DE2928205A1

DE2928205A1 - Optische vielstrahl-modulationsund -ablenkvorrichtung

Info

Publication number: DE2928205A1
Application number: DE19792928205
Authority: DE
Inventors: Akio Ioka; Koichiro Kurahashi
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1978-07-14
Filing date: 1979-07-12
Publication date: 1980-01-24
Also published as: DE2928205C2; JPS6228447B2; US4444470A; JPS5512976A

Description

Henkel, Kern, Feiler & Hänze! Patentanwälte

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before the

European Patent Office

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D 8000 München 80

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FAM-4487/wa

12. Juli J979

Optische Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine optische Vielstrahl-Modulationsund -Ablenkvorrichtung zur Ansteuerung eines akustischoptischen Ablenkelements mit einer Anzahl von Hochfrequenz-Treibersignalen, um gleichzeitig einen auf dieses Ablenkelement auftreffenden Laserstrahl in mehrere Ausgangsstrahlen aufzuteilen und letztere zudem zu modulieren und jeweils voneinander unabhängig abzulenken. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf Verbesserungen an Einrichtungen zur Erzeugung dieser Hochfrequenz-Treibersignale zwecks Reduzierung von Streu- oder Störungsausgangsstrahlen.

Bekanntlich kann ein einziges akustisch-optisches Ablenkelement benutzt werden, um eine Anzahl von durch Beugung abgelenkten Lichtstrahlen zu erzeugen. Beispielsweise wird ein solches element in jüngster Zeit in Verbindung mit Hochgeschwindigkeit-Laserdruckern verwendet, die einen Laser als Lichtquelle verwenden.

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Die bisherigen Laserdrucker umfassen das akustisch-optische Ablenkelement zur Aufnahme eines Laserstrahls, eine Ansteuer- oder Treibersignalquelle zur gleichzeitigen Ansteuerung dieses Ablenkelements mit mehreren Hochfrequenzsignalen zwecks Erzeugung einer Anzahl von Ausgangslaserstrahlen, die entsprechend den verschiedenen Hochfrequenz-Treiber Signalen moduliert und abgelenkt sind, einen reflektierenden Polygonspiegel zum Reflektieren der Ausgangsstrahlen vom Ablenkelement senkrecht zum Ablenkwinkel der Ausgangsstrahlen zwecks Bildung eines Satzes paralleler Abtastlinien oder -zeilen sowie einen Ausdruck- oder Druckerabschnitt zum Fixieren der Bilder der Abtastzeilen, die durch die darauf fokussierten Ausgangslaserstrahlen gebildet werden. Bei dieser Vorrichtung werden die verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale mit zugeordneten Druckdatensignalen einzeln ein- und ausgeschaltet, wobei die durch die EIN- und AUS-Zustände der Ausgangslaserstrahlen vom Ablenkelement gebildeten Daten gleichzeitig in Form einer Vielzahl von Punkten in Abtastzeilen ausgedruckt werden, deren Zahl derjenigen der Treibersignale entspricht. Auf diese Weise werden zahlreiche Datenpunktlinien oder -zeilen bei der Abtastung mittels des rotierenden Polygonspiegels parallel zueinander ausgedruckt.

Bei dieser Vorrichtung ist es zur Erhöhung der Druckgeschwindigkeit vorteilhaft, die Zahl der parallelen Druckpunkte oder die Zahl der die Hochfrequenz-Treibersignale liefernden Oszillatoren zu vergrößern. Die Zahl der Oszillatoren ist jedoch aus noch zu erläuternden Gründen wegen der Streu- bzw. Störbeugung begrenzt, die durch das nichtlineare Ansprechen des akustisch-optischen Ablenkelements und eines zugeordneten Treiberverstärkers hervorgerufen wird.

Es ist schwierig, eine Oszillatorgruppe aus einer Anzahl von Einzeloszillatoren herzustellen, deren Schwingungs-

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phasen ideal zufallsitiäßig verteilt (random) und voneinander unabhängig sind, weil bei mehreren, voneinander unabhängigen Oszillatoren deren Schwingungsphasen bestrebt sind, einander mitzunehmen (pull in). Wenn mehrere Hochfrequenz-Treibersignale mit gleichen Phasen gleichzeitig an das Ablenkelement angelegt werden, kann dessen resultierendes Treibersignal sehr hohe Scheitel- bzw- Spitze-Spitze-Amplituden besitzen, die groß genug sind, um das Ablenkelement zu veranlassen, in nichtlinearer Weise auf die einzelnen Treibersignale anzusprechen und dabei eine Intermodulation der Signalkomponenten herbeizuführen, wodurch neben der normalen Beugung auch Störbeugungen eingeführt werden. Dasselbe gilt für den Treiberverstärker. Hierdurch wird die Güte der ausgedruckten Daten stark verschlechtert. Die ungünstigen Einflüsse verstärken sich mit zunehmender Oszillatorzahl.

Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung einer verbesserten und zweckmäßigen optischen Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung zum Modulieren und Ablenken eines Laser(licht)Strahls mit überhoher Geschwindigkeit und hoher Genauigkeit, indem verhindert wird, daß ein resultierendes Treibersignal, das aus mehreren, von einzelnen Oszillatoren gelieferten Hochfrequenz-Treibersignalen zusammengesetzt ist, hohe Scheitelamplituden besitzt, so daß das nichtlineare Ansprechen sowohl des verwendeten akustisch-optischen Ablenkelements als auch eines zugeordneten Verstärkers vermieden wird und damit Störausgangsstrahlen weitgehend unterdrückt werden.

Diese Aufgabe wird bei einer optischen Vielstrahl-Modulationsund -Ablenkvorrichtung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß sie ein akustisch-optisches Ablenkelement zur Abnahme eines Laser(licht)Strahls, eine Ansteuer- bzw. Treiberein-

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richtung zur Erzeugung mehrerer Hochfrequenz-Treibersignale für die Ansteuerung des Ablenkelements und eine in der Treibereinrichtung angeordnete Phasenregeleinrichtung aufweist, welche die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale einzeln entsprechend einem vorbestimmten Phasenschema einstellt, und daß das Ablenkelement durch die verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale gleichzeitig ansteuerbar ist, um mehrere unabhängig voneinander modulierte und abgelenkte Laserstrahlen zu erzeugen.

Vorteilhaft kann die Phasenregeleinrichtung die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale in Übereinstimmung mit einem Phasenschema steuern oder regeln, das für ein EIN/AUS-Schema der ansteuernden Hochfrequenz-Treibersignale vorherbestimmt worden ist.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bisherigen Laserdruckers mit einem Lasergerät als Lichtquelle,

Fig. 2a eine graphische Darstellung der Frequenzabhängigkeit der Diffraktions- bzw. Beugungsleistung des akustisch-optischen Ablenkelements gemäß Fig. 1,

Fig. 2b eine graphische Darstellung der Wellenform eines Vielfrequenz-Signals aus einer Vielzahl von Hochfrequenz-Treibersignalkomponenten mit gleichen Phasen,

Fig. 3 ein Blockschaltbild einer optischen Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,

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Fig. 4 eine graphische Darstellung zur Erläuterung der Erfindung, und

Fig. 5 ein Blockschaltbild einer abgewandelten Ausführungsform des Treibersystems gemäß Fig. 3.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten, bisherigen Laserdrucker wird das von einer Laserlichtquelle 10 emittierte Laserlicht durch ein Strahlformsystem 12 geleitet, um zu einem gewünschten Lichtstrahl oder -bündel umgesetzt zu werden, der bzw. das wiederum auf ein akustisch-optisches Ablenkelement 14 fällt, welches durch eine allgemein mit 16 bezeichnete Treibersignalquelle angesteuert wird. Letztere enthält mehrere Oszillatoren, bei der dargestellten Anordnung drei Oszillatoren 18, 20 und 22, die jeweils verschiedene Schwingfrequenzen besitzen. Von den Oszillatoren 18-22 abgegebene Hochfrequenz-Treibersignale werden einer Addierschaltung 24 eingegeben und in dieser zu einem Vielfrequenz-Treibersignal 26 zusammengesetzt. Nach der Verstärkung durch einen Verstärker 28 wird dieses Treibersignal 26 an das genannte Ablenkelement 14 angelegt, um dieses mit den im Treibersignal enthaltenen Hochfrequenz-Treibersignalen gleichzeitig anzusteuern.

Der auf das Ablenkelement 14 fallende Laserstrahl wird in Abhängigkeit von den einzelnen, das Vielfrequenz-Treibersignal 26 am Ablenkelement 14 bildenden Hochfrequenz-Treibersignalen gebeugt und dabei in mehrere, im vorliegenden Fall drei Ausgangsstrahlen 30, 32 und 34 aufgeteilt, die jeweils Beugungswinkel entsprechend der Frequenz der Treibersignale besitzen. Die abgelenkten Ausgangsstrahlen 32, 34 und 36 werden durch ein fokussierendes optisches System 36 geleitet und sodann senkrecht zum Ablenkwinkel durch einen rotierenden Polygonspiegel 38 abgetastet (scanned), um auf einem Druckerteil 40 nicht

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dargestellte, längsverlaufende Äbtastzeilen zu bilden, deren Zahl derjenigen der Treibersignale entspricht. Der Druckerteil 40 bewirkt die Fixierung der durch die Abtastzeilen geformten Bilder.

Bei dieser beschriebenen Vorrichtung können also durch Ein- und Ausschalten der betreffenden Oszillatoren mittels zugeordneter Drucksignale durch die EIN- oder AOS-Zustände der Ausgangsstrahlen vom Ablenkelement dargestellte Daten in Form einer Vielzahl von Punkten gleichzeitig in den Abtastzeilen ausgedruckt werden.

Bisherige Verfahren bzw. Vorrichtungen, wie die vorstehend anhand von Fig. 1 beschriebene, stellen fortschrittliche Möglichkeiten zur Gewährleistung der Modulation eines Laserstrahls mit hoher Geschwindigkeit bei verringerter Drehzahl des rotierenden Polygonspiegels 38 dar, um die modulierten Strahlen mit hoher Zeilenabtastfrequenz abzutasten, wobei die Eigenschaften der vorhandenen akustisclv-optischen Ablenkelemente bestmöglich genutzt werden. Da eine Abweichung der Drehachse des Drehspiegels unmittelbar die Positionsgenauigkeit, mit welcher die Abtastung der Laserstrahlen im System erfolgt, beeinflußt, wird der Drehspiegel vorteilhaft mit möglichst niedriger Drehzahl angetrieben,um dadurch seine Stabilität zu verbessern und seine Betriebslebensdauer zu verlängern.

Zu diesem Zweck wird vorzugsweise die Zahl der die parallelen Druckzeilen bildenden Punkte oder die Zahl der in der Treibersignalquelle 16 enthaltenen Oszillatoren innerhalb des zulässigen Frequenzbands des verwendeten Ablenkelements auf eine möglichst große Zahl vergrößert. Bei einer Vergrößerung der Zahl von Oszillatoren werden jedoch tatsächlich

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die Schwingphasen der einzelnen Oszillatoren mitgezogen bzw. aneinander angekoppelt. Aus diesem Grund erwies es sich bisher als schwierig, eine Gruppe von Oszillatoren zu bilden, deren Schwingphasen ideal zufallsmäßig verteilt und voneinander unabhängig sind.

Die von den einzelnen Oszillatoren (18 - 22) gelieferten Hochfrequenz-Treibersignale lassen sich ausdrücken durch

F_n = A_n sin (2 JT f_nt ₊ φ_η),

worin A und f Amplitude bzw. Frequenz der Treibersignale und η = 1, 2 ..., N bedeuten, und zwar unter der Voraussetzung, daß die Phasen φ dieser Signale phasengleich sind, nämlich z.B. φ = 0 gilt. Unter diesen Bedingungen besitzt ersichtlicherweise ein resultierendes Signal F = £_^F hohe Scheitel- bzw. Spitze-Spitze-Amplituden.

Beispielsweise sei angenommen, daß N = 8 gilt, so daß das resultierende Signal bzw. Vielfrequenz-Signal 26 acht FrequenzSignalkomponenten enthält, und daß das akustischoptische Ablenkelement 14 eine von der Frequenz abhängige Beugungsleistung (diffraction efficiency) gemäß Fig. 2a besitzt, in welcher die Beugungsleistung η_ auf der Ordinate gegenüber der Frequenz auf der Abszisse aufgetragen ist. Gemäß Fig. 2a besitzt die Beugungsleistung oder -größe ^₁ einen Wert von 0,75 bei der Mittenfrequenz f und einen solchen von 0,5 an der oberen und unteren Grenze f_max bzw. f . der Arbeitsfrequenzbandbreite des Ablenkelements 14. Unter den angenommenen Voraussetzungen wird mittels eines elektronischen Rechners die Amplitude des resultierenden Signals F mit den Amplituden A der acht Signalkomponenten mit jeweils gleicher Beugungsleistung und mit Null betragenden Phasen Φ_η simuliert bzw. nachgebildet. Das Ergebnis dieser Nachbildung ist in Fig. 2b veranschaulicht, in welcher auf der Ordinate die augenblickliche Amplitude

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des Signals F und auf der Abszisse die Zeit aufgetragen sind. Gemäß Fig. 2b entsteht dabei eine sehr große Scheitelamplitude.

Wenn das resultierende Treibersignal 26 gemäß Fig. 2b eine hohe Scheitelamplitude besitzt, wird der Verstärker 28 durch diese hohe Scheitelamplitude des Signals 26 gesättigt, so daß er nicht mehr linear auf die Eingangssignale F (mit η = 1, 2, ....,N) anzusprechen vermag. Infolgedessen entsteht im Verstärker 28 und im Ablenkelement 14 Nichtlinearität, wobei Intermodulation zwischen den Treibersignalkomponenten auftritt. Aus diesem Grund erzeugt das Ablenkelement 14 Streu- oder Störausgangsstrahlen gebeugten Lichts zusätzlich zu den normalen Ausgangsstrahlen, die mit den Komponenten des Vielfrequenzsignals 26 gebeugt wurden. Diese Beugungsstreu- oder -störstrahlen beeinträchtigen die Güte der ausgedruckten Daten sehr stark.

Beim Verstärker 28 könnte der Bereich des linearen Ansprechens bei der Verstärkung des resultierenden Treibersignals 26 mit hoher Scheitelamplitude verbreitert werden, doch erfordert diese Maßnahme einen mit sehr hoher Leistung arbeitenden Verstärker, so daß sie nicht wirtschaftlich ist. Da außerdem der Dynamikbereich des Ablenkelements 14 endlich ist, kann nicht erwartet werden, daß dieses Laserausgangsstrahlen liefert, die mit dem resultierenden Treibersignal mit hohen Scheitelamplituden linear sind, außer dann, wenn die Amplitude jedes Treibersignals A ziemlich klein gehalten wird. Diese Maßnahme erfordert die Verwendung eines Lasers wesentlich größerer Leistung, so daß sie ebenfalls unwirtschaftlich ist. Je größer die Zahl der Oszillatoren (z.B. 18 - 22) ist, um so deutlicher werden diese ungünstigen Auswirkungen.

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Die Erfindung bezweckt die Ausschaltung der vorstehend geschilderten Nachteile des Stands der Technik durch Schaffung einer verbesserten Treibersignalquelle (driving source) für ein akustisch-optisches Ablenkelement mit einer Anzahl von Oszillatoren, deren Schwingphasen unabhängig voneinander einstellbar sind.

In Fig. 3, in welcher den Teilen von Fig. 1 entsprechende Teile mit denselben Bezugsziffern wie dort bezeichnet sind, ist eine bevorzugte Ausführungsform einer optischen Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung gemäß der Erfindung dargestellt. Diese Vorrichtung unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 1 durch die Schaltungskonfiguration der Treibersignalquelle 16.

Die Treibersignalquelle 16 enthält mehrere phasengeregelte Oszillatoren 20-1A - 20-NA, die jeweils an Modulatoren 20-1B - 20-NB angeschlossen sind, an die wiederum die einzelnen Drucksignale 42-1 - 42-N angelegt werden, sowie einen mit allen Oszillatoren 20-1A - 20-NA verbundenen Bezugsoszillator 44, um ersteren eine Bezugsphase aufzuprägen.

Die Modulatoren 20-1B - 20-NB sind gemeinsam an eine Addierschaltung 24 und über diese an einen Verstärker 28 angeschlossen. Das resultierende bzw. kombinierte Treibersignal 26 von der Addierschaltung 24 wird durch den Verstärker 28 verstärkt und dann an das akustisch-optische Ablenkelement 14 angelegt.

Gemäß Fig. 3 sind die phasengeregelten Oszillatoren 20-1A - 20-NA vorgesehen, um eine Phasenregelung jedes Hochfrequenz-Treibersignals für die Ansteuerung des Ablenkelements 14 zu gewährleisten und dadurch die gewünschte Wirkung zu erzielen.

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Die phasengeregelten Oszillatoren können beispielsweise aus an sich bekannten Phasenregelkreis-Oszillatoren bestehen.

Zur Verdeutlichung der Wirkung der Phasenregelung ist die Wellenform des resultierenden Treibersignals 28 mittels eines elektronischen Rechners, mit Ausnahme der Schwingphasen der Oszillatoren, unter denselben Bedingungen nachgeahmt worden, wie sie vorher für die Wellenform nach Fig. 2b vorausgesetzt wurden. Insbesondere wurde vorausgesetzt, daß das resultierende Treibersignal 26 acht Frequenz Signalkomponenten enthält (d.h. N = 8) und daß das Ablenkelement 14 die in Fig. 2a veranschaulichte Frequenzabhängigkeit seiner Beugungsleistung besitzt. Die acht FrequenzSignalkomponenten von den einzelnen Oszillatoren 20-1A - 20-NA wurden jedoch auf die jeweiligen Phasen φ von TC , JTf 0, 0, 0, 0, JT und 0 in Radianten eingestellt. Das Ergebnis dieser Nachahmung ist in Fig. 4 veranschaulicht, in welcher die Achsen von Ordinate und Abszisse dieselbe Bedeutung wie in Fig. 2b besitzen und in dieselben Maßeinheiten wie dort unterteilt sind.

Aus Fig. 4 geht hervor, daß die Amplitude des resultierenden Treibersignals frei ist von jeder hohen Scheitelamplitude. Dies beruht auf der vorstehend beschriebenen Phasenanordnung bzw. dem Phasenschema.

Diese Phaseneinstellung kann durch eine Schätzfunktion bestimmt werden, die entweder durch 1/P oder durch Av/P gebildet wird, wobei P den absoluten Scheitelwert der Amplitude des resultierenden Treibersignals und Av deren Mittelwert bezeichnen. Genauer gesagt: die Größe von 1/P oder Av/P wird für jede einzelne Phasen-Anordnung für jeden der EIN- und AüS-Zustände der N Drucksignale berechnet. Sodann wird die Phasenanordnung so bestimmt oder ermit-

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telt, daß die Mindestgröße der Schätzfunktion für alle Kombinationen der N Drucksignale maximiert wird. Die Wellenform gemäß Fig. 4 wurde mit einer Phasenanordnung (Jf, Jl , 0, 0, 0, 0,-7Γ, 0) ermittelt, die so eingestellt war, daß sich für die Schätzfunktion aus Av/P in bezug auf die acht Treibersignalkomponenten eine maximale Größe ergab.

Fig. 5 veranschaulicht eine Abwandlung der Treibersignalquelle 16 nach Fig. 3, bei welcher das optimale Phasenschema für jeden einzelnen der verschiedenen Drucksignalsätze bestimmt wird. Bei dieser Anordnung werden die Drucksignale 4 2-1 - 42-N nicht nur an die zugeordneten Modulatoren 20-1b - 20-NB, sondern auch an einen ersten Meßfühler 46 zur Messung der Zahl der im EIN-Zustand vorliegenden Drucksignale und an einen zweiten Meßfühler 48 zur Bestimmung der im AUS-Zustand befindlichen Drucksignale angelegt. Die beiden Meßfühler 46, 48 sind an eine Phasenschema-Bestimmungsschaltung 50 angeschlossen, die ihrerseits mit allen phasengeregelten Oszillatoren 20-1A - 20-NA verbunden ist und in welcher mehrere verschiedene Phasenschemata gespeichert sind, nach denen die Schwingphasen aller Oszillatoren entsprechend den verschiedenen Größen der Zahl sowie der Muster oder Schemata der im EIN-Zustand befindlichen Drucksignale optimal angeordnet werden, welche durch die eine oder andere der oben beschriebenen Schätzfunktionen bestimmt werden. Diese Schaltung 50 vermag das optimale der gespeicherten Phasenschemata in Abhängigkeit von den von beiden Meßfühlern 46 und 48 gemessenen Größen zu wäMen und die Schwingphasen der Oszillatoren 20-1A - 20-NA entsprechend dem gewählten Schema zu regeln. Infolgedessen können alle Oszillatoren mit den optimalen Phasen schwingen, die entsprechend dem Zustand der Drucksignale 4 2-1 - 4 2-N eingestellt werden.

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Aus der vorstehenden Beschreibung geht hervor, daß die Treibersignalquelle gemäß Fig. 5 ein resultierendes Treibersignal mit einer Wellenform liefert, die weiter unterdrückte Scheitelamplituden besitzt und sich daher der idealen Wellenform annähert. Hierduch wird das Ansprechverhalten der Vorrichtung in vorteilhafter Weise linearisiert.

Es hat sich gezeigt, daß es nicht unbedingt nötig ist, in der Phasenschema-Bestimmungsschaltung 50 für alle Kombinationen der Drucksignale besonders günstige Phasenschemata zu speichern, vielmehr können in der Schaltung mit zufriedenstellendem Ergebnis nur ein oder einige wenige Phasenschemasätze für jede Größe der Zahl von Drucksignalen in deren EIN-Zustand gespeichert sein. Ebenso hat es sich gezeigt, daß für eine kleine Zahl von im EIN-Zustand vorliegenden Drucksignalen ein einziges vorbestimmtes Schema ausreichend sein kann.

Der Verstärker 28 liefert dem Ablenkelement 14 (Fig. 3) das resultierende Treibersignal mit den Signalkomponenten, welche das vorher in Verbindung mit Fig. 4 beschriebene Phasenschema besitzen. Daraufhin liefert das Ablenkelement 14 eine Anzahl von unter Beugung abgelenkten Laserlichtstrahlen. Wie im Fall der bisherigen Laserdrucker werden die modulierten, abgelenkten Laserstrahlen vom Ablenkelement 14 durch das optische Fokussiersystem 26 geleitet und anschließend auf die in Verbindung mit Fig. 1 beschriebene Weise verarbeitet.

Aus der vorstehenden Beschreibung geht hervor, daß mit der Erfindung für die Parallelansteuerung eines akustischoptischen Ablenkelements mittels einer Anzahl von Hochfrequenz-Treibersignalen eine Einrichtung zur Regelung oder Einstellung der Phasen dieser Signale geschaffen wird,

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um die Scheitelamplitude eines resultierenden Treibersignals aus den verschiedenen Hochfrequenzsignalen zu unterdrücken. Hierdurch kann das nichtlineare Verhalten des Ablenkelements und eines zugeordneten Verstärkers verringert werden, so daß die Vorrichtung stabil und mit hoher Beugungsleistung des Ablenkelements sowie mit verringertem Leistungsbedarf für den Verstärker betrieben werden kann. Erfindungsgemäß wird mithin unter bestmöglicher Ausnutzung der Eigenschaften der vorhandenen akustisch-optischen Ablenkelemente eine hochqualitative Modulation und Ablenkung eines Laser(licht)Strahls mit überhoher Geschwindigkeit gewährleistet. Die Wirkung der beschriebenen Phasenregelung wird um so deutlicher, je größer die Zahl der parallelen Treibersignale ist.

Obgleich vorstehend nur einige wenige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung dargestellt und beschrieben sind, sind dem Fachmann selbstverständlich verschiedene Änderungen und Abwandlungen möglich, ohne daß vom Rahmen der Erfindung abgewichen wird.

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Claims

Patentansprüche

1, Optische Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung, dadurch gekennzeichnet , daß sie ein akustisch-optisches Ablenkelement (14) zur Abnahme eines Laser(licht)Strahls, eine Ansteuer- bzw. Treibereinrichtung (16) zur Erzeugung mehrerer Hochfrequenz-Treibersignale für die Ansteuerung des Ablenkelements und eine in der Treibereinrichtung angeordnete Phasenregeleinrichtung aufweist, welche die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale einzeln entsprechend einem vorbestimmten Phasenschema einstellt, und daß das Ablenkelement (14) durch die verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale gleichzeitig ansteuerbar ist, um mehrere unabhängig voneinander modulierte und abgelenkte Laserstrahlen zu erzeugen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Phasenregeleinrichtung die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale gemäß einem ausgewählten Phasenschema aus verschiedenen Phasenschemata einstellt, die für die Kombinationen von Zahl und Schema der im EIN-Zustand vorliegenden Hochfrequenz-Treibersignale vorherbestimmt sind.

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