DE4436663C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche eines Gegenstandes. Vorzugsweise bildet dieser Gegenstand ein spanabhebendes Werkzeug, z. B. ein Schneidwerkzeug.
Aus der DE 41 47 620 A1 und aus der EP 0 548 932 A1 ist es bekannt, bei der Bearbeitung der Oberfläche eines Gegenstandes im Wege einer elektrischen Entladung eine Bearbeitungslösung vorzusehen, welche Pulver von Zirkonium, Silizium, Tantal, Wolframcarbid, Zirkoniumborid oder Keramikmaterialien enthält.
Aus den Druckschriften JP 57-173 423 A, DE 40 02 810 C2 (= US 5 049 715)und DE 35 33 002 C2 (= US 4 764 653) ist es bekannt, während der elektrischen Entladung eine Elektrode und einen ein Werkstück bildenden Block relativ gegeneinander zu drehen.
Eine aus der Veröffentlichung in "Electrical Machining Technology", Vol. 16, No. 53 (1992), Seiten 38-43, bekannte Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche einer Metallform wird im folgenden anhand von Fig. 12 der Zeichnungen näher beschrieben. Darin ist ein Werkstück 1, dessen Oberfläche bearbeitet werden soll, in der Nähe einer Elektrode 2 angeordnet, die durch eine Spindel 3 gehalten wird. Diese kann durch eine nicht dargestellte Antriebseinrichtung in vertikaler Richtung bewegt werden. Die Elektrode 2 ist in einem Bearbeitungsbad 4 angeordnet, das ein Dielektrikum 5 enthält. Dieses ist mit einem Pulver aus Änderungsmaterial versehen. Eine Energieversorgungseinrichtung 6 liefert die für den Bearbeitungsvorgang notwendige Energie. Dabei sind die nachfolgend aufgeführten Bearbeitungsbedingungen gegeben.
Werkstück: SKH51(61)
Elektrode: Kupfer (15 × 15 mm)
Dielektrikum: Kerosin für Beleuchtungszwecke
Zusatzpulver: nicht wahrnehmbares Wolframpulver
Korndurchmesser: 1,3 µm Rmax
Zugefügte Menge: 20 g /1000 ml Beleuchtungskerosin
Leerlaufspannung: 80 (V)
Spitzenstrom: 2,5, 5, 10, 20 (A)
Impulsbreite: 5, 10, 20
Tastverhältnis: 0,3 (konstant)
Im Betrieb wird eine Impulsspannung zwischen dem Werkstück 1 und der Elektrode 2 von der Bearbeitungsenergieversorgung 6 aus angelegt, um eine elektrische Entladung zu erzeugen. Die Elektrode 2 wird zusammen mit der Spindel 3 beim Bearbeitungsvorgang in der Vertikalrichtung (der Richtung der Z-Achse) durch den Antrieb (nicht gezeigt) servo-getrieben. Da das Dielektrikum 5 ein nicht wahrnehmbares Wolframpulver enthält, veranlaßt die elektrische Entladung das Basismetall des Werkstückes 1 zum Schmelzen auf der Oberfläche des Werkstückes 1, und das Wolframpulver in dem Dielektrikum 5 zum Eintreten in die Oberfläche, wodurch eine Änderungsschicht, nämlich eine Wolframlegierungsschicht, auf der Oberfläche des Werkstückes 1 ausgebildet wird. Der Literatur ist zu entnehmen, daß eine besonders gleichmäßige Änderungsschicht durch eine elektrische Entladung mit positiver Polarität zur Verfügung gestellt wird (Elektrode negativ, Werkstück positiv). Weiterhin ist auf diesem Gebiet der Technik bekannt, daß eine entsprechende Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche durch eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung ausgebildet wird, bei welcher ein Dielektrikum eingesetzt wird, welches Siliziumpulver, Chrompulver oder dergleichen enthält, wodurch eine hohe Korrosionsfestigkeit und Verschleißfestigkeit zur Verfügung gestellt werden.
Als ein ähnliches Verfahren zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche beschreibt die japanische Veröffentlichung eines offengelegten Patents JP 2 83119 A ein Verfahren, bei welchem ein Pulvermaterial zur Ausbildung einer Oberflächenschicht zwischen einer Elektrode und einem Werkstück vorgesehen wird, so daß eine oszillierende Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung durchgeführt wird. Bei diesem Verfahren ist ein Material zur Ausbildung einer Oberflächenschicht auf dem Werkstück in einem Arbeitsspalt als Pulver vorgesehen, und es wird eine oszillierende Bearbeitung mit elektrischer Entladung durchgeführt, um ein Fixieren des Pulvers aus einer Substanz zu verhindern, die zur Oberflächenbehandlung verwendet wird, wodurch eine gleichmäßige Änderungsschicht zur Verfügung gestellt werden kann, und die Gleichförmigkeit der bearbeiteten Materialoberfläche aufrechterhalten werden kann.
Ein konventionelles Verfahren bzw. eine konventionelle Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung mittels einer Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung, wie sie voranstehend beschrieben wurden, erlaubten zwar die Oberflächenbehandlung eines geänderten Materials mit einfacher Form, jedoch war es schwierig, eine Oberflächenbehandlung bei komplizierten Formen durchzuführen. Insbesondere bei der Oberflächenbearbeitung eines Schneidwerkzeuges sind dessen Schneidkanten kompliziert ausgebildet und hängen wesentlich von der Art des Werkzeugs ab. Wenn eine Elektrode zur Oberflächenbehandlung eines Werkzeugs eingesetzt wird, so ist es daher erforderlich, eine Elektrode mit komplizierter Form entsprechend den Schneidkanten des Werkzeuges herzustellen, oder eine komplizierte Elektrodenbewegungsbahn entsprechend der Form der Schneidkante zu programmieren, was einen beträchtlichen Arbeitsaufwand und Kosten für die Elektrodenherstellung, die Programmierung und die Bearbeitungsverfahren erfordert. Bei Bearbeitungswerkzeugen ist zu berücksichtigen, daß die Bearbeitungswerkzeuge nach Gebrauch zum Aufarbeiten normalerweise geschliffen werden, und zwar mit einer Schleifmaschine. Da bei den voranstehend beschriebenen PVD- oder CVD-Verfahren verhältnismäßig hohe Gerätekosten auftreten, ist es selten, daß das Bearbeitungswerkzeug mittels PVD oder CVD kopiert wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche eines Gegenstandes anzugeben bzw. zu schaffen, um auch für solche Bereiche des Gegenstandes, die besonders hohen Belastungen ausgesetzt sind, z. B. für Schneidkanten eines rotierenden Schneidwerkzeugs, eine vergleichsweise hohe Beständigkeit und Verschleißfestigkeit zu erzielen und damit die gesamte Dauer der uneingeschränkten Verwendbarkeit des Gegenstandes zu verlängern.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 bzw. des Patentanspruchs 17 gelöst.
Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den diesen Ansprüchen jeweils nachgeordneten Unteransprüchen.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind im folgenden anhand von Fig. 1 bis 11 der Zeichnungen näher beschrieben.
In den Zeichnungen zeigen, jeweils in schematischer Darstellung,
Fig. 1 eine erste Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2A ein Werkzeug während einer elektrischen Entladung bei geringer Vorschubgeschwindigkeit teils in Seitenansicht,
Fig. 2B den Gegenstand von Fig. 2A in der Draufsicht,
Fig. 2C eine Signalform bei abwechselnden Vorgängen von Schneiden und elektrischer Entladung,
Fig. 2D eine Veranschaulichung des Bearbeitungsmechanismus an Schneidkanten bei abwechselnden Vorgängen von Schneiden und elektrischer Entladung,
Fig. 3A bis 3C Diagramme zur Veranschaulichung von miteinander zusammenhängenden Beziehungen von Bearbeitungsgrößen,
Fig. 4A und 4B abwechselnde Prozesse der Oberflächenbehandlung einer Werkzeugkante,
Fig. 4C die Veranschaulichung von Wirkungen von Prozessen gemäß Fig. 4A und 4B auf eine Werkzeugkante bzw. Werkzeugklinge,
Fig. 5 eine weitere Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 6 ein Diagramm zur Darstellung der Abhängigkeit der Schichtdickenänderung von der Drehzahl eines Werkzeuges,
Fig. 7 eine weitere Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 8A und 8B Schneidvorgänge und elektrische Entladung bei unterschiedlichen Vorschubgeschwindigkeiten,
Fig. 9A und 9B eine weitere Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 10A und 10B alternative Prozesse zur Durchführung von Vorgängen zur elektrischen Entladung und zum Schneiden bis zu einem Endbearbeitungsschritt,
Fig. 11 eine weitere Ausführungsform der Erfindung und
Fig. 12 eine bekannte Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung durch Bearbeitung mit elektrischer Entladung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird im folgenden eine erste Ausführungsform der Erfindung näher beschrieben.
In Fig. 1 bezeichnet 101 ein drehbares Schneidwerkzeug, (beispielsweise einen Stirnflächenfräser oder einen Bohrer, bei welchem eine Oberflächenbehandlung durchgeführt werden soll, und mit 102 ist ein Pulverkompaktblock bezeichnet, der durch Formen des Pulvers eines Änderungsmaterials hergestellt wurde, also durch eine Sinterformung des Pulvers aus W-C (Wolframkarbid) in einer Mischung mit Co (Kobalt) als Abänderungsmaterial. Mit 3 ist eine Spindel bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 in der Vertikalrichtung (der Richtung der Z-Achse) bewegt, 4 bezeichnet ein Bearbeitungsbad, in welchem der Pulverkompaktblock 102 befestigt ist, und welches mit einem Dielektrikum für die Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung gefüllt ist, 6 bezeichnet eine Energieversorgung für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung, welche eine Spannung zwischen das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und den Pulverkompaktblock 102 anlegt, 7 bezeichnet ein Dielektrikum, und 8 bezeichnet eine Aufspannvorrichtung, beispielsweise ein Dreibackenfutter mit automatischer Zentrierung, welches das sich drehende Schneidwerkzeug 101 hält. 9 bezeichnet eine Drehvorrichtung, welche das sich drehende Schneidwerkzeug dreht, 10 bezeichnet einen Elektrodendrehmotor, welcher die Drehvorrichtung 9 dreht, 11 bezeichnet einen X-Achsen-Antrieb, welcher das Bearbeitungsbad 4 zusammen mit dem Pulverkompaktblock 102 in der X-Richtung bewegt, 12 bezeichnet einen Y-Achsen-Antrieb, welcher das Bearbeitungsbad in der Y-Richtung antreibt, 13 bezeichnet einen Z-Achsen-Antrieb, welcher die Spindel 3 zusammen mit dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 in der Z-Richtung antreibt (Vertikalrichtung), 14 bezeichnet einen Arbeitsspaltdetektor, welcher eine Arbeitsspaltspannung oder einen Kurzschluß zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Pulverkompaktblock 102 erfaßt, und 15 bezeichnet eine Steuer- oder Regelvorrichtung, welche die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 und des Pulverkompaktblocks 102 entsprechend dem Meßergebnis des Arbeitsspaltdetektors 14 steuert oder regelt.
Nunmehr wird der Betriebsablauf beschrieben. Das sich drehende Schneidwerkzeug 101, welches von der Spannvorrichtung 8 gehalten wird, wird durch die Drehvorrichtung 9 gedreht, und das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Pulverkompaktblock 102 werden in Bezug aufeinander durch die X-, Y- und Z-Antriebe 11, 12, 13 bewegt, um den Pulverkompaktblock 102 zu schneiden. Genauer gesagt wird, wenn das sich drehende Schneidwerkzeug 101 ein Stirnflächenfräser ist, das Schneiden in den Seitenrichtungen (X-, Y-Richtungen) ausgeführt, und wenn das sich drehende Schneidwerkzeug 101 ein Bohrer ist, so wird das Schneiden in der Achsenrichtung (Z-Achsen-Richtung) ausgeführt. Da die EDM-Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Pulverkompaktblock 102 durch die Energieversorgung 6 für die elektrische Entladungsbearbeitung angelegt ist, tritt eine elektrische Entladung in dem Arbeitsspalt auf, wenn das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Pulverkompaktblock 102, die miteinander in Berührung stehen, beim Schneidvorgang getrennt werden. Da das Änderungsmaterial (W-C) in den Arbeitsspalt in Form von Pulver als Ergebnis des Schneidens hineingelangt, veranlaßt die elektrische Entladung das W- C-Pulver in dem Dielektrikum dazu, in die Schneidkantenoberfläche des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 hinein zu gelangen. Durch ordnungsgemäße Steuerung der Vorschubrate des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 wie voranstehend erläutert wird die Bearbeitung aufeinanderfolgend so durchgeführt, daß sich das Schneiden und die elektrische Entladung abwechseln, um eine gleichmäßige Änderungsschicht, also eine W-C- Legierungsschicht, auf den Schneidkanten auszubilden. Fig. 2A und 2B sind eine Seitenansicht und eine Aufsicht, welche den Bearbeitungsmechanismus gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen, und Fig. 2C zeigt die Wellenform einer Spannung im Spalt zwischen den Elektroden. Wie in dem Signalformdiagramm gezeigt ist, werden eine Schneidperiode und eine Entladungsperiode wiederholt, mit einer Frequenz von mehreren Millisekunden bis zu mehreren zig-Millisekunden. Genauer gesagt wird ein Kurzschlußzustand während der Schneidperiode aufrecherhalten, wogegen eine elektrische Entladung kontinuierlich während der Entladungsperiode erzeugt wird. Die Entladung- und Schneidbearbeitung wird, wie in Fig. 2D gezeigt ist, durch Wiederholung der Schneidperiode und der EDM-Periode durchgeführt, so daß in der Wirkung ein Schneiden des Werkstücks 102 durch die Kante 101 erzielt wird, ebenso wie ein wirksamer Schutz der Kante 101.
Um den voranstehend geschilderten, kontinuierlichen Prozeß des Schneidens und der elektrischen Entladung aufrecht zu erhalten, ist die Steuerung oder Regelung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit (Vorschubrate) des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 wesentlich. Während nämlich die Steuerung so durchgeführt wird, daß eine Sicherheits- Elektrodenbewegungsbahn beim Auftreten eines Kurzschlusses oder dergleichen zur Verfügung gestellt wird (Kurzschluß- Sicherung), bei der üblichen Bearbeitung mit elektrischer Entladung, muß eine Sicherheit für einen Kurzschluß nicht häufig bei der Bearbeitung gemäß der Erfindung durchgeführt werden, da der Kurzschluß durch Schneiden überwunden wird. Da im Gegensatz hierzu die Bearbeitung hauptsächlich durch eine elektrische Entladung erfolgt, wenn der Rückziehvorgang der Elektrode zu häufig durchgeführt wird, so wird die Konzentration des Änderungsmaterialpulvers in dem Arbeitsspalt durch Schneiden verringert, was den Oberflächenänderungseffekt verringert. Beim vorliegenden Bearbeitungsvorgang ist es daher vorzuziehen, das Elektrodenrückziehverhältnis und die Elektrodenvorschubrate zu steuern, so daß eine Schneidbearbeitung und eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung im geeigneten Verhältnis durchgeführt werden. Zu diesem Zweck erfaßt der Arbeitsspaltdetektor 14 in Fig. 1 die Arbeitsspaltspannung in dem Arbeitsspalt und verwendet diese als Durchschnittsspannung, um eine Frequenz für die elektrische Entladung zu erfassen, also einen Betrag entsprechend dem Betrag für die Bearbeitung mittels elektrischer Entladung, in dem Arbeitsspalt. Unter Verwendung dieses Ergebnisses und der momentanen Werkzeugvorschubrate stellt die Steuervorrichtung 15 das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung (spanabhebenden Bearbeitung) fest und ändert und steuert die Werkzeugvorschubrate, um dieses Verhältnis auf einem geeigneten Wert zu halten. Durch Änderung der Werkzeugvorschubrate und Änderung des Verhältnisses der Schneidbearbeitung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung kann die Dicke der Änderungsschicht geändert werden. Mit anderen Worten läßt eine hohe Vorschubrate in der Anfangsstufe der Behandlung die Ausbildung einer Dickenänderungsschicht zu, und eine niedrige Vorschubrate bei der Endbearbeitung führt dazu, daß die endbearbeitete Änderungsschicht gleichmäßig ausgebildet ist.
Die Fig. 3A bis 3C zeigen miteinander in Beziehung stehende Diagramme, welche das Ergebnis einer Steuerung der Entladungs- und Schneidbearbeitung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Nach einer Vorbehandlung wird eine Steuerspannung auf 18 Volt eingestellt, und eine Werkzeugvorschubrate auf 0,1 mm/Minute, so daß die Rate der elektrischen Entladung 50% beträgt (wobei die Rate der Schneidbearbeitung auf 50% eingestellt ist). In diesem Zustand beträgt die Pulverdichte im Raum zwischen den Elektroden etwa 20 g/l, was dazu führt, daß eine dicke W-C-Schicht auf der Oberfläche des Werkzeugs ausgebildet wird. Nach der Endbehandlung wird daraufhin die Steuerspannung auf 44 Volt eingestellt, und die Werkzeugvorschubgeschwindigkeit auf 0,03 mm/Minute, so daß die Rate der elektrische Entladung 90% beträgt (wobei die Rate für das Schneiden auf 10% eingestellt ist). In diesem Zustand ist die Pulverdichte auf etwa 5 g/l verringert, so daß die dicke W-C-Schicht eine Umschmelzbehandlung erfährt, um auf dieser eine feine, verbesserte Oberfläche zu erzeugen.
Die Stabilität der elektrischen Entladung wird ebenfalls durch die Drehgeschwindigkeit des sich drehenden Schneidwerkzeugs beeinflußt. Eine zu hohe Drehgeschwindigkeit verursacht nämlich die Bewegung eines elektrischen Entladungspunktes während des Zeitraums eines einzelnen Entladungsimpulses in dem Arbeitsspalt, was es schwierig macht, einen Entladungslichtbogen aufrechtzuerhalten, und den Wirkungsgrad der elektrischen Entladung verringert, so daß daher mit höherer Drehgeschwindigkeit der Schneidwirkungsgrad absinkt.
Der Wirkungsgrad nimmt zu, wogegen der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung abnimmt und das Schneidverhältnis zunimmt. Im Gegensatz hierzu sinkt, wenn die Drehgeschwindigkeit niedriger ist, der Schneidwirkungsgrad ab, und steigt der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung an. Daher kann das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zum Schneiden auch durch die Drehgeschwindigkeit geändert werden. Da die Oberflächengeschwindigkeit selbst bei derselben Umdrehungsgeschwindigkeit vom Werkzeugdurchmesser abhängt, wird vorzugsweise eine Steuerung zur Bereitstellung einer ordnungsgemäßen Drehgeschwindigkeit entsprechend dem Werkzeugdurchmesser durchgeführt.
Die Fig. 4A und 4B sind Diagramme, welche die Schritte der Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Wie in Fig. 4A gezeigt ist, wird die Behandlung dadurch durchgeführt, daß eine Kombination einer Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung und des Schleifens eines Werkzeugs durchgeführt wird. Alternativ hierzu kann, wie in Fig. 4B gezeigt ist, die Behandlung dadurch erzielt werden, daß nur die Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung durchgeführt wird, ohne Schleifen. Im Falle des in Fig. 4A gezeigten Prozesses wird, nachdem die Oberflächenbehandlung durchgeführt wurde, das Werkzeug an einer Werkzeugschleifvorrichtung angebracht, um eine Schneidklinge des Werkzeugs zu schleifen. Andererseits wird in dem Fall des in Fig. 4B gezeigten Prozesses die Endbearbeitung durch die elektrische Entladung statt durch einen Werkzeugschleifvorgang durchgeführt. Die Endbearbeitung wird statt des Schleifens der Schneidklinge dadurch erzielt, daß die elektrische Energie bei der Endbearbeitung mit elektrischer Entladung verringert wird, um so eine feine Oberfläche fertigzustellen. Das Ergebnis der beiden Prozesse ist in Fig. 4C gezeigt.
Nachdem die Änderungsschicht auf den Schneidkanten in einem der genannten Prozesse ausgebildet wurde, wird die Energiequelle 6 für die elektrische Entladung so gesteuert oder geregelt, daß sie das Anlegen der Spannung zwischen den Elektroden stoppt. Daraufhin wird für einen gewissen Zeitraum nur ein Schneidvorgang durchgeführt, wodurch die Schneidkanten, an welchen die Änderungsschicht ausgebildet wurde, geschliffen werden, um hervorragende Schneidkanten auszubilden, bei welchen Entladungspunkte auf der Oberfläche entfernt wurden. Zu diesem Zeitpunkt wird empfohlen, auch eine Umkehroperation bezüglich der Werkzeugdrehrichtung, der Relativbewegung in der Werkzeugachsenrichtung oder dergleichen durchzuführen.
