttemperatur, die über der Temperatur liegt, bei der die Maskenblätter aneinander zu haften beginnen, und

d) das Tiefziehen jedes Maskenblattes zu einer Schalenform, dadurch gekennzeichnet, dass

e) die Maskenblätter vor dem Aueglühen auf einem gekrümmten Substrat gestapelt werden und

f) der Stapel von Maskenblättern nach dem Ausglühen auf einen flachen oder ebenen Untergrund gesetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat die Form eines Teiles eines Zylinders aufweist, dessen Radius nahezu gleich dem Radius des Maskenblatts nach dem Tiefziehen ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein aus einem porenfreien Stahl bestehendes Stahlband verwendet wird, dass die Höchsttemperatur beim Ausglühen zwischen etwa 6OO°C und 85O⁰C liegt und dass etwa drei Viertelstunden bis zwei Stunden ausgeglüht wird. k. Verfahren nach Anspruch 3i dadurch gekennzeichnet, dass die Höchsttemperatur beim Ausglühen etwa 76O⁰C beträgt, wobei die Temperatur etwa 15 Minuten lang oberhalb etwa 75O⁰C gehalten wird.