DE2927620A1 - Wenigstens einen kapazitiven beruehrungsgeber enthaltende geber-gruppenanordnung und verfahren zur herstellung einer solchen geber-gruppenanordnung - Google Patents

Wenigstens einen kapazitiven beruehrungsgeber enthaltende geber-gruppenanordnung und verfahren zur herstellung einer solchen geber-gruppenanordnung

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Walter John Butler
Miran Milkovic
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    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/96—Touch switches
    • H03K17/962—Capacitive touch switches

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  • Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Description

General Electric Company, 1 River Road, Schenectady, New York, 12305 (USA)
Wenigstens einen kapazitiven Berührungsgeber enthaltende Geber-Gruppenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Geber-Gruppenanordnung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer wenigstens einen kapazitiven Berührungsgeber enthaltenden Geber- Gruppenanordnung und eine wenigstens einen kapazitiven Berührungsgeber enthaltende, auf einer ersten Oberfläche eines isolierenden Subtrates erzeugte Geber- Gruppenanordnung.
Dabei bezieht sich die Erfindung auf Dateneingabegeräte und insbesondere auf eine Gruppenanordnung kapazitiver Berührungsgeber, die aus Dickfilmelernenten hergestellt sind.
Die Dateneingabe durch Benitzer, insbesondere bei Haushaltsgeräten und dergl.y macht häufig Eingabegeräte erforderlich, die nicht nur sich durch niedrige Herstellungskosten und geringe Herstellungstoleranzen auszeichnen, sondern die auch bestimmte notwendige Eigenschaften haben, wie etwa geringe Anfälligkeit gegen Rauschen, keine
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merklichen SignalVerluste und eine hochwertige elektrische Isolation. Moderne Haushaltsgeräte machen außerdem die Verwendung von verhältnismäßig komplizierten Dateneingabegeräten erforderlich, die innerhalb eines verhältnismäßig kleinen Flächenbereiches zum Einsatz kommen, so daß eine Berührungsgeber- Gruppenanordnung mit einer verhältnismäßig dichten Belegung von Berührungsgebern pro Flächeneinheit notwendig wird.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, einen Weg zu weisen, der es gestattet, mit geringem Kostenaufwand eine zuverlässige Beruhrungsgeber- Gruppenanordnung zu schaffen, die sich durch eine dichte Berührungsgeber-Belegung auszeichnet.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß nach dem Verfahren gemäß dem Patentanspruch 1 vorgegangen.
Die Aufgabe wird auch durch die Geber- Gruppenanordnung nach dem Patentanspruch 6 gelöst.
Dabei wird auf der Vorderseite d.h. der vorderen Oberfläche eines aus Isoliermaterial bestehenden Substrates, das die Bedienungstafel eines Haushaltsgerätes oder dergl. bildet, eine kapazitive Berührungsgeber- Gruppenanordnung erzeugt. Jeder kapazitive Berührungsgeber-Gruppenanordnung weist eine Sender- und eine Empfängerelektrode auf, die im gegenseitigen Abstand auf die Vorderseite des Substrates aufgebracht sind, wobei eine eine vorbestimmte Dicke aufweisende Schicht aus einem dielektrsichen Material die Sender- und die Empfängerelektroden sowie die benachbarten Bereiche der Substratvorderseite abdeckt. Auf der von den Sender- und Empfän-
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gerelektroden am weitesten entfernt liegenden Oberfläche der dielektrischen Schicht wird eine Berührungselektrode erzeugt, die in einem Bereich auf die Senderund Empfängerelektrodenbereiche ausgerichtet und diese überlappend angeordnet ist. Auf die freie Oberfläche der Berührungsgeberelektrode und auf benachbarte Bereiche der dielektrischen Schicht wird eine Schutzschicht aufgebracht, die den Berührungsgeber gegen äußere Verunreinigungen wie Feuchtigkeit und Staub schützt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird bei Ansteuerung der Senderelektrode mit einem Spannungsimpuls verhältnismäßig niederer Amplitude ein 2:1- Unterschied in dem Signalausgang der Empfängerelektrode zwischen dem "unberührten" Zustand (in dem die Oberfläche der Schutzschicht oberhalb der Berührungsgeberelektrode nicht mit einer Körper- Erde- Kapazität in Berührung steht) und dem "berührten" Zustand (bei dem eine Körper- Erde- Kapazität die Schutzschicht pberhalb des jeweiligen Berührungsgebers berührt) erzielt.
