DE3007311A1 - Digitales lichtelektrisches laengen- oder winkelmesssystem - Google Patents

Digitales lichtelektrisches laengen- oder winkelmesssystem

Info

Publication number
DE3007311A1
DE3007311A1 DE19803007311 DE3007311A DE3007311A1 DE 3007311 A1 DE3007311 A1 DE 3007311A1 DE 19803007311 DE19803007311 DE 19803007311 DE 3007311 A DE3007311 A DE 3007311A DE 3007311 A1 DE3007311 A1 DE 3007311A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
sensitive
measuring system
scanning
constant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19803007311
Other languages
English (en)
Other versions
DE3007311C2 (de
Inventor
Walter Ing.(Grad.) 8225 Traunreut Schmitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE3007311A priority Critical patent/DE3007311C2/de
Priority to CH504/81A priority patent/CH651134A5/de
Priority to US06/236,164 priority patent/US4385836A/en
Priority to IT12449/81A priority patent/IT1146002B/it
Priority to JP2621681A priority patent/JPS56157811A/ja
Priority to FR8103888A priority patent/FR2476830B1/fr
Priority to GB8106033A priority patent/GB2070766B/en
Priority to AT0091481A priority patent/AT385353B/de
Publication of DE3007311A1 publication Critical patent/DE3007311A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3007311C2 publication Critical patent/DE3007311C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
18. Februar 1980
Digitales lichtelektrisches Längenoder ¥inkelmeßsystem
Die Erfindung betrifft ein digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Bei einem derartigen Längen- oder Vinkelmeßsystem ist ein elektrischer Abgleich der periodischen gegenphasigen Abtastsignale auf Symmetrie mittels Potentiometer bekannt, der auch bei Helligkeitsänderungen der Beleuchtung erhalten bleibt, indem beide Abtastsignale in der Auswerteeinrichtung getrennt verstärkt und unter Berücksichtigung ihrer Toleranzen summiert werden. Ein derartiger Abgleich weist aber den Nachteil auf, daß bei jedem Austausch der Auswerteeinrichtung ein erneuter Abgleich auf Symmetrie erfolgen muß.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Längen- oder Vinkelmeßsystem der oben erwähnten Gattung anzugeben, bei dem ein Auswechseln der Auswerteeinrichtung keinen Einfluß auf die Symmetrie der periodischen gegenphasigen Abtastsignale hat.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
13004A/00 06
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß sich bei einem derartigen Längenoder Winkelmeßsystem mit externer Auswerteeinrichtung ein problemloser Austausch, der Auswerteeinrichtung ergibt, da der Symmetrieabgleich der Abtastsignale unabhängig davon erhalten bleibt.
Weitere vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen
Figur 1 schematisch ein,digitales lichtelektrisches inkrementales Längenmeßsystem und
Figur 2-5 verschiedene Schaltungsanordnungen zum Symmetrieabgleich nach der Erfindung.
In der Figur 1 ist ein längsverschieblicher Maßstab 1 in nicht dargestellter Weise beispielsweise mit dem Schlitten einer Werkzeugmaschine verbunden und weist eine inkrementale Teilung 2 und eine Referenzteilung 3 auf, die von einer Abtasteinrichtung h abgetastet wird, die am Bett dieser Werkzeugmaschine befestigt ist. Die Abtasteinrichtung h weist eine Glühlampe 5t einen Kondensor 6, eine Abtastplatte 7 mit Abtastfeldern 8-, - 8jl für die inkrementale Teilung 2, mit einem Abtastfeld 9-j für die Referenzteilung 3 und mit einem Abtastfeld 92 für ein zu erzeugendes Gleichlichtsignal J« sowie den Abtastfeldern 8^ - 8^
130044/00Q6
zugeordnete lichtempfindliche Elemente 1O1 - 1O^ und den Abtastfeldern 9-, , 92 zugeordnete lichtempfindliche Elemente 11-, 112 auf.
Die Abtastfelder S1 - 8^ bzw. das Abtastfeld 9-, weisen nicht dargestellte Teilungen auf, die mit der Teilung 2 bzw. der Referenzteilung 3 des Maßstabs 1 übereinstimmen. Da die Teilungen der Abtastfelder 8-| - 8/+ jeweils um eine viertel Teilungsperiode = 90° gegeneinander versetzt sind, liefern bei der Bewegung des Maßstabs 1 relativ zur Abtasteinrichtung k die zugehörigen lichtempfindlichen Elemente 10- - 10^ dementsprechend periodische Abtastsignale S-j - Sk, die ebenfalls um 90° gegeneinander versetzt sind. Beim Überfahren der Referenzteilung 3 erzeugt das lichtempfindliche Element 1I1 ein Referenzsignal R, während das lichtempfindliche Element 112 über die gesamte Meßstrecke ein konstantes Gleichlichtsignal J^ liefert, das zur Festlegung der Triggerschwelle für das Referenzsignal R dient, um das Referenzsignal R nach einer Signalformung exakt einem bestimmten Inkrement zuordnen zu können.
Zur Eliminierung des Gleichspannungsanteils der Signale S1 S^ werden durch Antiparallelschaltung der lichtempfindlichen Elemente 1O1, 10- bzw. 1O2, 10^ die Differenzen S1 - S^ bzw. S2 - S^ gebildet; das Differenzsignal S2 - S/j. weist gegenüber dem Differenzsignal S1 - So einen Phasenversatz von 90° auf, mittels dessen eine eindeutige Diskriminierung der Bewegungsrichtung des Maßstabs 1 relativ zur Abtasteinrichtung 4 erfolgt.
Da handelsübliche lichtempfindliche Elemente in ihrer Charakteristik im allgemeinen voneinander abweichen, müssen die Signale S1-Sj^ zur Differenzbildung auf Symmetrie abgeglichen werden. In Fig. 2 sind die beiden lichtempfindlichen Elemente 1O1, 10_ in Form von Photoelementen 10}, 10A
130044/0006
in der Abtasteinrichtung h antiparallel geschaltet und mit den beiden Eingängen eines Differenzverstärkers 12 einer externen Auswerteeinrichtung 13 verbunden, die von der Abtasteinrichtung 4 räumlich getrennt ist. Das bei der Relativbewegung vom Maßstab 1 und von den Abtastfeldern 8-j , 8n der Abtastplatte 7 modulierte Licht des Beleuchtungssystems 5» 6 beaufschlagt die Photoelemente 101, 1OA im Gegentakt, so daß diese periodische gegenphasige Abtastsignale S^| , S' ( 180° Phasenversatz) liefern, die zur Differenzbildung erfindungsgemäß dadurch auf Symmetrie abgeglichen werden, daß ein Teil des vom lichtempfindlichen GleichlichtGlement 11p erzeugten Gleichlichtsignals Jr über den Mittelabgriff eines parallel an die beiden antiparallelen Photoelemente 1OJJ, 10' in der Abtasteinrichtung h angeschlossenen Potentiometers 15 eingespeist wird. Das aus den symmetrisierten Signalen SI, Si. gebildete Differenzsignal SI - SI wird in der externen Auswerteeinrichtung 13 ausgewertet und einer nicht dargestellten Anzeigeeinheit zur Anzeige der Veginformationen zugeleitet. In gleicher, nicht dargestellter Weise können auch die periodischen gegenphasigen Abtastsignale S2, S^ des anderen Paares lichtempfindlicher Elemente 1O2, 10^ auf Symmetrie abgeglichen werden, wobei letztere antiparallel an die beiden Eingänge eines nicht gezeigten Differenzverstärkers in der Auswerteeinrichtung 13 angeschlossen sind.
