DE2936298A1

DE2936298A1 - Elektroerosive bearbeitungsmaschine

Info

Publication number: DE2936298A1
Application number: DE19792936298
Authority: DE
Inventors: Kiyoshi Inoue
Original assignee: Inoue Japax Research Inc
Current assignee: Inoue Japax Research Inc
Priority date: 1978-10-12
Filing date: 1979-09-07
Publication date: 1980-04-30
Also published as: US4367389A; GB2033799B; FR2438521A1; IT7950408A0; IT1119863B; FR2438521B1; GB2033799A

Description

Inoue-Japax Research Incorporated 5289 Aza Michimasa, Nagatsudamachi, Midoriku, Yokohamashi, Kanagawaken, (Japan)

Elektroerosive Bearbeitungsmaschine

Die Erfindung bezieht sich auf eine elektroerosive Bearbeitungsmaschine, insbesondere von der Art, die elektroerosiv bearbeitete Werkstückoberflächen endbearbeiten kann.

Eine elektroerosive Bearbeitungsmaschine verwendet eine Energieversorgung, die an einem mit Dielektrikum gefüllten Arbeitsspalt zwischen einer Werkzeugelektrode und einer dieser gegenüberliegenden Werkstückelektrode impulsförmige elektrische Entladungen erzeugt. Dabei ist die Werkzeugelektrode entweder ein Vollkörper (beim elektroerosiven Senken) oder ein Draht oder anderer fortlaufender langer Körper (beim elektroerosiven Bearbeiten mit bewegter Drahtelektrode), und bei jeder gesteuerten elektrischen Entladung erfolgt die elektroerosive Abtragung einer geringen Materialmenge vom Werkstück durch die Werkzeugelektrode, wobei auf dem Werkstück ein entsprechender Erosionskrater gebildet wird. Mit fortschreitender Materialabtragung spricht eine Elektroden-Nachsteil- oder Servovorschubeinrichtung auf die Arbeitsspalt-Spannung oder eine andere Arbeitsspalt-Variable an und hält die Größe des

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Arbeitsspalts gleichbleibend, während eine Arbeitsmittel-Zufuhreinheit das Dielektrikum fortgesetzt erneuert, das auch als Kühlmittel für den Arbeitsspalt dient. Die Bearbeitung wird fortgesetzt, bis ein erwünschtes Abtragen oder Schneiden des Werkstücks ausgeführt ist.

Elektroerosiv bearbeitete Oberflächen sind also durch die Besonderheiten der Bildung sehr harter Rauhigkeiten auf der Oberfläche sowie einer matten Oberfläche gekennzeichnet, die sich infolge der Überlagerung der Erosionskrater ergeben; ferner sind solche Oberflächen besonders hart infolge der schnellen Erwärmung und Kühlung und müssen normalerweise geglättet oder endbearbeitet werden, de nach der Form der eingesetzten Werkzeugelektrode kann auch eine Art Gratbildung auf den elektroerosiv bearbeiteten Oberflächen zurückbleiben.

Es werden zwar verschiedene Endbearbeitungsverfahren angewandt, um elektroerosiv bearbeitete Oberflächen einer Endbearbeitung zu unterziehen; diese erfordern jedoch typischerweise eine Handbearbeitung des Werkstücks nach dessen Entnahme aus der Maschine und sind insofern unbefriedigend, als damit keine über ihre Gesamtoberfläche prazisionsbehandelten Endprodukte erhalten werden.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer verbesserten elektroerosiven Bearbeitungsmaschine oder einer Zusatzeinheit für eine solche Maschine, mit der eine Präzisions-Oberflächenbearbeitung eines vorher elektroerosiv bearbeiteten Werkstücks möglich ist, ohne daß eine Handbearbeitung durch eine Fachkraft notwendig ist. Dabei soll eine einer elektroerosiven Bearbeitungsmaschine zugeordnete Vorrichtung geschaffen werden, durch die es möglich ist, ein Werkstück einem vollständigen Bearbeitungsvorgang vom elektroerosiven Bearbeiten bis zur Oberflächen-Endbearbeitung zu unterziehen, ohne daß das Werkstück erneut in eine Bearbeitungsstellung gebracht werden muß.

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Die elektroerosive Bearbeitungsmaschine nach der Erfindung, mit einem Werkzeugträger für die Werkzeugelektrode, der die Werkzeugelektrode in einer Arbeitsstellung relativ zu einem Werkstück positioniert, mit einem Werkstückspanntisch für das Werkstück, und mit einer Vorschubeinrichtung zum Verschieben von Werkzeugträger und Werkzeugspanntisch relativ zueinander, so daß mit der Werkzeugelektrode ein elektroerosives Abtragen des Werkstücks durchführbar ist, ist gekennzeichnet durch eine Schleif- oder Polier-Werkzeugeinheit, die an dem Werkzeugträger lösbar befestigbar ist und zum Oberflächenbearbeiten des elektroerosiv bearbeiteten Werkstücks dient und umfaßt: einen umlaufenden Schaft, mehrere Langglieder mit jeweils einem freien Ende, deren andere Enden an dem Schaft festgelegt sind derart, daß sie miteinander einen nach vorn konvergierenden Rotationskörper um die Achse des Schafts bilden, und eine Motoreinheit zum Drehen des Schafts, so daß die Langglieder um die Schaftachse umlaufen, wodurch die Erzeugende des durch die umlaufenden Langglieder gemeinsam gebildeten Rotationskörpers zu den freien Langglieder-Enden hin eine Aufweitung erfährt und als Schleif- oder Poliermittel an der elektroerosiv bearbeiteten Werkstückoberfläche wirkt, wobei die Werkzeugeinheit an dem Werkzeugträger durch die Vorschubeinrichtung relativ zu dem Werkstück auf dem Werkstückspanntisch verschoben wird und wenigstens ein ausgewählter Teil der Werkstückoberfläche von dem Schleif- oder Poliermittel überstrichen und dadurch endbearbeitet wird.

In weiterer Ausbildung der Erfindung sind die Langglieder der Schleif- oder Polier-Werkzeugeinheit im Schnitt in einer Reihe auf einem Kreis koaxial mit dem umlaufenden Schaft angeordnet, und die Anzahl Langglieder auf dem Kreis beträgt höchstens 20. Der Durchmesser der Langglieder, die bevorzugt oder typischerweise zylindrisch sind, liegt im Bereich von 0,1-2 mm, bevorzugt von 0,5-1 mm, wogegen der Durchmesser des

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Kreises bevorzugt im Bereich von 2-8 mm liegt. Die Länge Z in mm jedes Langglieds ist durch die Beziehung bestimmt, daß £/D wenigstens 0,5-1 ist, wobei D der Durchmesser des Kreises oder des Kopfteils des Schafts ist.