Die einzelnen Elektroden und die isolierenden dielektrischen Schichten des Berührungsgebers werden durch Dickfilm-Druckverfahren hergestellt, derart, daß ein Berührungsgeber mit einer Dicke in der Größenordnung von o,254 mm auf der Substratvorderseite geschaffen wird, auf der der Berührungsgeber erzeugt wird.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung dargestellt. Es zeigen:
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Fig.1 eine kapazitive Geber- Gruppenanordnung gemäß der Erfindung in perspektivischer Darstellung
Fig. 2 eine in einer Seitenansicht gezeigte Querschnittsdarstellung eines Teiles der Geber- Gruppenanordnung nach Fig. 1, zur Veranschaulichung der Herstellung eines kapazitiven Berührungsgebers der Geber- Gruppenanordnung nach Fig. 1
Fig. 3 ein teilweise sehematisch.es Schaltbild zur Veranschaulichung der Wirkungsweise der einzelnen kapazitiven Berührungsgeber der Geber- Gruppenanordnung nach Fig. 1.
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In Fig. 1 ist zunächst eine Gruppe 1 kapazitiver Berührungsgeber 1o dargestellt, die auf der Oberseite 11a eines Substrates 11 erzeugt sind. Das Substrat 11 ist bei einer bevorzugten Ausführungsform aus Glas,wenngleich auch andere Isoliermaterialien gleich gut verwendet werden könnten. Vorzugsweise wird ein durchsichtiges Material wie Glas oder dergl. benutzt,so daß auf der Rückseite 11b des Substrates Anzeigemittel 12 erzeugt oder aufgebracht werden können, um damit eine sichtbare Anzeige der von der Betätigung eines der kapazitiven Berührungsgeber 1o herrührenden Funktionsauslösung zu liefern. Die Berührungsgebergruppe kann zur Veranschaulichung eines Einsatzzweckes beipielsweise zur Steuerung von Haushaltsgeraten verwendet werden, wobei dann das verhältnismäßig dicke isolierende Substrat 11 derart angeordnet ist, daß es zwischen der Substrathinterfläche 11b befindlichen Geräteteilen, die potentialmäßig gefährliche elektrische Spannungen und Ströme führen und dem Benutzer liegt, der lediglich zu der Vorderseite 11a Zugang hat. Es ist zweckmäßig, daß der Benutzer die Möglichkeit hat in die hinter der Steuertafel liegenden Geräteteile Steuerinformationen einzugeben und solche Informationen zu ändern; bei der bevorzugten Ausführungsform enthält deshalb die Berührungsgebergruppe 1 für jede Ziffer von 0 bis 9 sowie zur Eingabe eines Dezimal-Punktes jeweils einen Berührungsgeber 1o. Ein eigener Berührungsgeber 1o kann zur "Eingabe" der angezeigten Daten benutzt werden ,nach>_dem die Daten visiuell auf ihre Richtigkeit überprüft wurden.
