DE2745266C2 - Granateinkristallschicht für magnetische Blasenbereichsvorrichtungen - Google Patents
Granateinkristallschicht für magnetische BlasenbereichsvorrichtungenInfo
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Description
i5
entspricht, worin
R wenigstens ein Element der Gruppe Y, Ca, La,
Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm,
Yb und Lu,
M wenigstens ein Element der Gruppe Ge, Al, Si
M wenigstens ein Element der Gruppe Ge, Al, Si
und Ga,
M' wenigstens ein Element der Gruppe Sc, In, Cr, Zr und Sn bedeuten und
M' wenigstens ein Element der Gruppe Sc, In, Cr, Zr und Sn bedeuten und
wobei die den Werten χ und y in einem x—y-Koordinatensystem entsprechenden Punkte
innerhalb eines Polygons (K) mit den durch folgende x— y-Koordinaten bestimmten Begrenzungspunkten
liegen:
l(Ul;0,42),2(l,15;0,40),
3(l,0i;030),5(0,90;0,12),
7 (0,80; 0,19), 1! (0,60; 0^.9),
14(0,37;0,37), 18O,22;0,43),
17(0,22;0,60), 16(0^5;075),
15(0,40:0,73), 13 (0,50; 0,70),
12 (0,65; 0,63), 10 (0,80; 0,58),
6(1,05:0,48), 1 (l,21;0,42).
3(l,0i;030),5(0,90;0,12),
7 (0,80; 0,19), 1! (0,60; 0^.9),
14(0,37;0,37), 18O,22;0,43),
17(0,22;0,60), 16(0^5;075),
15(0,40:0,73), 13 (0,50; 0,70),
12 (0,65; 0,63), 10 (0,80; 0,58),
6(1,05:0,48), 1 (l,21;0,42).
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2. Granateinkristallschicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Dicke etwa 0,2 bis
etwa 4 μπι beträgt.
3. Granateinkristallschicht nach Anspruch 1 c-der
2, dadurch gekennzeichnet, daß sie auf einem Gd3Ga5Oi2-Einkristall gebildet ist.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Granateinkristallschicht für magnetische Blasenbereichsvorrichtungen, in
deren Zusammensetzung ein Teil der Fe3+-Ionen in Tetraederlagen durch Ge-, Al-, Si- oder Ga-Ionen
ersetzt ist. Sie weist eine einachsige magnetische Anisotropie auf.
Es ist bekannt, daß Blasenbereichsvorrichtungen neuerdings als aussichtsreiche Informationsverarbeitungsvorrichtung,
insbesondere als Speichervorrichtung, festgestellt wurden, und es wurden umfangreiche
Forschungs- und Entwicklungsarbeiten in dieser Hinsieht durchgeführt. Wenn eine Blasenbereichsvorrichtung
als Speichervorrichtung verwendet wird, hängt die Speicherdichte, die einer der wichtigsten
Faktoren der Speichervorrichtungstechnologie ist, vom Blasenbereichsdurchmesser (d) ab. Gegenwärtig werden
Blasenbereichsvorrichtungen mit einem Blasenbereichsdurchmesser von 4 bis 5 μηι praktisch eingesetzt.
Wenn dieser Durchmesser auf 2 μπι oder weniger
verringert werden kann, ist ein scharfer Anstieg der Speicherdichte zu erwarten.
Um magnetische Blasenbereichsvorrichtungen zum praktischen Einsatz als Speichervorrichtung anstelle
eines Plattenspeichers oder eines Halbleiterspeichers, die allgemein verwendet werden, zu bringen, muß der
Durchmesser ihres magnetischen Blasenbereichs auf 2 ujn oder weniger verringert werden, um ihre
Speicherdichte scharf zu verbessern. Daher muß man irgendein Material finden, das die Bildung eines
Blasenbereichs mit einem so geringen Durchmesser zuläßt
Es sollen hier die Eigenschaften des Materials zur Verwirklichung eines sehr kleinen magnetischen Blasenbereichs
auf Basis von Thiele's Theorie (»Bell Syst Tech. J.«, VoL 50, S. 725,1971) betrachtet werden.
Der Durchmesser (d) eines magnetischen Blasenbereichs variiert erheblich je nach der Schichtdicke (h),
auch wenn die Materialien für die magnetische Granatschicht die gleichen sind. Wenn die Schichtdicke
(h) so gewählt wird, daß der Durchmesser (d) des Blasenbereichs am geringsten ist, hat d fast den
achtfachen Betrag einer sogenannten charakteristischen Länge (I):
8/,
(1)
wobei / durch die Sättigungsmagnetisierung (AnMs),
die Anisotropiefeldstärke (//J und den Austauschsteifigkeitskoefllzient
(A) nach der Gleichung (2) bestimmt ist:
/ = 2(%πΑ· Hk)2 I (AnMs)
(2)
Die Anisotropiefeldstärke Hk wird folgendermaßen
unter Verwendung eines die Stabilität des Blasenbereichs angebenden Faktors (q) definiert:
Hk= q- (4 π Ms).