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung werden die Erzeugenden des von den Langgliedern gemeinsam gebildeten Rotationskörpers oder im wesentlichen die äußeren Seitenflächen der einzelnen Langglieder, deren Enden von dem Schaft in der Werkzeugeinheit gehalten sind, dazu benutzt, tangential gegen eine oberflächenzubearbeitende elektroerosiv bearbeitete Werkstückfläche zu wirken. Die so festgelegten einzelnen Langglieder sind gleichzeitig elastisch und steif und können sich doch, wenn sie mit dem Schaft mit einer Betriebsdrehzahl umlaufen, nach außen zu ihren freien Enden oder Spitzen hin so aufweiten, daß die Erzeugende des Rotationskörpers, die in der Ruhelage konisch oder vorwärts konvergierend kegelstumpfförmig ist, eine sehr schnell umlaufende zylindrische oder vorwärts divergierende kegelstumpf förmige Oberfläche annimmt. Infolgedessen wird durch die mit hoher Geschwindigkeit aufeinanderfolgenden oder momentanen tangentialen Kontakte zwischen den umlaufenden länglichen Oberflächen und der elektroerosiv bearbeiteten Oberfläche eine fortgesetzte "Schlag"- oder "Schleuder"-Wirkung erzeugt. Wenn die Umlaufbewegung des Schafts unterbrochen wird, nimmt das Arbeitsteil die ursprüngliche Form des nach vorn konvergierenden Rotationskörpers wieder an.

Durch die Erfindung wird also eine elektroerosive Bearbeitungsmaschine so ausgerüstet, daß abtragend bearbeitete Werkstückoberflächen endbearbeitet werden können, indem eine Schleif- oder Polier-Werkzeugeinheit an einem Werkzeugelektrodenträger befestigt wird, der dem auf einem Werkstückspanntisch festgelegten Werkstück gegenüberliegt. Die Werkzeugein-

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heit umfaßt ein Werkzeug, eine lösbar an dem Werkzeugträger befestigte Motoreinheit und ein Verbindungsfutter; das Werkzeug umfaßt eine Mehrzahl Langglieder, die an dem Schaft ortsunveränderlich befestigt sind, so daß sie einzeln in axialer Richtung davon vorspringen und so verlaufen, daß sie miteinander einen nach vorn konvergierenden Rotationskörper bilden, der um die Achse des Schafts drehbar ist; dabei dient die Erzeugende des Rotationskörpers als Schleif- oder Polierfläche. Die Vorschubeinrichtung der elektroerosiven Bearbeitungsmaschine kann dazu eingesetzt werden, die elektroerosiv bearbeitete Werkstückfläche mit der Arbeitsfläche des Werkzeugs zu überstreichen.

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Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:

Fig. IA Perspektivansichten eines Schleifwerkzeugs

und IB der Bearbeitungswerkzeug-Einheit nach der Erfindung, einmal in der Ruhelage und einmal umlaufend;

Fig. 2 eine Ansicht einer elektroerosiven Bearbeitungsmaschine mit bewegter Drahtelektrode, die mit einer Bearbeitungswerkzeug-Einheit nach der Erfindung ausgerüstet ist;

Fig. 3 e ine Ansicht einer Maschine zum elektroerosiven Senken, die mit einer Bearbeitungswerkzeug-Einheit nach der Erfindung ausgerüstet ist;

Fig. k eine Ansicht, die einen adaptiven Bearbeitungsvorgang bei der Durchführung der Erfindung zeigt;

Fig. 5A Bearbeitungswerkzeuge nach der Erfindung mit bis 5F verschiedenen Ausbildungen des Arbeitsteils;

Fig. 6 eine axiale Schnittansicht, die eine Vorrichtung zum Sichern des Arbeitsteils an einem Werkzeugschaft zeigt;

Fig. 7 eine Querschnittsansicht VII-VII des Werkzeugs nach Fig. 6 ;

Fig. 8 eine Endansicht in größerem Maßstab eines Innenteils des Werkzeugs nach den Fig. 6 und 7 ;

Fig. 9 eine teilweise geschnittene Ansicht eines

Ausführungsbeispiels des Bearbeitungswerkzeugs;

Fig. 10 eine andere Ausführungsform des Werkzeugs nach Fig. 9;

Fig. 11 eine teilweise weggebrochene Ansicht des

Werkzeugs, das demjenigen nach den vorhergehenden Figuren ähnlich ist, wobei eine andere Befestigungsvorrichtung gezeigt ist, mit der das Werkzeug am Schaft gesichert ist;

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Fig. 12 einen Längsschnitt durch eine andere Ausführungsform des Bearbeitungswerkzeugs nach der Erfindung;

Fig. 13A Endansichten des Schaftteils von Werkzeugen

bis 13C etwa entsprechend Fig. 12 zur Verdeutlichung der Verteilung der Langglieder mit Arbeitselementen;

Fig. lk/K Längsschnitte eines der Langglieder des Werk-

und IA-B zeugs nach Fig. 12, einmal im Ruhezustand und einmal im nach auswärts gerichteten Arbeitszustand ;

Fig. 15 eine Vorrichtung zum Herstellen einer weiteren Ausführungsform des Werkzeugs nach der Erfindung ;

Fig. 16 eine Perspektivansicht des Werkzeugs, das mit der Vorrichtung nach Fig. 15 gebildet wurde;

im Schnitt verschiedene Konfigurationen der Langglieder, die in dem Werkzeug nach Fig. verwendbar sind;

der Fig. 12 entsprechende Ausführungsbeispiele, wobei jedoch eine kontinuierliche Schleifschicht auf dem Vorderabschnitt jedes Langglieds aufgebracht ist; und

Fig. 19 ein System zum Zusammensetzen und Verbinden von Schaft, Langgliedern und Gehäuse.

In den Fig. IA und IB ist ein Schleif- und Polierwerkzeug gezeigt, das die Oberflächenbearbeitungs-Einheit der elektroerosiven Bearbeitungsmaschine bildet; das Werkzeug ist einmal im Ruhezustand und einmal umlaufend dargestellt. Das Schleif- und Polierwerkzeug 1 umfaßt einen Schaft 2, der in einen zylindrischen Kopf 3 und eine Welle k, die koaxial daran befestigt oder damit einstückig ausgeführt ist, unter teilt ist, sowie einen Arbeitskörper 5 mit einer Mehrzahl

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Fig .	17A
bis	17C
Fig .	18A
und	18B

Langglieder 6, die ortsunveränderlich an dem Kopf 3 bevorzugt lösbar mittels einer noch zu erläuternden Vorrichtung befestigt sind. Die Welle k ist mit der Antriebswelle eines Motors (vgl. die Fig. 2, 3 und *f) mittels eines Futters 8 verbunden (vgl. die Fig. 2 und 3), so daß der Arbeitskörper 5 umlaufen kann.