In Fig. 3 bzw. Fig. h sind die beiden lichtempfindlichen Elemente 1O1, 10« in Form von Photodioden lO'-j', 10y bzw. von Phototransistoren 10'··, 10A'1 in der Abtasteinrichtung k1 bzw. 411 antiparallel geschaltet und mit den beiden Eingängen eines Differenzverstärkers 12· bzw. 12·· einer externen Auswerteeinrichtung I31 bzw, 13ft verbunden, die von der Abtasteinrichtung h* bzw. h'' räumlich getrennt ist. Zum Symmetrieabgleich der von den Photodioden 10'·, 10k1 -bzw. den Phototransistoren 10'·', 10''' erzeugten gegenphasigen Abtastsignale wird ein Teil des vom lichtempfindlichen Gleichlichtelement 11p gelieferten
130044/0006
• Ί c-.i clill chtsignal s J über den >'ittelabgrif f eines parallel ;·>> clic beiden. Photodioden 1O'1, 10' ' bzv. Phototransi storm 10' ' ' , 10' '' in der Abtasteinrichtung V bzv:. k* ' nngeschlosscmjct ' otcntioxeters 15' bzw. 15' ' einge'speist. Die Anoden eier I'hotodioden 10*', 10' c sind mit einem Potential auf einer externen Leitung 1^ und die Kollektoren der Phototransistoren 10' ", 1O' " mit einem Potential auf einer externen Leitving 15 verbunden.
In Fig. 5 ist zum Symmetrieabgleich an die beiden antiparallel in, der Abtasteinheit h geschalteten Photoeleroente 10!» 10' gemäß Fig. 2 parallel ein zusätzliches Photoelement i6 zur Einspeisung eines Gleichlichtsignals J' in den Kreis der Photoelemente 10', 10' angeschlossen, das von einer lichtemdttierenden Diode 17 beaufschlagt wird, deren Stromaufnahnie, die der Beleuchtungsstärke proportional ist, mittels eines Potentiometers 18 regelbar ist. Die Beleuchtung des Photoeloments 16 kann auch über die Beleuchtungseinrichtung 5, 6 erfolgen.
In nicht dargestellter Weise krnn das vom zusätzlichen Photcele:-cnt 16 gelieferte Gleichlichtsignal J' auch über ein
ti
Potentiometer in den Freis der lichtempfindlichen Elenente 1O1, 1Or1; 10,,, 10^4 eingespeist werden. Das zusätzliche lichtempfindliche Element 16 zur Erzeugung eines Gleichlichtpignr.ls J^ ist bei einem absoluten Längen- oder Winkeirrepsyst e^ und bei einem inkremental en Längen- oder l'inkelmeßsystem erforderlich, das kein lichtenpfindliches Referenzelement und kein zugehöriges lichtempfindliches Gleichlichtelement aufweist.
In gleicher !.'eise wie das zusätzliche lichtempfindliche EIenent 16 kann auch das lichtempfindliche Gleichlichtelement das nucli von einen: gesonderten Beleuchtungselement beaufschlagt werden krnn, parallel an de-n Kreis der lichtempfine3-
130044/0006
BAD ORtGlNAl.
lichen Elemente 10., 1O_; 1O2, 10^ angeschlossen werden; jedoch müssen zur Richtungsumkehr der Einspeisung der Gleichlichtsignale J-,, J ' die Anschlüsse der lichtempfindlichen Elemente 112, 16 an den Kreis der lichtempfindlichen Elemente 10 , 10_; 10„, 10. umpolbar sein.
.130044/0006
-40-
Leerseite