Es wird darauf hingewiesen, daß die Bearbeitung durchgeführt werden kann, während das Werkzeug in ein Bearbeitungsbad 4 eingetaucht wird, welches mit einem Dielektrikum gefüllt ist, oder daß die Bearbeitung ausgeführt werden kann, während das Werkzeug mit beispielsweise einem nicht-brennbaren Fluid besprüht wird, welches als Dielektrikum verwendet wird.
Die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nunmehr auf der Grundlage von Fig. 5 beschrieben, wobei 101 ein sich drehendes Schneidwerkzeug bezeichnet, beispielsweise einen Bohrer, welches eine Oberflächenbehandlung erfahren soll, und 102 einen Pulverkompaktblock bezeichnet, der durch Ausformung des Pulvers eines Änderungsmaterials hergestellt wurde, also durch Sinterformen eines Pulvers aus W-C (Wolframkarbid) gemischt mit Co (Kobalt) als Änderungsmaterial. 3 bezeichnet eine Spindel, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 in der Vertikalrichtung bewegt (Z-Achsen-Richtung), 8 bezeichnet eine Spannvorrichtung, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 haltert, 16 bezeichnet eine Spannvorrichtung, welche den Pulverkompaktblock 102 haltert, 17 bezeichnet eine Drehvorrichtung, welche den Pulverkompaktblock 102 dreht, 18 bezeichnet einen Drehmotor, welcher die Drehvorrichtung 17 dreht, 13 bezeichnet einen Z-Achsen-Antrieb, welcher die Spindel 3 zusammen mit dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 in der Z-Richtung (Vertikalrichtung) antreibt, 6 bezeichnet eine Energieversorgung für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung, welche eine Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Pulverkompaktblock 102 anlegt, 7 bezeichnet ein Dielektrikum, 19 bezeichnet Dielektrikum- Zufuhrdüsen, welche den Arbeitsspalt mit dem Dielektrikum versorgen, 14 bezeichnet einen Arbeitsspaltdetektor, welcher eine Arbeitsspaltspannung oder einen Kurzschluß zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Pulverkompaktblock 102 erfaßt, und 15 bezeichnet eine Steuer- oder Regelvorrichtung, welche die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 und des Pulverkompaktblocks 102 entsprechend dem Meßergebnis des Arbeitsspaltdetektors 14 steuert.
Nunmehr wird der Betriebsablauf beschrieben. Der von der Spannvorrichtung 16 gehaltene Pulverkompaktblock 102 wird durch die Drehvorrichtung 17 gedreht, und das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Pulverkompaktblock 102 werden in Bezug aufeinander durch den Z-Achsen-Antrieb 13 so bewegt, daß der Pulverkompaktblock 102 geschnitten wird. Da die Bearbeitungsspannung für die elektrische Entladung zwischen das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und den Pulverkompaktblock 102 durch die Energieversorgung 6 für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung angelegt ist, tritt zu diesem Zeitpunkt eine elektrische Entladung in dem Arbeitsspalt auf, wenn das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Pulverkompaktblock 102, die miteinander in Berührung stehen, beim Schneidvorgang getrennt werden. Da das Änderungsmaterial (W-C) in den Arbeitsspalt in Form eines Pulvers als Ergebnis des Schneidvorgangs hineingelangt, veranlaßt die elektrische Entladung, daß das W-C-Pulver in dem Dielektrikum in die Schneidkantenoberfläche des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 hineingelangt. Durch Steuern der Z-Achsen-Vorschubrate des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 auf ordnungsgemäße Weise, wie voranstehend erläutert, wird eine Bearbeitung aufeinanderfolgend mit sich abwechselnden Schneid- und elektrischen Entladungsvorgängen durchgeführt, um eine gleichmäßige Änderungsschicht zu erzeugen, nämlich eine W-C- Legierungsschicht, und zwar auf den Schneidkanten.
Der Arbeitsspalt des Detektors 14 erfaßt die Arbeitsspaltspannung in dem Arbeitsspalt und verwendet deren mittlere Spannung zur Ermittlung der Frequenz der elektrischen Entladung, also eines Betrages, welcher einem Bearbeitungsbetrag der elektrischen Entladung in dem Arbeitsspalt entspricht. Unter Verwendung dieses Ergebnisses und der momentanen Werkzeugvorschubrate erhält die Steuervorrichtung 15 das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung, und ändert und steuert die Werkzeugvorschubrate so, daß dieses Verhältnis auf einem geeigneten Wert gehalten wird. Weiterhin kann durch Änderung der Werkzeugvorschubrate und Änderung des Verhältnisses der Schneidbearbeitung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung die Dicke der Änderungsschicht geändert werden. Mit anderen Worten kann durch eine hohe Vorschubrate in der Anfangsstufe der Behandlung eine dicke Änderungsschicht ausgebildet werden, und durch eine niedrige Vorschubrate bei der endgültigen Endbearbeitung ermöglicht es, daß die endbearbeitete Änderungsschicht gleichmäßig und dünn ist.
Es wird darauf hingewiesen, daß die Stabilität der elektrischen Entladung auch durch die Drehgeschwindigkeit der Drehvorrichtung 17 beeinflußt wird. Eine zu hohe Drehgeschwindigkeit führt nämlich dazu, daß sich ein elektrischer Entladungspunkt während des Zeitraumes eines einzelnen Entladungsimpulses in dem Arbeitsspalt bewegt, was es schwierig macht, einen Entladungslichtbogen aufrechtzuerhalten, und den Wirkungsgrad der elektrischen Entladung verringert, so daß bei einer höheren Drehgeschwindigkeit der Schneidwirkungsgrad zunimmt, wogegen der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung abnimmt, und das Schneidverhältnis zunimmt. Wenn im Gegensatz hierzu die Drehgeschwindigkeit niedriger ist, so sinkt der Schneidwirkungsgrad ab, und erhöht sich der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung. Daher kann das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung auch durch die Drehgeschwindigkeit geändert werden. Da die Oberflächengeschwindigkeit selbst bei derselben Drehgeschwindigkeit vom Werkzeugdurchmesser abhängt, wird vorzugsweise eine solche Steuerung durchgeführt, bei welcher eine ordnungsgemäße Drehgeschwindigkeit auf der Grundlage des Werkzeugdurchmessers bereitgestellt wird.
Fig. 6 ist ein Diagramm, welches die Wirkung der Drehung eines Werkzeugs auf die Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung zeigt. In Fig. 5 bezeichnet die Vertikalachse die Variation der Dicke einer geänderten Schicht, wogegen die Horizontalachse die Anzahl der Umdrehungen eines Werkzeugs angibt.
Nachdem in dem genannten Prozeß die Änderungsschicht auf den Schneidkanten ausgebildet wurde, wird das Anlegen der Spannung durch die Energieversorgung 6 für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung gestoppt, und für einen gewissen Zeitraum nur eine Schneidbearbeitung ausgeführt, wodurch die Schneidkanten, auf welchen die Abänderungsschicht ausgebildet wurde, geschliffen werden, um besonders hervorragende Schneidkanten zur Verfügung zu stellen, von welchen Entladungspunkte auf der Oberfläche entfernt wurden. Auch in diesem Fall ist es empfehlenswert, einen Umkehrvorgang bezüglich der Drehrichtung, oder der Relativbewegung in der Werkzeugachsenrichtung durchzuführen.
Während das zu ändernde Werkzeug bei der ersten Ausführungsform gedreht wurde, unterscheidet sich die vorliegende Ausführungsform von der ersten Ausführungsform darin, daß der Pulverkompaktblock 102 gedreht wird. Insbesondere kann die Oberflächenänderung eines Werkzeugs, welches in der Axialrichtung schneidet, also eines Bohrers, mit einer einfacheren Anordnung als bei der vorliegenden Ausführungsform erzielt werden.
Es wird darauf hingewiesen, daß der Pulverkompaktblock 102, der zur Änderung des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 bei der ersten und zweiten Ausführungsform eingesetzt wird, durch einen Block ersetzt werden kann, der unter Verwendung eines temporär gesinterten Materials oder eines Schlammaterials (durch Wasser aufgelöster Schlamm, getrocknet wie Gips), wenn sich dieser Block einfach schneiden läßt.
Eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nunmehr auf der Grundlage von Fig. 7 beschrieben, wobei 101 ein sich drehendes Schneidwerkzeug bezeichnet (Stirnfräser), dessen Oberfläche behandelt werden soll, 103 einen Metallmaterialblock (Cu), 3 eine Spindel bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 in der Vertikalrichtung (Z-Achsen-Richtung) bewegt, 4 ein Bearbeitungsbad bezeichnet, in welchem der Metallmaterialblock 103 befestigt ist, und welches mit einem Dielektrikum für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung gefüllt ist, 5 ein Dielektrikum mit W-C-Pulver als Änderungsmaterial bezeichnet, 6 eine Energieversorgung für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung bezeichnet, welche eine Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 anlegt, 8 eine Spannvorrichtung bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 haltert, 9 eine Drehvorrichtung bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug dreht, 10 einen Elektrodendrehmotor bezeichnet, welcher die Drehvorrichtung 9 dreht, 11 einen X-Achsen-Antrieb bezeichnet, welcher das Arbeitsbad 4 zusammen mit dem Metallmaterialblock 103 in der X-Richtung antreibt, 12 einen Y-Achsen-Antrieb bezeichnet, welcher diesen in der Y-Richtung antriebt, 13 einen Z-Achsen-Antrieb bezeichnet, welcher die Spindel 3 zusammen mit dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 in der Z-Richtung dreht (Vertikalrichtung), 14 einen Arbeitsspaltdetektor bezeichnet, welcher eine Arbeitsspaltspannung oder einen Kurzschluß zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 erfaßt, 15 eine Steuervorrichtung bezeichnet, welche die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 und des Metallmaterialblocks 103 entsprechend dem Meßergebnis des Arbeitsspaltdetektors 14 steuert, und 19 Versorgungsdüsen für das Dielektrikum bezeichnet, welche den Arbeitsspalt mit dem Dielektrikum 5 versorgen, welches Änderungsmaterialpulver enthält.
Nachstehend wird der Betriebsablauf beschrieben. Wie bei der ersten Ausführungsform wird das sich drehende Schneidwerkzeug 101, welches durch die Spannvorrichtung 8 gehaltert wird, durch die Drehvorrichtung 9 gedreht, und werden das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Metallmaterialblock 103 relativ zueinander durch den X-, Y- und Z-Antrieb 11, 12, 13 angetrieben, um den Metallmaterialblock 103 zu schneiden. Zu diesem Zeitpunkt wird der Arbeitsspalt, der durch das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und den Metallmaterialblock 103 gebildet wird, von den Dielektrikumversorgungsdüsen 19 mit dem Dielektrikum 5 versorgt, welches das Änderungsmaterialpulver enthält. Da die Bearbeitungsspannung für die elektrische Entladung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 durch die Energieversorgung 6 für die Bearbeitung mittels elektrischer Entladung angelegt wird, tritt eine elektrische Entladung in dem Arbeitsspalt auf, wenn das sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und der Metallmaterialblock 103, die miteinander in Berührung stehen, im Verlauf des Schneidens getrennt werden. Da das Änderungsmaterialpulver (W-C), welches sich im Dielektrikum befindet, in den Arbeitsspalt hineinwandert, veranlaßt die elektrische Entladung das W-C-Pulver in dem Dielektrikum zum Eintritt in die Schneidkantenoberfläche des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101. Durch Steuern der Vorschubrate des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 auf ordnungsgemäße Weise, wie voranstehend erläutert, wird aufeinanderfolgend eine Bearbeitung durchgeführt, bei welcher sich eine Schneidbearbeitung und eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung abwechseln, zur Ausbildung einer gleichmäßigen Änderungsschicht, also einer W-C- Legierungsschicht, auf den Schneidkanten.
Um den voranstehend geschilderten, kontinuierlichen Prozeß des Schneidens und der elektrischen Entladung aufrechtzuerhalten, ist die Steuerung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit (Vorschubrate) des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 ebenso wie bei der ersten Ausführungsform auch bei der vorliegenden Ausführungsform wesentlich. Es ist nämlich ebenfalls vorzuziehen, das Elektrodenrückziehverhältnis und die Elektrodenvorschubrate bei dem vorliegenden Bearbeitungsprozeß zu steuern, so daß die Schneidbearbeitung und die Bearbeitung mit elektrischer Entladung in einem geeigneten Verhältnis durchgeführt werden. Zu diesem Zweck ermittelt, wie bei der ersten Ausführungsform, der Arbeitsspaltdetektor 14 die Arbeitsspaltspannung in dem Arbeitsspalt und verwendet diese als Durchschnittsspannung zur Ermittlung der Frequenz der elektrischen Entladung, also eines Betrages, welcher einem Bearbeitungsbetrag einer elektrischen Entladung in dem Arbeitsspalt entspricht. Unter Verwendung dieses Ergebnisses und der momentanen Werkzeugvorschubrate ermittelt die Steuervorrichtung 15 das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung, und ändert und steuert die Werkzeugvorschubrate, um dieses Verhältnis auf einem geeigneten Wert zu halten. Durch Änderung der Werkzeugvorschubrate und Änderung des Verhältnisses der Schneidbearbeitung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung kann darüber hinaus die Dicke der Änderungsschicht geändert werden. Mit anderen Worten gestattet eine hohe Vorschubrate in der Anfangsstufe der Behandlung die Ausbildung einer dicken Änderungsschicht, und gestattet eine niedrige Vorschubrate bei der endgültigen Endbearbeitung die Ausbildung einer gleichmäßigen und dünnen, endbearbeiteten Änderungsschicht.
Weiterhin wird darauf hingewiesen, daß die Stabilität der elektrischen Entladung auch durch die Drehgeschwindigkeit des sich drehenden Schneidwerkzeuges beeinflußt wird. Eine zu hohe Drehgeschwindigkeit führt nämlich dazu, daß sich ein elektrischer Entladungspunkt während der Zeitdauer eines einzelnen Entladungsimpulses in dem Arbeitsspalt bewegt, wodurch es schwierig wird, einen Entladungslichtbogen aufrecht zu erhalten, und daher der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung verringert wird, so daß daher bei einer höheren Drehgeschwindigkeit der Schneidwirkungsgrad zunimmt, wogegen der Wirkungsgrad für die elektrische Entladung abnimmt, und das Schneidverhältnis zunimmt. Ist im Gegensatz hierzu die Drehgeschwindigkeit niedriger, so sinkt der Schneidwirkungsgrad, und steigt der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung an. Daher kann das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung ebenfalls durch die Drehgeschwindigkeit geändert werden. Da selbst bei derselben Drehgeschwindigkeit die Oberflächengeschwindigkeit von dem Werkzeugdurchmesser abhängt, wird vorzugsweise die Steuerung so durchgeführt, daß eine ordnungsgemäße Drehgeschwindigkeit entsprechend dem Werkzeugdurchmesser zur Verfügung gestellt wird.
Während - ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform - die Bearbeitung mit elektrischer Entladung und die Schneidbearbeitung wiederholt ausgeführt werden, um die Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung bei der voranstehend geschilderten Ausführungsform durchzuführen, können im Falle der Mischung eines Änderungsmittelpulvers mit einer Bearbeitungslösung die voranstehend geschilderten zwei Operationen getrennt ausgeführt werden, wie in den Fig. 8A und 8B, und in den Fig. 9A und 9B gezeigt ist. Im einzelnen zeigen die Fig. 8A und 8B einen Fall, in welchem die Bearbeitung mit elektrischer Entladung nach einer Schneidbearbeitung ausgeführt wird, mit der Mischung aus der Bearbeitungslösung und dem Pulver. In Fig. 5A wird die Energiequelle 6 abgeschaltet, und dann wird nur die Schneidbearbeitung mit hoher Werkzeugvorschubgeschwindigkeit durchgeführt, um einen Arbeitsspalt für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung auszubilden, der entsprechend der Form des Werkzeugs geformt ist. Daraufhin wird, wie aus Fig. 8B hervorgeht, die Energiequelle 6 eingeschaltet, um die Bearbeitung mit elektrischer Entladung bei einer niedrigen Werkzeugvorschubgeschwindigkeit auszuführen. In diesem Fall wird nur die elektrische Entladung durchgeführt, oder es wird eine extrem niedrige Rate der Schneidbearbeitung durchgeführt, um bei der Schneidklinge des Werkzeugs 101 die Oberflächenbehandlung durchzuführen.
Die Fig. 9A und 9B zeigen den Fall, in welchem die Bearbeitung mit elektrischer Entladung durchgeführt wird, nachdem eine Schneidbearbeitung durchgeführt wurde, mit der Mischung aus Bearbeitungslösung und Pulvern. Ein Metallblock 103, der wie in Fig. 9A gezeigt gebohrt wurde, wird als zu bearbeitendes Werkstück verwendet, und die Schneidbearbeitung wird bei dem Metallblock 103 so durchgeführt, daß ein Arbeitsspalt für eine elektrische Entladung gebildet wird. Dann kann gemäß Fig. 9B die Werkzeugelektrode 101 zusammen mit dem Metallblock 103 während der Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung gedreht werden. Die in den Fig. 9A und 9B gezeigte Ausführungsform ist in der Hinsicht vorteilhaft, daß das Werkstück effektiv genutzt werden kann.
Die in den Fig. 8A und 8B sowie 9A und 9B gezeigten Behandlungsverfahren können auch bei der ersten und zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden. Diese Ausführungsformen können daher so abgeändert werden, daß die Schneidbearbeitung nur dazu durchgeführt wird, um den Arbeitsspalt auszubilden, und dann sowohl eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung als auch eine Schneidbearbeitung durchgeführt wird, um eine gewünschte Oberflächenbehandlung durchzuführen.
Die Fig. 10A und 10B sind Diagramme, welche die Schritte zur Durchführung einer Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung zeigen. Es gibt zwei Arten, und in Fig. 10A ist eine Kombination einer Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung und eines Schleifens der Klinge des Werkzeugs vorgesehen. In Fig. 10B erfolgt nur eine Oberflächenbehandlung. Im Falle von Fig. 10A wird nach der voranstehend geschilderten Oberflächenbehandlung das Werkzeug an einer Schleifvorrichtung angebracht, um so das Schleifen und Polieren der Klinge des Werkzeugs durchzuführen. Bei dem Prozeß von Fig. 10B dient die Endbearbeitung mit elektrischer Entladung ebenfalls als Schleifmechanismus. Bei dem Prozeß von Fig. 10B wird die elektrische Entladungsenergie für die Endbearbeitung verringert, um die feine Oberflächenendbearbeitung durchzuführen, um so den Schritt des Schleifens der Klinge des Werkzeugs auszuschalten.
Nachdem bei diesem Prozeß die Änderungsschicht auf den Schneidkanten ausgebildet wurde, wird das Anlegen der Spannung von der Energieversorgung 6 für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung angehalten, und über einen gewissen Zeitraum nur eine Schneidbearbeitung durchgeführt, wodurch die Schneidkanten, an welchen die Änderungsschicht ausgebildet wurde, geschliffen werden, um extrem hervorragende Schneidkanten zur Verfügung zu stellen, von welchen Entladungspunkte auf der Oberfläche entfernt wurden.
Es wird empfohlen, zu diesem Zeitpunkt auch eine Umkehroperation bezüglich der Werkzeugdrehrichtung, der Relativbewegung in der Werkzeugachsenrichtung oder dergleichen durchzuführen.
Anders als bei der ersten Ausführungsform ist bei der vorliegenden Ausführungsform das Änderungsmaterialpulver bereits in dem Dielektrikum enthalten. Daher wird das Schneiden nur deswegen durchgeführt, um zu veranlassen, daß das Werkzeug die Form des Metallmaterialblocks 103 verfolgt, um einen vorgegebenen Entladungsspalt zwischen dem Metallmaterialblock 103 und den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 auszubilden. Da die Schneidgeschwindigkeit (das Ausmaß des Schneidens) nicht die Änderungsmaterialpulverkonzentration in dem Arbeitsspalt beeinflußt, kann daher das Schneidverhältnis wesentlich verringert werden, um eine Behandlung mit einem hohen Entladungsverhältnis durchzuführen, verglichen mit der ersten Ausführungsform.
Eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend auf der Grundlage von Fig. 11 beschrieben, wobei 101 ein sich drehendes Schneidwerkzeug (Bohrer) bezeichnet, welches eine Oberflächenbehandlung erfahren soll, 103 einen Metallmaterialblock (Cu) bezeichnet, 3 eine Spindel bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 in der Vertikalrichtung (Z-Achsen-Richtung) bewegt, 8 eine Spannvorrichtung bezeichnet, welche das sich drehende Schneidwerkzeug 101 haltert, 16 eine Spannvorrichtung bezeichnet, welche den Metallmaterialblock 103 haltert, 17 eine Drehvorrichtung bezeichnet, welche den Metallmaterialblock 103 dreht, 18 einen Drehmotor bezeichnet, welcher die Drehvorrichtung 17 dreht, 13 einen Z-Achsen- Antrieb bezeichnet, welcher die Spindel 3 zusammen mit dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 in der Z-Richtung dreht (Vertikalrichtung), 5 ein Dielektrikum mit W-C-Pulver als Änderungsmaterial bezeichnet, 19 Versorgungsdüsen für Dielektrikum bezeichnet, welche den Arbeitsspalt mit dem Dielektrikum versorgen, 6 eine Energieversorgung für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung bezeichnet, welche eine Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 anlegt, 14 einen Arbeitsspaltdetektor bezeichnet, welcher eine Arbeitsspaltspannung oder einen Kurzschluß zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 mißt, und 15 eine Steuervorrichtung bezeichnet, welche die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 und des Metallmaterialblocks 103 entsprechend dem Meßergebnis des Arbeitsspaltdetektors 14 steuert.
Nachstehend wird der Betriebsablauf beschrieben. Der von der Spannvorrichtung 16 gehaltene Metallmaterialblock 103 wird durch die Drehvorrichtung 17 gedreht, und das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Metallmaterialblock 103 werden in Bezug aufeinander durch den Z-Achsen-Antrieb 13 bewegt, um den Metallpulverblock 103 zu schneiden. Zu diesem Zeitpunkt wird der Arbeitsspalt, der durch das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und den Metallmaterialblock 103 gebildet wird, von den Versorgungsdüsen 19 für Dielektrikum mit dem Dielektrikum 5 versorgt, welches das Änderungsmaterialpulver enthält. Da die Bearbeitungsspannung für die elektrische Entladung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug 101 und dem Metallmaterialblock 103 durch die Energieversorgung 6 für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung angelegt wird, tritt eine elektrische Entladung in dem Arbeitsspalt auf, wenn das sich drehende Schneidwerkzeug 101 und der Metallmaterialblock 103, die miteinander in Berührung stehen, beim Schneidprozeß getrennt werden. Da das Änderungsmaterialpulver (W-C) in den Arbeitsspalt in Form von Pulver hineinwandert, infolge des Schneidens, veranlaßt die elektrische Entladung das W-C-Pulver in dem Dielektrikum zum Eintreten in die Schneidkantenoberfläche des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101. Durch ordnungsgemäße Steuerung der Z-Achsen-Vorschubrate des sich drehenden Schneidwerkzeugs 101 auf die voranstehend beschriebene Weise wird eine Bearbeitung aufeinanderfolgend mit abwechselnder Schneidbeaarbeitung und Bearbeitung mit elektrischer Entladung durchgeführt, um auf den Schneidkanten eine gleichmäßige Änderungsschicht auszubilden, nämlich eine W-C-Legierungsschicht.
Der Arbeitsspaltdetektor 14 erfaßt die Arbeitsspaltspannung in dem Arbeitsspalt und verwendet deren Duchschnittswert zur Erfassung der Frequenz der elektrischen Entladung, also eines Betrages entsprechend einem Bearbeitungsbetrag mit elektrischer Entladung in dem Arbeitsspalt. Unter Verwendung dieses Ergebnisses und der momentanen Werkzeugvorschubrate erhält die Steuervorrichtung 15 das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung, und ändert und steuert die Werkzeugvorschubrate so, daß dieses Verhältnis auf einem ordnungsgemäßen Wert gehalten wird. Durch Änderung der Werkzeugvorschubrate und Änderung des Verhältnisses der Schneidbearbeitung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung kann darüber hinaus die Dicke der Änderungsschicht geändert werden. Mit anderen Worten erlaubt eine hohe Vorschubrate in der Anfangsstufe der Behandlung die Ausbildung einer dicken Änderungsschicht, und erlaubt eine niedrige Vorschubrate bei der endgültigen Endbearbeitung eine gleichmäßige und dünne Ausbildung der fertiggestellten Änderungsschicht.
Es wird darauf hingewiesen, daß die Stablität der elektrischen Entladung auch durch die Drehgeschwindigkeit der Drehvorrichtung 17 beeinflußt wird. Eine zu hohe Drehgeschwindigkeit führt nämlich dazu, daß sich ein elektrischer Entladungspunkt während des Zeitraums eines einzigen Entladungsimpulses in dem Arbeitsspalt bewegt, was es schwierig macht, einen Entladungslichtbogen aufrecht zu erhalten, und den Wirkungsgrad der elektrischen Entladung verringert, so daß daher mit höherer Drehgeschwindigkeit der Schneidwirkungsgrad zunimmt, wogegen der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung abnimmt, und das Schneidverhältnis zunimmt. Wenn im Gegensatz hierzu die Drehgeschwindigkeit niedriger ist, so sinkt der Schneidwirkungsgrad ab, und steigt der Wirkungsgrad der elektrischen Entladung an. Daher kann auch das Verhältnis der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Schneidbearbeitung durch die Drehgeschwindigkeit geändert werden. Da selbst bei derselben Drehgeschwindigkeit die Oberflächengeschwindigkeit von dem Werkzeugdurchmesser abhängt, wird vorzugsweise die Steuerung zur Bereitstellung einer ordnungsgemäßen Drehgeschwindigkeit entsprechend dem Werkzeugdurchmesser durchgeführt.
Nachdem die Änderungsschicht auf den Schneidkanten in diesem Prozeß ausgebildet wurde, wird das Anlegen der Spannung durch die Energieversorgung 6 für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung beendet, und über einen gewissen Zeitraum nur eine Schneidbearbeitung durchgeführt, wodurch die Schneidkanten, an welchen die Änderungsschicht ausgebildet wurde, geschliffen werden, um extrem hervorragende Schneidkanten zur Verfügung zu stellen, von welchen Entladungspunkte auf der Oberfläche entfernt wurden. Es wird empfohlen, zu diesem Zeitpunkt auch eine Umkehroperation bezüglich der Drehrichtung, der Relativbewegung in der Werkzeugachsenrichtung oder dergleichen durchzuführen.
Während das zu ändernde Werkzeug bei der vierten Ausführungsform gedreht wurde, unterscheidet sich die vorliegende Ausführungsform von der vierten Ausführungsform darin, daß der Metallmaterialblock 103 gedreht wird.
Insbesondere die Oberflächenänderung eines Werkstücks, welches in der Axialrichtung schneidet, beispielsweise eines Bohrers, kann mit einem einfacheren Aufbau bei der vorliegenden Ausführungsform erfolgen.
Da das Dielektrikum bei der vorliegenden Ausführungsform, anders als bei der zweiten Ausführungsform, bereits das Änderungsmaterialpulver enthält, wird das Schneiden nur deswegen durchgeführt, um das Werkzeug dazu zu veranlassen, die Form des Metallmaterialblocks 103 zu verfolgen, um einen vorbestimmten Arbeitsspalt zwischen dem Metallmaterialblock 103 und den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges 101 auszubilden. Daher beeinflußt die Schneidgeschwindigkeit (die abgetragene Menge) nicht die Änderungsmaterialpulverkonzentration in dem Arbeitsspalt, wodurch das Schneidverhältnis wesentlich verringert werden kann, um die Behandlung mit einem hohen Entladungsverhältnis durchzuführen, verglichen mit der zweiten Ausführungsform.
Bei jeder der voranstehend geschilderten Ausführungsformen kann die Spannvorrichtung 8 so ausgelegt sein, daß sie jedes sich drehende Schneidwerkzeug haltert, das einen unterschiedlichen Schaftdurchmesser aufweist, um eine große Variationsbreite von Werkzeugen aufzunehmen. Andere Klemmechanismen wie beispielsweise sich verjüngende Schäfte können verwendet werden, und Werkzeuge automatisch geändert werden, um eine kontinuierliche Oberflächenänderung mehrerer Werkzeuge durchzuführen, wodurch eine große Anzahl an Werkzeugen eine Oberflächenbehandlung mit höherem Produktionswirkungsgrad erhalten kann.
W-C, das als Beispiel für das Änderungsmaterial bei jeder der voranstehend geschilderten Ausführungsformen verwendet wurde, kann durch ein Materialpulver auf Keramikbasis ersetzt werden, beispielsweise TiC (Titankarbid) oder Ti-N (Titannitrid), welches ein leitfähiges Pulver wie beispielsweise Ni (Nickel) enthält.
Während bei jeder der voranstehenden Ausführungsformen eine Oberflächenbehandlung bei dem sich drehenden Schneidwerkzeug durchgeführt wurde, können auch eine sich drehende Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und ein axial symmetrisches Werkzeug eine identische Oberflächenbearbeitung bei jeder der voranstehenden Ausführungsformen erfahren. In diesen Fällen erfahren sie eine Oberflächenbehandlung nur durch eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung, und werden nicht geschnitten (spanabhebend bearbeitet).
Wenn bei jeder der voranstehend beschriebenen Ausführungsformen der Block, der das Änderungsmaterial enthält, gedreht wird, so kann eine vorhandene Maschine, wie beispielsweise eine Drehbank dazu verwendet werden, eine Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung einfacher auszuführen.
Es wird deutlich, daß wie voranstehend beschrieben die vorliegende Erfindung ein Oberflächenbehandlungsverfahren erzielt, welches das Drehen eines modifizierten Metallteils, dessen Oberfläche geändert werden soll, oder eines ein Änderungsmaterial enthaltenden Blockes umfaßt, und die Erzeugung einer elektrischen Entladung zwischen dem Block mit dem Änderungsmaterial und dem modifizierten Metallteil, zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf der Oberfläche des modifizierten Metallteils, wodurch eine Oberflächenänderung einfach auf der Oberfläche einer sich drehenden Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung oder eines axial symmetrischen Teils durchgeführt werden kann, um eine sich drehende Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung zur Verfügung zu stellen, die extrem wenig verbraucht wird, sowie ein axial symmetrisches Teil, welches hervorragende Verschleißfestigkeit und Korrosionsfestigkeit aufweist.
Es wird weiterhin deutlich, daß die vorliegende Erfindung ein Oberbeflächenbehandlungsverfahren mittels elektrischer Entladung zur Verfügung stellt, zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche durch eine Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung, wobei das Verfahren das Drehen eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder eines Blocks mit einem Änderungsmaterial umfaßt, sowie eine Relativbewegung des Blocks mit dem Änderungsmaterial und des sich drehenden Schneidwerkzeuges, um den Block mit dem Änderungsmaterial mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schneiden, sowie die Erzeugung einer elektrischen Entladung zwischen den Schneidkanten des Schneidwerkzeuges und dem Block mit dem Änderungsmaterial zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges, wodurch die Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges, welches eine komplizierte Form aufweist, eine einfache Änderung der Oberfläche erfahren können, um eine Werkzeugoberflächenbehandlung durchzuführen, welche die Lebensdauer eines Schneidwerkzeuges wesentlich erhöht.
Es wird ebenfalls deutlich, daß die vorliegende Erfindung ein Oberflächenbehandlungsverfahren zur Verfügung stellt, welches die Drehung eines modifizierten Metallteils, dessen Oberfläche geändert werden soll, oder eines Metallmaterialblocks umfaßt, und das Zuliefern eines Dielektrikums mit Änderungsmaterialpulver zwischen dem Metallmaterialblock und dem modifizierten Metallteil, und die gleichzeitige Erzeugung einer elektrischen Entladung zwischen dem modifizierten Metallteil und dem Metallmaterialblock zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf der Oberfläche des modifizierten Metallteils, wodurch einfach eine Oberflächenänderung auf der Oberfläche einer sich drehenden Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung oder eines axial symmetrischen Teils durchgeführt werden kann, um eine sich drehende Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung zur Verfügung zu stellen, die einen extrem niedrigen Verbrauch aufweist, sowie ein axial symmetrisches Teil, welches eine hervorragende Verschleißfestigkeit und Korrosionsfestigkeit aufweist. Weiterhin ermöglicht es das Änderungsmaterial, welches vorher in dem Dielektrikum vorgesehen wird, daß die Schneidmenge des Metallmaterials verringert wird, wodurch die Menge des Metallmaterials, welches elektrisch mit dem Werkzeug entladen wird, wesentlich verringert wird. Weiterhin kann ein Material wie beispielsweise Kupfer, welches hervorragende Bearbeitungseigenschaften für die elektrische Entladung aufweist, dazu verwendet werden, die Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung zu stabilisieren, und eine gleichförmigere Oberflächenbehandlung zur Verfügung zu stellen. Wenn der Metallmaterialblock gedreht wird, so kann eine vorhandene Maschine wie beispielsweise eine Drehbank dazu verwendet werden, auf einfachere Weise eine Oberflächenbehandlung mit elektrischer Entladung durchzuführen.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung ein Oberflächenbehandlungsverfahren zur Verfügung stellt, welches die Drehung eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder eines Metallmaterialblocks umfaßt, sowie eine Relativbewegung des Metallmaterialblocks und des sich drehenden Schneidwerkzeuges, um den Metallmaterialblock mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schneiden, und die Lieferung eines Dielektrikums, welches Änderungsmaterialpulver enthält, sowie die gleichzeitige Erzeugung einer elektrischen Entladung zwischen den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges und dem Metallmaterialblock zur Ausbildung einer Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges, wodurch die Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges, welches eine komplizierte Form aufweist, einfacher in der Oberfläche modifiziert werden können, um eine Werkzeugoberflächenbehandlung durchzuführen, welche die Lebensdauer eines Schneidwerkzeugs wesentlich verlängert. Das Änderungsmaterial, welches vorher in dem Dielektrikum vorgesehen wird, ermöglicht es darüber hinaus, die Schnittmenge des Metallmaterials zu verringern, wodurch die Menge des Metallmaterials wesentlich verringert wird, das elektrisch mit dem Werkzeug entladen wird. Weiterhin kann ein Material wie beispielsweise Kupfer, welches hervorragende Eigenschaften bezüglich einer Bearbeitung mit elektrischer Entladung aufweist, dazu verwendet werden, die Bearbeitung mit elektrischer Entladung zu stabilisieren, und eine gleichförmigere Oberflächenbehandlung zur Verfügung zu stellen.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung ein Oberflächenbehandlungsverfahren zur Verfügung stellt, welches ein Material auf Keramikbasis als das Änderungsmaterial verwendet, wodurch die Verschleißfestigkeit und die Korrosionsfestigkeit der Werkzeugänderungsschicht wesentlich verbessert werden. Durch Ausbildung eines Films mit hohem Widerstand auf der Oberfläche einer Elektrode für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung durch die Oberflächenbehandlung mit dem Material auf Keramikbasis können Stromanteile infolge einer Arbeitsspaltkapazität verringert werden, um die Verschleißeigenschaften der Elektrode und die Oberflächenrauhigkeit zu verbessern.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung ein Oberflächenbehandlungsverfahren zur Verfügung stellt, bei welchem sich eine Schneidbearbeitung und eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung abwechseln, um die Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges auszubilden, und daraufhin nur eine Schneidbearbeitung ausgeführt wird, ohne daß eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung durchgeführt wird, um die Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schleifen, wodurch die Schneidkanten, an denen die Änderungsschicht ausgebildet wurde, geschliffen werden, um extrem hervorragende Schneidkanten zur Verfügung zu stellen, von welchen elektrische Entladungspunkte auf der Oberfläche entfernt wurden.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche eine Halteeinrichtung zum Halten eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder einer Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung aufweist, eine Drehvorrichtung zum Drehen des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der gehaltenen Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, eine Fixiereinrichtung zum Fixieren eines Blockes mit einem Änderungsmaterial gegenüberliegend dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, einen Antriebsmechanismus für eine Relativbewegung des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und des Blockes mit dem Änderungsmaterial, und eine Energieversorgung für Bearbeitung mit elektrischer Entladung, zum Anlegen einer Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Block mit dem Änderungsmaterial, und wenn das sich drehende Schneidwerkzeug gedreht wird, welches eine Drehbewegung infolge der Drehvorrichtung und eine Relativbewegung infolge des Antriebsmechanismus durchführt, um den Block mit dem Änderungsmaterial mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schneiden, und eine elektrische Entladung zwischen den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges und dem Block mit dem Änderungsmaterial erzeugt, um die Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges auszubilden, so wird hierdurch eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Bearbeitungsgrundlage einer elektrischen Entladung zur Verfügung gestellt, welche einfach eine Oberflächenänderung der Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges mit komplizierter Form durchführen kann, und daher eine Werkzeugoberflächenbehandlung durchführt, infolge welcher die Lebensdauer eines Schneidwerkzeuges wesentlich erhöht wird. Darüber hinaus kann eine Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, welche eine komplizierte Form aufweist, eine einfache Änderung der Oberfläche erhalten.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche eine Halteeinrichtung zum Haltern eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder einer Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung aufweist, eine Drehvorrichtung zum Halten eines Blocks mit einem Änderungsmaterial gegenüberliegend dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für die elektrische Entladung, und zum Drehen des Blockes mit dem Änderungsmaterial auf der Achse des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, einen Antriebsmechanismus für eine Relativbewegung des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und des Blockes mit dem Änderungsmaterial, und eine Energieversorgung für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung zum Anlegen einer Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Block mit dem Änderungsmaterial, wobei bei der Drehung des sich drehenden Schneidwerkzeuges eine Drehbewegung mit Hilfe der Drehvorrichtung und einer Relativbewegung mit Hilfe des Antriebsmechanismus durchgeführt wird, um den Block mit dem Änderungsmaterial mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schneiden, und eine elektrische Entladung zwischen den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges und dem Block mit dem Änderungsmaterial erzeugt wird, um die Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges auszubilden, wodurch eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Grundlage einer Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Verfügung gestellt wird, welche einfach eine Oberflächenänderung der Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges mit komplizierter Form ausführen kann, und daher eine Werkzeugoberflächenbehandlung zur wesentlichen Erhöhung der Lebensdauer eines Schneidwerkzeuges durchführen kann. Darüber hinaus wird das Änderungsmaterial wie bei einer Drehbank gedreht, wodurch eine einfachere, kostengünstigere Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Bearbeitungsgrundlage einer elektrischen Entladung zur Verfügung gestellt werden kann. Weiterhin kann eine Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung mit komplizierter Form eine einfache Oberflächenänderung erfahren.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche eine Halteeinrichtung zum Haltern eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder einer Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung aufweist, eine Drehvorrichtung zum Drehen des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der gehaltenen Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, eine Fixiereinrichtung zum Fixieren eines Metallmaterialblocks gegenüberliegend dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, Dielektrikum-Versorgungsvorrichtungen zum Zuführen eines Dielektrikums mit Änderungsmaterialpulver zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Metallmaterialblock, einen Antriebsmechanismus für eine Relativbewegung des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und des Metallmaterialblocks, und eine Energieversorgung für eine Bearbeitung mit elektrischer Entladung zum Anlegen einer Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Metallmaterialblock, wobei bei einer Drehung des sich drehenden Schneidwerkzeuges, welches eine Drehbewegung mit Hilfe der Drehvorrichtung und eine Relativbewegung mit Hilfe des Antriebsmechanismus durchführt, um den Metallmaterialblock mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeuges zu schneiden, und das Dielektrikum mit dem Änderungsmaterial zugeführt wird, und gleichzeitig eine elektrische Entladung zwischen den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges und dem Metallmaterialblock erzeugt wird, um die Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges auszubilden, so wird eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Bearbeitungsgrundlage mit elektrischer Entladung zur Verfügung gestellt, welch einfach eine Oberflächenänderung der Schneidkanten eines Schneidwerkzeugs mit komplizierter Form durchführen kann, und daher eine Werkzeugoberflächenbehandlung durchführen kann, zur wesentlichen Erhöhung der Lebensdauer eines Schneidwerkzeuges. Da das Änderungsmaterial vorher in dem Dielektrikum vorgesehen wird, kann darüber hinaus die geschnittene Menge des Metallmaterialblocks verringert werden, und die Menge des Metallmaterials, welches elektrisch mit dem Werkzeug entladen wird, kann wesentlich verringert werden. Weiterhin kann ein Material wie beispielsweise Kupfer, welches hervorragende Eigenschaften für eine elektrische Entladung aufweist, als der Metallmaterialblock verwendet werden, wodurch eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Bearbeitungsgrundlage mit elektrischer Entladung zur Verfügung gestellt wird, bei welcher die Bearbeitung mit elektrischer Entladung stabilisiert ist, und welche eine stabilere Oberflächenbehandlung ausführen kann. Weiterhin kann eine Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, welche eine komplizierte Form aufweist, eine einfache Oberflächenänderung erfahren.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche eine Halteeinrichtung zum Haltern eines sich drehenden Schneidwerkzeuges oder einer Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung aufweist, eine Drehvorrichtung zum Haltern eines Metallmaterialblocks gegenüberliegend dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, und zum Drehen des Metallmaterialblocks auf der Achse des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung, Dielektrikum-Zuführungsvorrichtungen zum Zuführen eines Dielektrikums mit einem Änderungsmaterialpulver zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Metallmaterialblock, einen Antriebsmechanismus zur Relativbewegung des sich drehenden Schneidwerkzeuges oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Metallmaterialblock, und eine Energieversorgung für die Bearbeitung mit elektrischer Entladung zum Anlegen einer Spannung zwischen dem sich drehenden Schneidwerkzeug oder der Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung und dem Metallmaterialblock, wobei eine Drehung des sich drehenden Schneidwerkzeugs durchgeführt wird, und eine Drehbewegung mit Hilfe der Drehvorrichtung und eine Relativbewegung mit Hilfe des Antriebsmechanismus durchgeführt wird, um den Metallmaterialblock mit Hilfe des sich drehenden Schneidwerkzeugs zu schneiden, und eine Zufuhr des Dielektrikums mit dem Änderungsmaterial erfolgt, und gleichzeitig eine Erzeugung einer elektrischen Entladung zwischen den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges und dem Metallmaterialblock erfolgt, um die Änderungsschicht auf den Schneidkanten des sich drehenden Schneidwerkzeuges auszubilden, wodurch die Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges mit komplizierter Form durch eine einfache Vorrichtung eine Änderung der Oberfläche erfahren können, was dazu führt, daß eine Werkzeugoberflächenbehandlung zur Erhöhung der Lebensdauer eines Schneidwerkzeugs in wesentlichem Ausmaß ausgeführt werden kann. Da das Änderungsmaterial vorher in dem Dielektrikum vorgesehen wird, kann darüber hinaus die Schnittmenge des Metallmaterials verringert werden, und die Menge des Metallmaterialblocks, die elektrisch mit dem Werkzeug entladen wird, kann wesentlich verringert werden. Weiterhin kann ein Material wie beispielsweise Kupfer, welches hervorragende Eigenschaften für eine elektrische Entladung aufweist, als der Metallmaterialblock verwendet werden, wodurch eine Bearbeitung mit einer elektrischen Entladung stabilisiert wird, und eine stabilere Oberflächenbehandlung ausgeführt werden kann. Darüber hinaus wird das Änderungsmaterial wie bei einer Drehbank gedreht, wodurch eine einfachere, kostengünstigere Oberflächenbehandlungsvorrichtung auf der Bearbeitungsgrundlage einer elektrischen Entladung zur Vergügung gestellt werden kann. Weiterhin kann eine Bearbeitungselektrode für elektrische Entladung in komplizierter Form eine einfache Oberflächenänderung erfahren.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche eine Oberflächenbehandlung durchführt, während sie gleichzeitig die relative Bahngeschwindigkeit, die Drehgeschwindigkeit oder die relative Drehgeschwindigkeit des sich drehenden Schneidwerkzeuges entsprechend einem Bearbeitungsbetrag mit elektrischer Entladung ändert und steuert, wodurch zusätzlich zu den voranstehend genannten Effekten eine effiziente Oberflächenbehandlung durchgeführt werden kann, und die Dicke der Änderungsschicht geändert werden kann.
Weiterhin wird deutlich, daß die vorliegende Erfindung eine Oberflächenbehandlungsvorrichtung zur Verfügung stellt, welche die relative Bahngeschwindigkeit, die Drehgeschwindigkeit oder die relative Drehgeschwindigkeit des sich drehenden Schneidwerkzeuges steuert, so daß das Verhältnis der Schneidbearbeitung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung auf einem vorbestimmten Wert gehalten wird, wodurch zusätzlich zu den genannten Effekten eine gleichmäßige Änderungsschicht zur Verfügung gestellt werden kann, wenn das Werkzeug unterschiedliche Formen und Abmessungen aufweist.

Claims (31)

1. Verfahren zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche eines eine Elektrode bildenden Gegenstandes, bei welchem folgende Bearbeitungsvorgänge jeweils nacheinander in alternierender Folge wiederholt ausgeführt werden:
  • a) in einem ersten Bearbeitungsvorgang Ausführen einer Relativbewegung zwischen dem die Elektrode bildenden Gegenstand (101) und einem Block (102; 103) aus leitfähigem Material in gegenseitigem Kontakt und mit anschließender Bildung eines Spalts zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103); und
  • b) in einem zweiten Bearbeitungsvorgang Durchführen einer elektrischen Entladung in dem zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) gebildeten Spalt, wobei
    im Spalt ein Dielektrikum mit einem zur Bildung der Änderungsschicht auf der Metalloberfläche des Gegenstandes (101) dienenden Material vorgesehen wird und
    während der elektrischen Entladung der Gegenstand (101) und der Block (102; 103) relativ gegeneinander rotieren.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Gegenstand ein spanabhebendes Werkzeug bildet und im jeweils ersten Bearbeitungsvorgang ein spanabhebender Vorgang am Block (102; 103) erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem der Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) beim jeweils ersten Bearbeitungsvorgang neu eingestellt wird.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die ersten und zweiten Bearbeitungsvorgänge in einem vorbestimmten Verhältnis ausgeführt werden.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem ein Vorschub des Gegenstandes (101) relativ zum Block (102; 103) im ersten und zweiten Bearbeitungsvorgang unterschiedlich ist.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der erste und/oder zweite Bearbeitungsvorgang in Abhängigkeit von der Veränderung von Zustandsgrößen im Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) gesteuert wird.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die ersten und zweiten Bearbeitungsvorgänge mit einer vorbestimmten Frequenz wiederholt werden.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Maß der Relativbewegung zwischen dem Gegenstand und dem Block bei der Wiederholung der ersten und zweiten Bearbeitungsvorgänge variiert wird.
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem eine letzte Wiederholung des ersten Bearbeitungsvorganges derart durchgeführt wird, daß die Metalloberfläche des Gegenstand (101) am Block (102; 103) geschliffen wird.
10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der Gegenstand (101) in einer Richtung parallel und/oder senkrecht zu einer Drehachse desselben relativ zum Block (102; 103) bewegt wird.
11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der Gegenstand (101) entsprechend der Gestalt einer Fläche des Blocks (102; 103) relativ zum Block geführt wird.
12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem ein Block (102) verwendet wird, welcher Änderungsmaterial enthält, das bei einer Schneidbearbeitung des Blocks in das im Spalt zwischen dem als spanabhebendes Werkzeug ausgebildeten Gegenstand (101) und dem Block (102) vorgesehene Dielektrikum gelangt.
13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem ein Block (103) aus Metall verwendet und in den Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (103) ein Dielektrikum zugeführt wird, das Änderungsmaterial enthält.
14. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Dielektrikum im Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) dadurch vorgesehen wird, daß der Gegenstand (101) und der Block (103) in ein Bad aus dem das Änderungsmaterial enthaltenden Dielektrikum eingesetzt werden.
15. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Dielektrikum im Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) dadurch vorgesehen wird, daß das das Änderungsmaterial enthaltende Dielektrium in den Spalt eingesprüht wird.
16. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Änderungsmaterial ein keramisches Material enthält.
17. Vorrichtung zur Bildung einer Änderungsschicht auf einer Metalloberfläche eines Gegenstandes, umfassend
eine Aufspanneinrichtung (8) zum Aufspannen eines Gegenstandes (101);
eine Verstelleinrichtung (11, 12, 13) zum Bewegen des Gegenstandes (101) und eines Blocks (102; 103) aus leitfähigem Material relativ zueiander in gegenseitigem Kontakt und zur Einstellung eines Spalts zwischen dem Gegenstand und dem Block;
eine Einrichtung (4; 19) zum Bereitstellen eines Dielektrikums, das ein zur Bildung der Änderungsschicht auf der Metalloberfläche des Gegenstandes (101) dienendes Änderungsmaterial enthält, in dem zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) vorhandenen Spalt;
eine Stromversorgungseinrichtung (6) zur Erzeugung elektrischer Entladungen in dem Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103);
eine Rotationseinrichtung (9, 17) zum Drehen des Gegenstandes (101) und des Blocks (102; 103) relativ gegeneinander während elektrischer Entladungen in dem Spalt; und
eine Steuereinrichtung (15) zur alternierenden Steuerung der Verstelleinrichtung (11, 12, 13) und der elektrischen Entladung im Spalt.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, bei welcher der Gegenstand (101) als spanabhebendes Werkzeug, vorzugsweise als Schneidwerkzeug ausgebildet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, bei welcher die Steuereinrichtung (15) die Relativverstellung zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) in einem vorbestimmten Verhältnis steuert.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, bei welcher die Steuereinrichtung (15) die Relativverstellung zwischen dem als spanabhebendes Werkzeug ausgebildeten Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) derart steuert, daß sie bei einem spanabhebenden Vorgang und bei einer elektrischen Entladung im Spalt unterschiedlich ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 20, bei welcher eine mit der Steuereinrichtung (15) verbundene Detektoreinrichtung (14) zum Erfassen von Zustandsgrößen im Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) vorgesehen ist.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 21, bei welcher die Steuervorrichtung (15) eine alternierende Wiederholung von spanabhebenden Vorgängen und elektrischen Entladungen im Spalt bewirkt.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 22, bei welcher die Steuervorrichtung (15) eine alternierende Wiederholung von spanabhebenden Vorgängen und elektrischen Entladungen im Spalt mit einer vorbestimmten Frequenz bewirkt.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 23, bei welcher die Steuervorrichtung (15) das Maß der Relativbewegung zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) bei einer letzten Wiederholung der in gegenseitigem Kontakt erfolgenden Relativverstellung zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) derart steuert, daß die Metalloberfläche des Gegenstandes (101) am Block (102; 103) geschliffen wird.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 24, bei welchem der Gegenstand (101) oder der Block (102; 103) in einer Richtung parallel und/oder senkrecht zu einer Drehachse des Gegenstandes relativ verstellbar ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 25, bei welchem der Gegenstand (101) relativ zum Block (102; 103) entsprechend der Gestalt einer Fläche des Blocks verstellbar ist.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 26, bei welcher der Block (102) Änderungsmaterial enthält, das bei einer spanabhebenden Bearbeitung des Blocks in das im Spalt zwischen dem als spanabhebendes Werkzeug ausgebildeten Gegenstand und dem Block vorgesehenen Dielektrikum gelangt.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 26, bei welcher der Block (103) aus Metall besteht und in den Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block ein Dielektrikum zuführbar ist, das Änderungsmaterial enthält.
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 28, bei welcher ein Bad (4) aus dem das Änderungsmaterial enthaltenden Dielektrikum vorgesehen ist und der Gegenstand (101) und der Block (102; 103) in das Bad einsetzbar sind.
30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 29, bei welcher Sprühdüsen (19) zum Einsprühen von Dielektrikum in den Spalt zwischen dem Gegenstand (101) und dem Block (102; 103) vorgesehen sind.
31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 30, bei welcher das im Dielektrikum enthaltene Änderungsmaterial ein keramisches Material enthält.
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Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3376174B2 (ja) * 1995-07-04 2003-02-10 三菱電機株式会社 放電加工による表面処理方法および装置
US5858479A (en) * 1996-01-17 1999-01-12 Japan Science And Technology Corporation Surface treating method by electric discharge
US5922221A (en) * 1996-02-02 1999-07-13 Sodick Co., Ltd. Electric discharge machining method and electric discharge machining fluid
JP3563203B2 (ja) * 1996-06-12 2004-09-08 独立行政法人 科学技術振興機構 放電加工による表面処理方法及びその装置
US6086684A (en) * 1997-06-04 2000-07-11 Japan Science And Technology Corporation Electric discharge surface treating method and apparatus
WO1999058743A1 (fr) * 1998-05-08 1999-11-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Unite source d'alimentation en energie pour traitement de surface par decharges
DE19981060T1 (de) 1998-05-13 2000-08-03 Mitsubishi Electric Corp Elektrode für eine Entladungsoberflächenbehandlung, Herstellungsverfahren dafür, Entladungsoberflächenbehandlungsverfahren und Vorrichtung dafür
US6348668B1 (en) * 1998-05-13 2002-02-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method and apparatus for treating surface of tool
WO2000029156A1 (fr) * 1998-11-13 2000-05-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Procede de traitement de surface par decharges et electrode de decharge destinee au traitement de surface par decharges
DE19883018C2 (de) * 1998-11-13 2003-10-09 Mitsubishi Electric Corp Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche einer Form unter Verwendung einer elektrischen Entladung, bei einer derartigen Bearbeitung verwendete Elektrode, und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Elektrode
US20070131661A1 (en) * 1999-02-25 2007-06-14 Reiber Steven F Solder ball placement system
US7124927B2 (en) * 1999-02-25 2006-10-24 Reiber Steven F Flip chip bonding tool and ball placement capillary
US20060071050A1 (en) * 1999-02-25 2006-04-06 Reiber Steven F Multi-head tab bonding tool
US7032802B2 (en) * 1999-02-25 2006-04-25 Reiber Steven F Bonding tool with resistance
US20080197172A1 (en) * 1999-02-25 2008-08-21 Reiber Steven F Bonding Tool
US6354479B1 (en) 1999-02-25 2002-03-12 Sjm Technologies Dissipative ceramic bonding tip
US7389905B2 (en) 1999-02-25 2008-06-24 Reiber Steven F Flip chip bonding tool tip
US6651864B2 (en) 1999-02-25 2003-11-25 Steven Frederick Reiber Dissipative ceramic bonding tool tip
US20060261132A1 (en) * 1999-02-25 2006-11-23 Reiber Steven F Low range bonding tool
US6263918B1 (en) 1999-04-29 2001-07-24 The Regents Of The University Of California Multiple feed powder splitter
WO2001023641A1 (fr) * 1999-09-30 2001-04-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electrode de traitement de surface par decharge electrique, son procede de production et procede de traitement de surface par decharge electrique
DE19983980B3 (de) * 1999-09-30 2013-09-05 Mitsubishi Denki K.K. Verfahren zur Herstellung einer Entladungs-Oberflächenbehandlungs-Elektrode, hiernach erhaltene Entladungs-Oberflächenbehandlungs-Elektrode und deren Verwendung
US6403910B1 (en) * 1999-12-14 2002-06-11 Hi-Tek Manufacturing, Inc. EDM apparatus and method for performing EDM operation
TWI272993B (en) * 2002-10-09 2007-02-11 Ishikawajima Harima Heavy Ind Method for coating rotary member, rotary member, labyrinth seal structure and method for manufacturing rotary member
JPWO2006057053A1 (ja) * 2004-11-29 2008-06-05 三菱電機株式会社 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに放電表面処理装置
DE102005010991B3 (de) * 2005-03-03 2006-09-07 Isfahani, Saeed, Dipl.-Ing. Vorrichtung zum Aufbringen von Schutzschichten
US20070085085A1 (en) * 2005-08-08 2007-04-19 Reiber Steven F Dissipative pick and place tools for light wire and LED displays
WO2008032359A1 (fr) 2006-09-11 2008-03-20 Mitsubishi Electric Corporation Procédé de production d'une électrode pour traitement de surface par décharge électrique et électrode pour traitement de surface par décharge électrique
WO2008120648A1 (ja) * 2007-03-30 2008-10-09 Ihi Corporation 放電表面処理方法及び修理方法
DE102009041611B4 (de) * 2009-09-17 2011-09-15 Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg Kupplung und Antriebssystem
EP2892462A1 (de) 2012-09-04 2015-07-15 3M Innovative Properties Company Verfahren zur herstellung eines zahnersatzes
CN103658881B (zh) * 2013-11-29 2016-04-13 东莞市俊知自动机械有限公司 正面放电加工机
US10533439B2 (en) 2014-12-16 2020-01-14 United Technologies Corporation Gas turbine engine component with abrasive surface formed by electrical discharge machining
KR102434359B1 (ko) 2016-08-29 2022-08-22 주식회사 내일해 정축 및 탈축 디지털 홀로그램 생성 장치 및 방법
CN106363263B (zh) * 2016-11-24 2019-03-15 广东工业大学 一种大导程多滚道滚珠螺母圆弧螺旋槽的电解加工机床
WO2019112074A1 (ko) 2017-12-04 2019-06-13 주식회사 내일해 정축 및 탈축 디지털 홀로그램 생성 장치 및 방법
KR102627448B1 (ko) 2018-03-09 2024-01-23 주식회사 내일해 정축 및 탈축 디지털 홀로그램 생성 장치 및 방법
KR102162583B1 (ko) * 2019-01-29 2020-10-07 영남대학교 산학협력단 방전 밀링 가공 장치
US11833604B2 (en) * 2019-05-23 2023-12-05 Corning Incorporated Method of preparing an electrode for use in forming a honeycomb extrusion die
CN110385489A (zh) * 2019-08-07 2019-10-29 合肥学院 一种整体叶盘电解初成型加工轨迹参数的设计优化方法
CN111347303B (zh) * 2020-05-13 2021-08-27 绍兴中松智能科技有限公司 用于阀盖上圆孔打磨整形的自循迹变径加工机器人整机
CN111360850B (zh) * 2020-05-13 2021-09-28 绍兴中松智能科技有限公司 用于阀盖上圆孔打磨整形的自循迹变径加工机械手

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57173423A (en) * 1981-04-17 1982-10-25 Inoue Japax Res Inc Electric discharge machining equipment
DE3533002C2 (de) * 1985-09-16 1989-03-02 Aktiengesellschaft Fuer Industrielle Elektronik Agie Losone Bei Locarno, Losone, Locarno, Ch
JPH0283119A (ja) * 1988-01-26 1990-03-23 Naotake Mori 放電加工方法
DE4002810C2 (de) * 1989-02-03 1992-11-26 Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo, Jp
EP0548932A1 (de) * 1991-12-25 1993-06-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Verfahren zur Herstellung einer Oberflächenschicht durch elektrische Entladungen

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE791921A (fr) * 1971-11-27 1973-03-16 Dso Isot Procede et dispositif pour accumulation locale par etincelle electriquede metaux et d'alliages a l'aide d'une electrode tournante
US4310742A (en) * 1977-12-20 1982-01-12 Ateliers Des Charmilles, S.A. EDM Process and apparatus for machining cavities and slots in a workpiece
JPS5748432A (en) * 1980-09-03 1982-03-19 Mitsubishi Electric Corp Surface hardening method using electric discharge machining device
JPS57132927A (en) * 1981-02-03 1982-08-17 Inoue Japax Res Inc Spark machining device
WO1983001216A1 (en) * 1981-10-05 1983-04-14 Lach, Horst Method and device for machining non-conductor materials bound to a metal
JPS6224916A (ja) * 1985-07-22 1987-02-02 Masahiko Suzuki 放電加工による表面層の形成方法
JPS62114876A (ja) * 1985-11-09 1987-05-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd メタルボンド砥石のドレツシング方法
SU1662781A1 (ru) * 1988-08-25 1991-07-15 В.С.Тарасов и В.В.Зор Установка дл электроэрозионного легировани
SU1704971A1 (ru) * 1989-04-04 1992-01-15 Бельцкий Государственный Педагогический Институт Им.Алеку Руссо Способ электроэрозионного легировани и устройство дл его осуществлени
US5189276A (en) * 1990-02-13 1993-02-23 Mitsubishi Denki K.K. Method and apparatus for treating the dielectric used in electrical discharge machining
JP2630666B2 (ja) * 1990-05-30 1997-07-16 三菱電機株式会社 放電加工装置
US5434380A (en) * 1990-07-16 1995-07-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Surface layer forming apparatus using electric discharge machining
JPH04210371A (ja) * 1990-12-03 1992-07-31 Honda Motor Co Ltd 研削方法
JPH0593283A (ja) * 1991-10-01 1993-04-16 I N R Kenkyusho:Kk 放電被覆方法及び装置
JPH05106060A (ja) * 1991-10-11 1993-04-27 Daido Steel Co Ltd サーメツト材の表面強化処理方法
JPH05179459A (ja) * 1991-12-26 1993-07-20 I N R Kenkyusho:Kk 放電溶着加工方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57173423A (en) * 1981-04-17 1982-10-25 Inoue Japax Res Inc Electric discharge machining equipment
DE3533002C2 (de) * 1985-09-16 1989-03-02 Aktiengesellschaft Fuer Industrielle Elektronik Agie Losone Bei Locarno, Losone, Locarno, Ch
JPH0283119A (ja) * 1988-01-26 1990-03-23 Naotake Mori 放電加工方法
DE4002810C2 (de) * 1989-02-03 1992-11-26 Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo, Jp
EP0548932A1 (de) * 1991-12-25 1993-06-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Verfahren zur Herstellung einer Oberflächenschicht durch elektrische Entladungen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Electrical Machining Technologie, Vol. 10, No. 53,(1992), S. 38-43 *

Also Published As

Publication number Publication date
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JPH07112329A (ja) 1995-05-02
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DE4436663A1 (de) 1995-04-20
KR0154178B1 (ko) 1998-11-02
US5651901A (en) 1997-07-29
CN1055139C (zh) 2000-08-02
CH689157A5 (de) 1998-11-13
KR950011022A (ko) 1995-05-15

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