DE2941422A1

DE2941422A1 - Verfahren zum evakuieren einer vakuumschalterroehre

Info

Publication number: DE2941422A1
Application number: DE19792941422
Authority: DE
Inventors: Günter 4030 Ratingen Leonhardt
Original assignee: Calor Emag AG
Current assignee: Calor Emag AG
Priority date: 1979-10-12
Filing date: 1979-10-12
Publication date: 1981-04-23

Description

Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumschalterröhre
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausheizen und Evakuieren einer in einem Heizofen angeordneten Vakuumschalterröhre sowie Heizofen zur Durchführung des Verfahrens.
Solche Röhren werden bei Temperaturen von 400 - 6200C ausgeheizt und gleichzeitig evakuiert. Nach dem Erkalten der Röhre werden zwischen deren im Innern sich mit Abstand gegenüberstehenden Metallteilen, insbesondere zwischen den Kontaktstücken, durch Anlegen einer elektrischen Spannung Hochspannungsentladungen durchgeführt. Dadurch werden die Metalloberflächen nochmals besonders entgast und von Fremdschichten befreit. Während der Entladungen werden die noch frei werdenden Gase von einer Vakuumpumpe abgesaugt.
Dieses Verfahren ist aufwendig und nicht in jedem Falle erfolgreich.
Die Aufgabe der Erfindung ist es das Verfahren rationeller zu gestalten und die Ausschußquote herabzusetzen.
Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, in einem gewissen Stadium des Heiz- und Evakuierungsvorganges die an sich bekannte Reinigung der im Innern der Röhre sich befindlichen Metallteile durch elektrische Entladungsvorgänge zwischen ihnen vorzunehmen, und in die Wandung des Heizofens eine vakuumfeste Hochspannungsdurchführung einzusetzen.
Die Vakuumschalterröhre kann nunmehr in einem Vorgang im Heizofen vollständig evakuiert und gereinigt werden, was das Verfahren wesentlich verkürzt. Vorteilhaft ist, daß die für die Reinigung der Metallteile maßgeblichen elektrischen Entladungen bei jeder beliebigen Temperatur und bei einem beliebigen Druck vorgenommen werden können. Selbst die von Montagefehlern herrührenden unreinen Stellen auf den Metalloberflächen sind zu beseitigen und führen nicht zu Ausschuß, da die elektrischen Entladungen nicht kalt, sondern bei einer hohen Temperatur vorgenommen werden können. Die Pumpzeit der Vakuumpumpe wird insgesamt verkürzt und es besteht für sie bei den vorgenannten Montagefehlern nicht die Gefahr eines Schocks durch plötzlich anfallende Gasmengen.
Zur Heranführung der Hochspannung an die Vakuumschalterröhre ist es notwendig, eine Hochspannungsdurchführung in die Wand des Heizofens einzusetzen. Wenn die Hochspannung nur dann angelegt wird, wenn in dem Heizofen bereits ein Hochvakuum, z.B. 10-4 Torr, herrscht, so kann der in den Heizofen ragende Teil der Hochspannungsdurchführung für das gut isolierende Hochvakuum bemessen werden und klein ausfallen.
Machfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.
In einem evakuierbaren Heizofen 1 ist die Vakuumschalterröhre 2 eingesetzt. Diese ist über eine Öffnung 3 mit dem Inneren des Heizofens verbunden. Die aus der Röhre ragenden Anschlüsse der im Röhreninneren sich mit dem Abstand gegenüberstehenden Kontaktstücke sind einerseits mit einer Erdleitung 4 und andererseits mit einer Hochspannungsleitung 5 verbunden. Die Hochspannllngsleitung ist durch eine in die Wand des Heizofens 1 eingesetzte Hochspannungsdurchführung 6 nach außen zu einem Schalter 7 geführt. Der im Inneren des Ofens befindliche Teil 6a der Hochspannungsdurchführung ist aus gasfreiem Material gefertigt und für das gut isolierende Hochvakuum bemessen. Er kommt daher mit nur geringen Spannungsabständen aus.
Eine Vakuumpumpe 8 ist über eine Rohrleitung 9 an den Heizofen 1 angeschlossen.
Mit der gezeigten Anordnung ist es nunmehr möglich, in einem einzigen Verfahrensgang den Heizofen und damit die darin angeordnete Röhre zu evakuieren und auszuheizen. Gleichzeitig ist es möglich unter diesen günstigen Bedingungen die Reinigung der Kontaktstücke durch elektrische Entladungen durchzuführen, was eine wesentlich effektivere Reinigung bewirkt.
Nachdem eine gewisse Temperatur, vorzugsweise zwischen 400 und 6500C, im Heizofen 1 erreicht ist und die laufende Vakuumpumpe ein für eine ausreichende Isolierung notwendiges Vakuum hergestellt hat, wird durch Betätigen des Schalters 7 der elektrische Entladungsvorgang eingeleitet.
Weitere Entladungen nach Entnahme der Röhre aus dem Heizofen sind nicht mehr erforderlich.

Claims

Ansprüche 1.) Verfahren zum Ausheizen und Evakuieren einer in einem Heizofen angeordneten Vakuumschalterröhre sowie Heizofen zur Durchführung des Verfahrens, dadurch gekennzeichnet, daß in einem gewissen Stadium des Heiz- und Evakuierungsvorganges die an sich bekannte Reinigung der im Innern der Röhre (2) sich befindlichen Metallteile durch elektrische Entladungsvorgänge zwischen ihnen vorgenommen ist, und in die Wandung des Heizofens (1) eine vakuumfeste Hochspannungsdurchführung (6) eingesetzt ist.
2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Entladungsvorgänge erst eingeleitet werden, nachdem im Heizofen (1) ein Hochvakuum erreicht ist und der in den Heizofen (1) ragende Teil (6a) der Hochspannungsdurchführung (6) für das isolierende Hochvakuum bemessen ist.