DE3129997C2 - Kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbehandlungsvorrichtung - Google Patents

Kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbehandlungsvorrichtung

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine kontinuierlich arbeitende Vakuumbehandlungsvorrichtung mit einer Vakuumbehandlungskammer zum kontinuierlichen Behandeln der Oberfläche eines Kunststofformteils unter Vakuum und mit einer Hilfsvakuumkammer, die an jeder der stromauf und stromab gelegenen Seiten der Vakuumbehandlungskammer angeordnet ist. Jede Hilfsvakuumkammer enthält zwei einander berührende Dichtwalzen, eine Einrichtung zur Bildung von Dichtungen zwischen den Dichtwalzen und Gehäusen auf den gesamten axialen Längen der Dichtwalzen und eine Einrichtung zur Bildung von Dichtungen zwischen beiden Endflächen und den Gehäusen.

Description

60
- daß der Film (33) aus Fluorharz besteht.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Dichtung zwischen den Dichtwalzen (21, 22) und den Gehäusen (23,24) In der axialen Langserstreckung der Dichtwalzen (21,22) Abstreifglieder (39, 40) aufweist, dte sich in der axialen -t^ängserstreckung der Dichtwalzen (21, 22) erstrecken und die Teile der jeweiligen Dichtwalzen (21, 22) geradlinig berühren (z. B. Flg. 7).
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Abstreifglieder (39,40) aus elastischem Material bestehen, das mit einem Film aus einem Matertal mit niedrigem Reibungskoeffizienten beschichtet Ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
- daß der Film aus Fluorharz besteht.
12. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
- daß zur axialen Dichtung zwischen den Endflächen der Dichtwalzen (21, 22) und dem Gehäuse (23, 24) die Seitenteile (27, 28) wenigstens eine Druckelnstellvorrlchtung (35, 36) aufweisen, die eines (27) der Seitenteile (27, 28) gegen die zugehörigen Endflächen der Dicht walzen (21, 22) drückt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 12, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Seltenteile (27, 28) an ihrem die Dichtwalzen (21, 22) berührenden Teil mit einem Film (34) aus einem Material mit niedrigem Reibungskoeffizienten beschichtet sind.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
- daß der Film (34) aus Fluorharz besteht.
15. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Druckelnstellvorflchtung (35, 36) aus einer Feder (35) und einem Festspannglied (36) besteht.
16. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet
- durch eine einzige Druckelnstellvorrlchtung (35, 36), die eines (27) der Seltenteile (27, 28) auf die zugehörigen Endflächen der Dichtwalzen (21, 22) drückt.
17. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet
- durch Druckeinstellvorrichtungen (35, 36), die beide Seitenteile (27, 28) auf die jwelllgen Endflächen der Dichtwalzen (21, 22) drücken.
Die Erfindung betrifft eine kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbehandlungsvorrichtung für ein Material wie welche Kunststoffllme, bestehend aus einer Haupt-Vakuumbehandlungskammer und mehreren Hllfs-Vakuumbehandlungskammern, deren Druck In Richtung auf die Haupt-Vakuumbehandlungskammer abnimmt, wobei
zwischen jeder Kammer Dichtungen angeordnßt sind.
Die DE-OS 12 79 426 betrifft eine Bandbedampfungsvorrichtirag für dünnes bandförmiges Gut, wie Kunststoffollen. Das zu bedampfende Band wird dabei durch Schlitze in den Trennwänden der Vorkammern bzw. in dem Arbeltsraum geführt. Aus der DE-PS 9 63 771 sind umlaufende Walzenabdichtungsvorrichtungen bekannt. Die DE-OS 1911120 betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum halbkontinuierlichen Metallisieren von bahn- oder fadenförmigem Gut. Dabei wird ein« hermetische Dichtung aufgebaut und wieder entfernt. Die GBPS 14 51704 zeigt umlaufende Walzenabdichtwngen, die aus mit Gummi oder Polyurethan beschichteten Walzen bestehen. Die DD-PS 94 749 betrifft eine Dichtungselnrlchtung für eine Bandschleuse für Vakuumbedampfungsanlagen, die aus mehreren Walzenpaaren besteht. Dabei werden teilweise umschließende Formstücke und Dlchtpiatten an den Stirnselten verwendet.