Jeder der kapazitiven Berührungsgeber 1o weist im wesentlichen den gleichen Aufbau auf/wie er in Fig. 2 veranschaulicht ist. Ein Paar benachbarte Elektroden 14a, 14b, die jeweils als Senderelektrode und Empfängerelektrode be-
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zeichnet sind, sind im Abstand voneinander auf der Vorderseits 11a des Substrates 11 erzeugt. Die Elektroden 14a, 14b sind aus einem leitendem Material hergestellt. Bei einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die Elektroden 14a, 14b aus einem metallischen Material mit einer Dicke T1 bis zu ca. o,o25 4 mm; sie sind dadurch hergestellt, daß ein dicker Film des metallischen Materials auf die Glassubstratfläche unter Verwendung einer geeigneten Maske oder dergl. aufgedruckt wurde. Eine Schicht 16 aus dielektrischen Material,wie Glas, Siliciumdioxid und dergl., wird dann auf dem Elektrodenpaar und der dazwischen sowie rundum liegenden Substratvorderseite 11a in einer Decke T2 bis zu o,o254 mm
auf der am weitesten von der Substratoberseite 11a entfernten Elektrödenfläche erzeugt. Daraufhin wird eine aus metallischem Material bestehende Berührungselektrode 18 auf der Oberfläche 16a der dielektrischen Schicht in einer Decke T-. von bis zu o,o24 mm hergestellt. Die Berührungsgeberelektrode 18 kann ein aufgedruckter dicker Film (Dickfilm) sein, der im Siebdruck,mittels Masken oder dergl. Verfahren hergestellt ist; sie ist eine durchgehende (d.h. einstückige) Elektrode, welche auf den gesamten,von der Senderelektrode und der Empfängerelektrode 14a bzw. 14b begrenzten Bereich ausgerichtet ist und diesen mindestens überlappt. Nach der Erzeugung der Berührungsgeberelektrode für jeden der kapazitiven Berührungsgeber 1o der Berührungsgebergruppe 1 wird der ganze Bereich der Berührungsgebergruppe 1 mit einer dünnen Schicht 2o eines Isoliermaterial wie Siliciumdioxid oder dergl./überzogen, um einen mechanischen Schutz für die Berührungsgebergruppe zu erzeugen und das Eindringen von äußeren Verunreinigungen,wie Schmutz und Feuchtigkeit und dergl., in die Berührungsgeber zu verhüten. Die Schutzschicht 2o weist typischerweise eine Dicke T. in der Größenordnung von o,177 8 mm auf, so daß die resultierende Dicke der Beruhrungsgebergruppe oberhalb der
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Ebene der Substratvorderseite 11a in der Größenordnung von etwa o,254 mm liegt. Jeder der Beruhrungsgeber 1o wird dadurch ausgelöst, daß die Oberfläche 2oa der Schutzschicht oberhalb der Berührungselektrode 18 des jeweils gewünschten Berührungsgebers 1o berührt wird, wodurch eine "Körper- Erde" - Kapazität CT des Benutzers mit der Berührungsgeberelektrode 18 über die Kapazität des dazwischenliegenden Teiles der Schutzschicht 2o in Reihe geschaltet wird.
Diese kapazitive Dickfilm- Berührungsgebergruppe 1, die unter Verwendung einer zweischichtigen leitenden z.B. metallischen und durch dünne dielektrische Schichten isolierten Hybridstruktur aufgebaut ist, ist nicht nur gegen die Einwirkungen von äußerem Schmutz und von Feuchtigkeit passiviert ; sie kann auch mit verhältnismäßig kleinen Kosten in Massenproduktion bei verhältnismäßig kleinen Flächen - und Schichtdicke Abweichungen hergestellt werden. Darüberhinaus ist sie dadurch gekennzeichnet, daß die Gefahr der Beeinträchtigung durch Rauschen und Leckströme wegen der zur Herstellung der einzelnen Berührungsgeber 1o erforderlichen f verhältnismäßig kleinen Fläche klein ist, während andererseits in einem gegebenen Flächenbereich eine erhöhte Zahl von Berührungsgebern erzeugt werden können, womit es möglich ist, die Belegung der Substratplatte mit Berührungsgebern wesentlich zu erhöhen .