Die Langglieder 6 sind in den zylindrischen Kopf 3 in einer auf einem Kreis 6a der Stirnfläche des Kopfs 3 liegenden Reihe so eingesetzt, daß sie von dem Kopf 3 derart einzeln vorspringen, daß sie miteinander einen axial konvergierenden Rotationskörper bilden, der im Ruhezustand mit der Achse 2a des Schafts 2 koaxial ist.

Langglieder 6 sind in ihrer Beziehung zum Kopf 3 und dem gedachten Kreis 6a in unterschiedlicher Anzahl in gleichen Winkelabständen um die Werkzeugachse 2a eingesetzt (vgl. Fig. 13).

Jedes Langglied 6 kann ein Stab, ein Draht oder eine Borste eines Werkstoffs sein, der aus der folgende Werkstoffe umfassenden Gruppe gewählt ist: Klavierdrahtstahl, Flußstahl, gehärtete Stähle, Schnellstähle, rostfreie Stähle, Messing, Wolframcarbid, Titancarbid, Tantalcarbid, Titan-Nickel-Legierungen, Kupfer-Beryllium-Legierungen, Eisen, Nickel, Aluminium, Wolfram, Molybdän, Kupfer, Kupfer-Zinn-Legierung, Borcarbid, Eisen-Chrom-Legierung, Kunststoff, Graphit und Glas oder irgendein steifes und elastisches Metall bzw. eine solche Legierung, die mit einer harten Substanz wie Wolframcarbid, Titancarbid, Tantalcarbid, Borcarbid, Siliciumcarbid, Diamant und Bornitrid (oder irgendeiner der nachstehend genannten Schleif- oder Poliersubstanzen) in körniger oder nichtkörniger Form beschichtet ist.

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Somit kann also ein echtes Schleif- und Polierwerkzeug, das eine beträchtliche Materialabtragung erlaubt, Langglieder 6 aufweisen, die wenigstens über einen Teil ihrer Länge mit einer harten Substanz, z. B. Diamantstaub, beschichtet sind. Die harte Substanz kann unmittelbar auf ihre Trägerfläche aufgebracht werden, z. B. durch Hartauftragschweißen oder kristallographische Umwandlung (z. B. durch Diffusion von Kohlenstoff oder Stickstoff in die Trägerfläche), oder sie kann durch irgendein geeignetes Verfahren (z. B. durch galvanische Metallabscheidung) aufgebracht und in irgendeiner Weise mit der Trägerfläche verbunden sein (z. B. durch Einsatz von Bindemitteln, Sintern etc.).

Oedes Langglied kann ein gesinterter harter Stoff sein, z. B, Diamant oder hexaedrisches Bornitrid in einer Metallpulver-Grundmasse .

Im Fall von nichtmetallischen Langgliedern, z. B. aus Kunststoff, Glas oder Graphit, können die Schleifkörnchen in den Werkstoff eingebettet sein.

Jedes Langglied 6 ist entweder abgerundet oder winkelig ausgebildet, und typischerweise beträgt der Durchmesser 0,1-2 mm, bevorzugt 0,5-1 mm. Solche Langglieder können mit Hilfe des Kopfs 3 zusammengebündelt und zusammengefügt sein, so daß insgesamt zwischen drei und zwanzig Stück auf dem Kreis 6a angeordnet sind, der einen Durchmesser im Bereich von 2-8 mm hat.

Wenn die Welle k umläuft, drehen sich die Langglieder 6 um die Achse 2a. Nach Fig. IB werden die Langglieder 6 dann nach radial außen zu ihren freien Enden hin bewegt, so daß ihre Erzeugende, die ursprünglich einen nach vorn spitz zu-

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laufenden Kegel oder Kegelstumpf bildet, sich nach vorn erweitert und im wesentlichen die Form eines Zylinders oder eines leicht einwärts gewölbten oder geraden Kegels, der nach vorn oder hinten spitz zuläuft, annimmt.

Die elektroerosive Bearbeitungsmaschine 9 mit bewegter Drahtelektrode nach Fig. 2 weist einen Werkzeugträger 10 auf. Der Werkzeugträger 10 hängt von einem oberen Arm 11, der sich von einem senkrechten Ständer (nicht gezeigt) der Maschine

9 horizontal erstreckt, vertikal nach unten; die Maschine 9 weist ferner in herkömmlicher Weise einen unteren Arm (nicht gezeigt) auf. Der obere und der untere Arm sowie der Werkzeugträger 10 sind in der Maschine 9 vorgesehen, um eine kontinuierliche langgestreckte Drahtelektrode 12, die zwischen einer Abwickelspule und einer Aufwickelspule (nicht gezeigt) kontinuierlich transportiert wird, zu führen und die bewegte Drahtelektrode 12 zwischen zwei Stützgliedern 13 und 14- in einer Bearbeitungsbeziehung zu einem Werkstück W nachzustellen; dabei werden die Stützglieder 13 bzw. IA- vom Werkzeugträger

10 bzw. von dem unteren Arm gehalten. Das Werkstück W ist auf einem Werkstückspanntisch 15 befestigt, der eine übliche Planvorschubvorrichtung aufweist, die von einem X-Achsen-Motor 16 und einem Y-Achsen-Motor 17 getrieben wird, um das Werkstück W in einer X-Y- oder Horizontalebene relativ zu der in einer Z-Achsen-Richtung bewegten Drahtelektrode 12 zu verstellen. Der Werkzeugträger 10 ist verstellbar entweder von Hand oder automatisch in der Vertikal- oder Z-Achsen-Richtung verschiebbar.

Bei einem elektroerosiven Bearbeitungsvorgang erzeugt eine herkömmliche, zusammen mit der Maschine 9 vorgesehene Stromversorgung (nicht gezeigt) eine Serie elektrischer Impulse zwischen der bewegten Drahtelektrode 12 und dem Werkstück W an einem Bearbeitungsspalt, während dieser von einem flüssigen Dielektrikum, z. B. destilliertem Wasser, durchspült wird,

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so daß durch die resultierende Folge elektrischer Entladungen Material vom Werkstück W elektroerosiv abgetragen wird. Mit fortlaufender Materialabtragung wird der Werkstückspanntisch 15 durch die Motoren 16 und 17 aufgrund von Antriebssignalen einer numerischen Steuerung (nicht gezeigt) verschoben, so daß das Werkstück W längs einer programmierten Schnittbahn in bezug auf die quer dazu bewegte Drahtelektrode 12 verschoben wird. Die Bearbeitung kann entweder durch Geradschneiden oder durch Konisch-Schneiden erfolgen.

Das elektroerosiv bearbeitete Werkstück W wird mit der Maschine an Ort und Stelle oberflächenbearbeitet, indem die Drahtelektrode 12 entfernt wird und eine Schleif- oder Polierwerkzeug-Einheit 100 montiert wird, die das in Verbindung mit Fig. 1 grundsätzlich erläuterte Werkzeug 1 trägt. Die Einheit 100 umfaßt den Elektromotor 7, dessen Antriebswelle durch das Futter 8 treibend mit der Welle k des Werkzeugs 1 verbunden ist, so daß der durch die Langglieder 6 gebildete Arbeitsteil 5 um die Achse 2a (vgl. Fig. 1) umläuft. Wenn die bearbeitete Fläche S des auf dem Werkstückspanntisch 15 verbleibenden Werkstücks W tangential von den umlaufenden Langgliedern 6 kontaktiert wird, kann die Fläche S je nach Bedarf geschliffen, geläppt, poliert oder glanzpoliert werden. Die Umlaufgeschwindigkeit liegt im Bereich von 500-50000 U/min, wobei bei relativ geringem Lastbetrieb ein Bereich von 500-2000 U/min und bei Betrieb mit relativ großer Last ein Bereich von 5000-50 000 U/min angewandt wird. Beim Betrieb mit großer Last sind Langglieder 6 einsetzbar, die im Schnitt winkelförmig (z. B. viereckig) sind, wenn eine starke Materialabtragung vom Werkstück W erfolgen soll, wobei die Tangentialgeschwindigkeit der umlaufenden Lang glieder 6 im Bereich von 1-15 m/s liegt.

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Beim Schleif- oder Polierbetrieb wird das Arbeitsteil 5 oder die umlaufenden Langglieder 6 nacheinander in Tangentialkontakt mit der vorher bearbeiteten Fläche S des Werkstücks W gebracht, indem der Werkstückspanntisch 15 in der X-Y-Ebene längs der gleichen Bahn verschoben wird, auf der er bei dem vorhergehenden elektroerosiven Bearbeiten verschoben wurde, allerdings möglicherweise mit einer geringen Verschiebung relativ zu dieser Bahn. Bei jedem Umlaufzyklus wird jedes Langglied 6 nach seinem Kontakt mit der Fläche S nach außen bewegt und speichert dadurch eine beträchtliche kinetische Energie, die freigesetzt wird, wenn das Langglied erneut in Kontakt mit der Fläche S gelangt und diese tangential schlägt. Dieser wiederholte "Schlag"- oder "Schleuder"-Effekt, der durch die umlaufenden Langglieder erzeugt wird, hat eine wesentlich verbesserte Materialabtragung zur Folge.

Durch Anwendung praktisch des gleichen programmierten Vorschubs wie bei der vorhergehenden elektroerosiven Bearbeitung wird der Kontaktzustand zwischen den umlaufenden Langgliedern 6 und dem Werkstück W im wesentlichen gleichbleibend gehalten und ermöglicht so eine erhöhte Oberflächengenauigkeit und eine gleichmäßige Oberflächengüte über den gesamten zu bearbeitenden Bereich S.

Während der Oberflächenbearbeitung ist es manchmal erwünscht, dem Schleif- oder Polierbereich eine Arbeitsflüssigkeit oder ein Kühlmittel zuzuführen, das die gleiche Flüssigkeit wie zum vorhergehenden elektroerosiven Bearbeiten sein kann. Um die Schleif- oder Poliervorgänge zu erleichtern, können in der Arbeitsflüssigkeit Schleifmittelteilchen suspendiert sein.

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Fig. 3 zeigt eine elektroerosive Senkmaschine 18 mit einem Werkzeugträger 19, der eine Senkelektrode (nicht gezeigt) haltert, und mit einem Antrieb 20 zum Verschieben des Werkzeugträgers 19 auf- und abwärts oder längs der Z-Achse. Der Werkzeugträger 19 trägt die Bearbeitungswerkzeug-Einheit 100, die bereits erläutert wurde und den Antriebsmotor 7, das Befestigungsfutter 8 und das Arbeitsteil 5 umfaßt. Letzteres liegt einer durch elektroerosives Abtragen gebildeten Vertiefung S in einem Werkstück W gegenüber; das Werkstück W ist auf dem Werkstückspanntisch 15 befestigt, der von dem X-Achsen-Motor 16 und dem Y-Achsen-Motor 17 getrieben wird und das Werkstück W in der X-Y-Ebene wie bei dem vorher erläuterten System vorschiebt. Diese Anordnung wird typischerweise in einem "seitlichen" elektroerosiven Bearbeitungsschritt eingesetzt, wobei einem vertikalen Vorschub oder Senken ein seitlicher Vorschub folgt.

Wie bei dem vorhergehenden System ist eine numerische Steuerung (nicht gezeigt) vorgesehen und treibt die Motoren 20, 16 und 17 aufgrund programmierter Bearbeitungssignale, so daß die Werkzeugelektrode am,Werkzeugträger 19 relativ zum Werkstück W in einer vorbestimmten dreidimensionalen Schneidbahn verschoben wird.

Beim Oberflächenbearbeiten wird der Motor 7 getrieben und dreht das in der Einheit 100 an dem Werkzeugträger 19 angeordnete Werkzeug 1. Wie bereits erläutert, erfolgt bei hoher Drehzahl des Werkzeugs 1 eine nach vorn und außen gerichtete Expansion der umlaufenden Langglieder 6 am Arbeitsteil 5, so daß sie tangential auf die elektroerosiv bearbeitete Oberfläche S des Werkstücks W mit zunehmender Überstreichgeschwindigkeit und kinetischer Energie auftreffen, so daß wiederum der tangentiale "Schlag"- oder "Schleuder"-Effekt durch ihre mit hoher Drehzahl umlaufende Erzeugende

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entsteht und Oberflächen-Unregelmäßigkeiten, die durch das elektroerosive Bearbeiten auf dem Werkstück W entstanden sind, wirksam abgetragen werden. Die Motoren 16, 17 und 20 werden getrieben, um den Werkstückspanntisch 15 und den Werkzeugträger 19 in der X-Y-Ebene und längs der Z-Achse entsprechend einem Programm zu verschieben, so daß die Oberfläche S in einer vorbestimmten dreidimensionalen Bearbeitungsbahn von dem Arbeitsteil 5 des Werkzeugs 1 überstrichen wird.

Die unteren Abschnitte der Ausnehmung im Werkstück W, wo die Fläche S im wesentlichen senkrecht zur Achse des Werkzeugs

1 liegt, werden bei Kontakt mit dem Werkzeug 1 ebenfalls geglättet bzw. oberflächenbearbeitet. Unter dem Druck gegen die Fläche S nimmt das Arbeitsteil 5 bzw. nehmen die Langglieder 6 an ihren kontaktierenden Enden eine gering nach radial innen oder außen verlaufende Verformung an und erzeugen auch hier die tangentialen "Schlag"- oder "Schleuder" Flächen, die schleifend oder polierend wirken.

Fig. A- zeigt eine Antriebsschaltung zum adaptiven Betätigen des Werkzeugs 1 in Verbindung mit der Maschine nach den Fig.

2 und 3. In dieser Schaltung wird der Zustand des Schleifkontakts zwischen den umlaufenden Langgliedern 6 und der Werkstückfläche S erfaßt, und dementsprechend wird der Motor in der Einheit 100 gesteuert. Eine Stromversorgung 20' für den Motor 7 weist ein Steuerglied 21 auf, dessen Eingänge zu einem Fühlwiderstand 22 parallelgeschaltet sind, der mit einer Spannungsversorgung 23 und dem elektrisch leitenden Werkstück W sowie über eine Bürste mit dem elektrisch leitenden Schaft 2, der mit einer Drehzahl in dem genannten Bereich umläuft, reihengeschaltet ist. Die relative Verschiebung zwischen dem Werkzeug 1 und dem Werkstück W erfolgt automatisch aufgrund einer numerischen Steuerung bekannter Bauart, die die Relativverschiebung längs einer programmierten Vorschubbahn durchführt.

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Während des Arbeitsvorgangs bewirkt eine Änderung des Kontaktdrucks des Arbeitsteils 5 gegen die Werkstückfläche S ein unregelmäßiges Schleifen oder Polieren, so daß ungleichmäßig bearbeitete Oberflächen entstehen. Diese Änderung wird bei der erläuterten Anordnung erfaßt, indem der elektrische Widerstand zwischen den kontaktierenden Flächen 6 und S überwacht und als Spannungsabfall am Widerstand 22 abgenommen wird. Mit zunehmendem Kontaktwiderstand bei abnehmenden Anpreßdruck wird der Strom von der Versorgung 23 durch den Widerstand 22 vermindert, und der Spannungsabfall am Widerstand 22 wird verringert. Umgekehrt bewirkt ein erhöhter Kontaktdruck einen verminderten Widerstandswert, der als erhöhter Spannungsabfall am Widerstand 22 abgenommen wird. Das Steuerglied 21 spricht auf eine Änderung des Spannungsabfalls am Fühlwiderstand 22 an und verstellt die Drehzahl des Motors 7 durch Einwirkung auf dessen Stromversorgung 20'. Eine Drehzahlerhöhung bewirkt eine verstärkte nach vorn und außen gerichtete Expansion der umlaufenden Langglieder 6, was wiederum einen erhöhten Kontaktdruck der Langglieder gegen die Fläche S oder umgekehrt zur Folge hat.

Auf diese Weise wird ein gleichbleibender Kontaktdruck zwischen dem Arbeitsteil 5 des Werkzeugs und der Werkstückfläche S sichergestellt, was zur Erzielung einer gleichmäßigen "Schlag"- oder "Schleuder"-Wirkung erforderlich ist; dadurch kann die Materialabtragung beständig fortgesetzt werden, und ein bestimmter Arbeitsgang wird mit erhöhter Bearbeitungsgenauigkeit und verbessertem Wirkungsgrad durchgeführt.

Es ist zu beachten, daß anstelle der Drehzahl des Motors 7 auch dessen Drehmoment zur Konstanthaltung des Kontaktdrucks verstellbar ist. In diesem Fall kann bei einer Änderung des erfaßten Drucks der Anpreßdruck mit zunehmendem und abnehmendem Drehmoment des Motors erhöht bzw. vermindert werden.

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Ebenso kann das Drehmoment des Motors 7 erfaßt werden, um eine Änderung des Kontaktdrucks zu überwachen. Ferner ^ist es möglich, irgendeine andere Druckfühlereinheit, z. B. piezoelektrische Elemente, an einer geeigneten Stelle des Werkzeugs anzubringen, um Änderungen des Kontaktdrucks zu erfassen und dadurch die Drehzahl oder das Drehmoment des Motors 7 so zu verstellen, daß der Kontaktdruck gleichbleibend gehalten wird.

Durch die Schleif- oder Polierwirkung der Langglieder 6 des Werkzeugs an der Oberfläche S kann zwar ein befriedigender Werkzeugbetrieb erzielt werden; zur Erzielung noch weiter verbesserter Ergebnisse können natürlich auch noch andere Maßnahmen zusätzlich ergriffen werden. Z. B. können auf die Oberflächen der einzelnen Langglieder 6 harte Schleifmittelteilchen aufgebracht sein oder auch in Suspension in einer Arbeitsflüssigkeit eingesetzt werden, die dem Arbeitsspalt zuführbar ist. Die Arbeits- oder Kühlflüssigkeit ist vorteilhafterweise ein flüssiges Dielektrikum oder eine zum elektroerosiven Bearbeiten eingesetzte Arbeitsflüssigkeit, die nach dem vorhergehenden elektroerosiven Bearbeiten weiter einsetzbar ist. Zusätzlich oder alternativ kann zwischen Arbeitsteil 5 und Werkstück W ein elektrochemischer Bearbeitungsstrom in Anwesenheit eines Elektrolyten angelegt werden, so daß die Materialabtragung durch die Kombination elektrochemischer Zersetzung und mechanischen Schleifens erfolgt.

Das folgende Beispiel dient der Erläuterung der Erfindung. Normalerweise sind 35 Schleifsteine, bestehend aus 80 Vol.-% Siliciumcarbid, Rest Gummi, erforderlich, um ein Gußstück aus einer Nickel-Mangan-Eisen-Legierung s zu bearbeiten, daß seine Oberflächenrauhheit von 25 um R auf 0,2 um R ver-

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bessert wird, was ca. 3 h dauert. Bei einem Ausführungsbei-

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-IW-

spiel der Erfindung benötigt ein Arbeitsteil mit fünf Langgliedern aus Klavierdraht mit einer Länge von jeweils 30 mm und einem Durchmesser von jeweils 0,8 mm, die gleichbeabstandet auf einem Kreis von 5 mm Durchmesser am Ende eines Schafts angeordnet sind, der mit einer Drehzahl von 13 000 U/min umläuft, nur 12 min, um die gleiche Oberflächenbearbeitung auszuführen. Ferner kann ein einziges Arbeitsteil fünf gleichartige Werkstücke zu Fertigerzeugnissen bearbeiten. In diesem Fall können dem Bereich der Schleif-Zwischenflächen Diamantschleif teilchen zugeführt werden. Bei einem weiteren Vergleich benötigt ein herkömmliches "besenartiges" Polierwerkzeug, bestehend aus dichtgepackten Drähten (mehr als 100 zusammengefügten Litzen) 1,5 h zur Durchführung eines einzigen identischen Bearbeitungsvorgangs.

Die Fig. 5A-F zeigen verschiedene Formen von Arbeitsteilen 5, die jeweils durch mehrere Langglieder 6 gebildet sind, die einen mehr oder weniger "bleistift"- oder 'bchreibfeder"-förmigen, nach vorn konvergierenden Rotationskörper bilden. Insbesondere kann das Arbeitsteil 5 kegelstumpfförmig (Fig. 5A), spitzkegelig (Fig. 5B), einwärtsgewölbt konisch (Fig. 5C und 5D) oder kombiniert konus-zylinderförmig (Fig. 5E und 5F) sein.

Bei diesen Ausführungsbeispielen ist der Kreis (6a in Fig. 1), von dem die Langglieder 6 einzeln vorspringen, im wesentlichen deckungsgleich mit dem Durchmesser des Kopfs 3 des Schafts. Infolgedessen ist die Länge 1 des Arbeitsteils 5 in bezug auf den genannten Durchmesser D durch die Beziehung l/D* 0,5-1 gegeben.

Von den dargestellten verschieden geformten Arbeitsteilen 5 wird je nach der bestimmten Konfiguration und Größe einer zu behandelnden Oberfläche ein geeignetes ausgewählt. Wenn

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die zu bearbeitende Fläche eine Ausnehmung hat, hat das spitze Arbeitsteil leicht Zugang zu dieser. Während des Umlaufens der Welle 4 werden die Langglieder 6 zwangsläufig zu ihren freien Enden hin aufgeweitet und gelangen in wirksamen Kontakt mit der Wandung der Ausnehmung.

Die Fig. 6-8 zeigen eine Anordnung, mit der mehrere Langglieder 6 an einem Schaft 2 des Werkzeugs entweder sicher festlegbar oder damit lösbar verbindbar sind. Dabei weist der Kopf 3 des Schafts 2 eine mit der Welle k koaxiale Vertiefung 31 auf, die bevorzugt zu ihrem Oberende hin konisch verläuft. In der Vertiefung 31 ist ein Einsatz 32 angeordnet, der eine Mittenöffnung 32a hat, die einen Bolzen 33 aufnimmt, der sich in den Körper des Kopfs 3 koaxial damit erstreckt. Der Einsatz 32 ist mit axial verlaufenden Nuten 32b (vgl. Fig. 8) ausgebildet, die gleichbeabstandet um seinen Umfang gebildet sind und deren Anzahl der Anzahl der zu befestigenden Langglieder 6 entspricht.

Wenn die Langglieder 6 jeweils in Nuten 32b des Einsatzes gegen die Wandung der konischen Vertiefung 31 gehalten sind, wird der Bolzen 33 angezogen und legt die Langglieder 6 in ihrer Lage relativ zum Kopf 3 fest.

Die Fig. 9 und 10 zeigen eine andere Ausführungsform des Arbeitsteils 5, in dem die Mehrzahl Langglieder 61 entweder einzeln (vgl. Fig. 9) oder als Ganzes (vgl. Fig. 10) mit einem Natur- oder Kunstharz beschichtet sind. Nach dieser Vorbehandlung werden die Langglieder 61 an ihren Vorderenden abgerundet.

Eine Halterung für das Arbeitsteil 5 nach Fig. 11 verwendet ein Innenteil 35, das in die Vertiefung 31 im Kopf 3 des Schafts einschiebbar ist und mit der Welle 4· entweder einstückig ausgeführt oder ortsunveränderlich daran befestigt ist,

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Nach dem Festlegen der Langglieder 61 zwischen der Wandung der Vertiefung 31 und dem Innenteil 35 wird ein Bindemittel oder Lot 36 aufgebracht und füllt die Zwischenräume in der Vertiefung 31 aus und bewirkt nach dem Aushärten eine feste Verbindung der Langglieder 61, des Innenteils 35 und des Kopfs 3 miteinander, so daß das an dem Schaft 2 befestigte Arbeitsteil 5 in Umlaufbewegung versetzt werden kann. Die Befestigung ist leicht zerstörbar, wenn die Langglieder 61 ausgetausch werden sollen.

Fig. 12 zeigt eine weitere Ausführungsform des Werkzeugs, wobei jedes Langglied 61 oder wenigstens ein Teil jedes Langglieds 61, die z. B. aus rostfreiem Stahldraht, Kunststoffdraht oder Glasdraht bestehen, der gleichzeitig steif und federnd ist, auf seiner Oberfläche mehrere harte oder schleifend wirkende Stückchen 64 trägt, die voneinander beabstandet sind und bevorzugt aus Keramik bestehen. Die Stückchen 64 sind bevorzugt ebenfalls länglich und erstrecken sich in Axialrichtung der sie tragenden elastischen Langglieder 61.

Wie bei den bereits erläuterten Ausführungsformen umfaßt das Arbeitsteil 5 Langglieder 61, die gleichbeabstandet auf einem Kreis 6a am Kopf 3 festgelegt sind (vgl. die Fig. 13A, 13B und 13C) und die einzeln gering einwärts geneigt sind (vgl. Fig. 14A), so daß, wenn die Welle 4 mit einer Betriebsdrehzahl von 1000-20 000 U/min umläuft, sie sich federnd nach außen zu ihren Vorderenden 66 hin aufweiten (vgl. Fig. 14B), so daß sie sich im wesentlichen parallel zu der Achse der Welle 4 und des Kopfs 3 ausrichten.

Eine weitere Ausführungsform des Werkzeugs 1 nach Fig. 16 wird einfach aus einem langen Rohr 36, einer Welle 37 und einer Spannhülse 38 hergestellt (vgl. Fig. 15). In diesem

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Fall ist das lange Rohr 36 mit einer Mehrzahl von gleichbeabstandeten und axial verlaufenden Einschnitten 361 ausgebildet, die von einem Rohrende her über eine bestimmte beträchtliche Länge des Rohrs verlaufen.

Infolge dieser gezahnten Ausbildung sind mehrere ringförmig angeordnete, gleichbeabstandete und in Längsrichtung verlaufende Langglieder 362 gebildet, die parallel zueinander mit gleicher Länge vom äußeren Endabschnitt vorspringen und die in Verbindung mit dem eine Halterung bildenden Endteil wirksam als schleifende oder polierende Arbeitsglieder in der gleichn Weise und mit der gleichen Funktion wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen dienen.

Nach Bildung der Zähne 361, 362 kann der gezahnte Teil des Rohrs 36 mechanisch verformt werden, so daß er nach vorn konvergiert, wonach die Welle 37 in das bearbeitete Rohr 36 von deren unbearbeitetem Ende her eingesetzt und festgelegt wird; dann wird die Spannhülse 38 auf den ungezahnten Abschnitt des Rohrs 36 geschoben und umschließt diesen eng, wobei die Welle 37 ortsunveränderlich festgelegt ist (vgl. Fig. 16).

Vorteilhafterweise erfolgt das Festlegen der Welle 37 mit dem Rohr 36 sowie des Rohrs mit der Spannhülse 33 mit Hilfe eines Klebstoffs, z. B. eines Phenol- oder Epoxid-Klebers oder alternativ durch Schweißen, Hartlöten oder Löten. Der das Rohr 36 bildende Werkstoff ist vorteilhafterweise rostfreier Stahl, Flußstahl, gehärteter Stahl, Kupfer, Messing oder eine gehärtete Legierung. Die Fig. 17A-C zeigen Abwandlungen eines Rohrs 36, das mit Einschnitten unterschiedlicher Formen ausgebildet ist, so daß Langglieder mit erwünschtem Querschnitt gebildet sind.

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Die Fig. 18A und 18B zeigen weitere Ausführungsformen des Werkzeugs, wobei auf den vorderen Endabschnitt jedes Langglieds 6 eine dünne Schleifmittelschicht 64 aufgebracht ist; dabei sind die Langglieder 6 ursprünglich einzeln vorgesehen und werden anschließend zusammengefügt (vgl. Fig. 18A). Fig. 18B zeigt Langglieder 36, die durch die Zahnbildung 361, 362 erhalten wurden und die dünne Schleifmittelschicht 64· tragen. Die Zähne werden dabei in der vorher erläuterten Weise gebildet. Die Schleifmittelschicht kann Schleifpartikel aus Diamant, Al₂O₃, BN, Zr₂O₃, SiC, SiO₂, WC, TiC, TaC etc. enthalten, die durch galvanische Metallabscheidung, Sintern, Schweißen oder Verkleben miteinander verbunden sind.

Das Werkzeug nach Fig. 19 umfaßt ein Rohr 46 mit durch Zahnungen 461, 462 gebildeten Langgliedern an einem Ende und einer in das Rohr am anderen Ende eingesetzten Welle 47, wobei das Vorderende jedes Langglieds eine Schleifmittelschicht 464 der beschriebenen Zusammensetzung aufweist. Dabei ist der Halteabschnitt des Rohrs 46 in einem rohrförmigen Gehäuse 48 eingeschlossen, und der dazwischen befindliche Zwischenraum ist mit einem Klebstoff gefüllt, der das Gehäuse 48, das Rohr 46 und die Welle 47 miteinander verbündet.

Das erläuterte Schleif- oder Polier-Oberflächenbearbeitungs-Werkzeug 1 kann in einfacher Weise in einer Einheit 100 mit einem Motor 7 und einem Verbindungsfutter θ (vgl. die Fig. 2 und 3) an dem Werkzeugträger 10 bzw. 19 in der elektroerosiven Bearbeitungsmaschine 9 bzw. 18 montiert werden, wobei das vorher elektroerosiv bearbeitete Werkstück W in der Bearbeitungsstellung bleibt. Dann wird die Vorschubeinheit 16, 17, 20 in Verbindung mit einem vorher zum elektroerosiven Bearbeiten verwendeten Vorschubprogramm dazu benutzt, das Schleifwerkzeug-Arbeitsteil 5 mit einer genauen Abtastbewegung relativ zu der bearbeiteten

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Werkstückoberfläche S zu beaufschlagen. Das Ergebnis ist eine sehr genaue und gleichmäßige Endbearbeitung über den gesamten maschinell bearbeiteten Oberflächenbereich des Werkstücks. Dadurch, daß von der abtragenden Bearbeitung bis zur Oberflächen-Endbehandlung nur eine gemeinsame Einrichtung erforderlich ist, ist die Werkstückbearbeitung kostengünstig und mit hohem Wirkungsgrad durchführbar.

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Claims

Ansprüche

GjElektroerosive Bearbeitungsmaschine , mit einem Werkzeugträger für die Werkzeugelektrode, der die Werkzeugelektrode in einer Arbeitsstellung relativ zu einem Werkstück positioniert,

- mit einem Werkstückspanntisch für das Werkstück, und

- mit einer Vorschubeinrichtung zum Verschieben von Werkzeugträger und Werkzeugspanntisch relativ zueinander, so daß mit der Werkzeugelektrode ein elektroerosives Abtragen des Werkstücks durchführbar ist,

gekennzeichnet durch

- eine Schleif- oder Polier-Werkzeugeinheit, die an dem Werkzeugträger (10) lösbar befestigbar ist und zum Oberflächenbearbeiten des elektroerosiv bearbeiteten Werkstücks (W) dient und umfaßt:

- einen umlaufenden Schaft (2),

- mehrere Langglieder (6; 61; 362; k&Z) mit jeweils einem freien Ende, deren andere Enden an dem Schaft (2) festgelegt sind derart, daß sie miteinander einen nach vorn konvergierenden Rotationskörper um die Achse (2a) des Schafts (2) bilden, und

- eine Motoreinheit (7) zum Drehen des Schafts (2), so daß die Langglieder (6; 61; 362; ^62) um die Schaftachse (2a) umlaufen,

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ORIGINAL INSPECTED

- wodurch die Erzeugende des durch die umlaufenden Langglieder (6; 61; 362; 462) gemeinsam gebildeten Rotationskörpers zu den freien Langglieder-Enden hin eine Aufweitung erfährt und als Schleif- oder Poliermittel an der elektroerosiv bearbeiteten Werkstückoberfläche (S) wirkt,

- wobei die Werkzeugeinheit an dem Werkzeugträger (10) durch die Vorschubeinrichtung relativ zu dem Werkstück (W) auf dem Werkstückspanntisch (15) verschoben wird und wenigstens ein ausgewählter Teil der Werkstückoberfläche (S) von dem Schleif- oder Poliermittel überstrichen und dadurch endbearbeitet wird.
2. Maschine nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Werkstoff der Langglieder (6; 61; 362; UrGZ) Klavierdrahtstahl, Flußstahl, gehärteter Stahl, Schnellstahl, rostfreier Stahl, Messing, Wolframcarbid, Titancarbid, Tantalcarbid, eine Titan-Nickel-Legierung, eine Kupfer-Beryllium-Legierung, Eisen, Aluminium, Nickel, Wolfram, Molybdän, Kupfer, eine Kupfer-Zinn-Legierung, Borcarbid, eine Eisen-Chrom-Legierung, Kunststoff, Graphit oder Glas ist.
3. Maschine nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Langglieder (6; 61; 362; 4-62) einen Durchmesser im Bereich von 0,1-2 mm haben.
4. Maschine nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Durchmesser im Bereich von 0,5-1 mm liegt.
5. Maschine nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Langglieder (6; 61; 362; 462) in einer Anzahl von 3-20 auf einem Kreis (6a) angeordnet sind.

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6. Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Langglied (6; 61) um eine Länge von X mm vom Schaft (2) vorspringt und die Langglieder auf einem Kreis (6a) mit einem Durchmesser von D mm angeordnet sind, wobei //D wenigstens 0,5-1 ist.
7. Maschine nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser D im Bereich von 2-8 mm liegt.
Θ. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Motoreinheit (7) den Schaft (2) in einem Drehzahlbereich von 500-50 000 U/min dreht.
9. Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehzahlbereich zwischen 500 und 20 000 U/min liegt.
10. Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehzahlbereich zwischen 5000 und 50 000 U/min liegt.
11. Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaft (2) mit einer Drehzahl umläuft, die ausreicht, um den Rotationskörper mit einer Umfangsgeschwindigkeit im Bereich zwischen 1-15 m/s zu drehen.
12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Langglieder (6; 61) Winkelquerschnitt haben.

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13. Maschine nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch ein Glied (22) zum Erfassen des Kontaktdrucks zwischen den umlaufenden Langgliedern (6; 61) und der elektroerosiv bearbeiteten Werkstückoberfläche (S), und ein Glied (21) zum Steuern des Motors (7) derart, daß der Kontaktdruck im wesentlichen gleichbleibend gehalten wird.
14. Maschine nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Erfassungsglied ein Fühler (22) für den elektrischen Widerstand zwischen den Langgliedern (; 61) und der Werkstückoberfläche (S) ist.
15. Maschine nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Erfassungsglied einen Fühler für das Drehmoment des Motors (7) umfaßt.
16. Maschine nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerglied (21) die Motordrehzahl steuert.
17. Maschine nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerglied (21) das Motordrehmoment steuert.
18. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Langglieder (6; 61) an dem Schaft (2) lösbar befestigt sind.
19. Maschine nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet,

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daß der Schaft (2) einen Kopf (3) zur Halterung der Langglieder (6) und eine Welle (4) mit vermindertem Durchmesser aufweist, wobei der Kopf (3) eine Ausnehmung (31) und einen mit dem Kopf (3) in der Ausnehmung (31) verschraubbareη (32a) Einsatz (32) umfaßt, so daß die Langglieder (6) zwischen dem Einsatz (32) und der Wandung der Ausnehmung (31) sicher gehalten sind (Fig. 6).
20. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Langglieder (61) wenigstens teilweise mit einem harten Material (64-) beschichtet sind (Fig. 14-, 18, 19).
21. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf den Oberflächen der Langglieder (61) wenigstens über einen Teil ihrer Länge Stückchen (64) aus hartem Material im Abstand voneinander befestigt sind (Fig. 14).
22. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Langglieder (61) ein in einer Metallgrundmasse gesintertes hartes Material aufweisen.
23. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Langglied (6; 61) ein nichtmetallischer Körper aus Kunststoff, Glas oder Graphit ist, in dem Teilchen eines harten Materials eingebettet sind.
24. Maschine nach einem der Ansprüche 20-23, dadurch gekennzeichnet, daß das harte Material Diamant, Bornitrid, Keramik, Siliciumcarbid, ein Metalloxid oder ein Metallcarbid ist.

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25. Maschine nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Werkzeugeinheit dadurch gebildet ist, daß ein Rohrstück (36) mit einer Mehrzahl von axial verlaufenden Einschnitten (361) versehen ist, die von einem Rohrende bis zu einer vorbestimmten Tiefe eingeschnitten sind und gleichbeabstandet um das Rohrstück verlaufen zur Bildung einer Mehrzahl von Langgliedern (362), die vom anderen Ende des Rohrstücks (36) gleichmäßig vorspringen, und daß dieses Rohrstück (36) mit einer Welle (37) und einer Spannhülse (38) verbunden und zwischen beiden (37, 38) im Bereich seines äußeren Endes fest gehalten ist (Fig. 15, 16).
26. Verfahren zum Oberflächenbearbeiten einer elektroerosiv bearbeiteten Werkstückoberfläche,

gekennzeichnet durch

die folgenden Schritte:

a) elektroerosives Bearbeiten eines auf einem Werkstückspanntisch befindlichen Werkstücks mit einer an einem Werkzeugträger befestigten Werkzeugelektrode;

b) Bilden eines Schleif- oder Polierwerkzeugs mit einem umlaufenden Schaft und einer Mehrzahl winkelmäßig beabstandeter Langglieder, deren eine Enden an dem Schaft befestigt sind und die davon vorspringen und miteinander in der Ruhelage einen nach vorn konvergierenden Rotationskörper um die Schaftachse bilden;

c) Befestigen des Werkzeugs an dem Werkzeugträger;

d) Drehen des Werkzeugs um die genannte Achse, so daß die den Rotationskörper bildenden Langglieder vom Schaft weg nach vorn aufgeweitet werden;

e) Anlegen des umlaufenden Werkzeugs an die elektroerosiv bearbeitete Werkstückoberfläche auf dem Werkstückspanntisch; und

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f) Verschieben des Werkzeugträgers und des Werkstückspanntischs relativ zueinander, so daß die Werkstückoberfläche von den Erzeugenden des das Schleifmittel bildenden Rotationskörpers überstrichen wird und die Werkstückoberfläche bei umlaufendem Werkzeug endbearbeitet wird.
27. Verfahren nach Anspruch 26,
dadurch gekennzeichnet,

daß das Werkzeug mit einer Drehzahl im Bereich von 500 und 50 000 U/min gedreht wird.
28. Verfahren nach Anspruch 26,
gekennzeichnet durch

Überwachen der Kraft, mit der der Rotationskörper gegen die Werkstückoberfläche gedrückt wird; und Verstellen dieser Kraft derart, daß sie gleichbleibend gehalten wird.

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