DE3128190A1 - "laser-halbleitervorrichtung" - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Laser-Halbleitervorrichtung zur Verwendung als Lichtquelle beispielsweise bei einem elektrofotografischen Aufzeichnungsgerät und insbesondere auf eine kompakte Laser-Halbleitervorrichtung zur Abgabe paralleler Strahlen durch Kollimieren bzw. Parallelrichten von aus einem Laser-Halbleiterplättchen austretenden Strahlen mit Hilfe einer eingebauten Linse,

Im allgemeinen senden zwar Laser-Halbleiterplättchen divergierende Lichtstrahlen mit einem Divergenzwinkel von 10° bis 40° aus, jedoch ist es erwünscht, aus der Laser-Halbleitervorrichtung parallele Strahlen zu erhalten, da der Arbeitswirkungsgrad sehr gering wird, wenn die Strahlen nicht mit einer Linse in der Nähe des Lichtstrahlpunktes kollimiert werden, und da ferner für die

Deutsche Bar* (München) Kto. 51/61070

Dresdner Bank [Munchnn) KIo 3939844

Postscheck (München) Kto 670-43-804

^{DE 1417}

■j optische Handhabung parallele Strahlen am zweckdienlichsten sind.

Eine bekannte Vorrichtung für diesen Zweck hat gemäß der Darstellung in der Fig. 1 eine Linseneinheit 2 zum Kollimieren der divergierenden Strahlen und eine selbständige Leuchteinheit 3, wobei die Einheiten mechanisch mit Hilfe von Verbindungsteilen 4 und 5 verbunden sind. Die Linseneinheit 2 ist aus mehreren sphärischen Linsen 2a, 2b und 2c für das Einhalten der geforderten optischen Eigenschaften zusammengesetzt, wobei für jede Linse und für das wechselseitige Lageverhältnis der Linsen die Bemessungsgenauigkeit streng einzuhalten ist.

Die Leuchteinheit 3 hat ein Gehäuse 8, das ein Laser-Halbleiterplättchen 6 in einer trockenen Stickstoffatmosphäre 7 schützt, um damit eine beim Arbeiten in gewöhnlicher Atmosphäre durch Oxidation auftretende Verschlechterung des Halbleiterplättchens zu verhindern, und das mit einem Lichtaustritt-Glasfenster 9 ausgestattet ist.

Bei dem Zusammenbau dieser beiden Einheiten ist eine genaue Ausrichtung in Bezug auf eine Abweichung zwischen den optischen Achsen sowie hinsichtlich der Fokussierung der Linseneinheit 2 und des Laser-Halbleiterplättchens 6 erforderlich.

Falls die optischen Achsen voneinander abweichen, erhalten die aus der Laser-Halbleitervorrichtung austretenden Strahlen eine Winkelablenkung aus der optischen Achse der Linseneinheit 2 heraus, was eine Strahlenversetzung von der geforderten Stelle weg ergibt, wenn die Strahlen an einer von dem Lichtaustrittspunkt entfernten

° Stelle angewandt werden. Die Toleranz hinsichtlich der

& G¹ DE 1417

Abweichung der optischen Achsen, die als eine Funktion der Toleranz für die Strahlenversetzung bestimmt ist, liegt im allgemeinen in dem Bereicht von 10μπκ

Falls die Fokussierung fehlerhaft ist, sind die aus der Laser-Halbleitervorrichtung austretenden Strahlen nicht genau parallel. Falls daher diese Strahlen an einem Punkt fokussiert werden sollen, ergeben diese nicht parallelen Strahlen einen von dem gewünschten Ort versetzten Brennpunkt, was zu einem unscharfen Leuchtpunkt an dem gewünschten Ort führt ο Die Toleranz für den Fehler hinsichtlich des Fokussierens, die als eine Funktion der Toleranz dieser Unscharfe bestimmt ist, liegt gewöhnlich in dem Bereich von 5μΐη.

