DE2741055A1 - Duennfilm-dehnungsmess-streifen und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Duennfilm-dehnungsmess-streifen und verfahren zu seiner herstellung

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DE2741055A1
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James Henry Foster
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    • G01—MEASURING; TESTING
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Description

~7~ 27A1055
GENERAL ELECTRIC COMPANY
1 River Road
SCHENECTADY, N.Y./U.S.A.
Dünnfilm-Dehnungsmess-Streifen und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung betrifft Dehnungsmesser oder Spannungsmesser und insbesondere einen neuartigen Dünnfilm-Spannungsmesser und Verfahren zu seiner Herstellung.
Spannungs- oder Dehnungsmessfühler sind bekanntlich geeignet zur Prüfung von mechanischen Bauteilen, besonders während des Gebrauchs der Bauteile in ihren vorgesehenen Umgebungsbedingungen. Unter bestimmten Verhältnissen, beispielsweise bei Mess- und Prüfverfahren für Ermüdungserscheinungen bei geringer Zyklenzahl und bei der dynamischen Spannungsmessung bei Flatterschwingungen, wie sie bei der Entwicklung von Laufschaufeln für Flugtriebwerkver-
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dichter und Dampfturbinen auftreten, werden Spannungsmesser auf kritischen Stufen des Gerätes angeordnet. Sie sind daher Umgebungsbedingungen mit hoher Oxydation, Erosion und Vibrationsbelastungen ausgesetzt und daher treten unzulässige Ermüdungsschaden auf (an dem Spannungsmessfühlerlement und seinen zugeordneten Zuleitungen) und vorzeitige Ausfälle. Bei der Verwendung in schädlichen Umgebungsbedingungen werden daher durch Spannungsmesser mit längeren Betriebszeiten Verzögerungen in der Durchführung der Messungen und Prüfungen und der wiederholte Austausch und Ersatz von Messfühlern beseitigt und dies ergibt eine mögliche starke Einsparung an Kosten für ein solches Prüfprogramm.
Ein Übliches derzeitiges Verfahren der Anbringung von Spannungsmessern an solchen Teilen, beispielsweise Verdichter-Laufschaufeln für Flugzeugtriebwerke, besteht darin, dass ein Widerstandsdraht mit geringem Durchmesser vorgeformt wird, typischerweise mit einem Durchmesser von etwa o,o2 mm (etwa o,8/1ooo Zoll) und das dabei hergestellte Netzmuster oder Drahtnetz auf einer Oberfläche des zu prüfenden Teils durch im Plasma-Sprühverfahren oder Flammen-Sprühverfahren aufgebrachtes Aluminiumdioxyd (Al2O.) angebracht wird. Dabei ergibt das Alumniumdioxyd nicht nur eine elektrische Isolation von den (allgemein) elektrisch geerdeten Oberflächen des Teils (Substrats), es wirkt vielmehr auch als "Kleber", welcher den Spannungsmesser in Kontakt mit dem Substrat hält. Dadurch kann die in dem Teil entstehende Spannung unmittelbar in Beziehung mit der Widerstandsänderung des Drahtnetzes gebracht werden. Bei diesem Verfahren ergeben sich mindestens 2 bekannte Probleme: zur Erzeugung eines ausreichend grossen Widerstandes zwecks Erzielung einer gewünschten Messgenauigkeit nimmt der
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Messdraht eine grosse Fläche auf der Oberfläche des Teils ein und das aufgesprühte Aluminiumdioxyd (mit einer Dicke bis zu etwa o,5 mm) (Dicke von etwa2O/1ooo Zoll) ist
relativ dick und ändert dadurch die Masse, die Form und andere mechanische Kenngrössen des zu prüfenden Teils
und verringert dadurch die Genauigkeit der Messung an
dem Teil. Weiterhin gestattet die Porosität des aufgesprühten Aluminiumdioxyd-Oberzuges einmal Leckströme nach Erde an der darunter liegenden Substratoberfläche und begünstigt weiterhin die Oxydation und Erosion, was zu einem vorzeitigen Ausfall des Spannungsmessers führt. Es ist
daher ein Spannungsmesser erwünscht, der nicht nur eine zuverlässigere und genauere Messung der Spannung in dem zu prüfenden Teil begünstigt, sondern auch diese Messung begünstigt, ohne dabei in bedeutungsvoller Weise die mechanischen Kenngrössen des Teils zu verändern, wobei
gleichzeitig noch eine maximale Beständigkeit gegenüber Ermüdung, Korrosion und Erosion erreicht wird und eine
Messung der Spannung in einem enger begrenzten Bereich
des Teils ermöglicht wird, als dies bisher möglich
war.
