DE3139712C2 - Glüheinrichtung - Google Patents

Glüheinrichtung

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DE3139712C2
DE3139712C2 DE19813139712 DE3139712A DE3139712C2 DE 3139712 C2 DE3139712 C2 DE 3139712C2 DE 19813139712 DE19813139712 DE 19813139712 DE 3139712 A DE3139712 A DE 3139712A DE 3139712 C2 DE3139712 C2 DE 3139712C2
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Tatsumi Himeji Hyogo Hiramoto
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Ushio Denki KK
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Ushio Denki KK
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Abstract

Eine Glüheinrichtung ist mit einem Auflagetisch zum Anbringen eines Halbleiterplättchens, mit mehreren Blitzentladungslampen, die so angeordnet sind, daß sie das auf dem Auflagetisch angeordnete Halbleiterplättchen umgeben, und mit einem Spiegel versehen, der in der Nähe der Blitzentladungslampen zum Rückreflektieren von Licht zu dem Halbleiterplättchen angeordnet ist. Das Halbleiterplättchen wird plötzlich gleichförmig über seine gesamte Fläche geglüht, indem es der Bestrahlung durch das Licht von den Blitzentladungslampen ausgesetzt wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine Glüheinrichtung mit einem Auflagetisch für ein Halbleiterplättchen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine derartige Glühcinriclnung ist Inhalt der deut- J5 sehen Patentanmeldung P 31 36 105.6 :nit älterem Zeitrang, vgl. die DE-OS 31 36 105.
Bei dem genannten Stand der Technik sind die Blitzentladungslampen geradlinig und in einer Ebene angeordnet, die parallel zum Halbleiterplättchen verläuft. Benachbart und parallel dazu ist ein ebener Spiegel angeordnet.
Bekannt ist ferner eine Glüheinrichtung mit einem Auflagetisch für ein Halbleiterplättchen mit einer Biitzentladungslampe und einem Spiegel, der längs der Blitzentladungslampe an der dem Auflagetisch gegenüberliegenden Seite angeordnet ist (JP-Abstract 55-75224). Da die Oberfläche des auf dem Auflagetisch liegenden Halbleiterplättchens spiegelpoliert ist, wird eine wesentliche Menge des von der einen Blitzentladungslampe einfallenden Lichtes durch die Plättchenoberfläche reflektiert, so daß es notwendig ist, das Halbleiterplättchen mit einer sehr großen Lichtmenge zu bestrahlen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Glüheinrichtung mit einem Auflagetisch für ein Halbleiterplättchen mit mehreren Blitzentladungslampen und einem Spiegel zu schaffen, die eine gesteigerte Lichtausbeute hat. Gelöst wird diese Aufgabe durch die Merkmale des Anspruchs 1. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung wird beispielhaft anhand der Zeichnung beschrieben, in der ist
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Beispiels einer Blitzentladungslampe zur Verwendung bei der Erfindung und
Fig.2 und 3 schematische Ansichten von Ausführungsformen der Erfindung.
Fig. 1 zeigt eine Blitzentladungslampe 3 mit einem gewölbt gebogenen Lichtteil 3a. Mehrere Blitzentladungslampen 3 mit gewölbt gebogenen Lichtteilen 3a mit allmählich kleineren Bögen werden aufeinanderfolgend angeordnet, um sich einem halbkugelförmigen Spiegel 6 anzupassen, wie Fig.2 zeigt, wodurch das Halbleiterplättchen umgeben wird.
Die Fläche des Spiegels 6 kann auch konkav geformt sein, um sich den Kolben der einzelnen Blitzentladungslampen 3 anzupassen, wie durch Bezugszeichen 6a in F i g. 3 gezeigt ist.
Ein Beispiel der numerischen Werte der Glüheinrichtung ist wie folgt: Der Spiegel 6 hat einen Durchmesser von etwa 160 mm. Mehrere Blitzentladungslampen 3 mit jeweils einem Außendurchmesser von 10 mm und einem Innendurchmesser von 8 mm sind nahe aneinander in einem Abstand von etwa 5 mm von der Fläche des Spiegels 6 angeordnet. Der Auflagetisch ist in einem Abstand von 10 mm von der untersten Blitzentladungslampe angeordnet Wenn ein 102 mm langes Siüziumplättchen auf dem Auflagetisch in dessen Mitte angeordnet wird, liegt das Plättchen innerhalb des Bereichs des Kreisbogens Θ, längs dessen die Bützentladup.gslampen 3 angeordnet sind.
Da der Spiegel 6 in einer solchen Weise angeordnet ist, daß er das Halbleiterplättchen umgibt, wobei die Blitzentladungslampen 3 dazwischen angeordnet sind, wird durch das vom Halbleiterplättchen reflektierte Licht durch den Spiegel 6 darauf zurückrefiektiert und eine Mehrfachreflexionswirkung erzeugt, wodurch eine extrem effiziente Ausnutzung des Lichts von den Blitzentladungslampen 3 ermöglicht wird.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Glüheinrichtung mit einem Auflagetisch für ein Halbleiterplättchen, mit mehreren Blitzentladungslampen, die so angeordnet sind, daß sie dem auf dem Auflagetisch angeordneten Halbleiterplättchen benachbart gegenüberliegen, und mit einem Spiegel, der so angeordnet ist, daß er längs der Blitzentladungslampen benachbart dazu an der dem Auflagetisch gegenüberliegenden Seite liegt, dadurch gekennzeichnet, daß die Blitzentladungslampen (3) gewölbt gebogene Lichtteile (3a) von verschiedenen Durchmessern aufweisen und daß sie derart angeordnet sind, daß sie das Halbleiterplättchen umgeben, wobei die Blitzentladungslampe des größten Durchmessers in der Mitte der Anordnung liegt und die Blitzentladungslampen mit geringeren Durchmessern weiter von der Mitte weg liegen.
2. Glüheinrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß der Spiegel (6) halbkugelförmig ist und die Bnizentladungslampen (3) umgibt.
3. Glüheinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil des Spiegels (6), der zu jeder Blitzentladungslampe (3) weist, eine konkave Fläche (6a) hat, die sich in Längsrichtung der Blitzentladungslampe (3) erstreckt.
DE19813139712 1980-10-09 1981-10-06 Glüheinrichtung Expired DE3139712C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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JP14047680A JPS5764937A (en) 1980-10-09 1980-10-09 Annealing device

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Publication Number Publication Date
DE3139712A1 DE3139712A1 (de) 1982-05-13
DE3139712C2 true DE3139712C2 (de) 1984-10-18

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DE19813139712 Expired DE3139712C2 (de) 1980-10-09 1981-10-06 Glüheinrichtung

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JP (1) JPS5764937A (de)
DE (1) DE3139712C2 (de)

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JPS6226572B2 (de) 1987-06-09
JPS5764937A (en) 1982-04-20
DE3139712A1 (de) 1982-05-13

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