Zum wirkungsvollen Sammeln des Lichts aus einem Halbleiter-Leuchtelement ist in der japanischen Gebrauchsmusterschrift 9501/1980 die Anwendung eines Austrittsfensters mit einer Lichtkonvergenz-Linsenfunktion an dem Halbleiter-Leuchtelement beschrieben. Diese Neuerung ist jedoch nicht darauf gerichtet, die aus diesem Element austretenden Strahlen zu kollimieren bzw, parallel zu richten, sondern darauf, diese Strahlen wirkungsvoll einem Lichtfaserbündel zuzuführen, das in der Nähe der Austrittsöffnung angeordnet ist. Daher ist die Genauigkeit bei dem Anbringen des nahe dem Halbleiter-Leuchtelement angeordneten Linsenfunktionselements weitaus weniger kritisch als im Falle der Strahlen-Kollimierung.

laubt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Laser-Halbleitervorrichtung zu schaffen, die ein einfaches und genaues Ausrichten einer kollimierenden Linse in Bezug auf ein Laser-Halbleiterplättchen er-

DE 141?

Ferner soll mit der Erfindung eine Laser-Halbleiter vorrichtung geschaffen werden, die eine verringerte Anzahl von Bauteilen enthält und daher einen einfachen Zusammenbau ermöglicht.

Weiterhin soll die erfindungsgemäße Laser-Halb-

leitervorrichtung kompakt gestaltet sein und für verschiedenerlei Aufzeichnungs- oder Lesegeräte verwendbar sein.

Die erfindungsgemäße Laser-Halbleitervorriehtung soll ein einfaches Ersetzen des Laser-Halbleiterplättchens mit zufriedenstellender Reproduzierbarkeit ermöglichen.

Ferner soll eine Einrichtung angegeben werden, die eine zweckdienliche Herstellung einer derartigen Laser-Halbleiter vor richtung ermöglicht. ·

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß-mit einer Laser-Halbleitervorrichtung gelöst, die zur Strahlenkollimierung eine asphärische Einzellinse hat, welche an einer Strahlungsaustrittsöffnung angeordnet ist, die in einem Gehäuse für den Schutz des Laser-Halbleiterplättchens ausgebildet ist, wobei die Gestaltung der Linse an der strahlen-Austrittsöffnung eine genaue Einstellung ihrer Lage in Bezug auf die Lage der Laser-Halbleiterplättchens erlaubt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine Schnittansicht einer herkömmlichen Laser-Halbleitervorrichtung.

3128130

DE 1 4 1 7 Fig. 2 ist eine Schnittansicht einer Laser-Halbleitervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel .

c Fig. 3A, 3B und 3C sind Schnittansichten, die eine

Ausführungsform einer Einspannvorrichtung für den Zusammenbau der Laser-Halbleitervorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel zeigen.

IQ Fig. 4 und 5 sind schematische Ansichten, die die

Notwendigkeit des fluchtenden Ausrichtens der optischen Achsen einer asphärischen Linse und einer Fokussierlinse in der in Fig» 3 gezeigten Einspannvorrichtung veranschaulichen.

Fig» 6 ist eine Schnittansicht,, die eine Ausführungsart des Befestigens der Laser-Halbleitervorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel an einem anderen Gerät veranschaulicht»

Die Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Laser-Halbleitervorrichtung, bei welchem eine asphärische Einzellinse 11, die auch als ein Laserstrahlen-Austrittsfenster wirkt, mit einer zu einer Linsenachse 11¹C konzentrischen gebogenen Fläche 11'a (die in diesem Fall die äußere Umfangsflache ist) und mit einer zu der Linsenaehse senkrechten ebenen Fläche 11'>b versehen ist. Ein Gehäuse 12, das auch als ein Teil für das Befestigen der Laser-Halbleitervorrichtung dient, ist mit einer gebogenen Fläche 12'a (die in diesem Fall die Innenumfangsflache ist), die mit der Außenumfangsfläche 11"a der Linse zusammenzusetzen ist, einer gebogenen Fläche 12^!b (die in diesem Fall die Außenumfangsflache ist), und ebenen Flächen 12¹C und 12'd versehen, die zu der Innenumfangsflache 12'a senkrecht stehen, wobei die Innenumfangsflache 12'a mit

DE 1417

einem nach innen zu vorspringenden Flansch 12'e ausgestaltet ist. Weiterhin hat die Laser-Halbleitervorrich~ tung einen Halter 15, der ein Laser-Halbleiterplättcheri 14 trägt, ein Grundteil· bzw. eine Grundplatte 16, die c den Halter sowie verschiedene Anschlüsse 17 für die Stromversorgung des Laser-Halbleiterplättchens 14, für die Stromversorgung eines Strahlendetektors 18 zur automatischen Lichtintensitätssteuerung und für die Übertragung von AusgangsSignalen trägt, eine Wärmeab-IQ strahlungsplatte 19 für das Abstrahlen der von dem Laser-Halbleiterplättchen 14 während seines Arbeitens erzeugten Wärme und ein Verbindungsteil 20 für die Stromübertragung zwischen der Laser-Halbleitervorrichtung und einer Laser-Treiberschaltung.

