DE2839577C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische kristalline
Filme aus Zinkoxyd mit hexagonaler Kristallstruktur
und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.
In den letzten Jahren haben dünne kristalline Filme
aus Zinkoxyd, die Piezoelektrizität zeigen, starkes
Interesse als piezoelektrisches Material für die verschiedensten
Umformer und Meßwertwandler auf sich
gezogen. Diese piezoelektrischen kristallinen Filme
aus Zinkoxyd können nach verschiedenen Verfahren hergestellt
werden, beispielsweise nach Vakuumabscheidungsverfahren,
durch orientierte Kristallabscheidung auf
Fremdkristallen (Epitaxie), Zerstäubungsverfahren und
Verfahren der Ionen-Implantation. Von diesen Verfahren
werden die Zerstäubungsverfahren, insbesondere ein
Hochfrequenz-Zerstäubungsverfahren, in letzter Zeit
sehr häufig wegen des Vorteils angewendet, daß die
Wachstumsgeschwindigkeit des orientierten kristallinen
Films hoch ist, so daß die industrielle Massenproduktion
von piezoelektrischen kristallinen Filmen möglich ist.
Zur Herstellung eines piezoelektrischen Kristallfilms
aus Zinkoxyd auf einer Substratoberfläche nach dem
Hochfrequenz-Zerstäubungsverfahren wird üblicherweise
Keramik aus hochreinem Zinkoxyd als Ausgangsmaterial
des Films verwendet. Selbst bei Durchführung der Hochfrequenz-Zerstäubung
mit einem solchen Ausgangsmaterial
werden jedoch piezoelektrische kristalline Filme mit
schlechter Haftfestigkeit am Substrat und von geringer
Qualität gebildet. Außerdem ist es bei Verwendung
eines solchen Ausgangsmaterials des Films schwierig,
piezoelektrische kristalline Filme herzustellen, deren
c-Achse senkrecht zur Substrat- oder Filmoberfläche
steht. Wenn ein piezoelektrischer kristalliner Film
aus Zinkoxyd schlechte Haftfestigkeit aufweist, ergeben
sich verschiedene Nachteile. Wenn beispielsweise ein
akustisches Oberflächenwellenfilter mit einem solchen
Zinkoxydfilm hergestellt wird, ist es schwierig, Interdigitalumformer
auf der Oberfläche zu bilden, weil der
Film abblättert. Das hergestellte akustische Oberflächenwellenfilter
weist in der Regel ferner eine Unterbrechung
der Interdigitalumformer auf und zeigt einen
großen Fortpflanzungsverlust der akustischen Oberflächenwellen.
Wenn ferner die c-Achse des Zinkoxydfilms
zu der senkrecht zur Substratoberfläche stehenden
Achse geneigt ist, wird der Wert des elektromechanischen
Kopplungsfaktors erniedrigt, so daß es schwierig
ist, piezoelektrische Kristallfilmwandler mit gutem
Umwandlungswirkungsgrad herzustellen.
Piezoelektrische kristalline Filme aus hochreinem
Zinkoxyd können ferner nur bei hohen Frequenzen, jedoch
nicht bei niedrigen Frequenzen verwendet werden, da
ihr spezifischer Widerstand nicht hoch genug ist. Der
anwendbare Frequenzbereich eines solchen piezoelektrischen
kristallinen Films ist somit eng.
Dies ergibt sich aus der Theorie der dielektrischen
Relaxationswinkelfrequenz (ω c ), die durch die folgende
Gleichung gegeben ist:
Hierin sind
σ
= Leitfähigkeit d. kristall. Filme (Ω -1 m-1)
ε
o
= Dielektrizitätskonstante des Vakuums (F/m)
ε
ZnO
= Dielektrizitätskonstante des kristallinen Films
ρ
o
= spezifischer Widerstand des kristallinen Films
[Ω · m]
Aus Gleichung (1) ist ersichtlich, daß die dielektrische
Relaxationswinkelfrequenz ω c umgekehrt proportional
dem spezifischen Widerstand des Films ist.
Es ist allgemein bekannt, daß piezoelektrische kristalline
Filme Piezoelektrizität bei Frequenzen aufweisen,
bei denen die Beziehung ω c «ω zwischen der dielektrischen
Relaxationswinkelfrequenz (ω c ) und einer
Winkelfrequenz (ω) bei der angewandten Frequenz gilt.
Mit anderen Worten, der piezoelektrische kristalline
Film kann als piezoelektrisches Material nur in einem
Frequenzbereich verwendet werden, in dem die Winkelfrequenz
(ω) genügend höher ist als die dielektrische
Relaxationswinkelfrequenz (ω c ) (normalerweise
ω<ω c ×100).
Beispielsweise kann die dielektrische Relaxationswinkelfrequenz
für den aus hochreinem Zinkoxyd bestehenden
piezoelektrischen kristallinen Film (Reinheit 99,99%)
durch die Gleichung 1 gefunden werden:
Hierin bedeuten
ε o
= 8,854×10-12 (F/m)
ε
ZnO
= 8,5
ρ
o
= 10⁶ (Ω · cm)
Da die Winkelfrequenz (ω) = 2 π f ist, ergibt sich, daß
die dielektrische Knickfrequenz f c =
Die piezoelektrischen kristallinen Filme aus hochreinem
Zinkoxyd können somit bei einer Frequenz oberhalb
von 100 MHz verwendet werden. Mit anderen Worten, diese
piezoelektrischen kristallinen Filme sind nur bei sehr
hohen Frequenzen verwendbar.
Als verbesserter piezoelektrischer kristalliner Film
aus Zinkoxyd, der die vorstehend genannten Nachteile
nicht aufweist, wurde in DE-OS 21 48 132 ein Zinkoxydfilm, der
Kupfer enthält, vorgeschlagen. Piezoelektrische kristalline
Filme dieser Art können wirksam bei hohen Frequenzen,
jedoch nicht bei niedrigen Frequenzen verwendet werden,
da ihr spezifischer Widerstand nicht hoch gennug ist.
Da diese Filme einen spezifischen Widerstand von etwa
10⁸ bis 10⁹ Ohm · cm haben, hat f c einen Wert von 10³
bis 10⁴ Hz, berechnet nach der vorstehenden Gleichung
(1). Diese Filme können somit nur für Frequenzen von
nicht weniger als 100 kHz verwendet werden.
DE-OS 28 02 901 schlägt die Verwendung von Mangan, DE-OS
28 04 000 die Verwendung von Vanadium als Zusatzelement
für piezoelektrische kristalline Filme mit und ohne
zusätzliche Verwendung von Kupfer vor.
Aufgabe der Erfindung ist somit ein verbesserter,
aus Zinkoxyd bestehender piezoelektrischer kristalliner
Film, der
als Umformer und Energieumwandler in einem
weiten Bereich von niedrigen bis hohen Frequenzen mit
gutem Umwandlungswirkungsgrad verwendet werden kann,
sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Es wurde nun gefunden, daß diese Aufgabe gelöst werden
kann, in dem Vanadium und Mangan zusammen mit oder
ohne Kupfer in den Zinkoxydfilm eingearbeitet werden.
Die Einarbeitung dieser Zusatzstoffe kann durch Verwendung
einer Zinkoxydkeramik, die Vanadium und Mangan
enthält, oder einer Zinkoxydkeramik, die Vanadium,
Mangan und Kupfer enthält, als Ausgangsmaterial des
durch Zerstäubung herzustellenden Films erreicht werden.
Die Erfindung umfaßt ferner ein Verfahren zum Herstellen
dieser verbesserten piezoelektrischen kristallinen
Filme mit hohem spezifischen Widerstand in Verbindung
mit einer ebenen Oberfläche und guten Hafteigenschaften
gegenüber dem Substrat.
In den piezoelektrischen kristallinen Zinkoxydfilmen
gemäß der Erfindung können die Zusatzstoffe, d. h.
Vanadium, Mangan und Kupfer, in beliebiger Form, z. B.
als Oxyde und ihre Verbindungen, vorliegen. Als Verbindungen
kommen beispielsweise Sulfide, Sulfate,
Phosphate, Phosphide und Selenate der vorstehend genannten
Zusatzelemente in Frage.
Da der Gehalt der Zusatzstoffe einen großen Einfluß
auf die elektrischen und physikalischen Eigenschaften
der Filme hat, wird der Gehalt der Zusatzstoffe vorzugsweise
auf die nachstehend genannten Bereiche begrenzt.
Der Vanadiumgehalt kann bei Umrechung in den
prozentualen Anteil von Vanadiumatomen im Bereich von
0,01 bis 20,0 Atom-% liegen. Wenn der Vanadiumgehalt
geringer ist als 0,01 Atom-%, verschlechtert sich die
Qualität des Films. Bei einem Anteil von mehr als
20,0 Atom-% ist die Richtung der kristallographischen
Orientierung des Films nicht gut einstellbar, so daß
die Orientierung des piezoelektrischen kristallinen
Films verschlechtert wird. Der Mangangehalt, umgerechnet
in den prozentualen Anteil der Manganatome, kann
im Bereich von 0,01 bis 20,0 Atom-% liegen. Wenn der
Mangangehalt geringer als 0,01 Atom-% ist, verschlechtert
sich die Filmqualität, und eine Verbesserung des
spezifischen Widerstandes des Films wird nicht erzielt.
Wenn der Mangangehalt über 20,0 Atom-% liegt, verschlechtert
sich die Orientierung des piezoelektrischen
kristallinen Films. Der Kupfergehalt kann aus den
gleichen Gründen, wie sie vorstehend im Zusammenhang
mit Mangan genannt wurden, bei Umrechnung in den
prozentualen Anteil von Kupferatomen im Bereich von
0,01 bis 20,0 Atom-% liegen.
Als Materialien für das Substrat, auf dem der piezoelektrische
kristalline Film gebildet wird, eignen
sich beispielsweise Metalle, Glas, Keramik, Einkristalle,
Harze, Gummi u. dgl.
Die c-Achse der piezoelektrischen kristallinen Filme
gemäß der Erfindung ist im wesentlichen senkrecht zur
Substratoberfläche ausgerichtet, so daß es möglich ist,
piezoelektrische Umformer und Energieumwandler mit
gutem Umwandlungswirkungsgrad herzustellen. Ferner
weisen die piezoelektrischen kristallinen Filme gemäß
der Erfindung hohen spezifischen Widerstand auf, so
daß die Filme in einem weiten Bereich von niedrigen
bis hohen Frequenzen anwendbar sind.
Die piezoelektrischen kristallinen Filme gemäß der
Erfindung können durch Kathodenzerstäubung der Ausgangsmaterialien,
d. h. Zinkoxyd, Vanadium und Mangan
mit oder ohne Kupfer, auf eine Unterlage hergestellt
werden. Die Kathodenzerstäubung erfolgt unter Verwendung
eines Ausgangsmaterials für den Film, das im
wesentlichen aus Zinkoxydkeramik besteht, die Vanadium
und Mangan zusammen mit oder ohne Kupfer enthält.
Die piezoelektrischen kristallinen Filme gemäß der
Erfindung können nach beliebigen Kathodenzerstäubungsverfahren,
z. B. Hochfrequenz-Zerstäubung und Verfahren
der gemeinsamen Zerstäubung
hergestellt werden.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand von Beispielen
unter Bezugnahme auf die Abbildung beschrieben, die
schematisch eine bekannte Hochfrequenz-Zerstäubungsapparatur
zeigt, die zur Herstellung von piezoelektrischen
kristallinen Filmen gemäß der Erfindung verwendet
wird.
Die Abbildung zeigt eine mit zwei Elektroden versehene
Hochfrequenz-Zerstäubungsapparatur, die zur Herstellung
von piezoelektrischen kristallinen Filmen gemäß der
Erfindung verwendet wird. Zur Apparatur gehört eine
Glasglocke 1, in der zwei Elektroden, nämlich eine
planare Kathode 2 und eine planare Anode 3, parallel
angeordnet sind. An der Kathode 2 ist ein Ausgangsmaterial
4 für den Film befestigt, das im wesentlichen
aus Zinkoxydkeramik, die Vanadium und Mangan mit oder
ohne Kupfer enthält, besteht. Zwischen den Elektroden
2 und 3 ist eine Blende 5 angeordnet. Ein
Substrat 6, das aus einem Kristall oder amorphem Material,
z. B. Glas, Metall, Keramik, Einkristall oder
Harz besteht, ist an der Unterseite der Anode 3 befestigt.
Das Substrat 6 wird während der Zerstäubung
auf eine Temperatur von 20° bis 600°C erhitzt. Die
Glasglocke 1 ist mit einer Austrittsöffnung 7 und
einem Gaseintritt 8 versehen.
Die Hochfrequenz-Zerstäubung wird wie folgt durchgeführt:
Nach luftdichtem Abschluß wird die Glasglocke 1
durch die Austrittsöffnung 7 auf ein Vakuum von
mehr als 10-6 Torr evakuiert, worauf Argon oder Sauerstoff
oder ein Gemisch von Argon und Sauerstoff durch
den Gaseintritt 8 so zugeführt wird, daß der Druck in
der Glasglocke auf 1×10-1 bis 1×10-4 Torr eingestellt
wird. Zwischen die Glasglocke 1 und die Kathode
2 wird eine Hochfrequenzspannung durch die Hochfrequenzstromquelle
9 gelegt. An das Ausgangsmaterial 4 des
Films wird ein Strom mit einer Leistungsdichte von 2 bis 8 W/cm² gelegt.
Das Ausgangsmaterial des Films, das im wesentlichen aus
Vanadium und Mangan enthaltender Zinkoxydkeramik oder
Vanadium, Mangan und Kupfer enthaltender Zinkoxydkeramik
besteht, wird wie folgt hergestellt: Unter Verwendung
von ZnO-, V₂O₅-, MnCO₃- und CuO-Pulver als Ausgangsmaterialien
werden Gemische für die Bildung von Zinkoxydkeramik
mit der in Tabelle 1 genannten Zusammensetzung hergestellt.
Jedes Gemisch wird naß gemahlen, getrocknet
und dann 2 Std. bei 600 bis 800°C calciniert. Der vorgesinterte
Körper wird zerkleinert, mit einem organischen
Bindemittel naß gemahlen und dann getrocknet. Das erhaltene
Pulver wird zu Scheiben mit einem Durchmesser
von 100 mm und einer Dicke von 5 mm unter einem Druck
von 98 N/mm² geformt und dann zur Bildung der Ausgangsmaterialien
des Films 2 Stunden bei 1200°C gesintert.
Für die in dieser Weise hergestellten Ausgangsmaterialien
der Filme wurden der spezifische Widerstand
und das Verhältnis von Raumgewicht d S zur theoretischen
Dichte d t (d s /d t ×100) gemessen. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 1 genannt.
Unter Verwendung der erhaltenen Ausgangsmaterialien
der Filme werden piezoelektrische kristalline Filme
aus Zinkoxyd auf Glassubstraten unter Verwendung der
vorstehend beschriebenen Hochfrequenz-Zerstäubungsapparatur
gebildet. Die Hochfrequenz-Zerstäubung wird
uner folgenden Bedingungen durchgeführt: Ein Gasgemisch
aus 90 Vol.-% Argon und 10 Vol.-% Sauerstoff
wird der Glasglocke 1 durch den Gaseintritt 8 so zugeführt,
daß der Druck in der Glasglocke auf 2×10-3
Torr eingestellt wird. Das Glassubstrat wird auf 350°C
erhitzt und bei dieser Temperatur gehalten. Dem Ausgangsmaterial
4 der Filme wird ein Strom mit einer Leistungsdichte
von 6 W/cm² bei einer Frequenz von 13,56 MHz zugeführt.
Die Orientierung der c-Achse der in dieser Weise hergestellten
piezoelektrischen kristallinen Filme wurde
nach einem Schwankungskurvenverfahren
durch Röntgenstrahlenbeugung gemessen (siehe Minakata,
Chubachi und Kikuchi "Quantitative Representation of
c-axis Orientation of Zinc Oxide Piezoelectric Thin
Films" The 20th Lecture of Applied Physics Federation
(Japan) 2 (1973) 84 und Makoto Minakata, Dissertation
an der Tohoku-Universität (1974)). Der Mittelwert
() und die Standardabweichung (O) des Winkels der
c-Achse zur Achse senkrecht zur Substratoberfläche
wurde für die jeweilige Probe ermittelt. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 1 genannt, in der außerdem die
Ergebnisse der Messungen des spezifischen Widerstandes,
der Qualität und der Haftfestigkeit der kristallinen
Filme genannt sind. Die Messung der Haftfestigkeit am
Substrat wurde nach der Wärmeschockmethode 107C von
MIL-STD-202D vorgenommen. Ein Film, der von der Oberfläche
des Substrats abblätterte, wurde als "Schlecht"
beurteilt. Ein Film, in dem Rißbildung auftrat, wurde
als "annehmbar" und ein Film, der keine Veränderung
zeigte, als "gut" beurteilt.
Die Werte in Tabelle 1 zeigen, daß die kristallinen
Filme gemäß der Erfindung eine c-Achse, die ungefähr
senkrecht zur Substratoberfläche verläuft, aufweisen.
Hieraus ist ersichtlich, daß die piezoelektrischen
kristallinen Filme gemäß der Erfindung einen hohen
elektromechanischen Kupplungsfaktor, d. h. einen guten
Umformungswirkungsgrad aufweisen. Die piezoelektrischen
kristallinen Filme gemäß der Erfindung sind ferner
glatt und zeigen gute Haftfestigkeit am Substrat und
einen sehr hohen spezifischen Widerstand. Wie bereits
erwähnt, ist die dielektrische Relaxationswinkelfrequenz
(ω c ) umgekehrt proportional dem spezifischen
Widerstand, so daß sie bei niedrigen Frequenzen verwendet
werden können.
Der anwendbare Frequenzbereich der piezoelektrischen
kristallinen Filme gemäß der Erfindung kann durch Bestimmung
von ω c mit Hilfe der vorstehend genannten
Gleichung (1) ermittelt werden. Die für die erfindungsngemäß
hergestellten Proben ermittelten ω c -Werte liegen
im Bereich von 10-2 bis 10. Die niedrigste anwendbare
Frequenz für die piezoelektrischen kristallinen Filme
gemäß der Erfindung liegt daher bei 1 Hz und höher.
Dies bedeutet, daß die piezoelektrischen kristallinen
Filme gemäß der Erfindung in einem weiten Bereich von
niedrigen bis zu hohen Frequenzen verwendet werden
können. Sie eignen sich somit für Niederfrequenz Umformer,
z. B. miniaturisierte Stimmgabeln und elektronische
Geräte wie Hohlleiter.
Bei den in den Beispielen beschriebenen Versuchen
wurden die Zusatzelemente in Oxydform als Rohstoffe
für die Herstellung der Ausgangsmaterialien der Filme
verwendet, jedoch können beliebige andere Formen, z. B.
Metalle, Legierungen oder ihre Verbindungen, verwendet
werden.
Durch Verwendung des Ausgangsmaterials des Films, das
Vanadium, Mangan mit oder ohne Kupfer enthält, werden
die folgenden Vorteile erzielt:
Bei der Massenproduktion von piezoelektrischen kristallinen
Filmen nach der Hochfrequenz-Zerstäubungsmethode
muß die Kristallwachstumsgeschwindigkeit so
hoch wie möglich sein. Um dies zu erreichen, muß die
dem Ausgangsmaterial des Films pro Flächeneinheit
zugeführte Stromstärke erhöht werden, so daß das Ausgangsmaterial
ein hohes Raumgewicht haben muß. Diese
Voraussetzung wird durch die Ausgangsmaterialien, die
Vanadium, Mangan und Kupfer enthalten, vollständig
erfüllt. Wie die Werte in Tabelle 1 zeigen, haben
diese Ausgangsmaterialien der Filme ein höheres Raumgewicht
als die üblicherweise verwendeten Ausgangsmaterialien,
so daß die Ausgangsmaterialien, die die
vorstehend genannten Zusatzelemente enthalten, die
Massenproduktion von piezoelektrischen kristallinen
Zinkoxydfilmen unter Anwendung hoher Stromstärken ermöglichen.
Claims (10)
1. Piezoelektrischer kristalliner Film, der auf ein
Substrat aufgebracht und ein kristalliner Zinkoxydfilm
mit hexagonaler Kristallstruktur mit Zusatzstoffen,
und einer senkrecht zur Substratoberfläche stehenden
c-Achse ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusatzstoffe
Vanadium und Mangan sind.
2. Piezoelektrischer kristalliner Film nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus Metall,
Glas, Keramik, Einkristall, Harz oder Gummi besteht.
3. Piezoelektrischer kristalliner Film nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehalt jedes
Zusatzelements 0,01 bis 20,0 Atom-% beträgt.
4. Piezoelektrischer kristalliner Film nach einem der Ansprüche 1
bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der kristalline
Zinkoxydfilm außerdem Kupfer enthält.
5. Piezoelektrischer kristalliner Film nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kupfergehalt 0,01 bis
20,0 Atom-% beträgt.
6. Verfahren zum Herstellen von piezoelektrischen kristallinen
Filmen aus Zinkoxyd mit hexagonaler Kristallstruktur
mit Zusatzstoffen und einer senkrecht zur Substratoberfläche
stehenden c-Achse, wobei man die Filmmaterialien
durch Kathodenzerstäubung aus einem Ausgangsmaterial
auf die Oberfläche eines Substrats unter
Bildung eines kristallinen Zinkoxydfilms aufbringt, dadurch
gekennzeichnet, daß man als Ausgangsmaterial des Films
im wesentlichen eine Zinkoxydkeramik verwendet, die
als Zusatzelemente Vanadium und Mangan in einer Menge
von je 0,01 bis 20,0 Atom-% enthält.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
man die Zerstäubung nach dem Hochfrequenz-Zerstäubungsverfahren
durchführt.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zinkoxydkeramik außerdem 0,01 bis 20,0
Atom-% Kupfer enthält.
9. Verfahren
dadurch gekennzeichnet, daß
die
Zerstäubung
in einer aus Argon oder Sauerstoff oder einem Gemisch
von Argon und Sauerstoff bestehenden Atmosphäre
unter einem Druck von 1×10-1 bis 10-4 Torr durchführt
und
das Substrat
an einer Anode angeordnet ist, die parallel zu einer
Kathode, auf der das Ausgangsmaterial des Films liegt,
angeordnet ist, und an das Ausgangsmaterial ein Strom
mit einer Leistungsdichte von 2 bis 8 W/cm² gelegt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß man das Substrat während der Zerstäubung
bei einer Temperatur im Bereich von 20° bis 600°C
hält.
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US4243697A (en) * | 1979-03-14 | 1981-01-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Self biased ferrite resonators |
US6127768A (en) * | 1997-05-09 | 2000-10-03 | Kobe Steel Usa, Inc. | Surface acoustic wave and bulk acoustic wave devices using a Zn.sub.(1-X) Yx O piezoelectric layer device |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US3420763A (en) * | 1966-05-06 | 1969-01-07 | Bell Telephone Labor Inc | Cathodic sputtering of films of stoichiometric zinc oxide |
US3573960A (en) * | 1968-12-19 | 1971-04-06 | Bell Telephone Labor Inc | Torsional mode elastic wave transducers |
US3766041A (en) * | 1970-09-29 | 1973-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing piezoelectric thin films by cathodic sputtering |
US3988232A (en) * | 1974-06-25 | 1976-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of making crystal films |
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JPS5396495A (en) * | 1977-02-02 | 1978-08-23 | Murata Manufacturing Co | Piezooelectric crystal film of zinc oxide |
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1978
- 1978-09-07 US US05/940,336 patent/US4174421A/en not_active Expired - Lifetime
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