Somit ergibt sich für «/der Wert:
</= 16(8/γΛ · q)2 IAnMs.
</= 16(8/γΛ · q)2 IAnMs.
(3)
Daher müssen, um den «/-Wert klein zu machen, die
A- und q-Werte so klein wie möglich und der ATtMs-Wert
so groß wie möglich sein. Vom Standpunkt der Funktionen der Magnetblasenbereichs-Speichervorrichtung
gibt es jedoch die folgenden beiden Beschränkungen:
(1) Damit kein zusätzlicher magnetischer Blasenbereich an anderen Stellen als einem Blasenbereichserzeuger
in der Speichervorrichtung erzeugt wird, ist es erwünscht, daß der Wert von q größer als 4 ist.
Andererseits ist es, damit ein Blasenbereich am Generator leicht erzeugt wird, erwünscht, daß der Wert
von q kleiner als 8 ist.
(2) In den magnetischen Blasenbereichsvorrichtungen wird im gegenwärtigen Stadium ein rotierendes
Magnetfeld in einer zur Magnetschicht parallelen Ebene zur Überführung des Blasenbereichs angelegt. Nach
Versuchsergebnissen muß die Stärke des rotierenden Magnetfeldes fast proportional zum 4«A/s-Wert gesteigert
werden. Um die zur Erzeugung des rotierenden Magnetfeldes erforderliche elektrische Leistung zu
senken und die Wärmeentwicklung an der das rotierende Magnetfeld erzeugenden Spule weitestgehend
zu unterdrücken, ist es erwünscht, daß der Wert
von 4jtMsso gering wie möglich ist.
Aufgrund dieser beiden Beschränkungen ist nur A ein
μ. freier Faktor in der Gleichung (3), Mit anderen Worten
muß irgendein Material mit einem geringen t/-Wert
durch Niedrighaltung des Λ-Wertes gefunden werden. Bei den bekannten magnetischen Granatmaterialien
war jedoch der .Α-Wert kein freier Faktor, sondern eine eng mit AnMs aus den im folgenden beschriebenen
Gründen verknüpfte Größe, Der größere Teil der Sättigungsma^netisierung von Eisengranat wird durch
die Differenz zwischen der Magnetisierung der Eisenionen in Tetraederlagen (Fe3+: 3 Mole je Formeleinheit)
und der entgegengesetzt gerichteten Magnetisierung der Eisenionen in Oktaederlagen gebildet
(Fe3+: 2 Mole je Formeleinheit).
Eine Magnetschicht mit einem erwünschten AnMs-Wert wurde bisher durch Ersetzen von Eisenionen
(Fe3+) in Tetraederlagen durch Galliumionen (Ga3+),
Aluminiumionen (Al3+), Siliziumionen (Si4+),
Germaniumionen (Ge4+) usw. erhalten, die eine starke
Selektivität für die Tetraederlagen aufweisen. Solche Granateinkristallschichten der eingangs genannten Art
sind aus »Appl. Phys. LetL« Vol. 26, Nr. 12, Juni 1975,
S. 722-724 und »J. Appl. Phys.« Vol. 47, Nr. 8, August
1976, S. 3759—3761 mit Dicken zwischen 4,1 und 9,3 μπι
bekannt
Wenn die Menge von Eisenionen in Tetraederlagen, die durch Galliumionen usw. ersetzt wird, χ ist, ist jedoch
■ der 4jtAfrWert fast proportional zu (I — jirjt, und der
Λ-Wert ist fast proportional zu (5—x). Wenn ein Teil der
Eisenionen in Tetraederlagen durch Galliumionen usw. ersetzt wird, um einen gewünschten AnMs-Wen zu
erhalten, legt man daher nicht nur den 4;rMs-Werl,
sondern auch den /i-Wert fest, und der an sich gewünschte /I-Wert läßt sich nicht erzielen. Daher war
es sehr schwierig, den Durchmesser eines magnetischen Blasenbereichs bei bekannten Magnetschichten unter
Verwendung der Gleichung (3) zu verringern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Granateinkristallschicht der eingangs genannten Art zu
' entwickeln, in der sich ein magnetischer Blasenbereich
mit sehr kleinem Durchmesser bilden läßt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zusätzlich ein Teil der Fe-Ionen in Oktaederlagen
durch Ionen M' ersetzt ist, so daß die Zusammensetzung der Formel
R3(Fe3-^M1) (Fe2-^MVPiJ
entspricht, worin