Zum Erzielen einer gewünschten optischen Wirkungsweise bei der vorstehend beschriebenen Gestaltung sind die Genauigkeit der asphärischen Einzellinse selbst sowie die axiale Fluchtung und Fokussierung der asphärischen Linse und des Laser-Halbleiterplättchens zu beachten.

Die Anwendung einer asphärischen Linse aus Glas ist noch nicht allgemein üblich, jedoch im Vergleich zu der Herstellung und der gegenseitigen Ausrichtung mehrerer sphärischer Glaslinsen vorteilhaft.

Für den genannten Anwendungszweck ist eine gegossene asphärische Linse anwendbar. Es bestehen zwar noch Bedenken hinsichtlich eines Aufblähens durch Feuchtigkeit des Gußmaterials, jedoch schreitet die Entwicklung von feuchtigkeitsfestem Material fort, so daß zukünftig eine Anwendung bei einer derartigen Linse zu erwarten ist. Die Fig. 3 zeigt ein Beispiel einer Einspannvorrichtung für das axiale in-Fluchtunq-Brinqen,und das Fokussieren der asphärischen Einzellinse 11 und des

^ - DE 14 1 7 Laser-Halbleiterplättehens 1.4.

Diese Einspannvorrichtung hat eine Fernsehkamera 31 zur Abbildung einer Stelle A auf einem Fernsehbildgerät 32, eine Fokussierlinse 33, die so angeordnet ist, daß ihr Brennpunkt an der Stelle A liegt, einen Linsenhalter 34, der die asphärische Linse 11 durch Saugwirkung in einer Unterdrucknut 34'b hält, die an einer zu der optischen Achse der Fokussierlinse 33 senkrechten Anstoßfläche 34'a ausgebildet ist, wobei die asphärische Linse 11 mittels eines Stellknopfs 34¹C parallel zu der optischen Achse senkrecht verstellbar ist, einen Gehäusehalter 35, der auf gleichartige Weise das Gehäuse 12 der Laser-Halbleitervorrichtung durch Saugwirkung in einer Unterdrucknut 35'b hält, die an einer zu der optischen Achse der Fokussierlinse 33 senkrechten Anstoßfläche 35"a ausgebildet ist, wobei der Gehäusehalter 35 mit einer mittigen Durchgangsöffnung 35^üc versehen ist, die der Außenumfangsflache 12'b des Gehäuses 12 ange- ·>.

bracht ist und zu der optischen Achse der Fokussierlinse 33 konzentrisch ist, einen Grundplattenhalter 36, der die Grundplatte 16 der Laser-Halbleitervorrichtung trägt und aus einem Halteteil 37, das die Grundplatte 16 trägt, und einem Halteteil 38 zum Versetzen des Halteteils 37

·" in einer zur optischen Achse der Fokussierlinse 33 senkrechten Richtung gebildet ist, wobei das Halteteil 37 an seinem Außenumfang 37*a mit dem Innenumfang 38"a des Halteteils 38 zusammengesetzt ist, wodurch das Halteteil 37 in Bezug auf das Halteteil 38 nur in vertikaler

Richtung bewegbar ist, wobei es mittels einer Feder 39 ständig nach oben zu vorgespannt ist, einen Stellknopf 40 zum Versetzen eines Grundplattenhalters 36 in der vertikalen Richtung und Stellknöpfe 41 in Form eines äußeren Stellknopfs 41"a und eines inneren Stellknopfs

41"b für das jeweilige Verstellen des Grundplattenhalters 16 in einer zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung bzw.

DE 1417 in einer in der Zeichnungsebene horizontalen Richtung.

"Nachstehend wird das Vorgehen bei der Achsenausfluchtung und der Fokussierung der asphärischen Einzellinse 11 und des Laser-Halbleiterplättchens 14 mit Hilfe der vorstehenden beschriebenen Einspannvorrichtung erläutert.

Der Arbeitsvorgang wird in einer trockenen Stickstoffatmosphäre vorgenommen.