Claims (1)

  1. DR. JOHANNES HEIDENKAXN GMBII
    I98O
    Ansprüche
    1.) Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeß-—^ system mit einer Abtasteinrichtung zur Abtastung einer Maßverkörperung, einer von der Abtasteinrichtung räumlich getrennten externen Auswerteeinrichtung zur Auswertung der von der Abtasteinrichtung gelieferten Abtastsignale und mit einer Schaltungsanordnung zum elektrischen Symmetrieabgleich der bei der Abtastung der Maßverkörperung erzeugten, periodischen gegenphasigen Abtastsignale (18O° Phasenversatz), bei dem wenigstens ein Paar die periodischen gegenphasigen Abtastsignale erzeugender lichtempfindlicher Elemente in der Abtasteinrichtung antiparallel an eine Impulsformereinheit der externen Auswerteeinrichtung angeschaltet ist, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (II2» 16) zur Erzeugung eines Gleichlichtsignals (JG, JG) vorgesehen sind und daß zumindest ein Teil dieses Gleichlichtsignals (Jr, JA) in den Kreis wenigstens eines Paares lichtempfindlicher Elemente (iOi, 10g; IO2, 10^) in der Abtasteinrichtung (k, k*, 411) eingespeist wird.
    2.) Digitales lichtelektrisches Längen- oder Vinkelmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel zur Erzeugung des Gleichlichtsignals (Jq) von einem zusätzlichen lichtempfindlichen Element (16) gebildet wird.
    3») Inkrementales Längen- oder Vinkelmeßsystem nach Anspruch 1, bei dem ein lichtempfindliches Referenzelement zur Abtastung einer Referenzteilung vorgesehen
    13Q044/0Ü06
    ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel zur Erzeugung des Gleichlichtsignals (Jq.) vom lichtempfindlichen Gleichlichtelement (112) des lichtempfindlichen Referenzelements (1I1) gebildet wird.
    k,) Meßsystem nach den Ansprüchen 2 und 3» dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzliche lichtempfindliche Element (16) und das lichtempfindliche Gleichlichtelement (II2) von der gleichen Beleuchtungseinrichtung (5, 6) beaufschlagt v/erden, die zur Beleuchtung der lichtempfindlichen Elemente (1O1, 10«; 102» 10Zt) dient.
    5·) Meßsystem nach den Ansprüchen 2 und 3» dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzliche lichtempfindliche Element (16) und das lichtempfindliche Gleichlichtelement (II2) von einem gesonderten Beleuchtungselement (17) mit einstellbarer Beleuchtungsstärke beaufschlagt werden.
    6.) Meßsystem nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß das gesonderte Beieuchtungselement (17) von einer lichtemittierenden Diode gebildet wird, deren Beleuchtungsstärke mittels eines Potentiometers (18) einstellbar ist.
    7·) Meßsystem nach den Ansprüchen 1-3» dadurch gekennzeichnet, daß das Gleichlichtsignal (jQt JX) über ein Potentiometer (15, I51» I511) in den Kreis wenigstens eines Paares lichtempfindlicher Elemente (1°-), IO3; 1°2» 1°4) eingespeist wird.
    130044/0ÜÜ6
    8.) Meßsystem nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß das Gleichlichtsignal (Jq, Jl) über den Mittelabgriff des parallel an die lichtempfindlichen Elemente (1O1, 10oj 102» 10^) anPsclllossenen Potentiometers (15» I51» 15'') eingespeist wird.
    9.) Meßsystem nach den Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzliche lichtempfindliche Element (16) oder das lichtempfindliche Gleichlichtelement (112) parallel an den Kreis eines Paares lichtempfindlicher Elemente (1O1, 10„; 10«, 10^) angeschaltet ist.
    10.) Meßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindlichen Elemente (10-j, 10«; 1O2, 10^; 11-jt H2' 1^) als Photoelemente, Photodioden oder Phototransistoren ausgebildet sind.
    130044/0006
DE3007311A 1980-02-27 1980-02-27 Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem Expired DE3007311C2 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3007311A DE3007311C2 (de) 1980-02-27 1980-02-27 Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem
CH504/81A CH651134A5 (de) 1980-02-27 1981-01-27 Digitale lichtelektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung.
US06/236,164 US4385836A (en) 1980-02-27 1981-02-20 Photoelectric digital position measuring system
JP2621681A JPS56157811A (en) 1980-02-27 1981-02-26 Photoelectrical digital length or angle measuring system
IT12449/81A IT1146002B (it) 1980-02-27 1981-02-26 Sistema di misura lineare o goniometrico fotoelettrico digitale
FR8103888A FR2476830B1 (fr) 1980-02-27 1981-02-26 Appareil numerique de mesure photo-electrique de longueur ou d'angle
GB8106033A GB2070766B (en) 1980-02-27 1981-02-26 Photo-electric length or angle measuring apparatus
AT0091481A AT385353B (de) 1980-02-27 1981-02-27 Digitales lichtelektrisches laengen- oder winkelmesssystem