Da ein wiederholtes Aufbauen und Abbauen des Vakuums für die Behandlung aufeinanderfolgender Chargen des Gegenstands erforderlich ist, wird nicht nur die Serienmassenproduktion behindert, sondern es verschlechtern sich auch die Eigenschaften der behandelten Produkte.
Bei Gegenstanden mit einem fluchtigen Gehalt an Weichmachern, z. B. einem HarzfUm aus einem Polyvinylchlorid, werden die Eigenschaften des Gegenstands verschlechtert, wenn dieser längere Zelt Im Vakuum belassen wird. Es Ist daher erwünscht, eine Charge von Gegenständen In einer ziemlich kurzen Zelt In der Größenordnung von einigen 10 Sekunden zu behandeln. Eine Behandlung In einer derart kurzen Zeitdauer Innerhalb einer Vakuumkammer auszuführen Ist ziemlich schwierig.
Die Erfindung hat es sich zur Aufgabe gemilcht, eine kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbhijndlungsvorrlchtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß eine gute Abdichtung für eine Vorvakuumkammer <ind eine Nachvakuumkammer aufrechterhalten wird, daß gute Umformeigenschaften bei der Oberflächenbehandlung, gute Eignung für die Massenproduktion und eine gute Dauerbeständigkeit verschiedener, die Vorvakuumkamrner und die Nachvakuumkammer bildenden Teile, wie Dichtwalzen, Abstirelfglleder und Seitenteile erreicht wird.
Zur Lösung dieser Aufgabe dienen erflnduingsg&mäß die Im Hauptanspruch angeführten Merkmale.
Die Unteransprüche kennzeichnen zweckmäßige weitere Ausbildungsformen.
Im folgenden werden Ausfuhrungsbeispiele der erflndungsgentfßen Vorrichtung anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigen:
F1 g. 1 einen schematischen Schnitt einer kontinuierlich arbeitenden Behandlungsvorrichtung;
Flg. 2 eine schematische Draufsicht der In Flg. 1 gezeigten Vorrichtung;
- Flg. 3 eine geschnittene Seltenansicht einer Vakuumbehandlungskammer der In FI g. 1 gezeigten Vorrichtung;
Fig. 4 einen Schnitt einer Dlchtüngselnflchtng In einer Hllfsvakuumkammer der in Flg. 1 gezeigten Vorrichtung;
FI g. 5 einen Schnitt V-V von FI g. 4;
Fig. 6 eine vergrößern? Ansicht eines wesentlichen Teils der Vorrichtung, Insbesondere mit einer Darstellung der Befestigungsart dös Druckelnstellglleds;
Flg. 7 einen der Fig. 5 ähnlichen Schnitt eines weiteren Beispiels der DlchtelrWchtung In der Hllfsvakuumkammer,
. Flg. 8 ein weiteres Beispiel eines Abstreifgliedes bei der In F Ig. 7 dargestellten Dichteinrichtung;
Flg. 9 die Befestigungsart des Abstreifglieds.
