DE3145309A1 - Messverfahren zur bestimmung der dicke duenner schichten - Google Patents

Messverfahren zur bestimmung der dicke duenner schichten

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Klaus C. Dipl.-Ing. Dr. Graz Harms
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/063—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using piezoelectric resonators
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3700366A1 (de) * 1987-01-08 1988-07-21 Leybold Ag Einrichtung zum ermitteln der jeweiligen dicke von sich veraendernden material-schichten auf einem substrat waehrend des beschichtungsvorgangs
DE3920052A1 (de) * 1989-06-20 1991-01-10 Peter Dipl Ing Berg Messsystem zur bestimmung von traeger masse sowie daraus resultierender physikalischer eigenschaften mit hilfe eines auch in betriebsfaellen hoher und/oder variabler daempfung arbeitenden oszillators
DE4035240A1 (de) * 1990-03-30 1991-10-02 Leybold Inficon Inc Messen und steuern des beschichtens auf einem piezoelektrischen messkristall
RU2194248C2 (ru) * 1999-10-25 2002-12-10 Закрытое акционерное общество "КОМПОМАШ-ТЭК" Способ определения толщины покрытия детали
RU2257510C1 (ru) * 2004-03-01 2005-07-27 Шухостанов Владимир Кистуевич Способ определения толщины слоя парафинов на внутренней стороне нефте- и газопроводов
DE102006006172B3 (de) * 2006-02-10 2007-09-27 Carl Zeiss Ag Schichtdickenmessgerät insbesondere für Beschichtungsanlagen und Beschichtungsanlage mit einem solchen Schichtdickenmessgerät

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0284678B1 (en) * 1987-03-31 1992-06-03 Benjamin Gavish A device and method for monitoring small displacements of a peak in a frequency spectrum
US6370955B1 (en) * 1999-06-15 2002-04-16 Massachusetts Institute Of Technology High-temperature balance
JP2005049236A (ja) * 2003-07-29 2005-02-24 Kansai Paint Co Ltd 電着特性測定装置と評価方法及び管理方法
CN116121686B (zh) * 2022-11-24 2023-08-04 广东粤水电新能源装备有限公司 一种基于大数据的风电塔自动喷锌系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2542636A1 (de) * 1975-05-05 1976-11-18 Mueszeripari Kutato Intezet Schwingquarz-schichtdickenmesseinrichtung mit digitalsystem
DE2503395B2 (de) * 1974-02-07 1979-02-15 Mueszeripari Kutato Intezet, Budapest Schwingquarz-SchichtdickenmeBeinrichtung mit analogem System

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2503395B2 (de) * 1974-02-07 1979-02-15 Mueszeripari Kutato Intezet, Budapest Schwingquarz-SchichtdickenmeBeinrichtung mit analogem System
DE2542636A1 (de) * 1975-05-05 1976-11-18 Mueszeripari Kutato Intezet Schwingquarz-schichtdickenmesseinrichtung mit digitalsystem

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Z.: Journal of Scientific Instrumentation, Bd. 44, H. 11, 1967, S. 917-921 *
Zeitschrift für angewandte Physik, 20. Bd. H. 6, 1966, S. 537-540 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3700366A1 (de) * 1987-01-08 1988-07-21 Leybold Ag Einrichtung zum ermitteln der jeweiligen dicke von sich veraendernden material-schichten auf einem substrat waehrend des beschichtungsvorgangs
DE3920052A1 (de) * 1989-06-20 1991-01-10 Peter Dipl Ing Berg Messsystem zur bestimmung von traeger masse sowie daraus resultierender physikalischer eigenschaften mit hilfe eines auch in betriebsfaellen hoher und/oder variabler daempfung arbeitenden oszillators
DE4035240A1 (de) * 1990-03-30 1991-10-02 Leybold Inficon Inc Messen und steuern des beschichtens auf einem piezoelektrischen messkristall
DE4035240C2 (de) * 1990-03-30 1998-10-15 Leybold Inficon Inc Messen und Steuern des Beschichtens auf einem piezoelektrischen Meßkristall
RU2194248C2 (ru) * 1999-10-25 2002-12-10 Закрытое акционерное общество "КОМПОМАШ-ТЭК" Способ определения толщины покрытия детали
RU2257510C1 (ru) * 2004-03-01 2005-07-27 Шухостанов Владимир Кистуевич Способ определения толщины слоя парафинов на внутренней стороне нефте- и газопроводов
DE102006006172B3 (de) * 2006-02-10 2007-09-27 Carl Zeiss Ag Schichtdickenmessgerät insbesondere für Beschichtungsanlagen und Beschichtungsanlage mit einem solchen Schichtdickenmessgerät

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Publication number Publication date
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FR2494840B1 (enExample) 1984-03-23
GB2088058B (en) 1984-09-05
GB2088058A (en) 1982-06-03

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