Es versteht sich, daß an jedeiT der Sender- und Empfängerelektroden 14a bzw. 14b elektrische Anschlußleiter befestigt sind, die beispielsweise dazu dienen, ein Treiber-Signar von bzw. ein Ausgangssignal zu einer an sich bekannten elektronischen Schaltung zu übertragen. Der Einfachheit halber sind diese Schaltung und die Schaltungsleitungen hier nicht dargestellt; es ist aber zu bemerken, daß die Anschlußleitungen zweckmäßigerweise einstückig an
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die Sender- und Empfängerelektroden 14a bzw. 14b angeformt sind und daß sie in einer bevorzugten Ausführungsform gleichzeitig mit den Sender- und Empfängerelektroden 14a bzw. 14b dadurch hergestellt werden, daß die Anschlußleitungen und die Elektroden in einem einzigen Muster und mit gleichmäßiger Dicke,d.h. der Dicke T.., gedruckt werden.
Wie aus Fig. 3 zu ersehen/ist jeder Berührungsgeber 1o der Berührungsgebergruppe 1 durch eine (nicht dargestellte), an die Senderelektrode 14a angekoppelte Impulsgeneratorschaltung getrieben. Die Spannungs- wellenform der Impulsgeneratorschaltung ist ein unipolarer Impuls mit der Spitzenspannung Vr. Es können naturgemäß eine Anzahl Berührungsgeber der Berührungsgebergruppe gleichzeitig angesteuert werden oder aber - was vorteilhafter ist - die Ansteuerung kann nach Multiplex-Art geschehen, um damit die Anforderungen an die Treiber - und/oder Detektorschaltungen herabzusetzen. Jede Empfängerelektrode 146 kann an einen Impulshöhendetektor angekoppelt sein oder aber die einzelnen Empfängerelektroden können in Synchronismus mit der Multiplex-Ansteuerung des zugeordneten Berührungsgebers mit einem oder mehreren dieser Detektoren im Multiplex-Betrieb arbeiten. Die Detektorschaltung bewirkt, daß zwischen der Empfängerelektrode 14b und der elektrischen Erde eine Belastungskapazität CT auftritt;
L·
das Berührungsgeber- Ausgangsspannungssignal V erscheint an dieser Belastungskapazität.
Jeder Berührungsgeber ergibt vier elektrische Kapazitäten: die parasitäre Kopplungskapazität C_ zwischen der Senderelektrode 14a und der Empfängerelektrode 14b (die Grüße dieser Kapazität ist von der Dicke T1 der Senderund Empfängerelektrode und dem Abstand L (Fig. 2) zwischen den benachbarten, einander gegenüberliegenden Randflächen
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14a1, 14b1 der Sender- und Empfängerelektrode sowie den Abmessungen dieser Randflächen abhängig) ; eine Kapazität Cq zwischen der Senderelektrode 14a und der Berührungsgeberelektrode 18 (die Größe dieser Kapazität ist von der von einem Teil der Berührungsgeberelektrode 18 überlappten Fläche der Senderelektrode 14a und der Dicke T2 der dazwischenliegenden dielektrischen Schicht 16 abhängig); eine Kapazität Cn zwischen der Empfängerelektrode 14b und der Berührungsgeberelektrode 18 (die Größe dieser Kapazität ist von der von einem Teil der Berührungsgeberelektrode 18 überlappten Fläche der Empfängerelektrode 14b und der Dicke T2 der dazwischenliegenden dielektrischen Schicht 16 abhängig); und eine Kapazität C zwischen der Berührungsgeberelektrode und einem die Oberfläche 2oa der Schutzschicht 2o berührenden Gegenstand. Typischerweise sind die Werte der Kapazitäten des Berührungsgebers wie folgt: C^ ca. 0,4 pF; C0 und Cn etwa 2o pF; die Größe der Kapazität C_, ist normalerweise sehr viel größer als die Körper- Erde-Kapazität C (CT liegt typischerweise in der Größenordnung von 7o pF) so daß die äquivalente Serienkapazität von dem mit der Körper- Erde- Kapazität CT elektrisch in Reihe geschalteten CG etwa gleich der Größe der Kapazität C ist, z.B. ca. 7o pF, wenn die Körper- Erde-Kapazität CT die Schutzschichtoberfläche 2oa berührt, wie dies durch das Schließen eines gedachten Schalters S angedeutet ist.
In dem "unberührten" Zustand, in dem der gedachte Schalter ter S geöffnet ist, wodurch das Fehlen der Ankoppelung der Körper- Erde- Kapazität C-, an die Schutzschichtoberfläche 2oa des Berührungsgebers angedeutet ist, ist die
n Ausgangsspannung VQ die Ausgangsspannung V0N_ im unbe-
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rührten"Zustand während das Verhältnis von V0T zu V_ lediglich proportional zu den Größen von Cn, Cn, C-, und C1. ist. Damit gilt
VONT/VG - (CC + (CR · CS)/(CR + CS))/(CC + CL + (CR * CS)/(CR+CS))·
Für die oben angegebenen Werte gilt VnMrr <£? 0,188 V_ wobei CL <t^> 45 pf.
Im "berührten" Zustand, in dem der gedachte Schalter S geschlossen und dadurch die Ankopplung der Körper- Erde-Kapazität C an die Schutzschichtoberfläche 2oa des Berührungsgebers angedeutet ist , ist die Ausgangsspannung V die Ausgangsspannung Vo_ im "berührten" Zustand, während das Verhältnis V„, zu V„ proportional den Werten von Cm und C„ ist. zusätzlich zu den Werten von C-. Cc
X V3 / Jtt, ο
C_ und CT. Damit gilt:
C JLj
(cc + (cscR(cs t CjM/jCg + cs -h
((Cc + CL + CR(CS +- CT1)/(CR + CS
worin C ' die äquivalente Ersatzkapazität von dem mit C„ elektrisch in Reihe geschalteten Cn, ist. Wenn C-, sehr
<j X Vj
viel größer als C„, ist, dann gilt C-,1 *?*■ C„. Für die oben angegebenen Werte ist V031 ungefähr 0,065 V„. Das Verhältnis zwischen den Ausgangsspannungen in dem "unberührten"
und dem "berührten" Zustand ist νοΝφΖνητ ^ 3/1.
Bei einem Ireiberimpuls mit einer Amplitudenspitzenspannung V von ca. 5 Volt, wie sie von integrierten logischen Schaltelementen (z.B. der TTL-Art)abgegeben werden kann) liegt die Änderung in der Ausgangsspannung zwischen 0,9 4 Volt Spitze (unberührt) und 0,33 Volt Spitze (berührt) oder bei ca. 0,61 Volt Differenzspannung. Diese verhältnismäßig große AusaanaasDannunflsdifferenz kann leicht von
bekannten Impulsamplitudendetektoren gefühlt werden. Es ist zu bemerken,daß die erwähnte Impulstreiber - und Detektoranordnung nicht unbedingt erforderlich ist und deshalb lediglich zur Veranschaulichung der Betriebsweise beschrieben wurde. Auch ist darauf hinzuweisen, daß die verhältnismäßig niedrigen Treiber-Spannungen, wie sie bei der neuen Berührungsgebergruppe verwendet werden können, eine zusätzliche Sicherheitsmaßnahme für die Benutzer darstellen.
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Claims (17)

Patentanwälte Dipi.-lng.W. Scherrmann Dr.-lng.R. Rüger 7300 Esslingen (Neckar), Webergasse 3, Postfach 348 C Tl' 1QTQ Telefon O. UUIl iy/y Stuttgart (0711)35 65 39 1/--7 "j 359619 PA 167 rude Telex 07 256610 smru Telegramme Patentschutz Esslingenneckar Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung einer wenigstens einen
kapazitiven Berührungsgeber enthaltenden Geber-Gruppenanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß
a) ausgehend von einem eine Vorderseite aufweisenden,
aus einem Isoliermaterial bestehenden Substrat,
b) für jeden Geber der Gruppenanordnung zwei im gegenseitigen Abstand stehende Elektroden auf der Vorderseite des Substrates hergestellt werden,
c) auf die Vorderseite des Substrates eine alle Elektrodenpaare vollständig überdeckende erste Schicht
aus einem dielektrischen Material aufgebracht wird,
d) oberhalb des Bereiches jedes Elektrodenpaares,auf
dieses ausgerichtet,eine einzige Berührungsgeberelektrode auf einer von dem Substrat am weitesten
entfernt liegenden Oberfläche der dielektrischen
Schicht angeordnet wird und
e) auf die von dem Substrat am weitesten entfernt
liegende Oberfläche aller Berührungsgeberelektroden und zumindest auf daran anschließende Bereiche
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der ersten dielektrischen Schicht eine zweite Schicht aus einem dielektrischen Material aufgetragen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Verfahrensschritt (b) ein dicker Film eines leitenden Materials, unter Ausbildung des Elektretdenpaares/auf die Vorderseite des Substrates aufgetragen vird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das leitende Material im Siebdruckverfahren aufgetragen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das leitende Material derart aufgetragen wird, daß die von leitendem Material freibleibenden Bereiche des Substrates abgedeckt und leitendes Material, unter Ausbildung wenigstens eines Elektrodenpaares, in allen verbleibenden Flächenbereichen auf die Vorderseite des Substrates aufgebracht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Verfahrensschritt (d) ein dicker Film eines leitenden Materials auf die von dem Substrat am weitesten entfernt liegende Oberfläche der dielektrischen Schicht über ein zugeordnetes Elektrodenpaar und den dazwischenliegenden Bereich hinweg aufgetragen wird.
6. Wenigstens einen kapazitiven Berührungsgeber enthaltende, auf einer ersten Oberfläche eines isolierenden Substrates erzeugte Geber-Gruppenanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Berührungsgeber (10) aufweist:
a) im gegenseitigen Abstand auf der Oberfläche des Substrates (11) angeordnete Sender- und Empfängerelektroden (14a, 14b),
b) eine das Elektrodenpaar (14a, 14b) und den dazwischenliegenden Bereich in einer vorbestimmten Tiefe (T„) abdeckende Schicht (16) aus einem dielektrischen Material,
c) eine auf der von dem Substrat (11) am weitesten entferntjliegenden Oberfläche der dielektrischen Schicht (16) angeordnete, auf das Elektrodenpaar (14a, 14b) ausgerichtete und dieses überlappende Berührungsgeberlektrode (18) und
d) eine zumindest die von dem Substrat (11) am weitesten entfernt liegende Oberfläche der Berührungsgeberelektrode (18) abdeckende Schutzschicht (20).
7. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sender- und die Empfängerelektroden (14a, 14b) jeweils als Dickfilme aus einem leitenden Material ausgebildet sind.
8. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Dickfilm eine Dicke von ca. 0,0254 mm aufweist.
9. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (14a, 14b*18) aus einem metallischen Material sind.
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10. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht (16) aus Siliziumdioxid besteht.
11. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht (16) in dem Bereich zwischen einander gegenüberliegenden Oberflächen der Berührungsgeberelektrode (18) und jeder der Sender- und Empfängerelektroden (14a, 14b) eine Dicke (T2 ) von ca. 0,0254 mm aufweist.
12. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Berührungsgeberelektrode (18) als Dickfilm aus einem leitenden Material ausgebildet ist.
13. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Berührungsgeberelektrode (18) eine Dicke (T3) von etwa 0,0254 mm aufweist.
14. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Berührungsgeberelektrode
(18) aus einem metallischen Material besteht.
15. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke (T^) der Schutzschicht (20) größer als die Dicke (T2) der dielektrischen Schicht (16) ist.
16. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch s1 dadurch gekennzeichnet , daß die Schutzschicht (20) etwa 0,1778 mm dick ist.
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17. Geber-Gruppenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke jedes der Berührungsgeber (10) , gemessen von der Substratoberfläche zu der von dieser am weitesten en tfernt liegenden Oberfläche der Schutzschicht (20), etwa 0,254 mm beträgt.
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DE19792927620 1978-07-10 1979-07-07 Wenigstens einen kapazitiven beruehrungsgeber enthaltende geber-gruppenanordnung und verfahren zur herstellung einer solchen geber-gruppenanordnung Withdrawn DE2927620A1 (de)

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