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3007311A DE3007311C2 (de) 1980-02-27 1980-02-27 Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3007311A1 true DE3007311A1 (de) 1981-10-29
DE3007311C2 DE3007311C2 (de) 1985-11-28

Family

ID=6095663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3007311A Expired DE3007311C2 (de) 1980-02-27 1980-02-27 Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4385836A (de)
JP (1) JPS56157811A (de)
AT (1) AT385353B (de)
CH (1) CH651134A5 (de)
DE (1) DE3007311C2 (de)
FR (1) FR2476830B1 (de)
GB (1) GB2070766B (de)
IT (1) IT1146002B (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0102472A1 (de) * 1982-08-11 1984-03-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3307931A1 (de) * 1983-03-05 1984-09-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales elektrisches laengen- oder winkelmesssystem
DE3541199C1 (de) * 1985-11-21 1987-06-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3612146A1 (de) * 1986-04-10 1987-10-29 Hinkel Ralf Verfahren und einrichtung zur weglaengenmessung
US4805465A (en) * 1986-06-09 1989-02-21 Battelle-Institut E.V. Arrangement for the production of straight-line symmetrical signals
DE3929239A1 (de) * 1989-09-02 1991-03-07 Teldix Gmbh Ringlaserkreisel
US5678319A (en) * 1995-03-04 1997-10-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Index grating having partial fields that are geometrically offset in the measuring direction

