DE3106187A1 - Duennschichtionisator und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Duennschichtionisator und verfahren zu seiner herstellung

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DE3106187A1
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DE19813106187
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Anthony Q. 01262 Stockbridge Mass. Testone
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Static Inc (eine Ges Ndgesetzen Dstaates Dela
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Static Inc
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Description

  • Beschreibung
  • Die Erfindung betrifft einen Dünnschichtionisator der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.
  • Dünnschichtionisatoren dieser Art dienen insbesondere der Ionisation von Luft zum Zwecke der Neutralisierung bzw.
  • des Abbaues elektrostatischer Ladungen.
  • Zum Abbau elektrostatischer Ladungen sind zahlreiche Vorrichtungen bekannt. Diese Vorrichtungen sind entweder Ionisatoren, also Ionengeneratoren, die üblicherweise elektrisch beaufschlagt werden, oder sind einfache Ableitungen, die zum Zwecke des Ableitens elektrostatischer Ladungen an Masse angeschlossen sind.
  • Gebräuchliche Ionisatoren sind im wesentlichen zylindrische Anordnungen mit radial abstehenden Emitternadeln, die entweder nur elektrisch beaufschlagt sind, dann insbesondere mit Wechselstrom, oder zusätzlich zur elektrischen Beaufschlagung auch geerdet sind.
  • Aus der Druckschrift US 3 652 897 Al ist ein Ionisator bekannt, der als Laminatstruktur aus vier Kunststoffstreifen aufgebaut ist. Zwischen zwei der Streifen ist eine Folge von Emittern eingeschlossen, die als zumindest im wesentlichen rechteckige Plättchen ausgebildet sind. An einer Schmalseite sind diese Plättchen jedoch spitz auslaufend ausgebildet. Die Emitter ragen mit diesen nadelartig ausgebildeten Spitzen aus dem Kunststoffstreifenpaar heraus, zwischen dem sie eingebettet sind. Die Emitter bestehen aus einem elektrisch leitfähigen Werkstoff, speziell aus Edelstahl. Die Emitter werden aus einem zusammenhängenden Bandmaterial ausgestanzt, wobei die einzelnen Emitterspitzen durch Brükkenber iche, die beim Ausstanzen der Emitterstrukturen stehenbl iben, miteinander verbunden sind. Diese Brückenbereiche dienen als Montagehilfe und werden nach dem Anordnen der Emitter zwischen den beiden Kunststoffstreifen entfernt. Zwischen den beiden anderen der insgesamt vier Kunststoffstreifen der Verbundstruktur ist ein elektrischer Leiterstreifen angeordnet, der vor allem aus Messing oder Kupfer besteht. Dieser Leiterstreifen dient dem Anschluß des Ionisators an Hochspannung. Ein Erd- oder Masseanschluß ist nicht vorgesehen.
  • Aus der Druckschrift US 3 551 743 Al ist ein Ionisator bekannt, der einen insbesondere aus Kupfer bestehenden Emitter in Form eines dünnen flachen und langen nadelartigen Streifens aufweist. Der Emitter ist vergoldet. Dieser streifenförmige Emitter weist einen Folge räumlich voneinander getrennter punktförmiger Spitzen auf, zwischen denen gewölbte Oberflächen ausgebildet sind. Der Emitter ist auf eine Basis aus einem elektrisch isolierenden Kunststoff aufgeklebt. Die Basis hat die Form einer relativ dünnen Leiste. Auf der dem Emitter gegenüberliegenden Hauptoberfläche dieser Basisleiste ist ein der Erdung der Struktur dienender Leiter aufgeklebt. Diese im wesentlichen dreiteilige Struktur ist in einem elektrisch isolierenden U-förmigen Gehäuse, offensichtlich einem Extrusionsprofil, angeordnet.
  • Aus der Druckschrift US 3 968 405 A1 ist eine Vorrichtung zur Unterdrückung der Bildung und zum Abbau elektrostatischer Ladungen bekannt, die aus einer Basis aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff in Form einer Platte oder einer Folie besteht, die auf ihren beiden einander gegenüberliegenden Hauptoberflächen mit einer dünnen Beschichtung aus elektrisch leitfähigem Werkstoff beschichtet ist.
  • Als Emitter dienen Drähte, deren Enden zu nadelartigen Spitzen ausgezogen sind.
  • Schließlich ist aus der Druckschrift US 3 887 809 Al ein Koronaentladungsgerät bekannt, das im wesentlichen durch ein bewegliches Band gekennzeichnet ist, das an seinen Entladungskanten zumindest eine elektrisch leitfähige Schicht trägt. Dieses Band kann auch aus einem biegbaren Kunststoff bestehen, der mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung versehen ist, beispielsweise mit einer durch Aufdampfen im Vakuum hergestellten Wolframschicht.
  • Den bekannten Ionisatoren ist gemeinsam, daß sie in der Herstellung kostenaufwendig sind. Bei dem aus der Druckschrift US 3 652 897 Al bekannten Ionisator erfordert die Herstellung des Emitters mit dem Brückenverbinder einen erheblichen Arbeitsaufwand. Zur Herstellung des Emitters wird zunächst ein Blech gestanzt oder chemisch geätzt, muß dann die so vorbereitete Struktur zwischen zwei Kunststoffstreifen eingelegt werden, müssen dann die Brückenabschnitte entfernt werden, muß dann der Leiterstreifen zwischen das zweite Kunststoffstreifenpaar eingebracht werden und muß dann die Gesamtstruktur miteinander verbunden werden, beispielsweise in einer Formpresse. An der auf diese Weise schließlich erhaltenen Struktur hat sich als ungünstig erwiesen, daß die Emitterspitzen aus dem Laminat hervorstehen.
  • Außerdem ist die erhaltene Streifenstruktur relativ steif, was ihre Montage am Einsatzort erschwert.
  • Auch zur Herstellung des Ionisators nach der Druckschrift US 3 551 743 A1 muß zunächst ein separates Metallband hergestellt und formgebend, offensichtlich ebenfalls durch Stanzen oder Ätzen, zum Emitter verarbeitet werden. Anschließend müssen der Emitter und die Erdleitung an den Basisstreifen angeklebt werden. Außerdem muß ein Kunststoffgehäuse mit relativ formsteifer Struktur hergestellt und schließlich mit der aktiven Struktur bestückt werden.
  • Dieser Gesamtvorgang erzeugt relativ hohe Produktionskosten. Außerdem ist der so hergestellte Ionisator weitgehen ormstabil und nur schwer unterschiedlichen Anwendungsbedingungen anzupassen.
  • Auch der aus der Druckschrift US 3 968 405 A1 bekannte Typ eines Ionisators erfordert die Herstellung zahlreicher einzelner Emitternadeln und ist daher in der Herstellung kostenaufwendig.
  • Ionisatoren bzw. Ionengeneratoren mit spitzen nadelförmigen oder drahtförmigen Emittern weisen eine relativ starke Erosion an den Emissionsspitzen auf und haben aus diesem Grunde Standzeiten von höchstens bis zu ungefähr fünf Jahren. Mit Drahtspitzen als Emitter ausgestattete Ionisatoren weisen üblicherweise als Emitter dienende Drähte mit einem Durchmesser von ungefähr 1,6 mm auf. Wenn die Emitterdrähte dieses Durchmessers in allgemein üblicher Weise an ihren Enden mit Emissionsspitzen versehen sind, haben diese Emissionsspitzen einen Durchmesser von üblicherweise ungefähr 0,025 mm. Die Emitter weisen also Emissionsflächen in der Größenordnung von nur 0,0005 mm2 auf. Bei elektrischer Beaufschlagung führen die an solchen Emitterspitzen zustandekommenden elektrischen Entladungen an derart kleinen Flächen zu erheblichen Erosionen. Bei typisch bemessenen Ionisatoren dieser Art liegt die Kapazität zwischen dem beaufschlagten Leiter und den Emitterspitzen im Bereich von 10 pF.
  • Ein weiterer Nachteil von Ionisatoren, die mit angespitzten Drahtemittern bestückt sind, liegt darin, daß ein kritischer Mindestabstand zwischen den Emitterspitzen und jedem beliebigen anderen Material einzuhalten ist, das in irgendeiner Weise ionisierbar ist. Typischerweise sind die Emitterdrähte in einem Abstand von ca. 19 mm voneinander angeordnet, wobei der wirksame Kegelöffnungswinkel der Emission 600 beträgt. Der wirksame Emissionskegel einer Emitterspitze durchdringt also den Emissionskegel der 19 mm entfernten benachbarten Emissionsspitze erst in einem Abstand von rund 19 mm von der Spitze. Dieser Abstand von 19 mm ist also der Mindestabstand, den ein Drahtemitterionisator von der Oberfläche eines zu behandelnden Werkstücks einhalten muß, wenn der Ionisator sinnvoll und wirksam eingesetzt werden soll. Für viele Anwendungsbereiche und Vorrichtungen, bei denen eine kompakte Bauweise mit geringen Bauhöhen angestrebt wird, sind solche Mindestabstände nicht mehr tolerierbar.
  • Neben den vorstehend beschriebenen elektrisch beaufschlagbaren Ionisatoren zur Unterdrückung der Ansammlung elektrostatischer Ladungen auf einem Werkstoff sind, wie bereits eingangs erwähnt, auch zahlreiche Anordnungen bekannt und im Gebrauch, die lediglich passiv für eine Ableitung der elektrostatischen Ladungen sorgen. So ist eine solche Anordnung beispielsweise aus der Druckschrift US 3 904 929 A1 bekannt, bei der ein mit Ruß gefüllter Kunststoff als elektrisch leitfähiger Werkstoff auf ein flexibles Substrat, beispielsweise ein gewebtes, gewirktes oder ungewebtes textiles Flächenmaterial oder auf Papier aufgebracht ist. Die mit Ruß gefüllte Kunststoffolie weist eine sägezahnartige Kante auf, die über die gradlinige Kante des Trägersubstrats hinausragt. Die elektrisch leitfähige Folie oder Schicht wird zur Unterdrückung der elektrostatischen Aufladung und zur Ableitung der elektrostatischen Ladung geerdet. Strukturen dieser Art weisen zwar eine gute Flexibilität auf, vermögen aber in den meisten Anwendungsfällen die ionenerzeugenden Vorrichtungen, also die eingangs beschriebenen Ionisatoren, nicht zu ersetzen.
  • Angesichts dieses Standes der Technik liegt der Erfindung die Alwfgabe zugrunde, einen lonisator der eingangs genannten Art, insbesondere zum Ionisieren von Luft, zu schaffen, der bei großer Kapazität und einer für die industrielle Technik geeigneten Leistungsfähigkeit mit extrem kleinen Abmessungen kostengünstig und mit preiswerten Werkstoffen hergestellt werden kann, der bei dieser Auslegung lange Standzeiten gewährleistet und mit vollem Wirkungsgrad in unmittelbarer Nähe des zu ionisierenden Werkstoffs betrieben werden kann.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe schafft die Erfindung einen Dünnschichtionisator der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art, der erfindungsgemäß die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 genannten Merkmale aufweist.
  • Der insbesondere zum Ionisieren von Luft verwendete Dünnschichtionisator der Erfindung besteht also aus dünnen Folien aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, wobei diese Folien vorzugsweise die Form von Streifen oder Bändern haben und im Rahmen der Beschreibung und der Ansprüche kurz als Streifen" bezeichnet sind. Der als Schichtstruktur aufgebaute Ionisator der Erfindung, der mehrere solcher Streifen enthält, umfaßt auch solche Streifen, die in einem jeweils vorgegebenen Muster mit einem elektrisch leitenden Werkstoff beschichtet sind. Der Dünnschichtionisator der Erfindung ist dabei vorzugsweise aus vier solchen Isolatorstreifen, insbesondere aus Kunststoff, aufgebaut. Ein erster dieser vier elektrisch isolierenden Kunststoffstreifen ist dabei auf einer seiner beiden Hauptoberflächen mit einem mustermäßig aufgebrachten elektrisch leitfähigen Werkstoff beschichtet, und zwar in der Weise, daß das Muster als Folge voneinander getrennter, dünner, ebener und flacher zahnartiger oder zinkenartiger Elemente (im folgenden kurz "Zahnelemente") ausgebildet ist, die sich quer zur Längsrichtung des Streifens erstrecken. Jedes der Zahnelemente weist einen zumindest im wesentlichen rechteckigen Querschnitt auf, das heißt also, daß auch die als Emitterflächen dienenden stirnseitigen Endflächen dieser Zahnelemente rechteckig sind. Diese rechteckigen Endflächen oder Emitterflächen ragen nicht über die Kante des Kunststoffstreifens hinaus. Andererseits liegen diese Emitterflächen der Zahnelemente, also die Stirnflächen der Zahnelemente, so dicht an der Kante des Kunststoffträgers, daß sie der umgebenden Atmosphäre frei ausgesetzt sind. Der so mustermäßig mit einem elektrisch leitfähigen Werkstoff beschichtete erste Isolatorstreifen ist mit einem zweiten entsprechenden Isolatorstreifen abgedeckt bzw. mit diesem laminatartig verbunden, der beidseitig unbeschichtet ist. Die beiden Isolatorstreifen werden mit jeweils einer ihrer Hauptoberflächen flächig so zusammengefügt, daß die als Emitter dienende elektrisch leitfähige mustermäßige Beschichtung des ersten Isolatorstreifens sandwichartig zwischen die beiden zusammengefügten Isolatorstreifen eingeschlossen ist. Weiterhin wird ein dritter Isolatorstreifen flächig mit einem vierten Isolatorstreifen verbunden bzw. mit diesem zu einem Verbund laminiert, wobei der vierte Isolatorstreifen auf jeder seiner beiden einander gegenüberliegenden Hauptoberflächen jeweils eine elektrische Leiterschicht oder Leiterbahn tragt, die sich zumindest im wesentlichen axial, bezogen auf die Längsrichtung des Streifens, erstreckt. Dabei werden der dritte und der vierte Streifen so zusammengefügt, daß sie einen der beiden Axialleiter sandwichartig zwischen sich einschlieBen. Anschließend werden die beiden aus jweils zwei Kunststoffstreifen bestehenden Laminatstrukturen in der Weise zusammengefügt und miteinander verbunden, daß der auf einer der beiden Hauptoberflächen des vierten Isolatorstreifens freiliegende Leiterstreifen der zwischen dem ersten und dem zweiten Isolatorstreifen eingeschlossenen Emitterstruktur abgekehrt liegt.
  • Die einzelnen Streifen können in einfacher Weise durch Endver inder zusammengefügt werden, die an den Schmalseiten dr Streifen angreifen. Diese Endverbinder können prinzipiell beliebig zusammenfügbare Formstücke, insbesondere Rahmenelemente, sein.
  • Zur Herstellung des Ionisators wird von zwei Stück Flächenmaterial aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, vorzugsweise in der Form von Bändern oder Streifen, ausgegangen, die den vorgegebenen Mustern entsprechend mit elektrisch leitenden Beschichtungen versehen werden. Dabei wird ein erster Streifen mit einer dünnen ebenen flachen Beschichtung in Form von zinkenartigen oder zahnartigen Elementen ("Zahnelementen") auf einer seiner beiden Hauptoberflächen beschichtet, wobei diese Zahnelemente als Emitter dienen.
  • Der zweite Streifen wird auf jeder seiner beiden Hauptoberflächen mit jeweils einer elektrisch leitfähigen Beschichtung ("Leiter") versehen, die sich zumindest im wesentlichen in Richtung der Längsrichtung des Streifens erstrecken. Die mustermäßigen Beschichtungen werden vorzugsweise durch flächiges Beschichten, insbesondere also Laminieren, Aufdampfen oder Galvanisieren, und anschließendes Ätzen unter Verwendung von Verfahren hergestellt, die an sich zur Herstellung von Schaltkarten bekannt sind. Auch durch Drucken, insbesondere Siebdrucken, sind die Leiterbahnen auf den Oberflächen der Isolatorstreifen herstellbar. Die beiden auf diese Weise mit den elektrisch leitenden Bereichen beschichteten Streifen werden durch Zwischenfügen von mindestens einem elektrisch isolierenden Streifen zum fertigen Ionisator zusammengefügt.
  • Vorzugsweise werden zur Fertigstellung des Ionisators zwei weitere elektrisch isolierende Streifen verwendet, von denen der eine auf den mit den Emittern beschichteten Streifen so aufgelegt oder so auf diesen laminiert wird, daß die Emitter sandwichartig zwischen den beiden Isolatorstreifen eingeschlossen sind. Der zweite zusätzliche unbeschichtete Isolatorstreifen wird mit dem zweiten elektrisch leitend beschichteten Streifen so verbunden bzw. zusammengefügt, daß einer der beiden sich axial erstreckenden Leiter ("Axialleiter") sandwichartig zwischen den beiden Isolatorstreifen eingeschlossen ist.
  • Die so erhaltenen beiden Strukturen können dann durch Klemmen oder nach an sich bekannten Laminiertechniken zur fertigen Struktur zusammengefügt werden.
  • Die Erfindung ist im folgenden an Hand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 in auseinandergezogener perspektivischer Darstellung ein erstes Paar Isolatorstreifen, die einen Teil eines Ausführungsbeispiels des Ionisators bilden; Fig. 2 in auseinandergezogener perspektivischer Darstellung ein zweites Paar Isolatorstreifen, die eine zweite Teilstruktur eines Ausführungsbeispiels des Ionisators bilden; Fig. 3 einen Schnitt nach III-III in Fig. 1; Fig. 4 einen Schnitt nach IV-IV in Fig. 2; Fig. 5 die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Struktur nach dem Laminieren und in auseinandergezogener Darstellung die Elemente eines an den Schmalseiten des Ionisators angreifenden Endverbinders in perspektivischer Darstellung; und Fig. 6 in perspektivischer Darstellung den zusammengefügten Endverbinder mit einem Schmalseitenabschnitt des streifenförmigen Ionisators.
  • Die in der Fig. 1 gezeigte erste Teilstruktur eines Ausführungsbeispiels des Ionisators der Erfindung besteht im weseilichen aus einem ersten planaren linearen bandförmigen Isolatorstreifen 10, zu dem flächenparallel ein zweiter im wesentlichen gleicher Isolatorstreifen 11 angeordnet ist. Beide Streifen bestehen aus einem Polyterephthalat, haben eine Stärke von 0,25 mm und eine Breite von ca. 9,5 mm. Auf einer der beiden Hauptoberflächen des Isolatorstreifens 10 ist eine Reihe von Emittern 12 aufgebracht, von denen jeder mehrere Zahnelemente 13 aufweist, die zumindest im wesentlichen parallel zueinander und quer zur Längsrichtung des Isolatorstreifens 10 ausgerichtet sind. Die stirnseitigen Endflächen 14 der Zahnelemente 13 sind der umgebenden Atmosphäre ausgesetzt. In der aus Fig. 3 ersichtlichen Weise sind die planen Stirnflächen 14 der Zahnelemente 13 koplanar mit der (in der Darstellung der Figuren 1 und 3) oberen Kantenfläche 15 des Isolatorstreifens 10.
  • Auch die obere Kantenfläche 16 des Isolatorstreifens 11 ist koplanar zu den stirnseitigen Endflächen 14 der Zahnelemente 13 und der Kantenfläche 15 des Isolatorstreifens 10.
  • Durch die zumindest im wesentlichen ebene Ausbildung der stirnseitigen Endflächen 14 ist eine lange Standzeit des Ionisators gewährleistet. In dem hier an Hand der Figuren 1 bis 4 beschriebenen Ausführungsbeispiel des Ionisators, das ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel darstellt, beträgt die Dicke der Emitterstruktur 12 ca. 0,036 mm und die Breite jedes einzelnen Zahnelements 13 0,79 mm. Der Flächeninhalt der stirnseitigen Endfläche 14 beträgt 0,028 mm2.
  • Typischerweise hat ein Emitter 12 insgesamt 12 Zahnelemente. Lediglich aus Gründen der übersichtlicheren Darstellung sind die Emitter 12 in den Figuren 1 und 5 mit lediglich 5 Zahnelementen 13 dargestellt. Wenn der Emitter 12 dagegen, wie in der praktischen Ausführung vorzugsweise vorgesehen ist, jeweils 12 Zahnelemente 13 aufweist, verfügt der gesamte Emitter 12, genauer gesagt jeder der Emitterelemente 12, insgesamt über 0,34 mm2 ionisierende Stirnfläche. Jedes der Zahnelemente 13 jedes Emitters 12 ist einstückig mit einem allen Emitterzähnen 12 gemeinsamen, sich axial erstreckenden elektrisch leitfähigen Verbinderabschnitt 17 ausgebildet.
  • Die Emitter 12 werden in an sich bekannter Weise auf den Isolatorstreifen 10 aufgebracht, vorzugsweise durch Niederschlagen einer einheitlichen Kupferschicht auf der Oberfläche des Polyterephthalatsubstrats und anschließendes Ätzen der Kupferschicht unter Bildung der beschriebenen Emitterstruktur.
  • Der Isolatorstreifen 11 trägt keinerlei Beschichtung. Der Isolatorstreifen 11 wird in der Weise auf den Streifen 10 laminiert, daß die Reihe der Emitter 12 sandwichartig zwischen den Isolatorstreifen 10 und 11 eingeschlossen ist.
  • Die Stärke der so erhaltenen Laminatstruktur aus den beiden Streifen 10 und 11 beträgt kaum mehr als 0,51 mm, da die Stärke der Emitter 12 lediglich der Stärke der auf die Oberfläche des Streifens 10 aufgebrachten Kupferschicht entspricht, typischerweise also im Bereich von nur 0,036 mm liegt.
  • In der Fig. 2 sind ein dritter Streifen 21 und ein vierter Streifen 22 aus ebenfalls elektrisch isolierendem Werkstoff, vorzugsweise ebenfalls aus Polyterephthalat, dargestellt.
  • Der dritte Streifen 21 entspricht dem zweiten Streifen 11 und trägt keinerlei Beschichtung. Auf einer der beiden Hauptoberflächen des vierten Streifens 22, nämlich auf einer ersten Hauptoberfläche 23 des vierten Streifens 22, ist ein sich im wesentlichen linear und axial zum Streifen 22 erstreckender elektrischer Leiter 24 aufgebracht. Auf der gegenüberliegenden Hauptoberfläche 25 des vierten Streifens 22 ist ein weiterer, zumindest im wesentlichen sich linear erstreckender und parallel zur Längsachse, insbesondere in der Mittelachse des Streifens 22 verlaufender Leiter 26 aufgebracht.
  • Die Le r 24 und 26 werden in der gleichen Weise hergestellt wie die Emitter 12, also durch Aufbringen einer die Oberflächen insgesamt bedeckenden Kupferschicht und anschließendes Atzen. In der besonders aus Fig. 4 ersichtlichen Weise ist die Breite des Leiters 24 so bemessen, daß seine Längskanten einen größeren Abstand von den Längskanten sowohl des Streifens 22 als auch des Streifens 21 wahren. In entsprechender Weise ist der Leiter 26 angeordnet und bemessen, und zwar dem Leiter 24 auf der gegenüberliegenden Hauptoberfläche des Streifens 22 gegenüberliegend.
  • Auch die beiden Streifen 21 und 22 werden unter Bildung einer flexiblen streifenförmigen Laminatstruktur fest miteinander verbunden, und zwar in der Weise, daß sie dabei den Leiter 24 sandwichartig einschließen. Die beiden in den Figuren 1 und 2 in auseinandergezogener Form gezeigten Laminatstrukturen werden dann in der Weise aufeinandergelegt, daß der Leiter 26 vom Emitter 12 abgekehrt angeordnet ist, also außen liegt. Mit anderen Worten wird der Ionisator der Erfindung also dadurch fertiggestellt, daß die in den Figuren 3 und 4 im Querschnitt gezeigten Strukturen in der Weise flächig zusammengeschoben werden, daß die in der Darstellung der Figuren 3 und 4 rechte Oberfläche des Streifens 11 und die linke Oberfläche des Streifens 21 flächig und bündig aufeinanderliegen. Für die Gesamtstruktur, also den fertigen Ionisator insgesamt, wird damit bei einer Streifenbreite von ungefähr 9,5 mm eine Gesamtstärke von kaum mehr als 1 mm benötigt. Auf Grund der relativ großen aktiven Oberfläche jedes Emitters 12 kann der aus den in den Figuren 1 und 2 gezeigten Strukturen hergestellte Ionisator sehr viel dichter an das zu ionisierende Werkstück herangeführt werden als die Ionisatoren mit Drahtemittern, die einen Mindestabstand von 19,1 mm einhalten müssen.
  • Dabei sei an dieser Stelle noch einmal darauf hingewiesen, daß jedes der Emitterelemente 12 vorzugsweise 12 Emitterzähne 13 aufweist und nicht nur 5 solcher Zahnelemente, wie dies der deutlicheren Darstellung halber in den Figuren 1 und 5 gezeigt ist.
  • In der Fig. 5 ist in perspektivischer und in Einzelteile auseinandergezogener Darstellung ein Endverbinder 30 zur Herstellung der elektrischen Anschlüsse an den Schmalseiten des streifenförmigen Ionisators der Erfindung dargestellt. Der Endverbinder 30 besteht aus zwei Tafeln 31 und 32 aus elektrisch isolierendem Werkstoff, die flächig paBgenau zusammenfügbar sind. Die Tafel 31 ist an ihren Ecken mit insgesamt vier Bohrungen 33 versehen und an einer ihrer Schmalseiten mit einer durchgehenden Bohrung 34. Die Tafel 31 weist außerdem eine im wesentlichen rechtwinklige durchgehende Öffnung 36 auf. Sie ist schließlich an ihrer Unterseite mit einer im wesentlichen L-förmigen Nut 37 versehen, die in eine ihrer Seitenkanten ausläuft.
  • In der unteren Tafel 32 ist eine der L-förmigen Nut 37 parallellaufende entsprechende Nut 47 ausgebildet. Beim Zusammenfügen der Tafeln 31 und 32 ergeben die beiden Nuten 37 und 47 einen geschlossenen Kanal. Weiterhin sind an den Ecken der Tafel 32 Justierzapfen 43 angeordnet, die komplementär zu den Öffnungen 33 in der Tafel 31 ausgebildet sind und beim Zusammenfügen des Endverbinders 30 in diese eingreifen. Außerdem weist die untere Tafel 32 eine durchgehende Bohrung 44 auf, die koaxial zur Bohrung 34 in der oberen Tafel 31 angeordnet ist. An der der durchgehenden Bohrung 44 gegenüberliegenden Schmalseite ist in der Tafel 32 eine Ausnehmung 51 ausgebildet, die eine im wesentlichen rechteckige Form mit einwärts gerichteten Vorsprüngen 52,53 bzw. 54,55 an den beiden einander gegenüberliegenden Langseiten zeigt.
  • Dabei liegen die Vorsprünge 52 und 54 und 53 und 55 jeweils einander gegenüber. Die L-förmige Nut 47 steht mit einer -er offenen Stirnseiten mit der Ausnehmung 51 in Merbindu.g.
  • Die aus den beiden Isolatorstreifen 10 und 11 bestehende und in den Figuren 1 und 3 gezeigte Laminatstruktur mit den eingeschlossenen Emittern 12 ist an einer ihrer Schmalseiten mit einem Paar gegenüberliegender Rücksprünge oder Kerben 18 ausgebildet, die profilkomplementär zu den Vorsprüngen 53 und 55 profiliert und zum Eingriff in diese Vorsprünge bestimmt sind. Die Haltekerben 18 sind dabei so angeordnet, daß die aus den Streifen 10 und 11 mit den eingeschlossenen Emittern bestehende Laminatstruktur durch die Halterung und Justierung beim Eingriff in die Vorsprünge 53 und 55 praktisch kaum über die Vorsprünge 53 und 55 hinaus in die Ausnehmung 51 hineinragt.
  • In der Fig. 5 ist auch die aus den Isolatorstreifen 21 und 22 mit den Leitern 24 und 26 bestehende Laminatstruktur, die in den Figuren 2 und 4 gezeigt ist, dargestellt. Im Bereich der Schmalseite dieser streifenförmigen Laminatstruktur sind zwei jeweils paarweise einander gegenüberliegende Einkerbungen 27 und 28 ausgebildet, die den Vorsprüngen 53 und 55 bzw.
  • 52 und 54 der Ausnehmung 51 profilkomplementär und zum Eingriff in diese Vorsprünge bestimmt sind. Die kurze Schmalseitenkante der aus den Isolatorstreifen 21 und 22 gebildeten Laminatstruktur erstreckt sich also axial weiter in den Ausschnitt 51 hinein als die Schmalkante der aus den Streifen 10 und 11 gebildeten Laminatstruktur. In diesem Bereich ist der äußere Leiter 26 entweder vom Substrat teilweise abgeschält oder mit einer zusätzlichen Anschlußfahne versehen, die durch die Öffnung 36 in der Tafel 31 hindurchgreifen kann.
  • Unmittelbar an der Schmalseitenkante weist die Laminatstruktur aus den Isolatorstreifen 21 und 22 weiterhin eine durchgehende Öffnung 29 auf, die auch durch den unterseitigen Leiter 24 hindurchgreift.
  • Eine isolierte Zuleitung 60 mit einem eingeschlossenen Leiter 61 ist in den durch die Nuten 37 und 47 gebildeten L-förmigen Kanal so eingelegt, daß der freie Leiter 61 in die Ausnehmung 51 hineinragt und durch die Bohrung 29 in der Weise hindurchgreift, daß ein zuverlässiger elektrischer Anschluß zum Axialleiter 24 hergestellt ist. Das andere Ende der Zuleitung 60 mit dem Leiter 61 ragt aus dem durch die zusammengefügten Tafeln 31 und 32 gebildeten Endverbinder 30 zum Anschluß an eine elektrische Energiequelle heraus.
  • Die Tafeln 31 und 32 werden durch eine Hülse 63 miteinander verbunden und aufeinandergezwungen, wobei sie die isolierte elektrische Zuleitung 16, das Emitterlaminat aus den Streifen 10 und 11 und das Axialleiterlaminat aus den Streifen 21 und 22 zwischen sich einschließen. Dabei greift der abgeschälte Abschnitt des Leiters 26 oder eine entsprechend mit diesem verbundene Anschlußfahne durch die Öffnung 36 in der oberen Tafel 31 hindurch.
  • In der Fig. 6 schließlich ist in perspektivischer Darstellung der fertig montierte und angeschlossene Endverbinder mit einem Schmalseitenabschnitt des Ionisators dargestellt, der aus den beiden aneinanderliegenden Laminatstrukturen aus den Isolatorstreifen 10 und 11 sowie 21 und 22 besteht.
  • Der Endabschnitt des Leiters 26 oder eine entsprechende Anschlußfahne sind auf einen Leiterstreifen 62 aufgelötet, der auf der äußeren Hauptoberfläche der Verbindertafel 31 aufgebracht ist. Der Leiterstreifen 32 ist über die Hülse 63 und einen entsprechenden elektrischen Anschluß, hier eine Feder 64, geerdet oder mit Masse verbunden. An dem dem in den Figuren 5 und 6 gezeigten Ende des Ionisatorstreifens gegenüberliegenden Ende ist ebenfalls ein Endverbinder angebracht, der dem in den Figuren 5 und 6 gezeigten Endverbinder 30 entspricht. An dem nicht in den Figuren dargestellten zweiten Endverbinder fehlt lediglich die elektrische Zuleitung 60. Der L-förmige Kanal, der aus den Nuten 37 und 47 gebildet ist, ist bei dem gegenüberliegenden Endverbinder vorzugsweise ausgefüllt, beispielsweise mit einem Epoxidharz.
  • Der Leiter 24 ist unter Zwischenschaltung eines durch die Streifen 11 und 21 gebildeten Dielektrikums kapazitiv an die Emitter 12 angekoppelt, wobei diese kapazitive Struktur über den Leiter 26 geerdet ist.
  • Die in den Figuren 1 und 3 bzw. 2 und 4 gezeigten Laminat-Teilstrukturen des streifenförmigen Ionisators der Erfindung können auch in anderer Weise als durch Beschichten und Ätzen mit den gewünschten Leiterstrukturen versehen werden.
  • Außerdem können Varianten des hier beschriebenen Ausführungsbeispiels auch mit mehr oder weniger als den vier Isolatorstreifen aufgebaut sein. So sind insbesondere bei entsprechenden Herstellungsverfahren auch Ionisatoren mit nur drei Isolatorstreifen preiswert herstellbar, bei denen die Streifen 11 und 21 durch einen einzigen Mittelstreifen ersetzt sind. Außerdem brauchen die Axialleiter 24 und 26 nicht auf den beiden Hauptoberflächen ein und desselben Streifens 22 angeordnet zu sein. Vielmehr kann beispielsweise der Leiter 24 auch auf der nach außen weisenden Hauptoberfläche des Isolatorstreifens 21 aufgebracht sein. Auch können die verschiedensten Verfahren zur Herstellung der Laminatstrukturen 10,11 bzw. 21,22 angewendet werden. So können beispielsweise zur Herstellung der Laminatstruktur 10,11 breite Laminatstreifen oder Laminatbänder mit eingeschlossenen Emittermustern hergestellt und anschließend durch Längsschneiden unter Bildung der Längskanten 15 und 16 und der stirnseitigen Endflächen 14 der Emitterzähne 13 hergestellt werden.
  • Weiterhin ist es zwar ein in der Praxis angestrebtes Ziel, Ionisatoren der genannten Art in Form langer flexibler Streifen herzustellen; es ist jedoch offensichtlich, daß die Ionisatoren sowohl auch formstabil als auch mit anderer Form als in Streifenform herstellbar sind. So kann der Ionisator beispielsweise auch als Werkzeughalter oder Werkbank oder Werktisch ausgebildet sein, in dessen Seitenkanten die aktiven Endflächen des Ionisators liegen.
  • Der Ionisator der Erfindung zeichnet sich vor allem durch seine preiswerte Herstellbarkeit aus. Vor allem auf Grund der Möglichkeit seiner Miniaturisierung kann er auch überall dort angewendet werden, wo nur schmale Zwischenräume oder geringe Bauhöhen verfügbar sind. Insbesondere beim Einbau in bereits erstellte Anlagen ist kein Umbau der bestehenden Vorrichtungen erforderlich. Die hohe Flexibilität des Ionisators ermöglicht sein Einschieben und Eindrücken auch in komplizierte Profilstrukturen bereits bestehender Anlagen.
  • Auch durch zufälliges oder unvermeidbares Anschlagen bewegter Maschinenteile oder Werkstücke wird der weiche und flexible Ionisator der Erfindung nicht beschädigt. Durch seine elastisch weichen Träger vermag der Ionisator Stoßeinwirkungen ohne weiteres und schadlos aufzunehmen. Außerdem kann der Ionisator der Erfindung ohne Einbuße an Wirkungsgrad bis praktisch unmittelbar an das zu ionisierende Werkstück herangebracht werden. Durch seine flachen Ionisationsbereiche zeichnet er sich weiterhin durch eine stark eingeschränkte Erosion und dadurch durch eine besonders lange Standzeit, insbesondere der Emitterlemente, aus.
  • Ein weiterer Gesichtspunkt ist, daß der Ionisator der Erfindung mit Verfahren herstellbar ist, die im Bereich der Elektronik zum Standard der Massenfertigung gehören. Dies ermöglicht eine besonders wirtschaftliche Herstellung des Ionisators.
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Claims (10)

  1. Dünnschichtionisator und Verfahren zu seiner Herstellung Patentansprüche Dünnschichtionisator, insbesondere zum Ionisieren von Luft, bestehend aus elektrisch nicht leitfähigen Streifen, Emittern und einem elektrisch leitfähigen Streifen, g e k e n n z e i c h n e t durch einen ersten Streifen aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, auf dessen einer Hauptoberfläche ein flacher, elektrisch leitfähiger Emitter aufliegt, der seinerseits mit Abstand voneinander und parallel zueinander angeordnete und ausgerichtete zahnartige oder zinkenartige Elemente aufweist, deren Enden an oder in einer der Längskanten des ersten Streifens aus elektrisch isolierendem Werkstoff enden, einen zweiten Streifen aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, der an den ersten Streifen angrenzt und einen linear verlaufenden elektrischen Leiter trägt, der zum Anschluß an eine elektrische Energiequelle bestimmt ist und zum Zweck der kapazitiven Ankopplung an den Emitter zwischen den beiden elektrisch isolierenden Streifen angeordnet ist, und einen zweiten linear verlaufenden elektrischen Leiter auf der Hauptoberfläche des zweiten elektrisch isolierenden Streifens, die der Hauptoberfläche des zweiten elektrisch isolierenden Streifens gegenüberliegt, auf der der erste elektrische Leiter angeordnet ist, wobei der zweite elektrische Leiter für den Anschluß an Masse bestimmt ist.
  2. 2. Dünnschichtionisator nach Anspruch 1, g e k-e n n z e i c h n e t durch einen dritten Streifen aus elektrisch isolierendem Werkstoff, der auf dem ersten Streifen in der Weise aufliegt, daß der flache Emitter zwischen dem ersten und dem dritten Streifen eingeschlossen ist.
  3. 3. Dünnschichtionisator nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Streifen aus einem harzartigen Kunststoff bestehen.
  4. 4. Dünnschichtionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß der Emitter und die beiden elektrischen Leiter dünne Schichten auf einem elektrisch leitfähigen Werkstoff sind.
  5. 5. Dünnschichtionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß der Emitter insgesamt als Folge separater Emitterseiten ausgebildet ist, von denen jede mehrere querli nde Zahnelemente und einen sich linear in Längsrichtung der Streifen erstreckenden Verbindungsleiter aufweist, der einstückig mit jedem der Zahnelemente ausgebildet ist.
  6. 6. Dünnschichtionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Enden aller Zahnelemente zumindest im wesentlichen in ein und derselben Ebene liegen.
  7. 7. Dünnschichtionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Enden jedes einzelnen Zahnelements zumindest im wesentlichen als ebene Flächen ausgebildet sind.
  8. 8. Verfahren zum Herstellen eines Dünnschichtionisators nach einem der Ansprüche 1 bis 7 durch Laminieren oder Herstellen eines laminatartigen Flächenverbundes zwischen dem elektrisch isolierenden Werkstoff und den elektrisch leitfähigen Elementen, g e k e n n z e i c h n e t durch die Kombination der folgenden Verfahrensschritte: (a) Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs auf eine der Hauptoberflächen eines ersten Streifens aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, und zwar in der Weise, daß der elektrisch leitfähige Werkstoff ein Zahnmuster ergibt, dessen Zähne sich quer zur Längsrichtung des Streifens bis zu einer der Längskanten des Streifens erstrecken; (b) Auflegen eines zweiten Streifens aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff mit einer seiner beiden Hauptoberflächen auf die das Zahnmuster tragende Hauptoberfläche des ersten elektrisch isolierenden Streifens; (c) Auflegen eines dritten Streifens aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff auf die zweite, freie Hauptoberfläche des zweiten Streifens aus elektrisch isolierendem Werkstoff; (d) Einfügen eines ersten sich linear in Längsrichtung der Streifen erstreckenden Musters aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff zwischen dem zweiten und dritten Streifen vor oder nach dem Aufeinanderlegen der beiden Streifen; und (e) Aufbringen eines zweiten, sich linear in Längsrichtung der Streifen erstreckenden Musters aus einem elektrisch leitfähigen Werkstoff auf der zweiten, also auf der freien Hauptoberfläche des dritten Streifens aus elektrisch isolierendem Werkstoff.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß das erste sich linear erstreckende Muster des elektrisch leitfähigen Werkstoffs fest auf die dem zweiten Streifen anliegende Hauptoberfläche des dritten Streifens aus elektrisch isolierendem Werkstoff aufgebracht wird.
  10. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß der zweite Streifen aus elektrisch isolierendem Werkstoff als Flächenverbund von zwei flächigen St seifen hergestellt wird, wobei ein erster dieser beiden Streifen unter Einschluß des elektrisch leitfähigen Musters zunächst flächig mit dem ersten Streifen aus elektrisch isolierendem Werkstoff verbunden, dann der zweite dieser beiden insgesamt den zweiten Streifen bildenden Streifen mit dem dritten Streifen aus elektrisch isolierendem Werkstoff unter Zwischenfügen und Einschluß des ersten der beiden sich linear erstreckenden Muster aus dem elektrisch leitfähigen Werkstoff verbunden wird, und daß dann die beiden gemeinsam den zweiten Streifen bildenden Streifen mit ihren jeweils freien Hauptoberflächen aneinandergefügt werden.
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