Zunächst müssen die asphärischen Einzellinse 11 und das Gehäuse 12 gelagert werden. Als Vorbereitung wird die asphärische Linse 11 in das Gehäuse 12 eingesetzt und durch den vorspringenden Flansch 12'e gehalten, der dafür vorgesehen ist, eine Beschädigung des Laser-Halbleiterplättchens 14 durch den Zusammenstoß mit der asphärischen Linse 11 zu verhindern, und der daher auch auf geeignete Weise an der Linse 11 ausgebildet sein kann. Danach wird das Gehäuse 12 von unten her in die mittige Durchgangsöffnung 35'c des Gehäusehalters eingesetzt und ein Ventil B2 einer Unterdruck- bzw. Saugpumpe 42 geöffnet, um beim Anstoß der ebenen Flansch-Fläche 12*c gegen die Anstoßfläche 35'a das Gehäuse 12 durch die Saugwirkung festzuhalten. Die Außenumfangsflache 12'b und die ebene Flansch-Fläche 12'c des Gehäuses 12 werden genau konzentrisch und senkrecht zu der Innenumfangsflache 12'a des Gehäuses gefertigt, wie es im Vorstehenden erläutert ist, und die Außenumfangsflache 12'b wird genau in die mittige Durchgangsöffnung 25'c des Gehäusehalter eingepaßt, so daß bei diesem Zustand die Mittelachse des Gehäuses 12 mit der optischen Achse der Fokussierlinse 33 übereinstimmt. Danach wird der Linsenhalter 34 mit Hilfe des Stellknopfs 34'c allmählich abgesenkt, bis die Anstoßfläche 34'a gegen die ebene Flansch-Fläche 11'b der

jDE 1.417

] asphärischen Linse 11 stößt,und ein Ventil B1 der Saugpumpe 42 geöffnet, um die asphärische Linse 11 durch Saugwirkung festzuhalten. Die Außenumfangsflache IT'a und die ebene Flansch-Fläche 11'b der asphärischen Linse ^ werden genau konzentrisch und senkrecht zur optischen Achse der Linse vorbereitet, während die Außenümfangsflache genau in die Innenumfangsflache 12'a des Gehäuses 12 eingepaßt wird, so daß die optische Achse der asphärischen Einzellinse 11 bei diesem Zustand mit derjenigen der Fokussierlinse 33 zusammenfällt. Darauffolgend wird die schon mit dem Laser-Halbleiterplättchen 14, dem Halter 15, den Anschlüssen 17 und dem Verbindungsteil 20 ausgestattete Grundplatte 16 so gelagert, daß sie für eine sofortige Laserstrahlungsfunktion auf die Stromversorgung hin bereit ist. Der Grundplattenhalter 36 wird mittels des Stellknopfs 40 in seine niedrigste Stellung gebracht, wonach die Grundplatte 16 auf das Halteteil 37 aufgesetzt wird und ein Ventil B3 der Saugpumpe 42 geöffnet Wird, um die Grundplatte 16 durch Saugwirkung festzulegen* Bei diesem Vorgang wird der Außenumfang der Grundplatte • annähernd mit demjenigen des Halteteils 37 ausgerichtet, um die nachfolgende Einstellung zu erleichtern. Der Grundplattenhalter 36 wird mittels des Stellknopfs 40 angehoben, bis die obere Fläche der Grundplatte 16 gegen die untere ebene Fläche 12"b des Gehäuses 12 stößt, wonach der Grundplattenhalter 36 geringfügig weiter angehoben wird, wodurch die obere Fläche der Grundplatte 16 von der Feder 39 gegen die Fläche 12'd des Gehäuses gepreßt wird.

Darauffolgend wird die Laser-Halbleitervorriahtung mittels des Verbindungsteils 20 an eine Laser-Treiberschaltung 4 3 angeschlossen und in einen Dauerschwing-" zustand versetzt. Zugleich mit einer Versetzung des

■ ■ DE 1417

Grundplattenhalters 36 in der zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung mittels des Stellknopfs 41'a bzw. in der Horizontalrichtung in der Zeichnungsebene mittels des Stellknopfs 41'b bewegt sich die durch die Saugwirkung festgehaltene Grundplatte 16 mit Hilfe der Feder 39 in den gleichen Richtungen längs der unteren Fläche 12'd des Gehäuses. Zugleich kann mittels des Stellknopfs 34'c die asphärische Linse 11 vertikal bewegt werden. Das Fernsehbildgerät 32 zeigt einen Leuchtpunkt 32'b ohne Unscharfe an der Mitte einer Skaleneintellung 32'a, wenn in die Fokussierlinse 33 parallel zu deren optischer Achse parallele Strahlen eintreten, nämlich die Laser-Halbleitervorrichtung parallele Strahlen in der zu der Befestigungs-Fläche 12'c senkrechten Richtung abgibt.

Dabei kann das gegenseitige Lageverhältnis zwischen der asphärischen Einzellinse 11 und dem Laser-Halbleiterplättchen 14 durch Drehen der Stellknöpfe 41'a, 41 'b und 34'c unter Beobachten des an dem Fernsehbildgerät 32 gezeigten Bilds eingestellt werden. Die untere Fläche 12'd des Gehäuses 12 ist zur dessen Innenumfangsflache senkrecht gestaltet, um während der Versetzung des Laser-Halbleiterplättchens 14 in einer zur optischen Achse der Fokussierlinse 33 senkrechten Richtung einen konstanten Abstand zwischen dem Laser-Halbleiterplättchen und der asphärischen Einzellinse aufrechtzuerhalten. Nach Abschluß der vorstehend genannten Einstellungen wird der gemeinsamen Paßfläche B zwischen der asphärischen Linse 11 und dem Gehäuse 12 sowie der gemeinsamen Paßfläche C zwischen dem Gehäuse 12 und der Grundplatte

16 ein Klebstoff zugeführt. Da in diesen Bereichen der Spalt klein ist, wird der Klebstoff schnell ausgehärtet, wobei er eine hohe Festigkeit gegenüber äußeren Kräften ergibt. Abschließend wird das Verbindungsteil 20 von der

Laser-Treiberschaltung 43 gelöst, wonach die Ventile B1 35

DE 14 1 7

und B2 der Saugpumpe 4 2 geschlossen werden und die Laser-Halbleitervorrichtung durch Drehen des Knopfs 4 0 abgesenkt und unter Schließen des Ventils B3 der Saugpumpe 42 abgenommen wird.

Nachstehend wird die Notwendigkeit des Ausfluchtens

der optischen Achse AX1 der asphärischen Linse 11 mit der optischen Achse AX2 der Fokussierlinse 33 erläutert. Falls die Achsen zueinander parallel, jedoch gegeneinander

in exzentrisch versetzt sind, wie es in der Fig. 4 gezeigt ist, fallen die Strahlen mit der Mittelachse der durch die Außenumfangsflache 12'c gebildeten Befestigungsfläche der Laser-Halbleitervorrichtung selbst dann nicht zusammen, wenn durch geeignete Versetzung der asphärischen Linse 11 und des Halbleiterplättchens 14 an der Stelle A ein Strahlenpunkt geformt wird. Eine derartiger Zustand schließt eine Austauschbarkeit der Halbleitervorrichtungen aus, da die Relativlage zwischen den austretenden parallelen Strahlen und der Befestigungsfläche nicht bei allen Vorrichtungen gleichmäßig definiert ist. Falls ferner die optischen Achsen nicht zueinander parallel sind, wie es in der Fig. 5 gezeigt ist, liegt der Lichtabgabepunkt des Laser-Halbleiterplättchens 14 nicht auf der optischen Achse der asphärischen Linse 11, was zu einem verzeichneten bzw. unscharfen Leuchtpunkt oder einem gesteigerten Lichtverlust führt. In den Fig. 4 und 5 ist mit H1 die Hauptebene der Fokussierlinse 33 bezeichnet.

Diisse Situationen machen einen gesteigerten Aufwand hinsichtlich des Einstellvorgangs und damit eine längere Dauer für die Einstellung notwendig. Aus diesen Gründen ist es wichtig, die optischen Achse der asphärischen Linse 11 mit derjenigen der Fokussierlinse 33 auszufluchten, wobei die asphärische Linse 11 und das Gehäuse 12 mit besonderen Flächen als Vorrichtung zum leichten

DE 1417 \ Herbeiführen dieser Ausfluchtung zu sehen sind.

Die auf die vorangehend beschriebene Weise eingestellte Laser-Halbleitervorrichtung wird gemäß der Darstellung in Fig. 6 beispielsweise an einer Außenwand 44 eines optischen Systems eines elektrofotografischen Aufzeichnung sgeräts befestigt. Die Außenwand 44 ist mit einer Durchgangsöffnung 44'a für das Ineinandergreifen mit der Außenumfangsflache 12'b des Gehäuses und einer zu der Mittelachse der Durchgangsöffnung senkrechten Flanschfläche 44'b versehen, so daß dadurch die Laser-Halbleitervorrichtung an ihrer Außenumfangsflache 12'b mit der Durchgangsöffnung 44'a zusammengebracht wird und durch den Anstoß der Flansch-Fläche 12'c des Gehäuses an die Flanschfläche 44'b der Außenwand festgelegt wird. Dieser Aufbau gewährleistet eine vollständige Austauschbarkeit der Laser-Halbleitervorrichtung und schaltet die Notwendigkeit der Einstellung bei jedem Austausch der Vorrichtung aus.
20

Gemäß den vorangehenden Ausführungen ermöglicht es die Laser-Halbleitervorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel, durch Verwendung einer asphärischen Einzellinse sowohl als optisches System für das Kollimieren der aus dem Laser-Halbleiterplättchen austretenden Strahlen als auch als Strahlenaustrittsfenster der Laser-Halbleitervorrichtung die Anzahl der Bauteile beträchtlich zu verringern und die Notwendigkeit eines äußerst präzisen Zusammenbaus auszuschalten.
30

Die asphärische Einzellinse und der Befestigungsteil der Laser-Halbleitervorrichtung werden jeweils mit genau bearbeiteten Flächen versehen, wodurch die Austrittslage und die Richtung der parallelen Strahlen auf außerordent-^OJ lieh einfache Weise festgelegt werden. Die auf diese

- DE 1417

■j Weise hargestelltenLaser-Halbleitervorrichtungen sind vollkommen austauschbar, so daß eine optische Einstellung bei ihrem Austausch vermieden ist. Ferner ist im Vergleich zu herkömmlichen Vorrichtungen die beschriebene Laser-Halbleitervorrichtung billiger, kompakter, zuverlässiger und leichter zu warten.

Es wird eine Laser-Halbleitervorrichtung angegeben, die ein Laser-Halbleiterplättchen und eine asphärische Einzellinse zum Kollimieren der Lichtstrahlen aus dem Laser-Plättchen hat, wobei die asphärische Einzellinse an einer Strahlenaustrittsöffnung eines Schutzgehäuses für das Laser-Plättchen angebracht ist und die Austrittsöffnung des Gehäuses zur Ausrichtung der optischen Achse der asphärischen Einzellinse mit derjenigen des Laser-Plättchens ausgebildet ist.

Claims (4)

1. Patentansprüche

   hl Laser-Halbleitervorrichtung, gekennzeichnet durch ein Laser-Halbleiterplättchen (14), ein das Laser-Halbleiterplättchen aufnehmendes Gehäuse (12), das mit einer Austrittsöffnung für den Durchlaß der Lichtstrahlen, von dem Laser-rHalbleiterplättchen nach außen Versehen ist, und eine asphärische Einzellinse (11), die die Lichtstrahlen von dem Laser-Halbleiterplättchen kollimiert und die an der Austrittsöffnung angebracht ist, wobei eine die Aust.rittsöffnung berührende Fläche (11 'a) der asphärir.chen Einzellinse und eine die asphärische Einzellinse berührende Fläche (12'a) der Äustrittsöffnung so gestaltet sind, daß die optische Achse der asphärischen Einzellinse mit derjenigen des Laser-Halbleiterplättchens fluchtet:
2. 2. Laser-Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Austrittsöffnung berührende Fläche (11'a) der asphärischen Einzellinse (11) mit einer zu der optischen Achse der Linse konzentrischen gebogenen Oberfläche versehen ist und die die asphärische Einzellinse berührende Fläche (12'a) der Austrittsöffnung mit einer zu der optischen Achse der Linse konzentrischen gebogenen Oberfläche an einer

   Deutsche Bank (München) Wo 51/61Ö70

   VI /11

   Dresdner Bank (München) Klo 3939 844

   Posischeck (Munchnn) Kto. 670-43-804

   7 DE 1417

   1 Stelle versehen ist, an der die Linse anzubringen ist.
3. 3. Laser-Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung

   5 eine Vorrichtung (12'e) zum Begrenzen der Einführungslänge der asphärischen Einzellinse (11) aufweist.
4. 4. Laser-Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die asphärische Einzel-

   10 linse (11) eine Vorrichtung zum Begrenzen der Länge ihres Einführens in die Austrittsöffnung aufweist.