DE2733427A1 - Verfahren und vorrichtung zur untersuchung von oberflaechenvorgaengen mittels einer feldeffekt-emissionsspitze - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur untersuchung von oberflaechenvorgaengen mittels einer feldeffekt-emissionsspitze

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Michael Prof Drechsler
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes

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