entspricht, worin
R wenigstens ein Element der Gruppe Y, Ca, La, Ce,
Pr, Kd1 Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und
Lu,
M wenigstens ein Element der Gruppe Ge, Al, Si und
M wenigstens ein Element der Gruppe Ge, Al, Si und
Ga,
M' wenigstens ein Element der Gruppe Sc, In, Cr, Zr
M' wenigstens ein Element der Gruppe Sc, In, Cr, Zr
und Sn bedeuten und
wobei die den Werten rund/in einem χ —/-Koordinatensystem
entsprechenden Punkte innerhalb eines Polygons (H) mit den durch folgende ^-/-Koordinaten
bestimmten Begrenzungspunkten liegen:
17 (0,22; 0,60), 16 (0,25; 0,75),
15(0,40; 0,73), 13 (0,50; 0,70),
12 (0,65; 0,63), 10 (0,80; 0,58),
6(l,05;0,48), 1(Ul; 0,42),
15(0,40; 0,73), 13 (0,50; 0,70),
12 (0,65; 0,63), 10 (0,80; 0,58),
6(l,05;0,48), 1(Ul; 0,42),
(l; 0,42), 2 (1,15; 0,40),
3(1,05; 0,30), 5 (0,90; 0,12),
7 (0,80; 0,19), 11 (0,60; 0,29),
14 (037; 037), 18 (0.22; 0,43),
3(1,05; 0,30), 5 (0,90; 0,12),
7 (0,80; 0,19), 11 (0,60; 0,29),
14 (037; 037), 18 (0.22; 0,43),
Um das gewünschte Ziel zu erreichen, wird also ein bestimmter Anteil der Eisenionen nicht nur in
Tetraederlagen, sondern auch in Oktaederlagen durch bestimmte Ionen ersetzt Dadurch ist es möglich, den
lu Λ-Wert genügeVid zu reduzieren und den i/-Wert zu
verringern, auch wenn der 4^rAfs-Wert kiein ist ·
Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet
Die Erfindung wird anhand der Ausführungsbeispiele π und Zeichnungsdiagramme näher erläutert; darin zeigt
F i g. 1 ein Diagramm zur Darstellung der Beziehung zwischen x, y und dem Austauschsteifigkeitskoeffizienten
(A) in einer Einkristallschichv der empirischen
Formel
(Eu, Tm, Ca) 3 [Fe2 _, In,,] · [F', _, GeJ O12;
und
Fig.2 ein Diagramm zur Darstellung des Bereichs
der x- und /-Werte in der Granateinkristallschicht gemäß der Erfindung.
Wie oben erwähnt, wurde AnMs einer magnetischen Granatschicht durch Ersetzen eines Teils der Eisenionen
in Tetraederlfcgen durch Gallium-, Silizium-,
jo Aluminium- und/oder Germaniumionen gesteuert
Einerseits hängt die Curietemperatur (Tc) der
Magnetschicht von der Gesamtmenge der in der Granatschicht enthaltenen Eisenionen ab und hat keine
Beziehung zur Lage der Eisenionen. Außerdem hängt Tc
eng mit A zusammen, und die 7> und A-Werte nehmen
mit einer Verringerung des gesamten Gehalts an Eisenionen ab. Daher läßt sich eine magnetische
Granatschicht mit einem gewünschten /4-Wert durch Ändern der Gesamtmenge der Eisenionen erzeugen.
Die Sättigungsmagnetisierung (AnMs) in der magnetischen
Granatschicht hängt hauptsächlich von der ef/sktiven Magnetonzahl der {(3—x)— (2—/)} Eisenionen
je Zusammensetzungsforme! ab, während Tc und
A von der Gesamtmenge von (5 — x—y) Eisenionen je Formeleinheit abhängen. Daher läßt sich der /\-Wert
verringern, während der 4;rMs-Wcrt auf einem
gewünschten Wert gehalten wird, und der Durchmesser (d) des magnetischen Blasenbereichs läßt sich durch
Variieren der x- und /-Werte unabhängig verringern.
Die magnetischen Granatschichten gemäß der Erfindung mit verschiedenen Dicken können als
magnetische Blaienbereichsvorrichtung verwendet werden. Die Dicke der Schicht wird auf fast die Hälfie
des Durchmessers (d) des magnetischen Blasenbereichs festgelegt. Wenn die magnetische Granatschicht gemäß
der Erfindung verwendet wird, läßt sich ein magnetischer Blasenbereich mit einem weit geringeren Durchmesser
im Vergleich mit dem Stand der Technik erzeugen. Auch kann man den Durchmesser des
magnetischen Blp-ienbereichs über einen weiten Bereich
durch Ändern der Dicke der Schicht variieren.
Die Dicke der als Magnetschicht für magnetische Blasenbereichsvorrichtungen brauchbaren Schicht ist
etwa 0,2 μίτι bis etwa 4 μπι, doch lassen sich besonders
b5 günstige Ergebnisse erhalten, wenn die Dicke etwa 0,3
bis etwa 1,2 μιτ^εΐ ägt.
Die folgenden Beispiele sollen die Erfindung näher erläutern.
Die magnetischen Eigenschaften mehrerer magnetischer Granatschichten sind in der Tabelle I aufgeführt.
Unter diesen Schichten ist Nr. I ein Beispiel bekannter Schichten, und die Nr 2 bis 5 sind Schichten gemäß der
Erfindung.
Alle Schichten wurden nach einem Flüssigphasen-Epitaxialabscheideverfahren durch Drehen eines
GdjGasOu-Einkristallsubstrats mit 100 U/min bei einer
Temperatur von 900 bis 1000°C hergestellt.
Im Beispiel Nr. 1, d. h. (Eui.oTituo) (Fe4.i5Gao45)Oi2 als
bekannter magnetischer Granatschicht, wurde nur ein Teil der Eisenionen in Tetraederlagen durch Galliumionen
ersetzt.
Wie man aus der Tabelle I ersieht, war der Durchmesser (d) eines magnetischen Blasenbereichs
fast der gleiche wie der der anderen Schichten, doch waren der Austauschsteifigkeitskoeffizient (A) und die
SäiiigungMiiägi'iciiSicrüng {AjZMs} beträchtlich großer
als die der anderen Schichten.
Als ein Versuch zur Weiterleitung von Magnetblasenbereichen in dieser Schicht ausgeführt wurde, fand man,
daß diese Schicht im wesentlichen unbrauchbar war, da der untere Grenzwert des rotierenden Magnetfeldes
den hohen Wert 70 Oe hatte, so daß die Wärmeentwicklung in der Spule erheblich groß war.
Im Beispiel Nr. 2, d. h. (EuOiTm2J) (Fe4.iGao.6Sco.j)Oi2
als einem Beispiel der erfindungsgemäßen Schichten, wurde ein Teil der Eisenionen in Tetraederlagen und in
Oktaederlagen durch Gallium- und Scandiumionen ersetzt. Da die Summe der verbleibenden Eisenionen
geringer als im Beispiel Nr. 1 war, waren die 7>, A- und
4.T A/s- Werte geringer als die der Schicht Nr. 1, trotz der
Tatsache, daß die d- und q-Werte fast die gleichen wie
die des Beispiels Nr. 1 waren. Als ein Weiterleitungsversuch mit dieser Schicht in gleicher Weise wie im Beispiel
Nr. 1 ausgeführt wurde, fand man, daß diese Schicht verwertbar war. da der untere Grenzwert des
rotierenden Magnetfeldes 55 Oe betrug und somit merklich geringer als im Beispiel Nr. 1 war und sich auch
nur eine geringe Wärmeentwicklung in der Spule ergab.
Im Beispiel Nr. 3, d. h. bei einer Zusammensetzung von (Euo.rTmjj) (FejaGaoiSco.4)Oi2, war eine größere
Menge von Eisenionen als im Beispiel Nr. 2 ersetzt, und der /4-Wert war geringer. Auch lagen die 7>
und 4.tMs- Werte niedriger als die im Beispiel Nr. 2, der untere Grenzwert des rotierenden Magnetfeldes sank
auf 45 Oe, und es war unnötig, die Wärmeentwicklung in der Spule zu berücksichtigen.
Im Beispiel 4. d. h. bei einer Zusammensetzung (EurjjGdioLuii) (Fe1 oAlo.5InOj)Oυ. war ein Teil der
Eisenionen in Tetraederlagen und in Oktaederlagen durch Aluminium- und Indiumionen ersetzt. Die
Eigenschaften dieser Schicht waren fast denen der Schicht des Beispiels Nr. 2 gleich. Ihre Tr. A- und
4-TA/5-Werte waren sämtlich niedriger als die des
Beispiels Nr. 1.
Im Beispiel Nr.5, d.h. bei der Zusammensetzung
(EuasLuijCaos) (FejjGeoslno.4)Oi2, war ein Teil der
Eisenionen in Tetraederlagen und in Oktaederlagen durch Germanium- und Indiumionen ersetzt, und di?
gleiche Kalziumionenmenge wie die Germaniumionenmenge war in Dodekaederlagen eingeführt um die
elektrische Ladung zu kompensieren. Der A-Wert war klein, und die Schicht zeigte vorzügliche Eigenschaften
als magnetische Schicht für magnetische Blasenbereichsvorrichtangen,
da ein Teil der Eisenionen in Oktaederlagen durch Indiumionen wie in den Schichten
nach den Beispielen Nr. 2 bis 4 ersetzt war.
Viele magnetische Granatschichten mit anderen Zusammensetzungen gemäß der Erfindung wurden
hergestellt und ihre magnetischen Eigenschaften in gleicher Weise wie in Beispiel I gemessen. Die
erhaltenen Ergebnisse sind in der Tabelle 2 aufgeführt.
ίο In all den zahlreichen Schichten waren die A-, Tr und
4πMs-Werte klein, und es wurde damit bestätigt, daß
die magnetischen Granatschichten gemäß der Erfindung sehr vorzügliche Eigenschaften als Magnetschichten
für magnetische Blasenbereichsvorrichtungen hat-
n ten. Jedoch müssen die Mengen (xundy)an Mund M'in
der oben genannten Formel zum Ersatz von Eisenionen in Tetraederlagen bzw. Oktaederlagen in dem definierten
Bereich liegen, damit der /4-Wert klein ist und die Schichten ausgezeichnete Effekte aufweisen.
i.» C ; « 1 -Y0ICV1 Hi*» R«»7i<&Hiino 7u/icrhpn A und ν unter
Verwendung von χ als Parameter. A steht sowohl zu χ
als auch zu y in Beziehung. Wenn der Af-Wert konstant
ist, muß der .y-Wert erhöht werden, um den /4-Wert zu
senken. Vorzugsweise ist der ,4-Wert so gering wie
.'Ί möglich, doch sinkt auch der 7V-Wert mit einer Senkung
des 4-Wertes. Wenn der 7V-Wert zu niedrig liegt, wird der Betriebstemperaturbereich für die magnetischen
Blasenbereichsvorrichtungen sehr eng. Daher ist es erfor terlich, daß der TrWert 100° C oder mehr beträgt.
in Aus diesem Grund existiert eine untere Grenze für den
Λ-Wert.
Wenn der 7V-Wert 10O0C ist, ist der /t-Wert etwa
Wenn der 7V-Wert 10O0C ist, ist der /t-Wert etwa
1 χ 10-'erg/cm. Wenn der Λ-Wert 2 χ 10-'erg/cm
oder mehr ist, läßt sich das unerläßliche Erfordernis für
i> die Erfindung nicht befriedigen. Daher ist der
Vorzugsbereich des A- Wertes 1 χ 10-' bis
2 χ 10-7 erg/cm.
Die Tabelle 3 zeigt die magnetischen Eigenschaften von Magnetschichten gemäß der Erfindung mit den
α) durch die Formel
[R]3(Fe3-,Ge1)(Fe2-VIn1P12
dargestellten Zusammensetzungen, worin R, χ und y in
weitem Bereich variiert werden.
Weiter ist F i g. 2 ein Diagramm, das durch Auftragen der x- und y-Werte dieser magnetischen Schichten in
Tabelle 3 erhalten wurde. In Fig. 2 entsprechen die Bezugsziffern an den Auftragungspunkten (0) der
»Nr.«-Ziffer in der Tabelle 3.
sn Wie sich aus der Tabelle 3 ergibt, sind die
Magnetschichten, bei denen der -4-Wert mehr als 2 χ 10-7 erg/cm beträgt. Nr. 22. 24 und 25. Dah-v muß y
einen Wert oberhalb der Kurve Fin F i g. 2 haben, damit der/4-Wert2x 10~7 erg/cm oder weniger ist.
Andererseits ist es vom praktischen Gesichtspunkt erforderlich, daß der T^Wert 100° C oder mehr beträgt
Wie man in der Tabelle 3 feststellt ist der Tr Wert in den
Schichten Nr. 20,21,23 und 26 unter 100° C Daher muß
y einen Wert unterhalb der Kurve D in Fig.2
aufweisen.
Die Magnetschichten Nr. 27,28 und 29 sind ungünstig,
da ihre 4^Ms-Werte 1000 GauB übersteigen. Daher
muß χ einen Wert rechts von der die Punkte 16,17 und
18 verbindenden Kurve Cin F i g. 2 haben.
Wenn der jr-Wert zu groß ist wird der 4;rAfe-Wert
übermäßig klein, und der d-Wert kann nicht genügend
gesenkt werden. Dies ist unvorteilhaft Daher liegt der
bevorzugte Bereich links von der die Punkte 1,2,3 und 5
verbindenden Kurve E in F i g. 2. Der Bereich der x- Werte, innerhalb dessen der 4^A/i-Wert am geeignetsten
wird und der zur Bildung einer magnetischen Blasenbereichsvorrichtung am meisten vorzuziehen ist,
liegt von 0,2 bis 0,8.
Wie sich aus der vorstehenden Erläuterung ergibt, liegen die Beträge (x und y) der Eisenionen in
Tetraederlagen und Oktaederlagen, die ersetzt werden, vo.r>.igsweise in dem von den Kurven C, D1 E und F
umgebenen Bereich H in F i g. 2.
Fig. 1 und 2 und die Tabelle 3 sind die mit den Magnetschichten gemäß der Erfindung -i'iit den Zusammensetzungen
(Eu, Tm, Ca)3(Fe3. rGet) {Fe2-y\ny)On
erhaltenen Ergebnisse, doch gleichartige Ergebnisse wurden auch bezüglich der magnetischen Schichten
gemäß der Erfindung mit den übrigen oben angegebenen Zusammensetzungen erhalten, und der Vorzugsbereich
der x- und/-Werte wurde auch dabei bestätigt.
Die Magnetschichten gemäß der Erfindung lassen sich, wie erwähnt nach einem üblichen Flüssigphasen-Epitaxialabscheideverfahren
unter Verwendung eines Gd3Ga5Oi2(GGG)-Einkristallsubstrats herstellen. Ein
Beispiel hierfür soll nun erläutert werden.
Eine bestimmte Menge jedes der Ausgangsoxide wurde in einen Platintiegel gegeben und 10 Stunden zur
Bildung einer gleichmäßigen Schmelze auf 12000C
erhitzt. Die Schmelze wurde bei einer Geschwindigkeit von 1 bis 5° C/h auf eine Temperatur von 10 bis 20° C
oberhalb der Sättigungstemperatur T, (etwa 920 bis 940°C) abgekühlt. Nach Rühren mit einer Platinschablone
bei 200 U/min während 30 min wurde die Schmelze weiter auf eine Temperatur von 5 bis 300C unterhalb T,
abgekühlt und dann auf dieser Temperatur 30 Minuten zur Stabilisierung der Schmelze gehalten. Ein GGG-Substrat
wurde in einer Lage von etwa 1 cm über der Oberfläche der Schmelze angeordnet und etwa 15 min
vorgeheizt. Danach wurde das GGG-Substrat in die
ij Schmelze in eine Lage von etwa 1 cm unterhalb der
Schmelzoberfläche eingetaucht, und man schied die Magnetschicht epitaktisch unter Drehen des Substrats
mit 100 U/min ab. Nach dem Erreichen der gewünschten Schichtdicke wurde das Substrat aus der Schmelze
?n entnommen und dann mit 4000 IJ/min v?rjr?ht, um die
am Substrat hängende überflüssige Schmelze zu entfernen.
Schichtzusammensetzung
Durchmesser
des magneti
schen
Blascnbereichs
des magneti
schen
Blascnbereichs
I Hk
UnA/,
UnA/,
Austauschsteifigkeits-
koeffizient
koeffizient
A
(erg/cm)
(erg/cm)
Curietempe
ratur
ratur
(O
Siitligungs-
magnetisierung
magnetisierung
4 η Λ/,
(Gauss)
(Gauss)
Anisotropie feld
(Oe)
(Eu08Tm2-2)(Fe4-1Ga0-6Sc0-3)O12
(Eu07Tm23)(Fe38Gan-8Sc0-4)O12
(EUo-5Gd1-0LUi5)(Fe40Al05In05)O12
(Eu08Lu1-3CaO-9)(Fe37Ge09In04)O12
1,07 1,05 1,08 0,98 1,02 3,9
4,0
4,1
3,8
4,0
4,0
4,1
3,8
4,0
3,2OX 10"7
1.55 x 10 7
Ι,ΙΟΧ 10~7
Ι,ΙΟΧ 10~7
1.56 x 10"7
l,40x 1(T7
l,40x 1(T7
227
152
113
155
142
152
113
155
142
814
601
498
630
588
601
498
630
588
3175 2404 2045 2395 2354
Schichtzusammensetzung
Durchmesser
des magneti
schen
Blasenbereichs
des magneti
schen
Blasenbereichs
A
(erg/cm)
(erg/cm)
( C)
in M,
(Gauss)
(Gauss)
: Eu1-0Tm1-2Ca0J1 (IFe
IEu1JTm06Ca1Jl[Fe1-6Zr0-4](Fe2JGe0-7)O12
IEu1-4Tm0JCa1Ji[Fe1JSn0J](Fe2-2Ge0-8)O12
:Eu)0Tm1-4Ca06![Fe1jInOj](Fei4Si0-6)O,2
!Eu1xTm1JCa0-7S[Fe14Sc06](Fe2JSi0-7)O12
1 Eu1-2Tm1 jCa„.61[Fe1-6Cr04](Fe2-4Si06)O12
IEuJjTm0-6Ca1-1 ![Fe1JZr0J](Fe2^4Si0-6)O12
: Eu14Tm0JCa1 j ![Fe14Sn0-6](Fe2JSi0-7)O12
Fe1-7Sc0J](Fe2-4Ga0J)O12
1,05 1,10 0,98 1,00 1,03
1,00 1,04 0,95 0,98 1,02 1,05
4,3
3,9
4,0
4,2
4,2
4,0
3,9
4,1
4,1
4,0
4,0
3,9
4,1
4,1
4,0
1,52 x !O*7
1,80 x 10"7
1,72 x 10"7
1,62 x 10-η
1,38 x 10"7
1,80 x 10"7
1,72 x 10"7
1,62 x 10-η
1,38 x 10"7
1,55 x 10"7
1,37XlO"7
1,62 x 10"7
148 x 10"
UO x 10"7
1,55 x 10"7
1,37XlO"7
1,62 x 10"7
148 x 10"
UO x 10"7
1,55 x 10"7
152
175
170
165
182
175
170
165
182
154
130
165
160
122
152
130
165
160
122
152
595
641
670
646
611
641
670
646
611
647
593
637
645
562
601
593
637
645
562
601
2380 2760 2610 2582 2564
2718 2375 2490 2647 2306 2404
10
Fortsetzung
!■'■■ | Schichtzusammensetzung | Durch | <l | .1 | T1 | 4 // Λ/, | q | lh |
messer | (erg/cm) | ( C) | (Gauss) | (Oe) | ||||
% | des ma | 1.43 x IO " | 141 | 614 | 2518 | |||
gneti | 1,55 x 10 ' | 155 | 670 | 3014 | ||||
schen | 1,51 x IO ' | 150 | 623 | 2493 | ||||
ti' | Blasen | 1,3OX 10 " | 133 | 578 | 2313 | |||
I | bereichs | 1,56 x IO 7 | 155 | 630 | 2395 | |||
ti | ti (y.m) | 1,49 X IO 7 | 147 | 613 | 2452 | |||
IEu0Jm22I[FeI6In04](Fe24Ga06)O12 | 1,02 | 4,1 | 1.30X 10 7 | 132 | 585 | 2400 | ||
IEu11Jm20I[Fe, ,Cr01](Fe24Ga06)Oi2 | 1,03 | 4,5 | 1,55 x 10 7 | 153 | 638 | 2488 | ||
: Eu, ,Jm, ,Ca0 , ![Fe, 7Zr„ 3](Fe, 4Ga06)O,2 | 0,99 | 4.0 | 1,43 x 10 7 | 140 | 617 | 2652 | ||
ι Eu1.,Tm1 <Ca041[Fe1 6Sn0 ,J(Fe2 ,Ga07)O12 | 0,97 | 4,0 | 1,49 x 10 7 | 147 | 613 | 2452 | ||
IEu05Gd10LUi 51[Fe, ,In05](Fe25AI05)O12 | 0,98 | 3,8 | 1,62 x 10 7 | 165 | 637 | 2490 | ||
: Eu,;Jm20![Fe, ,Sc05](Fe24AI06)O12 | 1,01 | 4,0 | 1,3OX 10 7 | 132 | 585 | 2400 | ||
IEu, ,Tm19I[Fe14Cr06](Fe24AI07)O12 | 1,00 | 4,1 | 1,62 x 10" | 165 | 637 | 2490 | ||
IEunJm16Ca05I[Fe15Zr05](Fe25AI05)O12 | 1,01 | 3,9 | 1,37 x 10 7 | 130 | 593 | 2400 | ||
: Eu, Jm14CaJ, ,,![Fe14Sn06](Fe23AI07)O12 | 1,02 | 4,3 | ||||||
: Eu, nTm2 ,,![FeI5Sc01In02](Fe24AI06)O12 | 1,01 | 4,0 | 4 ;/ V/, A | T1 | ||||
: Eu, ,JmI3Ca0 7 ![Fe14In0 ,Sc0,1(Fe24Si06)O12 | 0,95 | 3,9 | (x I | 10"" | ||||
IEu10Tm20I[Fe14Cr03Sc03I(Fe25AI11OOi2 | 1,00 | 4,1 | (Gauss) erg/cm) | ( C) | ||||
IEu12Tm12Ca04I[Fp14Zr04Sc02](Fe24Si06)O1, | 0,95 | 3,9 | ||||||
IEu12Tm18I[Fe14Sc02In02Cr02](Fe23Si07)O12 | 1,04 | 4,0 | ||||||
Tabelle 3 | ||||||||
Nr. R .ν ν | ,/ | |||||||
(μΠί) | ||||||||
1 | Eu05Tm, 3Ca,, | 1,21 | 0,42 | 2,0 | 259 | 1.02 | 4.1 | 100 |
2 | Eu06Tm12Ca12 | 1,15 | 0,40 | 1,9 | 303 | 1,15 | 4,5 | 114 |
3 | Eu06Tm, j Ca,, | 1,05 | 0,30 | 1,7 | 356 | 1,43 | 4,0 | 141 |
4 | Eu0JmI4Ca09 | 0,90 | 0,15 | 1,9 | 361 | 1,95 | 4,3 | 187 |
5 | Eu06Tm15Ca09 | 0,90 | 0,12 | 2,0 | 337 | 2,00 | 4,0 | 191 |
6 | Eu09Tm10Ca1, | 1,05 | 0,48 | 1,0 | 512 | 1,03 | 4,3 | 101 |
7 | Eu0 7Tm! .5 Ca0 8 | 0,80 | 0,19 | 1,5 | 456 | 1,99 | 4,0 | 190 |
8 | EUi0Tm10Ca10 | 0,95 | 0,50 | 0,93 | 592 | 1,08 | 4,4 | 106 |
9 | Eu1nTm13Ca07 | 0,70 | 0,30 | 1,10 | 641 | 1,80 | 4,3 | 175 |
10 | Eu12Tm1-0Ca08 | 0,80 | 0,58 | 0,74 | 750 | 1,00 | 4,8 | 101 |
11 | Eu12TmI2Ca06 | 0,60 | 0,29 | 1,12 | 706 | 1,98 | 4.9 | 189 |
12 | EUi4Tm09Ca07 | 0,65 | 0,63 | 0,69 | 850 | 1,04 | 5,2 | 100 |
13 | Eu2J1Tm0-5Ca0-5 | 0,50 | 0,70 | 0,68 | 910 | 1,02 | 5,8 | 101 |
14 | Eu19Tm07Ca04 | 0,37 | 0,37 | 0,90 | 880 | 2,00 | 4,9 | 189 |
15 | Eu2-0Tm06Ca04 | 0,40 | 0,73 | 0,65 | 905 | 1,03 | 53 | 105 |
16 | Eu2-2Tm0-5Ca0J | 0,25 | 0,75 | 0,63 | 990 | 1,15 | 5,2 | 118 |
17 | Eu24Tm0-4Ca0-2 | 0,22 | 0,60 | 0,77 | 980 | 1,59 | 5,6 | 164 |
18 | Eu^4Tm04Ca0J | 0,22 | 0,43 | 0,80 | 995 | 1,90 | 4,3 | 181 |
19 | Eu10Tm1-2Ca0-8 | 0,8 | 0,4 | 1,05 | 595 | 1,52 | 4,0 | 152 |
20 | Eu0-5Tm1JCa1-2 | UO | 0,45 | 1,8 | 282 | 0,98 | 4,1 | 96 |
21 | EUi-1Tm0-9Ca1-0 | 0,95 | 0,55 | 0,83 | 674 | 0,96 | 5,1 | 94 |
22 | Eu0-7Tm1-4Ca0-9 | 0,85 | 0,13 | 2,20 | 368 | 2,25 | 4,7 | 203 |
23 | Eu2-0Tm0JCa0-7 | 0,70 | 0,65 | 0,59 | 902 | 0,91 | 4,9 | 96 |
24 | Eu1-Jm1-2Ca0-7 | 0,70 | OJO | 1,40 | 560 | 2,20 | 4,4 | 232 |
Fortsetzung | K | ν | Γ | (I | 4 it Xfx | Λ | (I | T1 |
Nr. | (X 10 7 | |||||||
(;im) | (Gauss) | erg/cm) | ( C) | |||||
Eu, ,Tmn ,Can.j | 0,40 | 0,32 | 1,04 | 890 | 2,31 | 5,8 | 211 | |
25 | Eu2.5Tmo.2Can.., | 0,25 | 0,82 | 0,54 | 1100 | 0,90 | 6,2 | 92 |
26 | Eu2-4Tmn-1Ca112 | 0,16 | 0,77 | 0,46 | 1250 | 1,25 | 4,2 | 130 |
27 | FIu22Tm06CiI11. | 0,16 | 0,60 | 0,65 | 1080 | 1,62 | 4,8 | 167 |
28 | Eu2-ITmn-7Can.! | 0,16 | 0,44 | 0,84 | 1005 | 1,96 | 5,6 | 189 |
29 | Eun. Tm11Ca1 ι | 1,10 | 0,30 | i',11 | 280 | 1,32 | 4,1 | 140 |
30 | Eun.sTm, .Xu,,, | 1,00 | 0,20 | 2,10 | 310 | 1,65 | 4,0 | 171 |
31 | Hicr/.u 2 | Blatt Zeich 11 u η ge η | ||||||
Claims (1)
- Patentansprüche;t. Granateinkristallschicht für magnetische Blasenbereichsvorrichtungen, in deren Zusammenset- ι zung ein Teil der Fe3+-Ionen in Tetraederlagen durch Ge-, AI-, Si- oder Ga-Ionen ersetzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein Teil der Fe-Ionen in Oktaederlagen durch Ionen M' ersetzt ist, so daß die Zusammensetzung der Formel
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-
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-
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