DE2914769C3 - Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung - Google Patents
Vorrichtung zur berührungslosen AbstandsmessungInfo
- Publication number
- DE2914769C3 DE2914769C3 DE2914769A DE2914769A DE2914769C3 DE 2914769 C3 DE2914769 C3 DE 2914769C3 DE 2914769 A DE2914769 A DE 2914769A DE 2914769 A DE2914769 A DE 2914769A DE 2914769 C3 DE2914769 C3 DE 2914769C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rod
- shaped magnetic
- measuring coil
- magnetic parts
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/008—Details of transformers or inductances, in general with temperature compensation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Messung des Abstands von einem metallischen
Körper unter Verwendung der im metallischen Körper induzierten Wirbelströme, wobei die Erfindung
besonders auf eine Erhöhung des Meßbereichs abzielt.
In der DE-AS 25 49 627 wird eine Vorrichtung angegeben, bei der ein Bezugssignal mit fester Frequenz
und Amplitude an den invertierenden Eingang eines Differentialverstärkers angelegt wird, dessen Ausgang
an seinen nichtinvertierenden Eingang über eine positive Rückkoppelungsschaltung geführt ist, und das
Rückführungssignal ebenfalls an die Meßspule angelegt wird, wodurch der Abstand von einem gegenüber der
Meßspule angeordneten metallischen Körper aufgrund der Impedanzänderung der Spule gemessen wird. Wenn
die Meßspule bei dieser Vorrichtung eine zylindrische Spule ist, wobei der Meßbereich mit der Erhöhung des
Innendurchmessers der Spi·1? steigt, ist es unmöglich,
den innendurchmesser der Spule zu erhöhen, sobald Begrenzungen bezüglich der Abmessungen der zu
messenden Gegenstände, des für die Meßeinrichtung verfügbaren Platzes usw. vorliegen. Wenn andererseits
eine Zahl von austauschbaren Spulen mit der Meßvorrichtung verwendet wird, ist es vorteilhaft für die
ίο Auslegung der Spulenwickeleinrichtung, wenn alle
Spulen möglichst die gleiche Größe besitzen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Abstandsmessung zu schaffen, die
einen vergrößerten Meßbereich ergibt, ohne die Abmessungen der Meßspule zu erhöhen. Dabei soll die
Meßgenauigkeit nicht durch Temperaturschwankungen beeinträchtigt werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Schaffung einer Abstandsmeßvorrichtung gelöst, bei
der eine Meßschaltung verwendet wird, die in ihrer Grundauslegung die gleiche ist wie bei der in der DE-AS
25 49 627 verwendeten Vorrichtung, bei der jedoch die Meßspule die Form einer zylindrischen Spule mit
mehreren stabförmigen magnetischen Teilen von hoher Permeabilität besitzt, die in der Meßspule so angeordnet
sind, daß sie an der Innenwand der Spule liegen und in Axialrichtung der Spule verlaufen, wobei sich die
stabförmigen magnetischen Teile aus solchen mit positiver Temperaturkennlinie und anderen mit negativer
Temperaturkennlinie zusammensetzen, so daß temperaturbedingte Schwankungen der Permeabilität
der magnetischen Teile als Gesamtheit betrachtet praktisch auf Null reduziert werden.
Bei der Anordnung einer Zahl von stabförmigen magnetischen Teilen im Inneren der Meßspule läuft ein
von der Meßspule infolge eines Bezugssignals erzeugter Magnetfluß durch die magnetischen Teile mit hoher
Permeabilität konzentrisch, mit dem Ergebnis, daß die Reichweite des Magnetflusses im Verhältnis zu Fällen,
bei denen keine stabförmigen Magnetteile verwendet werden, erhöht wird, wodurch sich auch der Meßbereich
erhöht.
Gewöhnlich wird für die stabförmigen magnetischen Teile in Anbetracht der Bezugssignalfrequenz der
Meßvorrichtung und der Temperatur der zu messenden metallischen Körper Ferrit-Kernmaterial verwendet,
und es ist natürlich möglich, für die stabförmigen magnetischen Teile jedes andere magnetische Material
mit hoher Permeabilität zu verwenden.
Die Zahl der stabförmigen magnetischen Teile setzt sich aus solchen zusammen, deren ursprüngliche
Permeabilitätskennlinie in Abhängigkeit von der Temperatur positiv ist, und aus anderen, bei denen diese
Kennlinie negativ ist, mit dem Ergebnis, daß die Gesamtpermeabilität nicht durch Temperaturänderungen
beeinflußt wird und demzufolge die Meßgenauigkeit durch Temperaturänderungen der stabförmigen
magnetischen Teile nicht verschlechtert wird.
Die stabförmigen magnetischen Teile sollen vorzugsweise im Innern der Meßspule in gleichen Abständen in Umfangsrichtung der Spule angeordnet werden, wodurch es möglich wird, eine gleichmäßige Verteilung der Flußdichte in Umfangsrichtung der Meßspule sicherzustellen.
Die stabförmigen magnetischen Teile sollen vorzugsweise im Innern der Meßspule in gleichen Abständen in Umfangsrichtung der Spule angeordnet werden, wodurch es möglich wird, eine gleichmäßige Verteilung der Flußdichte in Umfangsrichtung der Meßspule sicherzustellen.
6ς Anhand der Figuren werden Ausführungsbeispiele
der Erfindung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Schaltplan, aus dem der grundsätzliche Schaltungsaufbau einer Vorrichtung zur Abstandsmes-
;ung hervorgeht;
Fig.2 einen Längsschnitt durch eine zylindrische vießspule;
F i g. 3 einen Längsschnitt durch die bei einer \usführungsform der Erfindung verwendete Meßspule;
Fig.4 eine typische Meß-Kennlinie, bei der der
\bstand D (cm) in der Abszisse und die gemessene ■\usgangsspannung Vo (V) in der Ordinate abgetragen
ist;
Fig.5 eine Unteransicht der Meßspule von Fig.3, ;o
gesehen in Richtung der Linie V V, und
F i g. 6 eine Übersicht der Meßspule in einer anderen Ausführungsform der Erfindung in der gleichen
Blickrichtung.
In Fig. 1 wire ein Grundsatz-Schaltplan einer Vorrichtung zur Abstandsmessung dargestellt, wobei
der Schaltungsaufbau der gleiche ist wie er in der DE-AS 25 49 627 vorgeschlagen wurde. Im folgenden
wird das Arbeitsprinzip dieser Schaltung beschrieben. Die Bezugszahl 1 bezeichnet einen zu messenden
metalllischen Körper, 2 einen Vergleichsoszillator zur Erzeugung eines Wechselstrom-Bezugssignals mit fester
Frequenz und Amplitude, 3 einen Differentialverstärker, 4 eine Meßspule mit einer Impedanz Zq und 10
ein Rückkopplungsglied mit einer Impedanz Z5. Der
Vergleichsoszillator 2 ist mit dem invertierenden Eingang des Differentialverstärkers 3 verbunden, und
das Rückkopplungsglied 10, das den Ausgang des Differentialverstärkers zurückführt, ist zusammen mit
einem Ende der Meßspule 4 an den nichtinvertierenden
Eingang des Differentialverstärkers 3 angeschlossen, um eine positive Rückkoppelungsschaltung zu bilden.
Das andere Ende der Meßspule 4 ist geerdet.
Der Verstärkungsgrad A des Verstärkers 3, dessen positive Rückkopplungsschaltung durch die Impedanz
Z5 des Rückkoppelungsgliedes 10 und die Impedanz Zo
der Meßspule 4 gebildet wird, ergibt sich durch folgende Gleichung aus dem Verstärkungsgrad C des Verstärkers
3 ohne Rücickoppelung und aus dem RückkoppelungsfaktorjS
= Z0Z(Z5 + Z0)
A = G/(l - Gß)
Wenn der Vergleichsoszillator 2 ein Ausgangssignal mit fester Frequenz und Amplitude erzeugt und dem
Verstärker 3 zuführt, verstärkt der Verstärker 3 die angelegte Spannung und führt sie der Meßspule 4 durch
das Rückkoppelungsglied 10 zu. Daraufhin erzeugt die Meßspule 4 ein magnetisches Wechselfeld, so daß der
entsprechende Magnetfluß den zu messenden metallischen Körper 1 durchdringt und damit in die Schaltung so
einbezieht, und seine Rückwirkung verursacht eine Änderung der Impedanz Zo der Meßspule 4.
Diese Änderung der Impedanz Zb steht in Beziehung
zum Abstand zwischen der Meßspule 4 i«nd dem metallischen Körper 1, und demzufolge ändert sich die
Ausgangsspannung des Verstärkers 3 entsprechend. Demnach ist es durch Messen dieser Ausgangsspannung
des Verstärkers möglich, eine berührungslose Messung des Abstands zwischen der Meßspule 4 und dem
metallischen Körper 1 durchzuführen.
F i g. 2 zeigt eine Meßanordnung 6 mit einer zylindrischen Spule 4, die der Meßspule Ί· in F i g. 1
entspricht, und mit einein zylindrischen Spuli:nkörper 5,
dessen Material ein Bakelitrohr, ein magnetisches Rohr,
ein Keramikrohr oder dergleichen ist, worauf die Spule gewickelt wird. Die Bezugszahl 7 bezeichnet das von der
Meßspule 4 aufgrund eines Bezugssignals erzeugte masnetische Wechselfeld.
In F i g. 4 zeigt die Kurve (a) das Ergebnis der
Abstandsmessung des metallischen Körpers 1 unter Verwendung der Meßanordnung 6 gemäß der in F i g. 1
gezeigten Grundschaltung.
Wenn auch im allgemeinen bei einer Meßspule 4 mit zylindrischer Form der Meßbereich durch eine Vergrößerung
des Innendurchmessers D der Spule erhöht werden kann, gibt es Fälle, in denen der Innendurchmesser
Oder Spule je nach den Meßbedingungen nicht nach Wunsch vergrößert werden kann.
F i g. 3 zeigt eine Meßanordnung 6 in Verbindung mit einer Ausführungsform der Erfindung. Die Bezugszahl 8
bezeichnet magnetische Teile in Stabform mit hoher Permeabilität, z. B. Ferritkerne, und eine Zahl (4 in der
Abbildung) dieser magnetischen Teile ist an der Innenwand eines zylindrischen Spulenkörpers 5 in
Axialrichtung der Spule angeordnet. Wenn die in F i g. 3 gezeigte Meßspule 4 mit der in F i g. 1 gezeigten
Rückkoppelungsschaltung des Verstärkers 3 verbunden und als Abstandsmeßglied verwendet wird, erzeugt die
Meßspule 4 ein Wechselfeld 7. Aufgrund der stabförmigen magnetischen Teile 8 kann sich das Wechselfeld 7
auf eine größere Entfernung erstrecken als im Fall der in Fig.2 gezeigten Spule mit Luftkern. Infolgedessen
können selbst dann, wenn der Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem metallischen Körper 1 vergrößert
wird, wirksame Wirbelströme im metallischen Körper 1 erzeugt und somit der Meßbereich im Verhältnis zur
Spule mit Luftkern erhöht werden. In F i g. 4 zeigen die Kurven (b) bzw. (c) die Meßkennlinien, wobei die Zahl
der verwendeten stabförmigen magnetischen Teile 8 in einem Fall 1 und im anderen 4 betrug. Wie ersichtlich,
wirkt sich der Einsatz der stabförmigen magnetischen Teile 8 so aus, daß der geradlinige Teil der Meßkennlinie
vergrößert und somit der Meßbereich auf das 1,5- bis 2fache der herkömmlichen Kennlinie von Kurve (a)
erhöht wird.
Während jedoch der Meßbereich durch den Einsatz der stabförmigen magnetischen Teile 8, z. B. von
Ferritkernen, erhöht werden kann, wird der Meßwert durch die Temperaturkennlinie der stabförmigen
magnetischen Teile beeinflußt, wodurch die Meßgenauigkeit verschlechtert wird. Insbesondere ergibt sich ein
schwerwiegender Meßfehler unter Umgebungsbedingungen, bei denen die Temperatur der magnetischen
Teile starken Schwankungen unterliegt.
Bis heute haben die Hersteller von magnetischen Werkstoffen verschiedene Forschungsarbeiten durchgeführt,
um magnetische Werkstoffe zu finden, deren Permeabilität sich bei Temperaturschwankungen in
geringerem Ausmaß ändert, und es ist schwer, die Möglichkeit von Permeabilitätsänderungen aufgrund
von Temperaturschwankungen allein durch Verbesserung der Eigenschaften dieser magnetischen Teile
vollkommen auszuschalten.
In Anbetracht der Temperaturkennlinien dieser magnetischen Teile werden erfindungsgemäß, wie in
F i g. 5 gezeigt, stabförmige magnetische Teile 8a bis 8d mit Temperaturkennlinien von verschiedener Polarität,
d. h. eine Gruppierung von magnetischen Teilen mit positiver Temperaturkennlinie und solchen mit negativer
Temperaturkenniinie, so an der Innenwand des zylindrischen Spulenkörpers 5 angeordnet, daß sie in
gleichen Abständen in Umfangsrichtung der Spule liegen.
Bei den stabförmigen magnetischen Teilen 8a bis 8d kann z. B. ein Ferritkern mit positiver Temperaturkennlinie
für die Teile 8a und 8c, und ein Ferritkern mit
negativer Temperaturkennlinie für die Teile Sb und Sd
verwendet werden, wobei die letzteren zwischen den ersteren angeordnet sind und damit in ihrer Gesamtheit
sämtliche Permeabilitätsänderungen aufgrund von Temperaturschwankungen ausschalten.
In diesem Fall müssen die stabförmigen magnetischen
Teile Sa bis Sd vorzugsweise so gewählt werden, daß ihre Temperaturkoeffizienten den gleichen Absolutwert
aufweisen und daß die Zahl der Teile mit positiver Temperaturkennlinie vorzugsweise die gleiche ist wie ι ο
diejenige der Teile mit negativer Temperaturkennlinie.
Auf diese Weise wird die Meßgenauigkeit selbst dann nicht verschlechtert, wenn sich die Temperatur der
Meßspule 4 ändert, wodurch eine stabile Abstandsmessung sichergestellt wird.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform werden zwei Paare von magnetischen Teilen mit positiven
bzw. negativen Temperaturkennlinien verwendet, doch bleibt die Erfindung nicht auf diese Ausführungsform
beschränkt.
Andererseits können die magnetischen Teile 8a bis Sd mit nichtmetallischem Material 9 (Metali oder Isoliermaterial)
befestigt werden, das zusammen mit den magnetischen Teilen an der Innenwand des zylindrischen
Spulenkörpers angebracht oder eingegossen wird, wie in F i g. 6 gezeigt.
Die Querschnittsform der stabförmigen magnetischen Teile Ha bis Sd wird in keiner Weise
eingeschränkt; sie können die Form von runden Stäben, eckigen Stäben und dergleichen aufweisen.
Wie gezeigt wurde, ergeben sich aus der Erfindung trotz ihres einfachen Aufbaues erhebliche Vorteile.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung, bestehend aus einem rückgekoppelten Verstärker
mit einer Rückkoppelungsschaltung, die mit einer gegenüber einem zu messenden metallischen
Körper angeordneten Meßspule verbunden ist, und aus einem Vergleichsoszillator zum Anlegen eines
Bezugssignals mit vorbestimmter Frequenz und Amplitude an den rückgekoppelten Verstärker,
wobei aufgrund einer Impedanzänderung dieser Meßspule in Abhängigkeit vom Abstand zwischen
der Meßspule und dem metallischen Körper der Verstärkungsfaktor des rückgekoppelten Verstärkers
gesteuert wird, um den Abstand zwischen der Meßspule und dem gegenüberliegend angeordneten
metallischen Körper als Funktion der Amplitude eines Ausgangssignals des rückgekoppelten Verstärkers
zu messen, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspule aus einer zylindrischen Spule
besteht, in der mehrere stabförmige magnetische Teile mit hoher Permeabilität so angeordnet sind,
daß sie an der Innenwand derselben in Axialrichtung der Meßspule liegen, und daß einige der stabförmigen
magnetischen Teile eine positive Temperaturkennlinie aufweisen, während der Rest dieser
magnetischen Teile eine negative Temperaturkennlinie besitzt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die stabförmigen magnetischen Teile
mit positiver Temperaturkennlinie in gleichen Abständen in Umfangrichtung der Meßspule angeordnet
sind, und daß die stabförmigen magnetischen Teile mit negativer Temperaturkennlinie
zwischen den stabförmigen magnetischen Teilen mit positiver Temperaturkennlinie in gleichen Abständen
in Umfangrichtung angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der stabförmigen magnetischen
Teile mit positiver Temperaturkennlinie mit einem zugeordneten stabförmigen magnetischen Teil mit
negativer Temperaturkennlinie ein Paar bildet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspule auf einen zylindrischen
Spulenkörper gewickelt ist und daß die stabförmigen magnetischen Teile an einer Innenwand des
Spulenkörpers mit nichtmagnetischem Material befestigt sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4172878A JPS54134462A (en) | 1978-04-11 | 1978-04-11 | Eddy flow system range finder |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2914769A1 DE2914769A1 (de) | 1979-10-18 |
DE2914769B2 DE2914769B2 (de) | 1981-01-22 |
DE2914769C3 true DE2914769C3 (de) | 1981-09-10 |
Family
ID=12616477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2914769A Expired DE2914769C3 (de) | 1978-04-11 | 1979-04-11 | Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4267508A (de) |
JP (1) | JPS54134462A (de) |
DE (1) | DE2914769C3 (de) |
FR (1) | FR2422930A1 (de) |
GB (1) | GB2019003B (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4415859A (en) * | 1980-10-06 | 1983-11-15 | Texaco Inc. | Paraffin monitor |
SE451507B (sv) * | 1982-12-06 | 1987-10-12 | Studsvik Energiteknik Ab | Forfarande och anordning for metning av kvarvarande mengd smelt metall pa bottnen eller dylikt av en behallare i samband med urtappning av smelt metall ur behallaren |
DE3337971A1 (de) * | 1983-10-19 | 1985-05-02 | Deloyise 6920 Sinsheim Echols | Alarmkleingeraet |
FR2563368B1 (fr) * | 1984-04-20 | 1987-06-19 | Jeumont Schneider | Procede de compensation thermique d'un circuit magnetique |
US4724384A (en) * | 1984-07-05 | 1988-02-09 | American National Can Company | Apparatus and method for detecting the condition of completed ends |
US4956606A (en) * | 1984-10-17 | 1990-09-11 | Mine Safety Appliances Company | Non-contact inductive distance measuring system with temperature compensation |
DE3540195C2 (de) * | 1985-11-13 | 1995-05-18 | Festo Kg | Signalgeber |
JP2557216B2 (ja) * | 1986-09-11 | 1996-11-27 | エヌティエヌ株式会社 | 磁気浮上式走行装置用位置検出器 |
US4833931A (en) * | 1987-08-14 | 1989-05-30 | Westinghouse Electric Corp. | Thermally self-adjusting mount for proximity sensor |
DE3729199A1 (de) * | 1987-09-01 | 1989-03-09 | Fischer & Porter Gmbh | Verfahren zum dichten einbringen eines messelektrodenkoerpers in einer wanddurchbohrung eines rohrkoerpers eines induktiven messwertaufnehmers |
DE3943657C2 (de) * | 1989-10-17 | 1994-11-17 | Hiss Eckart | Eintauchsensor |
DE4427220C2 (de) * | 1994-08-01 | 1997-12-04 | Siemens Ag | Magnetischer Näherungsdetektor |
DE19908360A1 (de) * | 1998-12-18 | 2000-06-29 | Micro Epsilon Messtechnik | Verfahren zum Betreiben eines Wirbelstromsensors und Wirbelstromsensor |
US6246229B1 (en) | 1999-05-12 | 2001-06-12 | Bently Nevada Corporation | Method and apparatus for controlling the temperature stability of an inductor using a magnetically coupled metallic object |
US7239133B1 (en) | 2006-01-19 | 2007-07-03 | General Electric Company | Methods and systems for controlling the temperature stability of an inductor |
US20100079136A1 (en) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Rosemount Aerospace Inc. | Blade tip clearance measurement sensor and method for gas turbine engines |
DE112016000282T5 (de) * | 2015-11-17 | 2017-10-12 | Japan System Development Co., Ltd. | Versatzsensor und Distanzjustiervorrichtung |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2439809A (en) * | 1943-02-01 | 1948-04-20 | Collins Radio Co | Temperature compensation means for fixed reactances in tunable circuits |
US2707001A (en) * | 1951-03-27 | 1955-04-26 | Hathaway Instr Company | Balanced bellows pressure head |
GB765546A (en) * | 1954-03-10 | 1957-01-09 | Philips Nv | Improvements in or relating to inductance coil arrangements |
US3209292A (en) * | 1961-12-18 | 1965-09-28 | Square D Co | Device for detecting the proximity of metal objects |
US3195086A (en) * | 1962-05-16 | 1965-07-13 | Western Union Telegraph Co | Temperature compensated inductor |
US3843945A (en) * | 1973-06-14 | 1974-10-22 | Northrop Corp | Temperature compensation of electromagnetic device |
GB1512799A (en) * | 1974-11-06 | 1978-06-01 | Nippon Kokan Kk | Apparatus for non-contact measurement of distance between a metallic body and a detection coil |
-
1978
- 1978-04-11 JP JP4172878A patent/JPS54134462A/ja active Pending
-
1979
- 1979-04-06 US US06/027,830 patent/US4267508A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-04-06 GB GB7912116A patent/GB2019003B/en not_active Expired
- 1979-04-10 FR FR7909058A patent/FR2422930A1/fr active Granted
- 1979-04-11 DE DE2914769A patent/DE2914769C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4267508A (en) | 1981-05-12 |
GB2019003A (en) | 1979-10-24 |
DE2914769B2 (de) | 1981-01-22 |
FR2422930B1 (de) | 1983-11-10 |
DE2914769A1 (de) | 1979-10-18 |
GB2019003B (en) | 1982-08-04 |
JPS54134462A (en) | 1979-10-18 |
FR2422930A1 (fr) | 1979-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2914769C3 (de) | Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung | |
DE2511683C3 (de) | Induktiver Stellungsgeber | |
DE2549627C3 (de) | Schaltungsanordnung zur Messung von Abständen | |
DE1623748B2 (de) | Vorrichtung zum elektrischen messen der position eines gliedes | |
DE2447463C2 (de) | Flüssigkeitspegel-Meßfühler | |
DE3133043A1 (de) | Druckfuehler | |
DE3835101A1 (de) | Elektrische stromwandlervorrichtung | |
DE2344008A1 (de) | Messgeraet | |
DE3518772A1 (de) | Sensoranordnung | |
DE2325440A1 (de) | Messwandler mit einer kondensatordurchfuehrung | |
DE2846381A1 (de) | Leistungsverstaerker-vorrichtung | |
DE68928063T2 (de) | Weggeber mit gegenüberliegenden Spulen für verbesserte Linearität und Temperaturkompensation | |
DE10342473B4 (de) | Magnetischer Wegsensor | |
DE2658628C3 (de) | Elektromagnetisch kompensierende Kraftmeß- oder Wägevorrichtung | |
DE4141545A1 (de) | Vorrichtung zur messung von wegen, positions- oder winkelaenderungen | |
DE3127164A1 (de) | Differentialtransformatoren | |
DE1589826C3 (de) | Hochfrequenzspule | |
DE2625964C3 (de) | Magnetometer und Verfahren zur Herstellung des Kerns mit Wicklung für dasselbe | |
DE4406417A1 (de) | Einrichtung zum Messen eines Weges oder eines Winkels | |
DE3534460A1 (de) | Sensoranordnung | |
EP0120900B1 (de) | Induktive längen- und wegmesseinrichtung | |
DE102011010682B3 (de) | Spulenanordnung und Sensor | |
EP0057008A2 (de) | Induktiver Weggeber | |
DE2635288C2 (de) | ||
DE2653943A1 (de) | Induktiver messwertwandler fuer laengen- oder winkelmesswerte |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |