DE2929346C2 - Regenerierbare formstabile Faserwerkstoff-Elektrode für schmelzflußelektrolytische Prozesse - Google Patents
Regenerierbare formstabile Faserwerkstoff-Elektrode für schmelzflußelektrolytische ProzesseInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine regenerierbare, formslabile Elektrode für Hochtemperaturanwendungen, insbesondere
Schmelzflußelektrolysen, in Form von Stäben, Rohren oder Matten aus einem elektrisch leitenden
Träger und einem Überzug aus gegenüber dem Elektrolyten beständigen, keramischen oder metalikeramischen
Sintermassen.
Bei der elektrolytischen Erzeugung von Aluminium, Magnesium, Natrium, Lithium und anderen Metallen oder
Verbindungen werden heute vornehmlich Kohlenstoff-Elektroden aus amorpher Kohle oder Elektrographit
technisch verwendet. Sie dienen vornehmlich der Stromführung und greifen über Elektrodenreaktionen, wie bei
der Aluminiumerzeugung, in das Prozeßgeschehen ein. Der tatsächliche Verbrauch liegt jedoch in allen Anwendungsfällen
weit über dem theoretisch vorgesehenen. Die Oxidationsfähigkeit von Kohlenstoff-Elektroden bei
höheren Temperaturen führt zu erheblichem Verschleiß. Man kann davon ausgehen, daß jährlich von einem
Gesamtverbrauch von ca. IO Mio t Kohlenstoff-Elektroden ca. 3 Mio t nutzlos durch Luftoxidation abgebrannt
werden. Versuche durch oxidationshemmende Imprägnierung und Schutzüberzüge den Verbrauch entscheidend
zu senken, zeigten nur geringen Erfolg, bedingt durch das unterschiedliche thermische Ausdehnun.gsverhalten
solcher Materialien verglichen zum Kohlenstoff.
Die Notwendigkeit der Entwicklung formstabiler, sich wenig verzehrender und regenerierbarer Elektroden
ergibt sich aus den Nachteilen der Kohlenstoff-Elektroden.
Die technische Bedeutung formstabiler Elektroden für Schmelzflußelektrolyseverfahren liegt vornehmlich auf
zwei Gebieten:
a) Substitution des petrochemischen Elektrodenrohstoffs Petrolkoks,
b) Verringerung des Energieverbrauchs durch Verringerung des inneren elektrischen Widerstands der Elektrode.
Es ist bereits bekannt. Elektroden aus elektrisch leitenden sowie chemisch einigermaßen resistenten Kerami-
ken zu erzeugen und für schmelzflußelektrolytische Prozesse einzusetzen. Während in C-Anoden für die Aluminium-Schmelzflußelektrolysc
die elektrische Belastbarkeit bei 0,85 A/cm- liegt, können keramische Sonderwerkstoffe
bis 3 A/cm2 belastet werden.
So werden in der GB-PS 11 52 124 sauerstoffioncnleitcnde Anoden, die vorwiegend aus stabilisiertem Zirkonoxid
bestehen, beschrieben.
Weiterhin werden gemäß US-PS 40 57 480 Elektroden aus elektronenleitenden Metalloxiden hergestellt.
Solche Anoden bestehen zu einem hohen Prozentsatz aus Zinnoxid. Probleme bestehen durch die noch unzureichende
chemische Resistenz und durch den hohen Innenwiderstand des nicht in die Schmelze tauchenden Teils
der Anoden, bedingt durch Jic sehr starke Temperaturabhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit des Zinnoxids.
Die klassische Elektrode aus graphitischem und niehtgraphitisehem Kohlenstoff ist ein Zylinder variierenden
Durchmessers und unterschiedlicher Länge oder ein Rechteck-Block unterschiedlicher Abmessung. Typische
Abmessungen für Elektroden, die heute bei der Erzeugung von Magnesium eingesetzt werden, sind
80 χ 40 χ 1800 mm. Für die Aliiminiumerzeugung können Formate von 2250 χ 750 χ 950 mm erreicht werden. Es
handelt sich also im Gegensatz zu wäßrigen Elektrolysen immer um Massivblöcke. Diese Dimensionierung ist
für die teuren, besser leitenden Hochtemperaturkeramiken bei formstabilen Elektroden nicht angebracht und
b5 auch nicht erforderlich. Erste Ansätze, eine den neuen Werkstoffen angepaßte konstruktive Lösung für die
Elektroden zu finden, werden in der CH-PS 5 75 014 vorgestellt. So werden in die Sinterschichten Abzugskanäle
für die Gasabfuhr in ähnlicher Weise wie bei Elektroden für die Chlorerzeugung aus Salzsolcn in Horizontalzcllen
eingebracht.
Die DE-OS 27 57 808 beschreibt Elektroden, die im wesentlichen aus 40—90% wenigstens eines Ventilmetallborids,
5—40% Siliciumcarbid und 5—40 Gew.-% Kohlenstoff bestehen. Sie werden als gesintert bezeichnet,
wobei das Wort »gesintert« für Gemische von SiC-Ventilmetallborid-Graphit in selbsttragenden, im wesentlichen
festen Körpern verwendet wird, wobei diese Körper nach in der keramischen Industrie üblichen Methoden,
wie Druck- und Wärmeanwendung auf das gepulverte Gemisch, durch Gießen der Metalle in Gießformen, durch
Extrusion oder durch Verwendung von Bindemitteln hergestellt werden. Im Inneren der gesinterten Elektroden
kann ein Metallnetz oder eine Metallseele oder eine Seele aus solchem flexiblen Material zur Verbesserung der
Stromverteilung und der besseren elektrischen Verbindung der Elektroden zum elektrischen Versorger und zur
mechanischen Verstärkung vorgesehen sein.
Weiterhin sind aus der DE-OS 20 59 866 Anoden für die Schmelzflußelektrolyse bekannt, die aus einem
Träger aus einem geformten Drahtgewebe mit einem Überzug aus einem oxidkeramischen Material bestehen.
Metallische Trägermaterialien haben jedoch generell den Nachteil, daß sie bei Hochtemperaturanwendungen,
also z. B. bei den Temperaturen der Schmelzflußelektrolyse des Aluminiums bei einer Temperatur um 11000C
bereits so weich werden, daß sie ihre Funktion als tragende Komponente nicht mehr erfüllen können.
Davon ausgehend besteht die Aufgabe dieser Erfindung darin, eine neuartige Elektrode für Hochtemperaturanwendungen,
insbesondere der Schmelzflußelektrolysen, bereitzustellen, die eine höhere elektrochemische
Aktivität, einen geringeren elektrischen Innenwiderstand sowie eine höhere Lebensdauer aufweist, und die
darüber hinaus leicht regenerierbar ist
Die erfindußgigemäße Lösung dieser Aufgabe ist eine Elektrode mit den im Kennzeichen von Anspruch 1
genannten Merkmalen. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Elektroden
ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die anorganischen, nicht metallischen, elektrisch leitenden Fasern sind dazu bestimmt, die mechanische
Festigkeit und auch die gleichmäßige und gute Verteilung des Stromes in der Elektrode vorzunehmen und den
Strom in der gewünschten Weise zur reaktiven Fläche an der äußeren Deckschicht der Fasern zu leiten.
Gemäß ihrer MikroStruktur lassen sich anorganische Fasern in eine amorphe, monokristalline und polykristalline
Gruppe einteilen. Aus der Gruppe der amorphen Fasern bieten sich besonders Kohlenstoff-Fasern in
beschichteter oder unbeschichteter Form an. Von den Eigenschaften her sind die monokristallinen Fasern
(Whisker) als strukturtragendes Element sehr interessant Der Anwendung von SiC-, B4C- oder ähnlichen
Whiskern könnte der Preis eine Grenze setzen. Aus der Gruppe der polykristallinen Fasern bieten sich die
anorganischen F«jern aus Kohlenstoff, Bor, Borcarbid, Siliciumcarbid, Zirkoncarbid, Tantalcarbid, Wolframcarbid,
Urancarbid.Titandiborid oder 7irkonoxid an.
Solche Fasern können in Gestalt von Einzelfasern, Fasersträngen, Kordeln, Filzen, Geweben oder als Kurzfasern
vorliegen.
Diese Fasern werden in üblicher Verfahrenstechnik als Grundfaser- oder Faserwerkstoff, z. B. durch Schmelzspinn-,
Extrusions- und Ziehverfahren mit oder ohne thermische Nachbehandlung erzeugt.
Die wichtigsten Darstellungsverfahren für Whisker sind z. B. die Reduktion von Metallhalogenide!! und die
Abscheidung aus der Gasphase.
Ein Verfahren zur Hersteilung von Fasern aus Metallcarbidcn ist aus der US-PS 34 03008 beginnt. Auf die
dort beschriebene Weise erhält man Urancarbid-Fasern, Wolfram- und Siliconcarbidtücher, Zirkoncarbidfasern,
Titan- und Borcarbidfasern.
Einige typische Eigenschaften solcher anwendbaren Fasern gibt folgende Tabelle wieder:
Fasertyp
Schmelz- oder
Erweichungstemperatur
CQ
Dichte
(g/cmJ)
(g/cmJ)
Elastizitäts-Modul
(N/mm2)
(N/mm2)
Bor | 2 300 |
SiC | 2 700 |
Zirkondioxid | 2 700 |
Kohlenstoff | 3 600 |
Kohlenstoff/Bor/Carbid | 3 000 |
Whisker: | |
SiC | 2 690 |
Kohlenstoff | 4 000 |
2,70 | .1,95 | 400 000 |
3,50 | 450 000 | |
4,84 | 350 000 | |
1,75.. | 260 000. | |
2,25 | 400 000 | |
3,21 | 500 000 | |
2.20 | I 000 000 | |
.380 000
Typische Eigenschaftswerte von Kohlenstoff-Fasern als Basis für die erfindungsgemäßen Elektroden sind:
Kohlenstoff-Faser-Typen:
Kohlenstoff-Faser-Typen:
Typ 5
Zugfestigkeit (N/mm2)
Dichte (g/cmJ)
spez. el. Widerstand (Ohm mm2/m)
2800
1.80
10
Einige charakteristische Werte für Kohlenstoff-Fasergewebe als Ausgangsstoff für den Träger der erfindungsgemäßen
Elektroden sind:
Kohlenstoff-Filz-Typen:
amorph graphitisch
Reißfestigkeit (N/mm2) 0,!... O^ 0,05... 0,1
Dichte (g/cm3) 0,1 0,1
spez.el. Widerstand (Ohm mm2/m) 6000...9000 2000...4000
Kohienstoff-Kordel:
Reißlast (N) 35...50
Dichte (g/cm3) 0,1 ... 0,4
spez. el. Widerstand (Ohm mm!/ra) 100... 200
Folgende Werkstoffe sind für den elektrisch leitenden Träger, bestehend aus Fasern mit ein oder mehreren
Deckschichten, für die erfindungsgemäßen Elektroden geeignet:
1. Kohlenstoff Fasern, beschichtet mit Titancarbid, Tantalcarbid/Tantaloxid, Wolframcarbid, Platin, Zirkon/
Zirkonoxid;
mit Tantal oder Tantaloxid bedamofte oder plasmagespritzte Kohlenstoff-Fasern wandeln sich bei Temperaturen
von 1600 bis 1900° C im Vakuum oder unter Schutzgas nach der Formel
η Ta2O5 + m Ta + {In + m) C — (2n + m) TaC + 5n CO
um.
Tantalcarbid neigt zur Bildung von Einlagerungsverbindungen in die oktaedrischen Lücken seines Gitters.
Darüber hinaus existieren zwischen dem Ta2C (Herabsetzung des Trägergitters mit C) und dem TaC
(Vollbesetzung) eine Vielzahl von Zwischenstufen. Der breite Homogenitätsbereich spiegelt sich insbesondere
in den physikalischen Kennzahlen wieder, während die chemische Resistenz und die elektrochemische
Aktivität geringfügiger variieren. Ähnliche Verhältnisse bestehen ebenfalls bei den isotypischen Carbiden
des Niobs, Molybdäns und Wolframs. Die Tantalcarbide sind die Verbindungen mit dem höchsten bekannten
Schmelzpunkt. TaCo35 schmilzt bei Temperaturen größer 4000°C. Tantalcarbid ist im Bereich der hohen
Temperaturen beständig gegen viele Metallschmelzen und nichtoxidierende Salzschmelzen. Dagegen wird
es von oxidierenden Salz- und Alkalischmelzen angegriffen. Bei Temperaturen über 400°C an Luft reagiert
es sehr heftig mit Luftsauerstoff. Für den Einsatz bei elektrochemischen Hochtemperaturprnzessen ist eine
vorherige Oberflächenoxidation der Gesamtelektrode zu empfehlen, die die Tantalcarbidschicht mit einer
Überflächenschutzschicht aus Tantaloxid versieht.
Von besonderer technischer Wirksamkeit für die Tr".ger der erfindungsgemäßen Elektroden ist eine Kombination
von Kohlenstoff-Fasern mit einer Tantalcarbidauflage, die erneut mit Tantal überzogen ist, das
oberflächlich in Oxid verwandelt wird.
Besonders günstig haben sich als weitere Deckschichten für Kohlenstoff-Fasern mit Tantalcarbid-Deckschicht
Cermet-Deckschichten aus Platin/Tantaloxid, Platin/Tantalcarbid, Platin/Titandiburid erwiesen.
Analog eignen sich für üe zweite Deckschicht auch Cermet-Materialien der genannten Art mit anderen
Piatinmetallen.
2. Wolframcarbid-Fasern, beschichtet mit Bor oder Bor und SiC (Borsic-Filamente), oder
3. Tantalcarbid-Fasern, beschichtet mit Tantal und Tantaloxid, oder
4. Titandiborid-Pasern oder Titancarbid-Fasern, beschichtet mit Tantalcarbid oder Tantaloxid, oder
so 5. Zirkonoxid-Fasern, beschichtet mit Titanborid.
so 5. Zirkonoxid-Fasern, beschichtet mit Titanborid.
Zum Ausgleich der üblicherweise positiven thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Deckschichten der
anorganischen Faserwerkstoffe können chemisch resistente und elektrochemisch aktive Materialien mit negativem
thermischem Ausdehnungskoeffizienten eingebaut werden. Solche Verbindungen sind beispielsweise
Ta22W4O67, Ta2WO8 und Ta16W18O9-I. wie sie aus dem J. Am. Ceram. Soc. 61 (1978), S. 163, bekannt sind. Diese
Verbindungen zeichnen sich darüber hinaus durch eine vergleichsweise hohe Duktilität aus.
Die Erweichungstemperaturen dieser Materialien für die Träger der erfindungsgemäßen Elektroden liegen
zwischen 23000C und 36000C. Die Dichten liegen zwischen 1,9 und ca. Π g/cm3: die Biegefestigkeiten üblicherweise
zwischen ca. 1500 und 4000 N/mm2, bei Whiskern um 20 0OP N/mm2.
Diese elektrisch gut leitenden, gegen den Angriff von Komponenten aus hochtemperaturelektrolytischen
Prozessen resistenten Trägern aus Fasern und Deckschichten werden mit elektrochemisch aktiven Komponenten
umsintert bedeckt, wobei davon ausgegangen wird, daß nach einem Betrieb von mehreren Jahren das aktive
System erneut umsintert werden muß, d. h. die Elektrode wird reaktiviert.
Die Bene:7ungsgüte von Fasern gestattet üblicherweise nur eine Fasernutzung von 20 bis 50%. LIm eine
bessere Oberflächenbedeckung zu erreichen, kann eine Zwischenschicht nach Ber. Dt. Keram. Ges. 55,265(1978)
aufgebracht werj^n. Dadurch erreicht man eine Fasernutzung bis zu 100%. Beim Einsatz von TiN-Zwisehenschichten
können zur keramischen Umgebung Nutzungsgrade der Fasern von ca. 75% erzielt werden; anoxidierte
SiC-Fasern können Nutzungsgrade von ca. 50 bis 80% erreichen.
Auf diese Weise lassen sich die Oberflächen von Faserwerkstoffen der vorgenannten Erfindung mit gut gegen
den Angriff von Komponenten der Hochtemperaturelektrolysen weitgehend resistcntc keramische Materialien
bedecken. Es ist bekannt, für solche Substanzen Verbindungen des Typs SnOj · Fe2O3, NiO · Fe2O3,
ZnO · Fe2Os (US-PS 40 57 480) oder des Typs Yttriiimoxid und wenigstens eines elektrisch leitenden Oxids zu
verwenden (Südafrikanische Patentanmeldung Nr. 77/1931).
Weiterhin sichert die Französische Anmeldung 75 32 354 die Verwendung von 50 Gewichtsprozent eines
keramischen, elektronisch leitenden Materials der Formel XYO2 ab.
Aus der DE-OS 23 54 477 ist die Anwendung von Einbettsubstanzen für elektrochemisch aktive Komponenten
des Typs Ba(M,Tii_,)Oi mit oder ohne Zusatz für die wäßrige Elektrolyse bekannt. Die Verbindungen sind
von J. G. Dickson, L Katz und P. Word erstmals sauber dargestellt und untersucht worden (J. Am. Chem. Soc. 83
[1961], S. 3026). Diese Verbindungen können mit Haftvcrmittlern auf der Basis von SnOi auf anorganische
Fasern aufgesintert werden. Solche elektrochemisch aktiven Verbindungen sind z. B.:
Ba(Pt,).,Tio.-.)Oj oder Ba(Ru(UTiov)Oi oder Ba(Pt112Ti0S)O] sowie Ba(Pd1UiTi07^)Oi.
Die erfindungsgemäßen Elektroden besitzen gegenüber herkömmlichen, vollkeramischen Elektroden einen
wesentlich verringerten Innenwiderstand infolge der minimalen Stromleitwcge der stromführenden Fasern zur
elektrochemisch aktiven Oberfläche.
Dank der hohen elektrischen Leitfähigkeit und der hohen Festigkeit der erfindungsgemäßen Elektroden sind
für diese Elektroden Bauweisen mit relativ geringer Wandstärke möglich, z. B. mit porösem, durchbrochenem
oder netzartigem Aufbau. Solche Bauweisen gewährleisten bei geringerem Materialbedarf eine erheblich vergrößerte
aktive Elektrodenoberfläche, dadurch wird die lokale Stromdichte vermindert und die Lebensdauer der
Elektroden erhöht. Die erfindungsgemäßen Elektroden zeigen eine im Schnitt fast verdoppelte Lebensdauer.
Mißt man die Verschleißrate in g'lOOh, so liegen bei den bislang bekannten Elektroden Werte von 0,7 bis
10 g/100 h vor. In verschiedenen Langzeittests zeigen die erfindungsgemäßen Elektroden Verschleißraten von
0,05 bis 0.20 g/100 h. Auch die Sicherheit gegen heftigen chemischen Areriff bei Stromabschaltung ist erheblich
vergrößert worden. Es wurde in keinem Fall, ähnlich wie bei SnOrElektroden, durch aluminothermische
Reaktionen bei stromlosen Zustand eine Zerstörung beobachtet.
Die Tests der erfindungsgemäßen Elektroden wurden in Elektrolysezellen aus Hartgraphittiegeln mit einem
Fassungsvermögen von ca. 4 kg Schmelze und Metall, die indirekt oder durch den direkten Stromdurchgang
beheizt werden, durchgeführt. Als Kathode diente Kohle/Graphit-Material des Tiegels. Dadurch hat man
Elektroden-Verhältnisse, wie sie heute in Hochstromelektrolysezellen bestehen. Der Tiegelrand wird mit einem
angesinterten Gemisch aus hochgesintertem und hochreinem Ai2G3 geschütz!, um unkontrollierte Rückrcakiiünen
von Systemkomponenten zu verhindern.
Die Längen der eingesetzten Elektroden betrugen 10 cm. ihre Durchmesser 5 cm. Es handelte sich dabei um
zusammengesetzte Röhrchen-, Stäbchen- oder Mattenelektroden. Die Kontaktierungen wurden z. B. mit Platin
durchgeführt. Die Versuchsdauer betrug 250 h. Die Stromdichten wurden mit 0,5 bis 1 A/cm2 gewählt.
Als Elektrolyten wurden beispielsweise gewählt:
A) 89% Na3AlF61S0Zo AIF3.6% Al2O3
B) 32% AlCI3,35% NaCI. 33% BaCO3
C) 39% MgCI2.61% KCi
D) 42% MgCI2,33% KCl, 25% NaCI.
E) Bei Versuchen zur Simulation der Cermetall-Chlorid-Elektrolyse wurde während der Betriebsdauer die
Elektrolyt-Zusammensetzung von anfänglich 1 CeCl2/! CaCl2 schrittweise auf 4 CeCI2/CaCI2 verändert.
Die Badtemperaturen betrugen für die einzelnen Schmelzen:
A) 880 bis 960° C
B) 690 bis 720° C
C) 650 bis 700° C
D) 650 bis 700= C
E) 800 bis 9500C
Als Elektroden dienten beispielsweise:
1. Mehrfachrohrelektroden mit Trägern aus Fasern mit Deckschichten mit einem Rohrdurchmesser von 1 cm
und einem lichten Innenraum von 0,2 cm. Die Kontaktierung erfolgte mit Platindrähten oder platziertem
Eisen.
2. Mehrfachstäbchenrundelektroden mit Trägern aus Fasern mit Deckschichten mit einem Stabdurchmesser
von 1 cm. Die Kontaktierung erfolgte ebenfalls mit piatiniertem Eisen.
3. Elektroden mit Trägern aus Fasermatten mit Deckschichten mit einer Mattenstärke von 1 cm. Die Kontaklierung
erfolgte durch Platinkontakte.
Als Werkstoffe für die Träger wurden verwendet:
a) Kohlenstoff-Fasern mit Tantalcarbid/Tantal/Tantaloxid-Deckschichten;
b) Kohlenstoff-Fasern mit Platin/Titancarbid-Deckschichten;
5 c) Bor/SiC-Faser mit Platin/Ba(Pt(uTio.8)03-Deckschicht;
i) wie c) jedoch mit Zusatz von Ta22W.tO67:
e) Zirkonoxidfaser mit Deckschicht aus Tantaloxid mit Ta2WOg.
Als Sintermasse wurden zinnoxidhaltige Sintermassen verwendet, wie sie in der US-PS 40 57 480 beschrieben
ίο sind. Die Verschleißergebnisse lagen bei Einsatz der verschiedenen Elektroden in die Schmelzen wie folgl:
Elektrode | Schmelze | Verschleiß in |
g/IOOh | ||
I a | A | 0.12 |
1 a | C | 0.0b |
1 a | E | 0.08 |
1 b | A | 0,09 |
1 a | B | 0,05 |
1 d | A | 0.13 |
1 d | C | 0,06 |
2c | A | 0,09 |
2c | B | 0,05 |
2a | B | 0,10 |
3b | E | 0,12 |
3a | E | 0.12 |
Es zeigt sich, daß keine technisch bedeutsamen Unterschiede zwischen den einzelnen Elektrodentypen beim
Einsatz bestehen.
Claims (6)
- Patentansprüche:1 Regenerierbare, formstabile Elektrode für Hochtemperaturanwendungen, insbesondere Schmelznußelektrolysen, in Form von Stäben, Rohren oder Matten aus einem elektrisch leitenden Träger und einem Überzug aus gegenüber dem Elektrolyten beständigen, keramischen oder metalikeramischen Sintermassen, dadurchgekennzeichnet.daßder Träger aus anorganischen Fasern aus Kohlenstoff, Bor, Borcarbid, Siliciumcarbid, Zirkoncarbid, Tantalcarbid, Wolframcarbid, Urancarbid, Titandibond oder Zirkondioxid und ein oder mehreren Deckschichten aus Carbiden, Nitriden, Boriden, Oxiden oder Metallen besteht.
- 2. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern zu Faserbündeln, Kordeln, Filzen ίο oder Geweben zusammengefaßt sind.
- 3 Elektrode nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern aus Whiskern bestehen.
- 4. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Faser aus Kohlenstoff, die eine Deckschicht aus Tantalcarbid und die weiteren Deckschichten aus Tantal/Tantaloxid. Metallen der Platinmetallgruppe/Tantaloxid, Metallen der Platinmetallgruppe/Tantalcarbid oder Metallen der Platinmetallgruppe/Titandiborid bestehen.
- 5. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschichten Ta2JW4O2 und/oder Ta2WO8 und/oder Ta16W18O94 enthalten.
- 6. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Träger und den Sir.terrnassen haftungsvermittelnde Zwischenschichten angeordnet sind.7- Elektrode nach°Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschichten aus SiO2 oder TiN bestehen oder SnO2 enthalten.
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1980
- 1980-07-21 JP JP9974480A patent/JPS5675588A/ja active Pending
Also Published As
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