NL8103566A

NL8103566A - Doorlopende vacuumbehandelingsinrichting.

Info

Publication number: NL8103566A
Application number: NL8103566A
Authority: NL
Original assignee: Hitachi Ltd En Shin Etsu Chemi
Priority date: 1980-07-30
Filing date: 1981-07-28
Publication date: 1982-02-16
Also published as: FR2487696A1; DE3129997C2; DE3129997A1; GB2084264B; GB2084264A; FR2487696B1

Description

VQ 2187

Doorlopende vacuumbehandelingsinrichting.

De uitvinding heeft betrekking op een doorlopende vacuumbehandelingsinrichting voor het tot stand brengen van een doorlopende plasmabehandeling onder een vacuum op verschillende kunststofvorm-stukken, zoals kunststoffoelies, kunststofvellen en met kunststof 5 beklede elektrische draden.

Een dergelijk per lading werkzaam behandelingsstelsel is bekend en voorzien van een vacuumbehandelingskamer, waarin een zacht voorwerp, zoals een kunststoffoelie, wordt behandeld voor het verbeteren van zijn oppervlakte-eigenschap.

10 Eveneens is een zogenoemd lucht-aan-lucht-behandelingsstel- sel- bekend voor een vacuumopdampen of elektrolytisch bekleden van ionen op een hard. materiaal, zoals een metalen lint, metalen draad en dergelijke, waarbij het harde materiaal vanaf de atmosfeerzijde in de vacuumbehandelingskamer wordt gebracht door een voorbereiden-15 de vacuümkamer, die zich aan de bovenstroomse zijde bevindt van de vacuumbehandelingskamer, en wordt na de vorming van een metalen of legeringshuid op het voorwerp, dit getransporteerd naar de atmosfeerzijde door een navacuumkamer. In dit lucht-aan-lucht-stelsel, wordt het vacuum in de voorbereiden vacuümkamer en in de navacuum-20 kamer gehandhaafd door middel van een waterslot of een mondstuk- af sluiting.

In het eerstgenoemde stelsel, d.w.z. het per lading werkzame stelsel, is het betrekkelijk eenvoudig de afsluitmiddelen te verkrijgen. Nadat echter de verbetering van de oppervlakte-eigenschap van 25 het voorwerp in een bepaalde mate is bereikt, is het noodzakelijk het vacuum in de vacuümkamer te verbreken. D.w.z. dat een herhaald opbouwen en afbreken van het vacuum nodig is voor de behandeling van opeenvolgende voorwerpladingen. Dit belemmert niet alleen het in lijn in massa produceren maar vermindert tevens de eigenschappen 30 van de behandelde produkten.

81 0 3 5 6 6 - 2 -

Meer in het bijzonder in het geval van voorwerpen, die een vluchtig bestanddeel bevatten, zoals een weekmaker, b.v. een hars-faelie van vinylchloride, wordt de eigenschap van het voorwerp verminderd indien dit gedurende een lange tijd in een vacuum wordt ge-5. laten. Het is derhalve wenselijk een lading voorwerpen in een be- .

trekkelijk korte tijdsduur in de orde van enkele tientallen seconden te behandelen. Het is vrij moeilijk een behandeling in een dergelijke korte tijdsduur in een vacuumbehandelingskamer tot stand te brengen.

10 Het als tweede genoemde stelsel kan gemakkelijk worden toege past voor de behandeling van harde voorwerpen, omdat het betrekkelijk eenvoudig is afsluitingen te verkrijgen van de voorbereidende vacuümkamer en de navacuumkamer zonder het gevaar van beschadiging van de oppervlakken van de voorwerpen of het snijden daarvan. Het 15 lucht-aan-lucht-stelsel kan echter nauwelijks worden toegepast voor de behandeling van zachte voorwerpen, omdat het uiterst moeilijk is een doeltreffende afsluiting te bereiken voor de voorbereidende vacuümkamer en de navacuumkamer zonder gevaar van beschadiging of snijden van het voorwerp.

20 Dienovereenkomstig is een doel van de uitvinding het ver schaffen van een doorlopende vacuumbehandelingsinrichting, die een goede afsluiting kan handhaven voor een voorbereidende vacuümkamer en een navacuumkamer voor het verzekeren van een goede hervormings-eigenschap in de oppervlaktebehandeling, alsmede een grote aanpas-25 baarheid aan massaproduktie.

Een ander doel is het verbeteren van de duurzaamheid van verschillende onderdelen, waaruit de voorbereidende en navacuumkamers bestaan, zoals afsluitrollen, golfdelen en zijstukken.

Voor deze doeleinden is een doorlopende vacuumbehandelings-30 inrichting verschaft, voorzien van een vacuumbehandelingskamer, ver der van althans een voorbereidende vacuümkamer, die zich aan de bovenstroomse zijde bevindt van de vacuumbehandelingskamer, en van althans een navacuumkamer, die zich aan de benedenstroomse zijde bevindt van de vacuumbehandelingskamer, waarbij elk der voorberei-35 dende en navacuumkamers bestaat uit een paar afsluitrollen, verder 8103566 - 3 - uit middelen voor het tot stand brengen van een afsluiting tussen elke afsluitrol en een kast in de axiale richting van de rol, en middelen voor het tot stand brengen van een afsluiting tussen beide einden van elke rol en de kast.

5. De uitvinding wordt nader toegelicht aan de hand van de teke ning, waarin:

Fig.1 schematisch een doorsnede toont van een uitvoeringsvorm van de inrichting;

Fig.2 een bovenaanzicht is van de in.fig.1 weergegeven in-10 richting;

Fig.,3 een doorsnede is van de vacuumbehandelingskamer van de in fig.1 weergegeven inrichting;

Fig.4 een doorsnede is van het afsluitmiddel, gebruikt in een hulpvacuumkamer in de in fig.1 weergegeven inrichting; 15 Fig.5 een doorsnede is volgens de lijn V-V in fig.4;

Fig.6 een aanzicht is van een essentieel onderdeel van de inrichting, waarbij in het bijzonder is weergegeven de'wijze van bevestiging van het drukaanpasdeel;

Fig.7 een aan fig.5 gelijke doorsnede is van een ander voor-20 beeld van het afsluitmiddel, gebruikt in de hulpvacuumkamer;

Fig.8 een ander voorbeeld toont van een golfdeel, opgenomen in het in fig.7 weergegeven afsluitmiddel; en

Fig.9 de wijze van bevestigen toont van het golfdeel.

Verwijzende naar de fig.1 en 2 heeft de doorlopende vacuum-25 behandelingsinrichting een vacuümkamer 1, waarin een zacht voorwerp F, zoals een kunststoffoelie van b.v. vinylchloride, wordt onderwor-.pen aan een doorlopende plasmabehandeling onder een vacuum. Een aantal hulpvacuumkamers 2 is aangebracht aan de bovenstroomse zijde van de vacuumbehandelingskamer 1, gezien in de bewegingsrichting 30 van het te behandelen voorwerp. Op soortgelijke wijze is een aantal hulpvacuumkamers 3 aangebracht aan de benedenstroomse zijde van de vacuumbehandelingskamer 1. Een vacuumpomp 4 is door een vacuumpijp 5 verbonden met de vacuumbehandelingskamer 1 voor het onder vacuum plaatsen daarvan tot een niveau van 1,33 Pa. Een aantal vacuumpompen 35 6 is, zoals duidelijk blijkt uit fig.2, verbonden met opeenvolgende 81 0 3 5 6 6 - 4 - hulpvacuumkamers 2 of 3 aan elke zijde van de vacuümbehandelings-kamer 1 door vacuümpijpen 7. De inrichting is zodanig, dat een vacuum met een steeds lagere hoogte tot stand wordt gebradht in de opeenvolgende hulpvacuumkamers 2 aan de bovenstroomse zijde, waarbij 5. een vacuum met een steeds toenemende hoogte wordt gevormd in de op eenvolgende vacuümkamers 3 aan de benedenstroomse zijde. De in deze hulpvacuumkamers tot stand gebrachte vacuumhoogten liggen, hetgeen geen betoog behoeft, tussen de atmosferische druk en het in de va-cuumbehandelingskamer 1 opgewekte vacuum.

10- Het te behandelen voorwerp F wordt doorlopend getranspor teerd vanaf een afwindorgaan 8 in de vacuumbehandelingskamer 1 via de opeenvolgende hulpvacuumkamers 2, en wordt onderworpen aan een vacuumplasmabehandeling in de vacuumbehandelingskamer 1. Het voorwerp wordt dan uit de vacuumbehandelingskamer 1 genomen en doorlo-15 pend opgenomen door een opwindorgaan 9 via de opeenvolgende hulp vacuumkamers 3. Het verwijzingscijfer 10 duidt een aandrijfmotor aan, die een kracht kan leveren aan de vacuumbehandelingskamer 1, de hulpvacuumkamers 2, 3 en het opwindorgaan 9 door een hoofdas 11 en traploze overbrenging 12,- 13, 14 en 15. De snelheden van het 20 aandrijfstelsel in de vacuumbehandelingskamer 1, de hulpvacuumkamers 2, 3 en het opwindorgaan 9 zijn verstelbaar door middel van de betreffende overbrengingen 12, 13, 14 en 15.

Thans verwijzende naar fig.3, die schematisch de vacuumbehandelingskamer 1 toont, bestaat deze uit een trommelvormige kathode 25 16, verder uit een aantal anoden 17, opgesteld om de kathode 16, en uit een leirol 18 voor het leiden van het te behandelen voorwerp F. De kathode 16, de anoden 17 en de leirol 18 zijn vrij dra-gend aan één 19 van de zijwanden, waarbij de andere 20 van de zijwanden een deur vormt, die kan worden geopend voor het toegankelijk 30 maken van het inwendige.

. De fig.4 en 5 tonen de constructie van elk der hulpkamers 2 en 3, opgesteld aan de bovenstroomse. en benedenstroomse zijden van de vacuumbehandelingskamer 1. Zoals in deze figuren is te zien, bestaat elke hulpvacuumkamer uit verschillende onderdelen, zoals on-35 derling in aanraking zijnde bovenste en onderste afsluitrollen 21, 8103566 - 5 - 22, opgestald in een paar, bovenste en onderste Kasten 23, 24, bovenste en onderste roldraagdelen 25, 26, linker en rechter zijstukken 27, 28, enz.

Voor een gedetailleerdere uiteenzetting aan de hand van deze 5: figuren heeft de bovenste afsluitrol 21 een kern, gemaakt van een metaal, zoals ijzer, en een veerkrachtige oppervlaktelaag 29 van een rubber, zoals nitrilerubber, vastgezet aan het oppervlak van de ijzeren kern, waarbij de onderste afsluitrol 22 een kern heeft van een metaal, zoals ijzer, en een harde laag, gevormd op het oppervlak van de ijzeren kern, zoals een chroombekledingslaag 30.

10 De veerkrachtige oppervlaktelaag van de bovenste rol 21, kan bestaan uit een polysiloxanrubberlaag of een urethanrubberlaag, vastgezet aan de ijzeren kern. Het is ook mogelijk gebruik te maken van een staallegering als het materiaal van de onderste afsluitrol 22. Hoewel de onderste afsluitrol 22, zoals afgebeeld, twee lagen heeft, 15 d.w.z. de metalen kernlaag en de harde oppervlaktelaag, is het dui delijk, dat de onderste afsluitrol 22 kan bestaan uit een enkel hard metallisch materiaal.

De bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 worden aan hun twee einden draaibaar gedragen door de zijstukken 27, 28. De aan-20 drijfkracht wordt vanaf de onderste afsluitrol 22 overgebracht op de bovenste afsluitrol 21 door middel van in elkaar grijpende tandwielen 31, 32.

Het draagdeel 25 van de bovenste rol is gemaakt van een metallisch materiaal en is zodanig bevestigd aan de bovenste kast 23, 25 dat het tegenover de buitenomtrek ligt van de bovenste afsluitrol 21. Een foelie 33 met een lage wrijvingscoëfficiënt, zoals fluor-hars, is gevormd door het door verhitting harden op het oppervlak van het draagdeel van de bovenste rol. Ook is een fluorharsfoelie 34 of een keramische harsfoelie met een lage wrijvingscoëfficiënt 30 gevormd door het door verhitting harden op de gedeelten van de zijstukken 27, 28 tegenover de axiale einden van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22.

Fig.6 is een vergroot aanzicht van een essentieel onderdeel van de vacuumbehandelingsinrichting, die meer in het bijzonder een «t 0 3 5 6 6 .- 6 - druKaanpasorgaan toont voor het aanpassen van de druk, waarmee het zijstuk 27 tegen de axiale einden wordt gedrukt van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 en de bovenste en onderste kasten 23, 24. Het drukaanpasorgaan·bevat verschillende delen, zoals een veer-5 krachtig deel, zoals een schroefveer 35, aangebracht in het zijstuk 27, en een vastschroefdeel, zoals een bout 36 voor het tegen de einden van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 en de bovenste en onderste kasten 23, 24 drukken van het zijstuk 27.

De drukkracht van het zijstuk 27 wordt begrensd door de 10 spleet H tussen het zijstuk 27 en de bout 36.

In het geval dat het drukaanpasorgaan zich slechts aan één zijde van de afsluitrollen en de kasten bevindt, is het aan de andere zijde van de afsluitrollen en kasten aangebrachte zijstuk 28 direct bevestigd aan de bovenste en onderste kasten 23, 24.

15 In de hulpvacuumkamers 2, 3 met de hiervoor beschreven con structie, wordt de afsluiting tussen de bovenste rol 21 en de onderste afsluitrol 22, waardoor het te behandelen materiaal F wordt geleid, bereikt door het zodanig drukken van het rubber 29 van de bovenste rol 21 tegen de onderste afsluitrol 21 via het te behandelen 20 voorwerp F, dat het rubber 29 van de bovenste afsluitrol 21 wordt uitgebogen.

Ook wordt de afsluiting tussen de bovenste en onderste afsluitrollen en de bovenste en onderste kasten 23, 24 bereikt door het in aanraking met de afsluitrollen 21, 22 brengen van de draag-25 delen 25, 26 van de bovenste en onderste rollen.

De afsluiting tussen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 en de zijstukken 27, 28 wordt bereikt door het tegen de bovenste en onderste kasten 23, 24 drukken van de zijstukken 27, 28 door middel van het drukaanpasorgaan.

30 Overeenkomstig deze uitvoering wordt de wrijvingskracht, werkzaam tussen de bovenste en onderste afsluitrollen, alsmede de schuifweerstand, verminderd voor het verbeteren van niet alleen de duurzaamheid van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22, maar ook de afsluiteigenschap tussen de bovenste en onderste afsluitrol-35 len.

81 0 3 5 6 - 7 -

Aangezien, de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 zijn uitgevoerd voor het in aanraking zijn met de draagdelen 25, 26 van de bovenste en onderste rollen, wordt verder de wrijvingskracht, werkzaam tussen de onderste rol 22 en het draagdeel 26 van de onder-5 ste rol, verminderd en wordt de schuifweerstand verminderd voor het verzekeren van een aanzienlijke verbetering in de duurzaamheid van het draagdeel 26 van de onderste rol om niet te spreken van de verbetering in de duurzaamheid van de bovenste afsluitrol 21 en het draagdeel 25 van de bovenste rol.

.10 Omdat verder de drukkracht van het zijstuk 27 wordt aangepast door de bout 36 van het drukaanpasorgaan door middel van de schroef-veer-35, worden overeenkomstig een kleine axiale verplaatsing van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22, deze op juiste wijze geplaatst in de axiale richting, en wordt de duurzaamheid van de 15 zijstukken 27, 2Θ verbeterd met verkrijging van een grotere afsluit- werking tussen de twee axiale einden van de afsluitrollen 21, 22 en de tegenoverliggende zijstukken 27, 28.

De.bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 zijn aandrijf-baar met elkaar verbonden door middel van de tandwielen 31, 32, 20 bevestigd aan de einden van de assen, die deze rollen dragen. Der halve wordt het ongewenste vrijlopen of slippen van de bovenste afsluitrol 21 voorkomen, en wordt kracht v/erlies verminderd, zelfs wanneer de wrijvingsweerstand tussen de bovenste afsluitrol 21 en het draagdeel 25 van de bovenste rol of tussen de bovenste afsluit-25 rol 21 en de zijstukken 27, 28, wordt vergroot.

Hoewel bij de beschreven uitvoeringsvorm het drukaanpasorgaan slechts aan één axiaal einde van de afsluitrol is voorzien, is deze uitvoering niet uitsluitend, en kan het drukaanpasorgaan aan elk axiaal einde van de afsluitrollen zijn aangebracht.

30 Fig.7 toont een ander voorbeeld van de middelen voor het ver schaffen van een afsluiting in de axiale richting tussen de afsluitrol en de kast, waarbij dezelfde verwijzingscijfers zijn gebruikt voor het aanduiden van dezelfde onderdelen of delen als in de fig.

4 en 5.

35 De verwijzingscijfers 39 en 40 duiden golfdelen aan, beves- 8103566 - 8 - tigd aan de bovenste en onderste Kasten 23, 24 en zich uitstrekkende in de axiale richting van de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 voor het maken van een lijnaanraking met de omtreksoppervlakken van deze rollen. De golfdelen 39, 40 zijn gemaakt van een veerkrach-5, tig materiaal, zoals nitrilerubber, en op hun oppervlakken bekleed .

met' een materiaal dat een lage wrijvingscoëfficiënt heeft, zoals fluorhars, gevormd door het harden door verhitting.

Door het laten maken van een lijnaanraking door de golfdelen 39, 40 met een gedeelte van het buitenomtreksoppervlak van elke rol 10 21, 22 over de gehele axiale lengte daarvan, is het mogelijk een doeltreffende afsluiting te verkrijgen tussen de afsluitrol en de kast over de gehale axiale lengte van de rol. Omdat verder de wrij-vingskracht tussen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 en de golfdelen 39, 40 aanzienlijk is verminderd, is de duurzaam-15 heid van deze afsluitrollen aanzienlijk verbeterd.

Fig.8 toont een wijziging van het in fig.7 weergegeven golf-deel.. Dit golfdeel 41, 42 heeft een zodanige dwarsdoorsnedegedaante, dat het een veerkrachtig gebogen einde heeft, in aanraking met elke afsluitrol 21, 22. Zoals is te zien in fig.9 zijn de golfdelen 41, 20 42 in omgekeerde richtingen aangebracht in de hulpvacuumkamer 2 bij de bovenstroomse zijde van de vacuumbehandelingskamer 1, en de hulpvacuumkamer 3 aan de benedenstroomse zijde daarvan, zodat de veerkrachtige eindgedeelten van de betreffende golfdelen tegen de bijbehorende afsluitrollen worden gedrukt door het drukverschil tussen 25 de atmosferische zijde en de vacuumzijde. Door het weergeven van de atmosferische druk door A, de druk in de vacuumzijde door B en de tussendruk door C, worden, verwijzende naar fig.9, de golfdelen 41, 42 meer in het bijzonder tegen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 gedrukt in de richting tegengesteld aan de draairichting van 30 deze rollen 21, 22 aan de atmosferische zijde van de hulpvacuumkamer 2, omdat de druk A groter is dan de druk C. Op soortgelijke wijze worden de golfdelen 41, 42 tegen de betreffende.afsluitrollen 21, 22 gedrukt in de richting tegengesteld aan de draairichting van deze rollen, eveneens aan de vacuumzijde van de hulpvacuumkamer 2 35 omdat de druk C groter is dan de druk B. Hetzelfde geldt tevens voor 8103566 {—' Γ“ ......." ” - ....... ..........

- 9 - de hulpvacuumkamer 3, omdat de golfdelen in de hulpvacuumkamer 3 in.de tegengestelde richting zijn gericht ten opzichte van de richting van die in de hulpvacuumkamer 2.

Het is duidelijk, dat een verbeterde afsluitwerking wordt be-5 reikt tussen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 en bijbe horende golfdelen 41, 42 dank zij het uitoefenen van drukkracht op de golfdelen 41, 42 als gevolg van het drukverschil tussen de atmosferische zijde en de vacuumzijde.

De doorlopende vacuumbehandelingsinrichting met de hiervoor 10 - beschreven constructie is op de hierna uiteengezette wijze werk-1 zaam.

Wanneer de vacuumpompen 4 en 6 worden aangezet, worden de vacuumbehandelingskamer 1 en de hulpvacuumkamers 2,3 tot de gewenste vacuumhoogten onder vacuum geplaatst. Dienovereenkomstig wordt een 15 groter vacuum, d.w.z. een lagere absolute druk tot stand gebracht in de vacuumbehandelingskamer 1 dan in de hulpvacuumkamers 2,3.

Dan worden de aandrijfstelsels van de trommelvormige· kathode 16, de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 van de hulpvacuumkamers 2, 3' en het opwindorgaan 9 aangezet door middel van de motor 10 via 20 de betreffende overbrengingen 12, 13, 14 en 15. In deze toestand wordt het te behandelen voorwerp F, b.v. een foelie, van een vinyl-chloridehars, doorlopend vanaf het afwindorgaan 8 van de atmosferische zijde in de vacuumbehandelingskamer 1 gevoerd door de spleet tussen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 van de hulpva-25 cuumkamer 2. In de vacuumbehandelingskamer wordt een .plasmabehande- ling uitgevoerd, op het te behandelen voorwerp F door een plasma-' ontlading, opgewekt tussen de kathode 16 en de anode 17. Het zodoende door het plasma behandelde voorwerp F wordt dan tot buiten de vacuumbehandelingskamer 1 getransporteerd en opgenomen door het opwindorgaan 9 van de atmosferische zijde, waarbij het voorwerp door 3O de spleet gaat tussen de bovenste en onderste afsluitrollen 21, 22 van de hulpvacuumkamer 3.

Het te behandelen voorwerp F wordt dus behandeld door het plasma in.een vrij korte verblijfsduur in de Vacuumbehandelingskamer 1, zodat het ongewenst ontsnappen van het vluchtige gehalte, 8103566 ---------------- -10-.

zoals een weekmaker in de vinylchlorideharsfoelie, wordt voorkomen voor het verzekeren van een goede omgevormde eigenschap op het oppervlak van het voorwerp F.

De volgende tabel toont bij wijze van voorbeeld de vacuum-5 hoogten, gemeten in de vacuümkamer. 1 en de hulpvacuumkamers a, b, c, weergegeven in fig.1, in de toestand van doorlopende toevoer van het te behandelen voorwerp F teneinde de afsluitwerking in de doorlopende vacuumbehandelingsinrichting te bevestigen.

Tabel 10 Verlopen tijd: 5 min 10 min 15 min 20 min meetpunt: hulpvacuumkamer (a), kPa 2,67 .. 1,4 1,33 1,33 hulpvacuumkamer (b), 73,33x10 3 18,67 16,93 16,67 x 10-3 x 10“3 x 10-3 hulpvacuumkamer (c) 66,67 17,33 16,93 16,67 lb x 10~3 ' x 10~3 x 10-3 x 10'3 vacuumbehandelingskamer 20x10 3 3,33xl0“3 3,27x10 3 2,93x10 3

Uit de hiervoor weergegeven tabel is te zien, dat de vacuumhoogten in de vacuumbehandelingskamer 1 en de betreffende hulpvacuumkamers '20 2 geleidelijk toenemen, d.w.z. dat de hoogte van de absolute druk wordt verlaagd met het verlopen van de tijd. Ook is te zien, dat een drukval voor het op een getrapte wijze verlagen van de absolute druk naar de vacuumbehandelingskamer 1 tot stand wordt gebracht door de opeenvolgende hulpvacuumkamers a, b en c. Dit toont duide-25 lijk aan, dat de gewenste afsluitwerking in de doorlopende vacuum behandelingsinrichting is bereikt.

Zoals uit de voorgaande beschrijving duidelijk is, verschaft de uitvinding een doorlopende lucht-naar-lucht-vacuumbehandelings-inrichting, die een sterke afsluitwerking kan bereiken in de hulp-30 vacuümkamers met verkrijging van een goede omvormeigenschap in de oppervlaktebehandeling van de te behandelen kunststofvormstukken, alsmede een opmerkelijke verbetering van de produktiviteit. Deze gevolgen zijn in het bijzonder opmerkelijk wanneer het te behandelen voorwerp een zacht voorwerp is, zoals een foelie van hars van 35 het vinylchloridestelsel.

8103566

Claims

1. Doorlopende vacuumbehandelingsinrichting, gekenmerkt door een vacuumbehandelingskamer en door althans een hulpvacuumkamer, aangebracht aan zowel de bovenstroomse als de benedenstroomse zijde van de vacuumbehandelingskamer, waarbij elke hulpvacuumkamer een 5 paar onderling in aanraking zijnde afsluitrollen bevat, verder mid delen voor het tot stand brengen van afsluitingen tussen de afsluitrollen en kasten langs de axiale lengten van de rollen, en middelen voor het tot stand brengen van afsluitingen tussen de twee eindopper-vlakken van de afsluitrollen en de kasten.

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat een van de afsluitrollen geheel is gemaakt van een metaal, waarbij de andere een metallische kern heeft en een veerkrachtig deel op het oppervlak van deze metallische kern.

3. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat een van 15 de afsluitrollen is gemaakt van ijzer of koolstofstaal.

4. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat een harde laag is gevormd op de ene afsluitrol.

5. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de andere afsluitrol is gemaakt van een rubber.

6. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de mid delen voor het tot stand brengen van de afsluiting tussen de afsluit- · rollen en de kasten, roldraagdelen bevatten, die in aanraking kunnen zijn met de afsluitrollen.

7. Inrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat elk rol- 25 draagdeel wordt gevormd door een veerkrachtig deel, bekleed met een foelie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt.

8. Inrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de foelie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt is gemaakt van een fluorhars.

9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de midde- 30 len voor het tot stand brengen van de afsluiting.tussen de afsluit rollen en de kasten langs de axiale lengten van de rollen, golfdelen .......81 0 3 5 6 6........... n * . - 12 - bevatten, die zich uitstrekken in de axiale richting van de afsluit-rollen en een lijnaanraking maken met gedeelten van de betreffende afsluitrollen.

10. Inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de golf- 5 delen zodanig zijn aangebracht, dat zij tegen de betreffende afsluit rollen worden gedrukt door het drukverschil tussen de atmosferische1 zijde en de vacuumzijde.

11. Inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de golf-delen worden gevormd door veerkrachtige delen, bekleed met een foe- - 10· lie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt.

12. Inrichting volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat de foelie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt is gemaakt van een fluorhars.

13. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de mid- 15 delen voor het tot stand brengen van de afsluitingen tussen de twee eindoppervlakken van de afsluitrollen en de kasten, zijstukken bevatten voor aanraking van de twee einden van de afsluitrollen, en althans een drukaanpasorgaan voor het drukken van een van de zijstukken tegen de betreffende eindoppervlakken van de afsluitrollen.

14. Inrichting volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat elk zijstuk op zijn gedeelte voor aanraking met de afsluitrollen is bekleed met een foelie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt.

15. Inrichting volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de foe- 25 lie van een materiaal met een lage wrijvingscoëfficiënt is gemaakt van een fluorhars.

16. Inrichting volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat de af-. sluitrollen axiaal zijn geplaatst door middel van de zijstukken.

17. Inrichting volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat het 30 drukaanpasorgaan een veerkrachtig deel bevat en een vastschroefdeel.

18. Inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat het veerkrachtige deel een veer is.

19. Inrichting volgens conclusie 13, gekenmerkt door een enkel drukaanpasorgaan voor het drukken van een van de zijstukken tegen 35 de bijbehorende eindoppervlakken van de afsluitrollen. 81 0 3 5 6 6 -........................... - 13 - *

20. Inrichting volgens conclusie 13, gekenmerkt door drukaanpas- i organen voor het drukken van beide zijstukken tegen de betreffende eindoppervlakken van de afsluitrollen.

21. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat beide 5 afsluitrollen door kracht worden aangedreven. 8103566