Erfindungsgemäss wird ein Dünnfilm-Spannungsmesser dadurch hergestellt, dass ein erster Film aus einem gegen hohe
Temperaturen beständigen Isolationsmaterial, beispielsweise Aluminiumdioxyd oder Fosterit mit einer Dicke von einigen Mikron auf einer Oberfläche des Teils aufgebracht wird, dessen Spannung gemessen werden soll. Auf dem isolierenden Film wird ein Widerstandsmaterial unter Bildung eines Widerstandsmusters aufgebracht, welches so orientiert ist, dass es auf Spannungsbelastung praktisch nur in einer einzigen Dimension anspricht. Dabei wird das
Widerstandmaterial in einem dünnen Film aufgebracht mit
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einer Dicke im Bereich von etwa 2oo Angstrom bis mehr als 1 Mikron, wobei diese Dicke abhängig ist von den Abmessungen des Widerstandes und der gewünschten Grosse des Widerstandes. Es werden Leitungsbahnen aufgebracht, welche den elektrischen Stromfluss durch das Widerstandsmuster erleichtern. Dann wird eine Schicht aus isolierendem Material zum Schutz gegen Korrosion und Erosion aufgebracht oder dieser zweite Isolationsfilm und ein darüber liegender Metallfilm wird über dem Widerstandsmuster und mindestens einem Teil der leitenden Bahnen und dem benachbarten ersten Isolationsfilm aufgebracht, wobei diese Schicht dann das Dünnfilm-Spannungsmess-System vervollständigt. Die Gesamtdicke liegt vorteilhafterweise in einem Bereich von etwa 4 Mikron bis etwa 3o Mikron und dadurch ergibt die Gesamtdicke, die Masse und die Verteilung der Schichten keinen merklichen Einfluss auf die mechanischen Kenngrössen oder Eigenschaften des Teils, auf dem der Spannungsmesser aufgebracht ist.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen neuartigen Dünnfilm-Spannungsmesser zu schaffen.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein neuartiges Verfahren zur Herstellung dieses neuartigen Dünnfilm-Spannungsmessers zu schaffen.
Ein besseres Verständnis dieser und weiterer Aufgaben der Erfindung ergibt sich aus der nachstehenden ausführlichen Beschreibung von Ausführungsformen im Zusammenhang mit den Abbildungen.
Die Figur 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Verdichterschaufel eines Strahltriebwerkes, auf welcher ein Dünnfilm-Spannungsmesser als Ausführungsform der Erfindung aufgebracht ist.
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Die Figur 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Abschnittes eines aus zumessenden Teils und einen Teil eines darauf hergestellten Dünnfilm-Spannungsmessers.
Die Figur 2b zeigt eine perspektivische Ansicht des ' vollständig fertiggestellten Spannungsmessers als Ausführungsform der Erfindung.
Gemäss den Abbildungen wird der Dünnfilm-Spannungsmesser 1o auf einer Oberfläche 11 eines zu prüfenden Teils oder Substrats hergestellt, beispielsweise auf der Verdichterlaufschaufel 12 eines Strahltriebwerkes. Der Spannungsmesser enthält ein Paar von leitenden Bahnen oder Plättchen 14a und 14b zur Erleichterung der Herstellung einer geeigneten elektrischen Verbindung zwischen dem Spannungsmesser 1o und Leitungen, beispielsweise Anschlussdrähten 15 und 16 mit niedrigem Widerstand, durch welche das Ablesen des Widerstandes des Spannungsmesser ermöglicht wird. Mit den Leitern 15 und 16 sind an einem Punkt auf dem Gegenstand 12 geeignete äussere Geräte (nicht gezeigt) angeschlossen, die getrennt von dem Spannungsmesser 1o und geschützt vor den hohen Spannungen, mechanischen Belastungen und Vibrationsbewegungen der Arbeitsumgebung des Spannungsmesser in einiger Entfernung angeordnet sind.
Der Spannungsmesser 1o wird auf der Substratoberfläche dadurch hergestellt, dass zunächst ein erster Film 2o (Figur 2a) aus einem Isolationsmaterial für hohe Temperaturen aufgebracht wird, beispielsweise Aluminiumdioxyd (Al2O3) oder aus Fosterit (2MgO-SiO2) oder dergleichen, und zwar auf eine erste Dicke T1 zwischen etwa 2 Mikron und etwa 6 Mikron. Vorzugsweise wird der Isolationsfilm für hohe Temperaturen durch Hochfrequenz -Kathodenzer-
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stäubung aufgebracht, besonders dann, wenn ein Spannungsmesser auf einem solchen Teil, beispielsweise der Verdichterlaufschaufel eines Strahltriebwerkes, hergestellt wird, das aus einem Material (beispielsweise Titan) hergestellt wird, das nicht einer genügend hohen Temperatur unterworfen werden kann, bei welcher eine chemische Abscheidung des Films aus der Dampfphase möglich ist.
Die Hochfrequenz-Kathodenzerstäubung ist auch bevorzugt, da der auf diese Weise aufgebrachte Film aus Aluminiumdioxyd oder Fosterit scheinbar härter und weniger porös ist als ein nach dem Plasma-Sprühverfahren oder Flammen-Sprühverfahren aufgebrachter Film aus dem gleichen Material. Dadurch wird dann eine Porosität vermieden, welche zu elektrischen Leckströmen oder Ableitströmen durch die Schicht 2o zu dem allgemein leitenden Substrat 12 ergibt.
Mindestens ein Spannungsmesserteil 21 wird dadurch hergestellt, dass ein dünner Film aus einem Widerstandsmaterial, beispielsweise Nickel-Chrom, Platin, MoSi, CrSi und dergleichen, auf der oberen Oberfläche 2oa des Isolationsfilms für hohe Temperaturen aufgebracht wird. Das Widerstandsmaterial kann dabei durch Hochfrequenz-Kathodenzerstäubung oder Vakuumaufdampfung aufgebracht werden und seine Form kann durch Maskenverfahren hergestellt werden oder es kann als zusammenhängender Film aufgebracht werden und das gewünschte Widerstandsmuster kann dann unter Verwendung solcher Verfahren wie Photo-Ätzverfahren, Bearbeitung mit Laserstrahl und dergleichen hergestellt werden. Der Widerstandsfilm wird auf eine Dicke T- aufgebracht in einem Bereich von etwa 2oo Angstrom bis grosser als 1 Mikron, in Abhängigkeit von der gewünschten Grosse des Widerstandes und den räumlichen Abmessungen
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des Widerstandsmusters, wie es in dem Flächenbereich des Substrates enthalten ist, welcher für die Aufbringung des Spannungsmesser zur Verfügung steht. Beispielsweise soll bei der in Figur 1 abgebildeten Laufschaufel für den Verdichter eines Strahltriebwerkes der Spannungsmesser 1o die Vibrationsspannung in Richtung des Pfeils A zwischen dem Oberteil 12a und der Basis oder Grundplatte 12 b der Laufschaufel messen und der Spannungsmesser 1o umfasst ein Paar von parallelen Widerstandsteilen 21a und 21b, deren Längsrichtung in Richtung der zu messenden Spannung verläuft, das heisst parallel zu den Pfeilen A.
In der abgebildeten Ausführungsform besitzen die Widerstandsteile ein Aspektverhältnis, das heisst das Verhältnis der Länge L zur Breite W, in der Grössenordnung von etwa 3 mm (1/8 Zoll): o,1 mm bis etwa 6 mm (o,oo4 Zoll bis 1/4 Zoll): o,1 mm (o,oo4 Zoll), wodurch das Widerstandselement praktisch nur auf eine Spannungsbelastung entlang seiner Längenausdehnung anspricht. Es ist zu beachten, dass diese Abmessungen nur beispielhaft für eine grosse Anzahl von möglichen Aspektverhältnissen sind und dass jeder bestimmte Verwendungsfall einen bestimmten Satz von Abmessungen für den verwendeten Spannungsmesser bedingt und durch die Wahl anderer Aspektverhältnisse der Umfang der Erfindung nicht verlassen wird. Weiterhin ist zu beachten, dass die Dicke T- bei jedem der Widerstandsteile mindestens für eines der Teile praktisch konstant ist wegen der Aufbringung der Widerstandsteile durch die gleiche Quelle. Dabei wird das Widerstandsmaterial gleichmassig auf der Isolationsschicht 2oa aufgebracht und der Flächenwiderstand (R in Ohm/pro Flächeneinheit) ist nur von dieser Dicke abhängig und dies gestattet die Auswahl des Widerstandes durch richtige Wahl des Aspekt-
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Verhältnisses.
Nach der Abscheidung mindestens eines Widerstandsteils wird eine Schicht aus leitendem, Leiterbahnen oder Anschlussteile bildenden Material , beispielsweise Nickel, Gold und dergleichen auf der Oberfläche 2oa der Isolationsschicht aufgebracht, und zwar entweder durch ein Maskenverfahren oder als zusammenhängender Film mit anschliessender Musterherstellung durch die vorgenannten Verfahren mit Photoätzung, Laserbearbeitung und ähnliche Verfahren. Dabei wird dann mindestens ein Paar von Anschlussflächen 14a und 14b ausgebildet, die jeweils mit einem der Enden 22a oder 22 b des Widerstandsmusters elektrisch verbunden sind.
In Abhängigkeit von der besonderen Form oder den besonderen Formen, welche für das eine oder mehrere Widerstandsteile 21a gewählt wurden, kann ein Leitermuster 25 für Reihenschaltung erforderlich sein, um die übrigen Enden einer Anzahl von Widerstandselementen in dem gewünschten elektrischen Anschlussmuster anzuschliessen. Dies wird besonders bevorzugt, wenn wie in der dargestellten Ausführungs form, beide Anschlusspunkte (die' Anschlussflächen 14a und 14b) für den Spannungsmesser von eng benachbarten Enden mehr als eines Widerstandselementes ausgehen, wodurch die entgegengesetzten Enden 2 3a bzw. 23b durch eine zwischengeschaltete elektrisch verbundene Leiterbahn 25 elektrisch in Reihe geschaltet werden müssen. Es ist zu beachten, dass die Bahn 25 in ähnlicher Weise aus Widerstandsmaterial hergestellt werden kann, welches einstückig mit den Teilen 21a und 21b aufgebracht wird, wenn die Grosse der Fläche des Teils 25 gross genug ist (niedriges Aspektverhältnis) so dass der Widerstand des Teils 25 (zwischen den Enden der Teile 23a und 23b) eine Grosse besitzt,
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welche bedeutend kleiner ist als der Widerstand jedes der auf diese Weise angeschlossenen Widerstandsteile. Durch dieses Kriterium für die Konstruktion wird verhindert, dass irgendeine Spannung quer zur Vorzugsrichtung^ (entlang der Länge L der Widerstandsteile) eine hinreichend grosse Änderung des Gesamtwiderstandes des Messfühlers erzeugt, und hierdurch erhält man ein Mess-Signal praktisch nur für Spannungen entlang der Längsausdehnung des Messfühlers. Vorteilhafterweise wird durch Verwendung einer Anzahl von parallelen Teilen 21 mit relativ hohem Widerstand dieses Verhalten noch begünstigt, da die Gesamtwiderstandsänderung in Abhängigkeit von der Spannung sich durch Addition der Änderung in jedem Teil ergibt.
Nach dem Aufbringen des benötigten Widerstandsmusters und seiner Leiterbahnen und anderer Zwischenverbindungen auf der oberen Oberfläche 2oa der isolierenden Basisschicht 2o (Figur 2a) wird ein zweiter Film 3o (als Schutz gegen Korrosion, Erosion) ebenfalls vorzugsweise durch kathodische Hochfrequenzzerstäubung von Aluminiumdioxyd oder Fosterit auf einem Teil der oberen Oberfläche 2oa des Films aufgebracht und ergibt mit diesem zusammen ein vollständiges Einschliessen mindestens des einen Widerstandsteils, irgendwelcher mit ihm verwendeten Zwischenverbindungsteile 25 und mindestens eines Teils jedes Leiterbahn-Anschlussplättchens 14 im Bereich benachbart zu der Verbindungsstelle des Plättchens mit dem Widerstandsmuster. Der Schutzfilm 3o kann mit einer Dicke T_ bis herunter zu 2 Mikron aufgebracht werden. Dabei besitzt diese relativ dünne Schutzschicht eine Tendenz zur Einstellung einer Oberfläche 3oa, welche sich in ihrem Verlauf an die darunter liegenden Teile
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des Spannungsmessers anschliesst und daher zum gewissen Grade gewellt ist. Hierdurch kann die Luftströmung über die Oberfläche 11 gestört werden. Glattere Schutzschicht-Oberflächen können dadurch erreicht werden, dass eine relativ grössere Dicke des Films 3o aufgebracht wird. Dabei besitzen die aufgebrachten Moleküle eine Tendenz zur Ausfüllung solcher einzelnen Stellen wie den Kanal zwischen den parallelen Widerstandsteilen und glätten auch noch die Randkanten 32 des darunter liegenden Musters.
Es wurde gefunden, dass durch kathodische Hochfrequenz-Zerstäubung aufgebrachte Filme aus Aluminiumdioxyd und Fosterit eine scheinbare Härte und relative Glätte besitzen und dabei die Erosion und das Abblättern an der Oberfläche 3oa während des Betriebes unter Umgebungsbedingungen mit hoher Beanspruchung verhindern. Unter besonders extremen Umgebungsbedingungen kann noch ein oberer Schutzfilm 35 aus einem Metall, beispielsweise Nickel, Chrom, Nickel-Platin und dergleichen auf der Oberfläche 3oa des Schutzfilms aufgebracht werden, wobei durch Dicken im Bereich von 2 Mikron bis 5 Mikron ein weiterer Schutz gegen Korrosion und Erosion erhalten wird.
Vorstehend wurde ein Dünnfilm-Spannungsmesser und ein Verfahren für die Herstellung desselben auf der Oberfläche des auf Spannung zu prüfenden Teils beschrieben. Dabei besitzt der Dünnfilm-Spannungsmesser eine hinreichend kleine Abmessung (bei einer Gesamtdicke im Bereich von etwa 4 Mikron bis etwa o,oZ>7 mm (o,oo15 Zoll) und eine geringe Masse, wodurch aerodynamische und andere mechanische Eigenschaften des Teils relativ unverändert verbleiben. Gleichzeitig wird jedoch ein vorzeitiger Ausfall des Spannungsmessers in Folge Oxydation, Erosion, Korrosion und ähnlichen Vorgängen verhindert.
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Claims (1)

  1. Patentansprüche:
    f O))Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilm-Spannungsmessersauf einer Oberfläche eines Gegenstandes, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: auf der Oberfläche (11) des Gegenstandes wird ein erster Film (2o) aus einem Isolationsmaterial mit einer ersten Dicke (T1) hergestellt, auf einer von dem genannten Gegenstand am weitesten entfernten Oberfläche (2oa) des ersten Isolationsfilms wird ein Muster (21) aus einem Spannungsmess-
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    fühlermaterial hergestellt,
    auf der genannten Oberfläche (2oa) des ersten Isolationsfilms (2o) werden leitende Teile (14a, 14b, 25) zum elektrischen Anschluss des genannten Musters (21) hergestellt zur Messung der Grosse eines elektrischen Parameters des Musters und
    es wird ein zweiter Film (3o) aus einem isolierenden Material hergestellt, welcher mindestens das gesamte genannte Muster (21) und mindestens einen Teil der leitenden Teile (14a, 14b, 25) und benachbarte Bereiche des ersten isolierenden Films (2o) bedeckt.
    (2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es noch den Verfahrensschritt der Herstellung eines Films (35) a :s einem metallischen Material auf einer Oberfläche (3oa) des zweiten Isolationsfilms (3o) enthält, welcher von der Oberfläche (11) des genannten Gegenstandes am weitesten entfernt ist.
    (3) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Isolationsfilm (2o) auf eine Dicke zwischen etwa 2 Mikron und etwa 6 Mikron aufgebracht wird.
    (4) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Isolationsfilm auf eine Dicke zwischen etwa 2 Mikron und etwa 6 Mikron aufgebracht wird.
    (5) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsmessfühlermaterial ein Widerstandsmaterial ist und auf eine Dicke von mindestens 2oo Angstrom aufgebracht wird.
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    (6) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Verteilungsmuster (21) des Widerstandsmaterials durch kathodische Hochfrequenz-Zerstäubung hergestellt wird.
    (7) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Muster (21) des Widerstandsmaterials durch Aufdampfen im Vakuum hergestellt wird.
    (8) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Isolationsfilm (2o, 3o) durch kathodische Hochfrequenz-Zerstäubung hergestellt werden.
    (9) Dünnfilm-Spannungsmesser zur Verwendung auf einer Oberfläche eines Gegenstandes, gekennzeichnet durch: einen ersten Film (2o) aus einem isolierenden Material, welcher auf der Oberfläche (11) des Gegenstandes hergestellt ist,
    mindestenai Teil (21) aus einem Spannungsmessfühler-Material, welcher auf einer Oberfläche (2oa) des ersten Isolationsfilms (2o) hergestellt ist, der am weitesten von der Oberfläche (11) des Gegenstandes entfernt ist,
    eine auf dieser Oberfläche (2oa) des ersten Isolationsfilms (2o) hergestellte erste Einrichtung (14a, 14b) zum elektrischen Anschluss des genannten Teils oder der genannten Teile (21) zur Messung des Wertes eines elektrischen Parameters desselben oder derselben einen zweiten Film (3o) aus einem Isolationsmaterial, welcher über mindestens dem genannten einen Teil (21) aus Spannungsmessfühlermaterial, über einem Teil der ersten Anschlusseinrichtung (14a, 14b) und angrenzenden Bereichen der Oberfläche (2oa) des ersten
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    Isolationsfilms (2o) hergestellt ist und dieses Teil (21) und die genannten Anschlussteile (14a, 14b) zusammen mit dem ersten Isolationsfilm (2o) einkapselt.
    (10) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Isolationsmaterial Aluminiumdioxyd ist (Al O).
    (11) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Isolationsmaterial Fosterit ist (2MgO-SiO2).
    (12) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Film (2o) eine Dicke zwischen etwa 2 Mikron und etwa 6 Mikron besitzt.
    (13) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Film (3o) eine Dicke zwischen etwa 2 Mikron und etwa 6 Mikron besitzt.
    (14) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsmessfühlermaterial ein Widerstandsmaterial ist und der genannte elektrische Parameter der Widerstand des genannten einen Teils oder mehrerer Teile (21) ist.
    (15) Spannungsmesser nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandsmaterial aus einem der Materialien Chrom-Nickel, Platin, Molybdünsilizid und Chrom-Silicid besteht.
    (16) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das oder die Teile (21) aus Spannungsmessfühlermaterial eine praktische konstante Dicke von
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    mindestens 2oo Angstrom besitzen.
    (17) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das oder die genannten Teile (21) aus Spannungsmessermaterial eine Form und Orientierung zur Messung der Spannung praktisch in einer einzigen Richtung besitzen.
    (18) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anzahl von Teilen (21) aus Spannungsmessermaterial vorhanden sind, jedes Teil eine längliche Form besitzt, die Längsausdehnung aller Teile parallel zueinander liegt und weiterhin eine zweite Einrichtung (25) zur leitenden Verbindung der genannten Teile (21) untereinander in einem geeignetem Schaltungsmuster und mit der ersten Einrichtung (14a, 14b) vorhanden ist.
    (19) Spannungsmesser nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Teile (21) aus Spannungsmessermaterial, die erste Einrichtung (14a, 14b) und die zweite Einrichtung (25) alle praktisch, die gleiche Dicke besitzen.
    (20) Spannungsmesser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass er noch einen Schutzfilm (35) aus einem metallischen Material enthält, welcher auf einer Oberfläche (3oa) des zweiten Isolationsfilms (3o) hergestellt ist, die am weitesten von der Oberfläche (11) des Gegenstandes entfernt ist.
    (21) Spannungsmesser nach Anspruch 2o, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzfilm (35) eine Dicke zwischen etwa 2 Mikron und etwa 5 Mikron besitzt.
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    (22) Spannungsmesser nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass das metallische Material aus einem der Materialien Nickel, Chrom und Nickel-Platin besteht.
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