Gemäß F i g. 1 und 2 hat eine kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbehandlungsvorrichtung eine Vakuumbehandlungskammer 1, in der ein weicher Gegenstand F. etwa ein Kunststoffllm aus beispielsweise Polyvinylchlorid, einer kontinuierlichen Plasmabehandlung unter
Vakuum unterworfen wird. In der Bewegungsrichtung des zu behandelnden Gegenstandes gesehen, slnä an der stromauf gelegenen Seite der Vakuumbehandlungskammer X mehrere Hilfsvakuumkammern 2 angeordnet. In ähnlicher Welse sind an der stromab gelegenen Seite der Vakuumbehandlungskammer 1 mehrere Hilfsvakuumkammern 3 angeordnet. Eine Vakuumpumpe 4 ist über ein Evakulerungsrohr 5 an die Vakuumbehandlungskammer 1 angeschlossen, um letztere bis auf ein Niveau von 1,333 Pa zu evakuieren. Mehrere Vakuumpumpen 6 sind gemäß Flg. 2 über Evakulerungsrorfi 7 an aufeinanderfolgende Htlfsvakuumkammern 2 odei * auf jeder Seite der Vakuumbehandlungskammer 1 angeschlossen. Die Anordnung 1st so getroffen, daß in den aufeinanderfolgenden Hilfsvakuumkammern der stromauf gelegenen Seite V?kua mit allmählich abnehmendem Niveau aufgebaut werden, während In den aufeinanderfolgenden Hilfsvakuumkammern 3 der stromab gelegenen Seite Vakua mit allmählich zunehmendem Niveau aufgebaut werden. Die Niveaus des In diesen Hllfsvakuumkammern aufgebauten Vakuums liegen selbstverständlich zwischen dem Atmosphärendruck und dem in der Vakuumbehandlungskammer erzeugten Vakuum.
Der zu behandelnde Gegenstand F wird von einer Abgabestation 8 aus über die aufeinanderfolgenden Hllfsvakuumkammern 2 kontinuierlich in die Vakuumbehandlungskammer 1 gefördert und in dieser einer Vakuumplasmabehandlung unterworfen. Der Gegenstand wird dann aus der Vakuumbehandlungskammer 1 entnommen und über die aufeinanderfolgenden Hllfsvakuumkammern 3 kontinuierlich durch eine Aufnahmevorrichtung 9 aufgenommen. Ein Antriebsmotor 10 kann Ober eine Transmissionswelle 11 und stufenlose Getriebe 12 bis 15 Energie liefern zur Vakuumbehandlungskammer 1, zu den Hilfsvakuumkammern 2, 3 und zur Aufnahmevorrichtung 9. Die Geschwindigkeiten des Antrtebssysterns In der Vakuumbehandlungskammer 1, den Hilfsvakuumkammern 2, 3 und der Aufnahmevorrichtung 9 sind durch die jeweiligen Getriebe 12 bis 15 einstellbar.
Gemäß Flg. 3 besteht die Vakuumbehandlungskammer 1 aus einer trornmelförmigen Kathode 16, mehreren um diese herum angeordneten Anoden 17 und einer Führungswalze 18 zum Führen des zu behandelnden Gegens'anc,i F. Die Kathode 16, die Anoden 17 und die Führungswalze 18 sind durch eine 19 der Seltenwände freltragend gehalten, wäiirend die andere 20 der Seitenwände eine Tür bildet, die für den Zugang zum lnnenrauni geöffnet werden kann.
Die Flg.4 und 5 zeigen die Konstruktion jeder der Hlifsvakuumkammern 2 und 3 an den stromauf bzw. stromab gelegenen Selten der Vakuumbehandlungskam* mer). Jede Hllfsvakuumkammer besteht au? verschiedenen Teilen, etwa einander berührende, paarweise angeordnete obere und untere Dichtwalzen 21, 22, oberen und unteren Gehäusen ?3, 24, oberen und unteren Walzen-
6J stützgliedern 25, 26, linken und rechten Seitenteilen 27, 28 usw.
Im einzelnen hat die obere Dichtwalze 21 einen Kern aus Metall, etwa Elsen, und eine elastische Oberflächen-
schicht 29 aus Gummi, etwa Nltrllgumml, die an der Oberfläche des Elsenkerns befestigt Ist. Die untere Dichtwalze 22 hat einen Kern aus Metall, etwa Eisen, und eine auf dessen Oberfläche ausgebildete harte Schicht, etwa eine ChromplaUlerungsschicht 30. Die elastische Oberflächenschicht der oberen Dichtwalze 21 kann durch eine am Eisenkern befestigte Silikon- oder Polyurethangummlschlcht gebildet sein. Als Material für die untere Dichtwalze 22 kann auch ein legierter Stahl verwendet werden. Wenn auch die untere Dichtwalze 22 mit doppelten Schichten dargestellt Ist, d. h. mit der Kernmetallschicht und der harten Oberflächenschicht, kann selbstverständlich die untere Dichtwalze 22 auch aus einer einzigen harten Metallschicht bestehen.
Die oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 sind an Ihren beiden Enden durch die Seitenteile 27, 28 drehbar gelagert. Die Antriebsenergie wird von der unteren Dichtwalze 22 über Im Eingrill stehende Zahnrader 3i, 32 auf die obere Dichtwalze 21 Übertragen.
Das obere Walzenstutzglied 25 besteht aus einem metallischen Material und Ist am oberen Gehäuse 23 derart befestigt, daß es dem Außenumfang der oberen Dichtwalze 21 gegenüberliegt. Ein Film 33 mit einem niedrigen Reibungskoeffizienten, etwa Fluorharz, ist durch Einbrennen auf der Oberfläche des oberen Walzenstützglleds ausgebildet. Ebenfalls Ist auf den Teilen der Seitenteile 27, 28 gegenüber den axialen Enden der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 ein Fluorharzfilm 34 oder Keramlkharzfllm mit niedrigem Reibungskoeffizient durch Einbrennen ausgebildet.
Flg. 6 Ist eine vergoltene Ansicht eines wesentlichen Teils der Vakuumbehandlungsvorrichtung mit einer Darstellung einer Druckeinstellvorrichtung zur Einstellung des Drucks, mit dem das Seltenteil 27 gegen die axialen Enden der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und die oberen und unteren Gehäuse 23, 24 gedruckt wird. Die Druckeinstellvorrichtung enthält verschiedene Teile, wie ein elastisches Glied, etwa eine im Seltenteil 27 angeordnete Schraubenfeder 35, und ein Festspannglied, etwa eine Schraube 36, zum Drücken des Seltenteils 27 gegen die Enden der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und die oberen und unteren Gehäuse 23, 24.
Die Drückkraft des Seltenteils 27 wird durch einen Spalt H zwischen dem Seitenteil 27 und der Schraube 36 begrenzt.
Für den Fall, daß die Druckeinstellvorrichtung nur auf einer Seite der Dichtwalzen und Gehäuse angeordnet Ist, ist das auf der anderen Seite der Dichtwalzen und Gehäuse angeordnete Seltenteil 28 unmittelbar an den oberen und unteren Gehäusen 23, 24 angeordnet.
Bei den Hllfsvakuumkammern 2, 3 der obigen Konstruktion wird die Abdichtung zwischen der oberen Dichtwalze 21 und der unteren Dichtwalze 22, durch die das zu behandelnde Material F hindurchgeleitet wird, erzielt durch Pressen des Gummis 29 der oberen Dichtwalze 21 gegen die untere Dichtwalze 22 durch das Medium des zu behandelnden Gegenstands F In der Weise, daß der Gummi 29 der oberen Dichtwalze 21 durchgebogen wird.
Ebenfalls wird die Dichtung zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen und den oberen und unteren Gehäusen 23, 24 dadurch erzielt, daß die oberen und unteren Walzenstützglieder 25, 26 In Berührung mit den Dlchtwaizen 2i, 22 gebracht werden.
Die Abdichtung zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und den Seitenteilen 27, 28 wird erzielt durch Drücken der Seitenteile 27, 28 auf die oberen und unteren Gehäuse 23, 24 mittels der Druckeinstellvorrichtung.
Gemäß dieser Anordnung wird die Reibungskraft zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen und auch der Gleitwiderstand herabgesetzt zur Verbesserung nicht nur der Lebensdauer der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 sondern auch der Dichtungseigenschaften zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen.
Wenn die oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 zur Berührung mit den oberen und unteren WalzenstOtzglledem 25, 26 gebracht werden, wird zusätzlich die Reibungskraft zwischen der unteren Dichtwalze 22 und dem unteren WalzenstOtzgiled 26 verringert, wobei der Gleitwiderstand herabgesetzt wird zur Erzeugung einer bemerkenswerten Erhöhung der Lebensdauer des unteren WaI-is zenstützglleds 26, ganz abgesehen von der Erhöhung der Lebensdauer der oberen Dichtwalze 21 und des oberen Walzenslützglleds 25.
Da die Drückkraft äes Sciienieüs 27 durch die Schraube 36 der Druckeinstellvorrichtung über die Schraubenfeder 35 eingestellt wird, werden ferner gemäß einer winzigen axialen Verschiebung der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 diese axial vorschriftsmäßig ausgerichtet, wobei die Lebensdauer der Seitenteile 27, 28 erhöht wird, während zwischen beiden axialen Enden der Dichtweizen 21, 22 und den gegenüberliegenden Seitenteilen 27, 28 eine höhere Dichtwirkung erzielt wird.
Die oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 sind antriebsmäßig über Zahnräder 31, 32 miteinander verbunden, die an den Enden von diese Dichtwalzen tragende den Wellen befestigt sind. Daher wlid ein unerwünschter Leerlauf oder Schlupf der oberen Dichtwalze 21 vermieden und der Energieverlust selbst dann herabgesetzt, wenn der Reibungswiderstand zwischen der oberen Dichtwalze 21 und dem unteren Walzenstützglied 25 oder zwischen der oberen Dichtwalze 21 und den Seilentellen 27, 28 erhöht wird.
Wenn auch bei der beschriebenen Ausführungsform
die Druckelnstellvorrlchtung nur an einem axialen Ende der Dichtwalze vorgesehen Ist, Ist diese Anordnung nicht ausschließlich und kann die Druckelnstellvorrlchtung an jedem axialen Ende der Dichtwalzen angeordnet sein.
F i g. 7 zeigt eil η weiteres Beispiel der Einrichtung zur Bildung einer Dichtung In der axialen Richtung zwischen
der Dichtwalze und dem Gehäuse, wobei dieselben
Bezugszeichen uur Bezeichnung derselben Teile oder Glieder, wie in Flg.4 und 5, verwendet werden.
An den oberen und unteren Gehäusen 23, 24 befestigte Abstrelfglleder 39, 40 erstrecken sich in axialer Richtung der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und stellen eine geradlinige Berührung mit den Umfangsflächen dieser Dichtwalzen her. Die Abstrelfglleder 39. 40 bestehen aus einem elastischen Material, etwa Nltrllgumml, und sind an Ihren Oberflächen mit einem Material mit niedrigem Reibungskoeffizient, etwa Fluorharz, beschichtet, was durch Einbrennen erfolgt.
Durch Anordnung der Abstreifglieder 39, 40, die eine geradlinige Berührung mit einem Teil der Außenumfangsfläche jeder Dichtwalzen 21, 22 herstellen, über der gesamten axialen Länge der Dichtwalze, kann eine wirksame Dichtung zwischen der Dichtwalze und dem Gehäuse auf der gesamten axialen Länge der Dichtwalze erzielt werden. Da die Reibungskraft zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und den Abstreifglledem 39, 40 merklich herabgesetzt 1st, 1st zusätzlich die Lebensdauer der Dichtwalzen beträchtlich erhöht.
F i g. 8 zeigt eine Abänderung des In FI g. 7 gezeigten Abstreifglieds. Dieses Abstreifglied 41, 42 hat eine derartige Querschnittsform, daß es ein elastisch umgebogenes
Ende aufweist, das jede Dichtwalze 21, 22 berührt. Gemäß Flg. 9 sind die Abstrelfglleder 41, 42 In der Hllfsvakuumkammer ? an der stromauf gelegenen Seite der Vakuumbehandlungskammer 1 und In der Hilfsvakuumkammer 3 an der stromab gelegenen Seite der Vakuumbehandlungskammer 1 derart entgegengesetzt ausgerichtet ap'pordnet, daß die elastischen Endtelie der jeweiligen Absirelfglieder gegen die zugehörigen Dichtwalzen durch den Differenzdruck zwischen der Atmosphärenseite und der Vakuumseite gepreßt werden. Wird gemäß Flg. 9 der Atmosphärendruck durch A. der Druck auf der Vakuumseite mit B und der Zwischendruck durch C dargestellt, so werden Im einzelnen die Abstrelfglleder 41, 42 auf der Atmosphärenseite der Hllfsvakuumkammer 2 entgegengesetzt zur Drehrichtung der Druckwalzen 21, 22 gedruckt, da der Druck A höher als der Druck C Ist. In ähnlicher Welse werden die Abstrelfglleder 41, 42 ebenfalls auf der Vakuumseite der Hllfsvakuumkammer
2 entgegengesetzt zur Drehrichtung der Druckwalzen 21, 22 gedrückt, da der Druck C höher als der Druck B Ist. Dasselbe gilt für die Hllfsvakuumkammer 3, da die Abstrelfglleder In dieser Kammer entgegengesetzt zur Ausrichtung der Abstrelfglleder In der Hllfsvakuumkammer 2 ausgerichtet sind.
Es Ist ersichtlich, daß dank der Anwendung der Druckkraft auf die Abstrelfglleder 41, 42 aufgrund der Druckdifferenz zwischen der Atmosphärenseite und der Vakuumseite eine verbesserte Dichtwirkung zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 und den zugehörigen Abstreifgliedern 41, 42 erzielt wird.
Die kontinuierlich arbeitende Vakuumbehandlungsvorrichtung nach der Erfindung mit der oben beschriebenen Konstruktion arbeitet In folgender Weise.
Wenn die Vakuumpumpen 4 und 6 gestartet werden, werden die Vakuumbehandlungskammer 1 und die Hllfsvakuumkammern 2, 3 auf die gewünschten Vakuumniveaus evakuiert. Demnach wird in der Vakuumbenandlungskammer 1 ein höheres Vakuum, d. h. ein niedrigerer absoluter Druck, als In den Hllfsvakuumkammern 2,
3 aufgebaut. Dann werden die Antriebssysteme der trommelförmlgen Kathode 16, der oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22, der Hllfsvakuumkammern 2, 3 und der Aufnahmevorrichtung 9 durch den Motor 10 über die entsprechenden Getriebe 12 bis 15 gestartet. In diesem Zustand wird der zu behandelnde Gegenstand F. z. B. ein Film aus einem Vlnylchlorldsystemharz, von der Abgabevorrichtung 8 der Atmosphärenseite durch den Spalt zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 der Hllfsvakuumkammer 2 kontinuierlich in die Vakuumbehandlungskammer 1 eingeführt. Innerhalb der Vakuumbehandlungskammer wird auf den zu behandelnden Gegenstand /"durch eine zwischen der Kathode 16 und der Anode 17 erzeugte Plasmaentladung eine Plasmabehandlung ausgeführt. Der auf diese Weise durch das Plasma behandelte Gegenstand F wird dann zur Außenseite der Vakuumbehandlungskammer 1 gefördert und durch die Aufnahmevorrichtung 9 der Atmosphärenseite aufgenommen, wobei er durch den Spalt zwischen den oberen und unteren Dichtwalzen 21, 22 der Hilfsvakuumkammer 3 hindurchtritt.
Auf diese Welse wird der zu behandelnde Gegenstand F durch das Plasma innerhalb einer ziemlich kurzen Verweildauer Innerhalb der Vakuumbehandlungskammer 1 behandelt, so daß das unerwünschte Entweichen des flüchtigen Gehalts, etwa eines Weichmachers, Im Film aus Polyvinylchloridharz vermieden wird, um eine gute umgewandelte Eigenschaft auf der Oberfläche des
Gegenstands F sicherzustellen. Die folgende Tabelle zeigt beispielsweise die In der
ίο Vakuumbehandlungskammer 1 und den Hllfsvakuumkammern a, b, c von Flg. 1 gemessenen Vakuumniveaus Im Zustand der kontinuierlichen Zuführung des zu behandelnden Gegenstands F zur Bestätigung der Dlchtwlrkung In der kontinuierlich arbeitenden Vakuumbe-
is handlungsvorrlchtung nach der Erfindung.
Tabelle
Verstrichene 5 min 10 min 15 ssir. /0 min
Zeit
Meßpunkt
Hilfsvakuum- 2660 1396,5 1330 1330
» kammer (a),
Pa
Hilfsvakuum- 93,1 18,62 16,89 16,63
kammer (b),
Pa
Hilfsvakuum- 66,5 17,29 16,89 16,63
kammer (c),
Pa
Vakuum- 19,95 3,33 3,06 2,93
behandlungskammer, Pa
Aus der Tabelle 1st ersichtlich, daß die Vakuumnl-
veaus In der Vakuumbehandlungskammer 1 und den jeweiligen Hllfsvakuumkammern 2 allmählich erhöht werden, d. h. die Niveaus des absoluten Drucks werden mit Ablauf der Zeit herabgesetzt. Es 1st ebenfalls ersichtlich, daß ein derartiger Druckgradient für die stufenweise Herabsetzung des absoluten Drucks In Richtung auf die Vakuumbehandlungskammer 1 durch die aufeinanderfolgenden Hllfsvakuumkammern a. b und c erzeugt wird. Dies zeigt deutlich, daß die gewünschte Dichtwirkung In der kontinuierlich arbeitenden Vakuumbehandlungsvorrichtung nach der Erfindung erzielt wird.
Mit der erfindungsgemäßen kontinuierlich arbeitenden Plasma-Vakuumbehandlungsvorrichtung der Luft-Luft-Baaart läßt sich eine hohe Dichtwirkung in den Vakuumkammern erzielen. Außerdem werden gute Umformeigenschaften bei der Oberflächenbehandlung des zu behandelnden Kunststofformtells und auch eine bemerkenswerte Verbesserung der Produktivität erreicht. Diese Wirkungen sind besonders bemerkenswert, wenn der zu behandelnde Gegenstand welch 1st, wie ein Film aus einem Harz des Polyvinylchlorldsystems.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:
1. Kontinuierlich arbeitende Plasma-Vakuumbehandlungsvorrtchtung für ein Material wie welche Kunststofffllme, bestehend aus einer Haupt-Vakuumbehandlungskammer und mehreren Hllfs-Vakuumbehandlungskammern, deren Druck in Richtung auf die Haupt-Vakuumbehandlungskammer abnimmt, wobei zwischen jeder Kammer Dichtungen angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Haupt-Vakuumbehandlungskammer (1) stromauf und stromab des durchlaufenden Materials (F) mit wenigstens einer Hllfs-Vakuumbehandiungskammer (2,3) versehen Ist, wobei der Druck in der vorgeschalteten Kammer (2) abnimmt, während er in der nachgeschalteten Kammer (3) zunimmt, und
- daß die Dichtungen als zwei einander berührende motorbetriebene Dichtwalzen (21, 22) ausgebildet sind, die eine Abdichtung gegenüber dem Material (F), den Endoberflächen der Dichtwalzen (21, 22) und dem Gehäuse (23, 24) der Kammern (2, 3) bewirken.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
- daß eine (22) der Dichtwalzen (21, 22) ganz aus Metall bestehi, während die andere (21) einen metallischen Kern und ilnen elastischen Bezug (29) auf der Oberfläche des metallischen Kerns aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
- daß eine (22) der Dichtwalzen (21, 22) aus Elsen oder Kohlenstoffstahl besteht.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
- daß auf der einen (22) der Dichtwalzen (21, 22) eine harte Schicht (30) ausgebildet Ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
- daß die andere (21) der Dichtwalzen (21, 22) eine Schicht (29) aus Gummi aufweist,
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Dichtungen zwischen den Dichtwalzen (21, 22) und den Gehäusen (23, 24) aus die Dichtwalzen (21, 22) berührenden Walzenstützglledern (25, 26) bestehen, die axial gegenüber Seltenteilen (27, 28) an einem Dichtungsmaterial (34) anliegen, wobei die Dichtwalzen (21, 22) und die Walzenstutzglieder (25, 26) durch die Seitenteile (27, 28) axial festgelegt sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
- daß die Walzenstützglleder (25, 26) aus elastischem Werkstoff bestehen, der mit einem Film (33) aus einem Material mit niedrigem Reibungskoeffizienten beschichtet 1st.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet.
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