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4546347A (en) * 1981-05-18 1985-10-08 Mouse Systems Corporation Detector for electro-optical mouse
DE3144334C2 (de) * 1981-11-07 1985-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken
DE3201005A1 (de) * 1982-01-15 1983-07-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung
US4654525A (en) * 1982-08-31 1987-03-31 Sharp Kabushiki Kaisha Optical rotary encoder
DE3245357C2 (de) * 1982-12-08 1985-02-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Meßeinrichtung
DE3245914C1 (de) * 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
US4561846A (en) * 1983-09-02 1985-12-31 Denar Corporation Dental pantograph
JPH0758206B2 (ja) * 1984-03-30 1995-06-21 株式会社日立製作所 モワレ縞を用いた位置検出装置
DE3416864C2 (de) * 1984-05-08 1986-04-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrische Meßeinrichtung
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
GB2183951B (en) * 1985-11-28 1990-05-23 Duracell Int Displacement measuring apparatus
GB2194635B (en) * 1986-03-14 1991-01-02 Mitutoyo Mfg Co Ltd Photoelectric type displacement detecting instrument
GB2195179B (en) * 1986-09-11 1991-05-15 Synergy Computer Graphics Registration system for a moving substrate
US4808832A (en) * 1986-09-11 1989-02-28 Synergy Computer Graphics Corp. Registration system for a moving substrate
DE3716465C2 (de) * 1987-05-16 1993-09-30 Danfoss As Opto-elektrische Drehwinkel-Meßvorrichtung
JP2844073B2 (ja) * 1989-01-19 1999-01-06 中西金属工業株式会社 キャリヤ自走式コンベヤ
GB2238865B (en) * 1989-12-04 1994-01-26 Mitutoyo Corp Photoelectric displacement detector
DE4017954C1 (de) * 1990-06-05 1991-08-29 Pav Praezisions-Apparatebau Ag, Vaduz, Li
DE4017898A1 (de) * 1990-06-02 1991-12-05 Hengstler Gmbh Optisches abtastsystem fuer dreh- oder linear-impulsgeber
DE4206544A1 (de) * 1992-03-02 1993-09-09 Lpkf Cad Cam Systeme In Thueri Zweikoordinaten-wegmesssystem
CN1041558C (zh) * 1993-04-14 1999-01-06 北京超精细工程研究所 密封式光栅线位移传感器
DE59305801D1 (de) * 1993-12-08 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesssystem
ATE192566T1 (de) * 1994-02-23 2000-05-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmessvorrichtung
US6166723A (en) * 1995-11-17 2000-12-26 Immersion Corporation Mouse interface device providing force feedback
US6374255B1 (en) * 1996-05-21 2002-04-16 Immersion Corporation Haptic authoring
DE19641997A1 (de) * 1996-10-11 1998-04-16 Helmut Dr Baader Photodetektoranordnung
DE59806597D1 (de) 1997-08-07 2003-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung
US6256011B1 (en) 1997-12-03 2001-07-03 Immersion Corporation Multi-function control device with force feedback
US6704683B1 (en) 1998-04-28 2004-03-09 Immersion Corporation Direct velocity estimation for encoders using nonlinear period measurement
WO1999056087A1 (en) * 1998-04-30 1999-11-04 Immersion Corporation Encoder with improved sensing resolution
DE19908328A1 (de) 1999-02-26 2000-08-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmeßeinrichtung
US6564168B1 (en) * 1999-09-14 2003-05-13 Immersion Corporation High-resolution optical encoder with phased-array photodetectors
US6693626B1 (en) * 1999-12-07 2004-02-17 Immersion Corporation Haptic feedback using a keyboard device
US7084854B1 (en) * 2000-09-28 2006-08-01 Immersion Corporation Actuator for providing tactile sensations and device for directional tactile sensations
US6937033B2 (en) * 2001-06-27 2005-08-30 Immersion Corporation Position sensor with resistive element
US6904823B2 (en) * 2002-04-03 2005-06-14 Immersion Corporation Haptic shifting devices
US8917234B2 (en) 2002-10-15 2014-12-23 Immersion Corporation Products and processes for providing force sensations in a user interface
JP2004163302A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
US8992322B2 (en) 2003-06-09 2015-03-31 Immersion Corporation Interactive gaming systems with haptic feedback
US7825903B2 (en) * 2005-05-12 2010-11-02 Immersion Corporation Method and apparatus for providing haptic effects to a touch panel
CN104656900A (zh) 2006-09-13 2015-05-27 意美森公司 用于游戏厅游戏触觉的系统和方法
US9486292B2 (en) 2008-02-14 2016-11-08 Immersion Corporation Systems and methods for real-time winding analysis for knot detection
US9104791B2 (en) * 2009-05-28 2015-08-11 Immersion Corporation Systems and methods for editing a model of a physical system for a simulation
US8493572B2 (en) 2010-05-05 2013-07-23 Mitutoyo Corporation Optical encoder having contamination and defect resistant signal processing
US9866924B2 (en) 2013-03-14 2018-01-09 Immersion Corporation Systems and methods for enhanced television interaction
GB2521167A (en) 2013-12-11 2015-06-17 British American Tobacco Co An apparatus for forming a circumferential slit in a tobacco industry rod article

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2082594A5 (de) * 1970-03-20 1971-12-10 Sopelem
GB1352839A (en) * 1970-07-31 1974-05-15 Nat Res Dev Methods of and apparatus for effecting optical measurement and analysis
US3713139A (en) * 1971-01-25 1973-01-23 Bendix Corp Apparatus and method of determining displacements
BE789538A (fr) * 1971-10-13 1973-01-15 Sopelem Perfectionnements aux systemes de mesures de
US3757126A (en) * 1972-08-28 1973-09-04 Bendix Corp Input stage amplifier gain and balance method of setting moire fringe transducer reading head skew angle and
AU2383277A (en) * 1976-05-05 1978-10-05 Gen Electric Photoelectric signal generating circuits
US4078173A (en) * 1976-06-24 1978-03-07 Pertec Computer Corporation Light amplitude control system for position and motion transducers
JPS6042886B2 (ja) * 1978-07-13 1985-09-25 双葉電子工業株式会社 測長装置
DE2852530C3 (de) * 1978-12-05 1981-05-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelemente-Schaltung
US4263506A (en) * 1978-12-21 1981-04-21 Hewlett-Packard Company Pulse generating apparatus

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Messen + Prüfen/Automatik, Juni 1974, Seiten 371-374 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0102472A1 (de) * 1982-08-11 1984-03-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3307931A1 (de) * 1983-03-05 1984-09-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales elektrisches laengen- oder winkelmesssystem
EP0121652A1 (de) * 1983-03-05 1984-10-17 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmesssystem
US4628201A (en) * 1983-03-05 1986-12-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Scanning signal balancing circuit
DE3541199C1 (de) * 1985-11-21 1987-06-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3612146A1 (de) * 1986-04-10 1987-10-29 Hinkel Ralf Verfahren und einrichtung zur weglaengenmessung
US4805465A (en) * 1986-06-09 1989-02-21 Battelle-Institut E.V. Arrangement for the production of straight-line symmetrical signals
DE3929239A1 (de) * 1989-09-02 1991-03-07 Teldix Gmbh Ringlaserkreisel
US5678319A (en) * 1995-03-04 1997-10-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Index grating having partial fields that are geometrically offset in the measuring direction

Also Published As

Publication number Publication date
FR2476830A1 (fr) 1981-08-28
IT8112449A0 (it) 1981-02-26
GB2070766B (en) 1984-10-31
FR2476830B1 (fr) 1986-03-07
US4385836A (en) 1983-05-31
IT1146002B (it) 1986-11-12
GB2070766A (en) 1981-09-09
DE3007311C2 (de) 1985-11-28
AT385353B (de) 1988-03-25
ATA91481A (de) 1987-08-15
JPH0350204B2 (de) 1991-08-01
JPS56157811A (en) 1981-12-05
CH651134A5 (de) 1985-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3007311A1 (de) Digitales lichtelektrisches laengen- oder winkelmesssystem
DE2952106C2 (de) Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
EP0102472B1 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
EP0058302B1 (de) Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
EP0121652A1 (de) Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmesssystem
DE3416864A1 (de) Photoelektrische messeinrichtung
DE102008014411A1 (de) Signalaufbereitung für einen optischen Codierer
DE69726301T2 (de) Schaltung zur vervielfachung der auflösung und bestimmung der richtung der lageveränderung
DE3308813A1 (de) Messeinrichtung
DE102011114953B4 (de) Ursprungsort-Detektionsschaltung
DE2301260A1 (de) Impulsgenerator mit integratorstufe
EP0222136A2 (de) Nullimpulserzeuger zur Erzeugung eines Impulses bei Erreichen einer vorgegebenen Lage eines Trägers
DE19921309A1 (de) Abtasteinheit für eine optische Positionsmeßeinrichtung
DE3420327C2 (de)
DE2361649B2 (de) Abtastvorrichtung für eine elektrische Kopiersteuerungsvorrichtung
DE2208344A1 (de) Anordnung mit mehreren Strahlungsfühlern
DE2432067C2 (de) Fokussiervorrichtung für optische Geräte
DE2106136B2 (de) Vorrichtung zur Messung von Verschiebungen zwischen zwei Körpern
DE3132168A1 (de) Auswerteschaltung fuer die signale einer reihe von n in schnellem rhythmus nacheinander abgetasteten f fotodetektoren
DE2801684C3 (de) Meßschaltung für die Bestimmung der Größe von Signalwechselspannungen
DE3103485A1 (de) Digitale elektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3536653C1 (de) Elektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE2905966A1 (de) Bilderzeugungsgeraet
DE2916857C2 (de) Vorzeichenrichtiges Feldstärkemeßgerät
DE19528045C1 (de) Positionsmeßvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee