DE2751415A1 - Masken-photowiederholgeraet - Google Patents

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. Oipl-Chem. Opt-lng. C / 5 1 A 1 5 E. Prinz - Dr. GL Hauser - G. Leiser Ernsbargcrstras·· 19

8 München 60

THOMSON - CSF 17. November 1977

173» Bd. Haussmann 75008 Paris / Frankreich

Unser Zeichent T 2297 Masken-Photowiederholgerät

Die Erfindung betrifft Masken-Photowiederholgeräte für die Herstellung von mehreren Bildern, die sehr kleine Abmessungen haben und alle gleich sind, auf ein und demselben Plättchen.

Auf dem Halbleitergebiet stellt sich das Problem, auf ein und demselben Plättchen mehrere Bilder, die kleine Abmessungen haben und alle gleich sind, mit sehr hoher Auflösung anzuordnen. Als Anhaltspunkt sei angegeben, daß es erforderlich ist, auf ein und demselben Plättchen, dessen

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Hauptabmessungen 10 cm (typisch sind 3 Zoll oder 75 mm) nicht überschreiten, Zeichnungen anzuordnen, die eine Auflösung von 1 Aim haben. Das Problem ist aus folgenden Gründen schwierig zu lösen:

In dem Fall, in welchem für die Übertragung der Masken optische Vorrichtungen benutzt werden, was insbesondere Gegenstand der Erfindung ist, liegt die Schärfentiefe bei den benutzten Wellenlängen in der Größenordnung von - 2 ,um.

Halbleiterscheiben und insbesondere Siliciumscheiben weisen Wölbungen auf, die lOyUm erreichen können, selbst wenn ihre neutrale Faser als eben angenommen wird. Daraus folgt, daß zwischen der Scheibe und der optischen Anordnung ein ausreichender Abstand vorhanden sein sollte, um keine Beschädigung zu riskieren.

Schließlich sollen Zeichnungen mit Strichen von l,um projiziert werden.

Das Masken-Photowiederholgerät hoher Auflösung nach der Erfindung gestattet, diese Probleme zu lösen.

Das Masken-Photowiederholgerät nach der Erfindung enthält eine Lichtquelle und ein Objektiv mit einer Vergrößerung, die kleiner oder gleich 1 ist und vorzugsweise in der Grössenordnung von 1/10 liegt, welches das Bild einer Maske auf eine Probe projiziert, die durch einen Objektträger

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abgestützt ist, der mit einem Tisch fest verbunden ist, welcher Vorrichtungen aufweist, mittels welchen beliebig gewisse Bereiche der Probe gegenüber dem Objektiv angeordnet werden können, und ist gemäß der Erfindung vor allem dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Aufnahme der Objektträger feststeht und daß die optische Anordnung Vorrichtungen aufweist, die ihre Verschiebung in ihrer optischen Achse gestatten, so daß ihre Bildebene in die Ebene des Objekts gebracht werden kann, wobei die Vorrichtungen einerseits eine elastische Anordnung im Spannungszustand aufweisen, die bestrebt ist, die optische Anordnung in einer ersten Richtung zu verschieben, und andererseits elektrische Steuereinrichtungen, die bestrebt sind, der Kraft dieser Anordnung mehr oder weniger entgegenzuwirken, wobei diese Steuereinrichtungen Steuersignale von Fühlern empfangen, die dem Objektiv zugeordnet und in der Lage sind, den Abstand zwischen seiner Austrittspupille und der Ebene des Objektträgers zu messen.

Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 das Gesamtschema eines Photowiederholers, Fig. 2 das Prinzipschema des Photowiederholers

nach der Erfindung,

Fig. 3 in perspektivischer Darstellung ein Aus-

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führungsbeispiel des oberen Teils der mechanischen Positionskontrollvorrichtung des Objektivs,

die Fig. 4 und 5 im Schnitt bzw. in Draufsicht die Vorderseite des Objektivträgers,

Fig. 6 schematisch einen Differenzwandler, der

in dem Gerät nach der Erfindung benutzt wird,

Fig. 7 ein Schaltungsbeispiel einer Folgeregel

anordnung, die in dem Gerät nach der Erfindung verwendbar ist,

die Fig. 8 und 9 in Draufsicht bzw. im Schnitt in einer

durch einen der Durchmesser gehenden und Düsen enthaltenden Ebene den Objektivträger im Verlauf einer Verschiebung zum Scharfeinstellen, und

Fig. 10 Erläuterungskurven.

Fig. 1 zeigt perspektivisch und sehr schematisch einen Photowiederholer, der eine große Auflösung hat.

Er enthält einen Objektträger 1, der ein Objekt 2 trägt, auf welchem Motive wiedergegeben werden sollen, die alle

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dieselbe Form und kleine Abmessungen haben und beispielsweise in Zeilen und in Spalten angeordnet sind.

Oberhalb des Objektträgers 1 ist die Optik 3 angeordnet, deren Objektiv auf dem Objekt ein reelles Bild eines Motivs 4 bildet, das durch eine Quelle 5 über einen Kondensor 6 beleuchtet wird.

Der Objektträger 1 ist in einer Horizontalebene mit Hilfe von zwei Motoren MX und MY verschiebbar, wobei der eine die Verschiebung in einer X-Richtung und der andere die Verschiebung in einer zu der X-Richtung rechtwinkeligen Y-Richtung bewirkt.

Zum Auswerten der Verschiebungen in der X- und in der Y-Richtung sind zwei mit kohärentem Licht arbeitende Interferometer sy sterne vorgesehen, von denen lediglich das System 7 in Fig. 1 dargestellt ist.

Das Interferometer 7 ist mit einer Logikanordnung verbunden, die insbesondere einen Vorwärts-Rückwärts-Zähler 8 enthält, der mit einem Eingang eines Rechners 9 verbunden ist, welcher die Verschiebungen steuert. Der Objektträger 1 ist auf einem Support 10 mit Hilfe von Beilagen CX und CY verkeilt. Dieser Support wird durch die beiden Motoren MX und MY gesteuert.

Das durch die Erfindung zu lösende Problem besteht darin, die Relativposition des Objektträgers und des Objektivs

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derart zu korrigieren, daß der Objektträger sich immer in der Bildebene des Objektivs befindet. Zu diesem Zweck sind Einrichtungen vorgesehen, um die Position des Objektivs in bezug auf die des Objektträgers zu regeln. Es sei daran erinnert, daß in den im allgemeinen vorkommenden Fällen die optischen Systeme einen großen öffnungswinkel und infolgedessen eine sehr geringe Schärfentiefe haben. Es ist daher erforderlich, über eine ständige Kontrolle der Einstellung zu verfügen, damit Planheitsfehler des Trägers und Schwankungsfehler der Antriebsvorrichtung kompensiert werden können. Das Gerät nach der Erfindung soll daher eine automatische Fokussierung gestatten, die mit einer Auflösung von 0,5,um und mit einer Genauigkeit der Photowiederholung von 0,1/um kompatibel ist.

Fig. 2 zeigt im Längsschnitt eines der möglichen Schemata des Gerätes nach der Erfindung.

Die optische Anordnung 3 ist in einem Rohr 15 montiert, so daß sie sich in der Achse dieses Rohres verschieben kann. Zu diesem Zweck ist das Rohr 15 an einem Gestell befestigt, das die Anordnung mit Hilfe von zwei elastischen Membranen 14 trägt, die bestrebt sind, unter der Wirkung einer voreingestellten Spannung das Objektiv nach oben zu bewegen. Das Rohr 15 trägt einen unteren Teil, der weiter unten beschrieben wird.

Oberhalb dieser ersten Anordnung, die den eigentlichen Objek-

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tivträger darstellt, ist ein metallisches Teil 11 angeordnet, das eine Verjüngung 117 hat und im großen und ganzen U-förmig ist.

Dieses Teil ist perspektivisch in Fig. 3 dargestellt. Es hat einen oberen Teil 18 und einen unteren Teil 17, die durch einen vertikalen Teil 19 und durch die Verjüngung 117 miteinander verbunden sind.

Auf dem unteren und auf dem oberen Teil ist ein piezoelektrischer Stab 13 angeordnet, dessen Länge veränderlich und von einer angelegten Spannung abhängig ist.

Zwei Federn 20 und 21 sind bestrebt, den oberen und den unteren Teil 18 bzw. 17 aufeinanderzu zu bewegen. Die Federn 20, 21 und der piezoelektrische Stab 13 sind so berechnet, daß sie in zu den Membranen entgegengesetzter Richtung wirken, so daß das Teil 11 eine Kraft auf die eigentliche Objektivträgeranordnung ausübt.

Die Fig. 4 und 5 zeigen im Schnitt bzw. in Draufsicht die Vorderseite der direkt das Objektiv tragenden Teile, d. h. diejenige Seite, die der Probe am nächsten liegt.

Fig. 4 zeigt den unteren Teil 119 des Objektivträgers, während Fig. 5 die untere Seite dieses Teils zeigt.

Das Objektiv 101 ist seinerseits durch eine Schulter 102 abgestützt, die mit dem Objektivträger verbunden ist,

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Der Objektivträger endigt in einem Teil 103, der aus zwei Kegelstumpfen 104 und 105 gebildet ist, welche an ihrem oberen Teil aneinander angelötet sind. Ein Zylinder 106 vervollständigt die Anordnung.

Durch die Düsen, die zwischen den Teilen 104 und 105, 104 und 106 gebildet sind, geht ein Gasstrom hindurch, dessen Zweck weiter unten erläutert ist. Diese Anordnung hat von dem Objekt selbst einen Abstand von etwa 20/um.

Ein Teil 107 ist in Fig. 5 dargestellt. Dieses Teil 107 weist acht Durchgangslöcher oder Düsen auf, die Gasströme auf den Objektträger richten.

Diese Düsen werden in zwei Kategorien eingeteilt, nämlich: die Düsen C,, bis C,,, die auf einem Kreis mit einem Durchmesser in der Größenordnung von 9 mm (worunter lediglich ein Beispiel zu verstehen ist) angeordnet sind; diese Düsen sind an den vier Enden von zwei zueinander rechtwinkeligen Durchmessern angeordnet; und die Düsen C₂₁ bis C₂,> die auf einem Kreis mit einem Durchmesser in der Größenordnung von 11 mm und jeweils auf denselben Radien wie die Düsen C,. bis C., angeordnet sind; diese Düsen gestatten, den Objektivträger der Position des zu druckenden Bildes nachzuregeln und sind Teil von Differenzwandlern, deren Schaltbild in Fig. 6 dargestellt ist.

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Fig. 6 zeigt einen pneumatischen Fühler, der in dem Gerät nach der Erfindung benutzt werden kann. Er basiert auf der Tatsache, daß ein Hindernis an dem Ausgang einer Gasleitung den Durchsatz derselben verändert. Diese Durchsatzänderung führt zu einer Druckänderung, die um so größer ist, je näher sich das Hindernis bei der Ausgangsdüse befindet.

Der in Fig. 6 dargestellte Fühler ist ein Differenzfühler. Zwei Röhren 31 und 32 empfangen ein Fluid mit demselben Druck. Diese Röhren geben das Fluid an zwei gleiche Kammern 41 bzw. 42 und an zwei Düsen 51 bzw. 52 ab.

Die Düse 52 ist durch eine verstellbare Klappe 53 geschlossen. Diese Klappe ist die Ursache dafür, daß sich in einer Röhre 62, die in die Düse mündet, ein bekannter und gemessener Referenzdruck P_ aufbaut. Die Düse 51 leitet

den Gasstrom auf das Hindernis, bei welchem es sich um die Oberfläche des Plättchens handelt, die einen Abstand Z von dem Ausgang der Düse 51 hat. Die beiden Röhren 62 und 61 münden in einen Hohlraum 70, der durch eine elastische Membran 71 in zwei gleiche Teile unterteilt ist. Die Membran verschiebt sich unter der Wirkung der Differenz P_ - P

Diese Verformung ruft eine Änderung der Impedanz der beiden Schaltungen hervor, die durch zwei Spulen 81 bzw. 82 gebildet sind, welche in einem den Hohlraum umschließenden

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Metallteil angeordnet sind. Infolgedessen haben diese beiden Schaltungen, die dieselbe Eingangsspannung V empfangen, Ausgangsspannungen V bzw. V_M und es gilt

ζ - i (v_R - ν,,).

Die benutzten Drücke liegen in der Größenordnung von 200 mbar. Der Referenzdruck wird so eingestellt, daß sich ein Fehlersignal Null für die gewählte Entfernung zwischen dem Fühler und der Bildebene, also für beispielsweise 20 bis 30/Um ergibt.

Diese Schaltung gestattet, die Einflüsse des Versorgungsdruckes zu eliminieren.

Die vier Düsen C,, bis C,, sind miteinander verbunden und bilden nur einen einzigen pneumatischen Fühler, der über den Wandler ein Analogsignal S, liefert. Das Signal S, kann benutzt werden, um den Abstand zwischen dem Objekt und dem Objektiv entweder durch eine Analogregelschleife oder durch eine Digitalregelschleife, wie sie weiter unten beschrieben ist, zu regeln. Das Analogregelschema enthält einen Wandler der in Fig. 6 dargestellten Art.

Dieser Wandler liefert ein Signal V(Z), das nach Verstärkung auf die elektrostriktiven Stäbe einwirkt.

Ein anderes Schema als das von Fig. 6 kann benutzt werden. Dieses in Fig. 7 gezeigte Schema gestattet, das erhaltene

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Regelsignal gespeichert zu halten, wenn das Bedrucken einer Zone der Oberfläche beendet 1st, um auf die nächste Zone überzugehen. Bei der Erläuterung dieses Schemas wird der Grund des Vorhandenseins der acht Düsen verständlich werden, während in dem vorangehenden Fall lediglich vier erforderlich waren.

Die vier Düsen C«, ^D*^{s c} ₂a sind miteinander verbunden und bilden ebenfalls einen einzigen Meßfühler, der ein Signal S₂ liefert. Das Signal S- wird mit Hilfe einer nicht dargestellten Logikanordnung in ein Digitalsignal mit den beiden Werten 0 bzw. 1 umgewandelt. Der Wert 0 wird geliefert, wenn eine oder mehrere Düsen C» sich außerhalb des Objekts befinden, d. h. außerhalb der Zone Z„ des Objekts. Der Wert 1 wird geliefert, wenn sich die vier Düsen über dem Objekt befinden. Die Düsen C«, bis C₂, bilden einen Annäherungsdetektor.

Das Analogregelschema enthält einen Wandler, wie er in Fig. 6 dargestellt 1st.

Dieser Wandler liefert ein Signal V(Z), das nach Verstärkung auf die elektrostriktiven Stäbe einwirkt.

Auf dem Objekt können zwei Zonen definiert werden, je nachdem, ob die vier Düsen C, und die vier Düsen C₂ gleichzeitig über dem Objekt ( d. h. der Zone Z,) sind oder ob die Düsen C₂ sich außerhalb befinden, während sich die

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Düsen C. über dem Objekt befinden, was die Zone Z„ darstellt. Die Erfindung ermöglicht, scharfe Photos (Bilder) in den Zonen Z, und Z_ des Objekts herzustellen, indem die Position der Regelung der letzten Position in der Zone Z. über der Übergangszone Z„ und selbst außerhalb des Objekts (Zone Z,) gespeichert wird.

Die Betriebsweise wird anhand der Fig. 7, 8 und 9 erläutert.

Die Schaltung von Fig. 7 enthält eine monostabile Schaltung 1000, die den Befehl zum Einschalten der Regelung gibt. Die monostabile Schaltung ist mit dem Eingang einer UND-Schaltung 1001 verbunden, welche an dem anderen Eingang das Signal S_ empfängt. Dieses Signal mit dem Wert 1 macht die UND-Schaltung 1001 leitend, deren Ausgang mit einem Eingang einer bistabilen Kippschaltung 1002 mit zwei Zuständen 0 und 1 verbunden ist. Sobald also das Einschaltimpulssignal gegeben wird und das Signal S₂ den Wert 1 hat, wird die Kippschaltung 1002 in den Zustand 1 gesetzt.

Die Kippschaltung 1002 hat einen Nullsetzeingang, der mit einer monostabilen Schaltung 1011 verbunden ist, die einen Impuls zum Zurücksetzen der Kippschaltung 1002 in den Zustand 0 liefert.

Die monostabile Kippschaltung 1011 ist mit dem Ausgang

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eines Nulldetektors 1010 verbunden, dessen Ausgang zwei Zustände 0 und 1 hat. Die monostabile Kippschaltung 1011 gibt bei jedem übergang des Ausgangs des Detektors 1010 von 1 nach 0 sowie bei jedem übergang von 0 nach 1 einen Impuls ab.

Der Nulldetektor empfängt an seinem Eingang eine Referenzspannung V-, die der Ausgangsspannung entspricht, welche von dem Wandler abgegeben wird, der den Düsen C. zugeordnet ist, wenn die Höhe des Objektivs den gewünschten Wert hat, also beispielsweise 30 Am beträgt.

Der den Düsen C. zugeordnete Wandler liefert eine Spannung V-, wenn gilt h - h , wobei h die gewünschte Höhe für eine gute Scharfeinstellung ist, und eine Spannung V, die beispieslweise zwischen V. - 5 V und V. + 5 V liegt, wenn gilt h^ - 100 .um < h<h_o + 100 ,um (Fig. 10).

Die Spannung V und die Spannung V- werden an die Eingänge der Schaltung 1010 angelegt, die an ihrem Ausgang eine Spannung mit dem Wert 1 oder 0 liefert, je nachdem, ob V<V oder V>V_Q gilt.

Diese Spannung wird direkt an eine UND-Schaltung 1005 und über einen Inverter 1017 an eine UND-Schaltung 1006 angelegt und macht die eine oder die andere dieser UND-Schaltungen leitend, die Zugang zu dem Vorwärtszähleingang bzw. dem Rückwärtszähleingang eines Vorwärts-Rückwärts-

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Zählers 1007 geben, der über einen Dlgital/Analog-Wandler 1008 und einen Verstärker 1009 auf die piezoelektrischen Steuerstäbe einwirkt.

Die beiden UND-Schaltungen 1005 und 1006 empfangen über eine UND-Schaltung 1004 die Impulse eines Taktgebers 1003.

Die UND-Schaltung 1004 wird durch die Kippschaltung 1002 leitend gemacht, wenn sie in dem Zustand 1 ist.

Die Schaltung arbeitet folgendermaßen:

In der Zone Z, hat das Signal S~ den Wert 1 und, wenn der Befehl zum Suchen der Scharfeinstellung an der monostabilen Kippschaltung 1000 ankommt, wird die Kippschaltung 1002 in den Zustand 1 gesetzt. Die UND-Schaltung 1004 ist dann leitend und die Impulse des Taktgebers 1003 werden an die UND-Schaltungen 1005 und 1006 angelegt. Je nach dem Wert V des Signals S. werden sie zu dem Vorwärtszähleingang oder zu dem Rückwärtszähleingang übertragen. Wenn beispielsweise h>h ist, d. h. wenn V>V_Q ist, wird die UND-Schaltung 1005 leitend sein und die Taktimpulse werden an den Vorwärtszähleingang des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 1007 angelegt. Der Digital/Analog-Wandler 1008 wird eine zunehmende Spannung liefern, die an die piezoelektrischen Keramikscheiben über einen Verstärker angelegt werden.

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Das Objektiv wird sich der Objektebene nähern und der Wert V des Signals S, wird kontinuierlich abnehmen. Wenn er durch den Wert V« V_ hindurchgeht, ändert der Nulldetektor seinen Zustand und triggert die monostabile Kippschaltung 1011, die die bistabile Kippschaltung 1002 in den Zustand 0 rücksetzt und die UND-Schaltung 1004 wieder sperrt. Die Taktimpulse kommen nicht mehr an dem Zähler 1007 an, der den Zählwert gespeichert hält und so die Position des Objektivs festhält.

Der Befehl zum Suchen der Einstellung wird, beispielsweise, vor jedem neuen Photo oder in periodischer Weise durch einen Taktgeber ausgelöst.

In der Reihenfolge nach dem Suchen der Scharfeinstellung können sich zwei Fälle ergeben. Wenn das Objektiv immer über der j Zone Z. ist, hat das Signal S„ den Wert 1 und der Prozeß ist gleich dem vorstehend beschriebenen.

Wenn das Objektiv sich in der Zone Z» oder außerhalb des Objekts in der Zone Z₃ befindet, hat das Signal S„ den Wert 0. In diesem ^Fall bleibt die bistabile Kippschaltung 1002 in dem Zustand 0 und es erfolgt keine neue Scharfeinstellung. Das Objektiv bleibt in seiner vorherigen Position. Seine Position wird erst modifiziert, wenn die Rückkehr über die Zone Z, erfolgt.

Dieses System hat den Vorteil, daß jeder Zählwert gespeichert gehalten wird und daß insbesondere das Objektiv, wenn

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sich der Objektivträger von dem Objektträger entfernt, die zuvor eingenommene Position bewahrt, wenn das Signal S, eine Bedeutung hatte.

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Claims (8)

Patentanwälte Opl-Chem. DJpL-lng. 2 7 5 1 A 1 5 E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser Ernsbergerstrasse 19 8 München 60 THOMSON - CSF 17. November 1977 173» Bd. Haussmann 75008 Paris / Frankreich Unser Zeichen; T 2297 Patentansprüche ;

1. Masken-Photowiederholgerät für die Herstellung von mehreren Bildern, die sehr kleine Abmessungen haben und alle gleich sind, auf ein und demselben Plättchen, mit einer Lichtquelle und mit einer das Objektiv tragenden Anordnung, dessen Vergrößerung kleiner oder gleich 1 ist und das das Bild einer Maske auf eine Probe projiziert, die durch einen Objektträger abgestützt ist, welcher mit einem Tisch fest verbunden ist, der Motoren aufweist, mittels welchen die verschiedenen Bereiche der Probe nacheinander beliebig in eine Lage gegenüber dem Objektiv gebracht werden können, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Aufnahme der Objektträger festgehalten wird und daß das Objektiv Vorrichtungen aufweist,mittels welchen es in seiner optischen Achse verschiebbar ist, um seine Objektebene in die Bildebene zu bringen, wobei die Vorrichtungen einerseits elastische Einrichtungen, die im Spannungszustand sind und das Bestreben haben, die das

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Objektiv tragende Anordnung in einer Richtung zu verschieben, und elektrische Steuereinrichtungen aufweisen, die das Bestreben haben, der durch die elastischen Einrichtungen ausgeübten Kraft mehr oder weniger entgegenzuwirken, wobei die elektrischen Steuereinrichtungen Steuersignale von pneumatischen Fühlern empfangen, die dem Objektiv zugeordnet und in der Lage sind, den Abstand seiner Austrittspupille von der Ebene des Objektträgers zu messen.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Steuereinrichtungen aus piezoelektrischen Stäben bestehen, die sich auf zwei Enden an den Schenkeln eines metallischen Gestells abstützen, das elastisch verformbar ist, so daß es einen Hebelarm bildet und die Verschiebung des piezoelektrischen Stabes verstärkt.

3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Federn vorgesehen sind, die sich an dem Gestell abstützen und das Bestreben haben, der Kraft der Stäbe entgegenzuwirken.

4. Gerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elastischen Einrichtungen eine Anordnung von elastischen Schalen aufweisen, die den Objektivträger mit dem Gestell verbinden und das Bestreben haben, der

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durch die Stäbe ausgeübten Kraft entgegenzuwirken.

5. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektivträger ein Teil besitzt, das sich unter dem Objektiv befindet, dieses umrahmt und vier erste Düsen besitzt, die an den Enden von zwei zueinander rechtwinkeligen Durchmessern eines Kreises angeordnet sind, dessen Radius etwas größer ist als der des Objektivs und dessen Mittelpunkt sich auf der optischen Achse befindet, wobei die Düsen die aktiven Elemente eines pneumatischen Differenzfühlers bilden.

6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß vier zusätzliche Düsen in einer Linie mit den erstgenannten Düsen und an den Durchmesserenden eines Kreises angeordnet sind, der größer als der erstgenannte Kreis ist, wobei die zusätzlichen Düsen ebenfalls die aktiven Elemente eines pneumatischen Differenzfühlers bilden.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß

die elektrischen Signale, die durch die zusätzlichen Düsen erzeugt werden, eine logische Schaltung triggern, die einen Nulldetektor mit Analogeingang und einen Ausgang mit den beiden Zuständen 0 und 1 aufweist, der den Zustand 0 annimmt, wenn das Eingangssignal positiv ist, d. h. wenn das Objektiv in einem größeren Abstand von dem Objektträger als dem verlangten Abstand ist, und den Zustand 1, wenn das nicht der Fall ist.

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8. Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die logische Schaltung einen Vorwärts-Rückwärts-Zähler und eine Anordnung aus Torschaltungen, einem Inverter und einem Taktgeber enthält, wobei die Anordnung die Taktsignale zu dem Vorwärtszähleingang leitet, wenn der Nulldetektor das Signal mit dem Wert 0 liefert, und zu dem Rückwärtszähleingang, wenn er das Signal mit dem Wert 1 liefert, und wobei der Ausgang des Vorwärts-Rückwärts-Zählers mit einem Digital/Analog-Wandler und mit einem Verstärker verbunden ist, dessen Ausgangsspannung die piezoelektrischen Stäbe steuert.

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