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Die Erfindung betrifft eine Einrichtung
zur ortsaufgelösten
Schichtdickenmessung an einer dünnschichtigen
Probe mit einem Elektronenstrahl und ein Verfahren zur Durchführung der
Schichtdickenmessung/- verringerung dazu.
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Diese Art der Schichtdickenmessung
oder Schichtdickeverringerung dient vornehmlich dem Zweck, dünne Festkörpertargets,
wie sie üblicherweise
in kern- und atomphysikalischen Bestrahlungsexperimenten verwendet
werden, in einfacher Weise auf Veränderung durch die Strahlenbelastung
hin zu überprüfen.
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Bekannt ist, gesteuerte Elektronenstrahlen
in der Elektronenstrahl-Mikroanalyse zu verwenden (siehe IV.). Dabei
wird prinzipiell zur Spurenanalyse die elementspezifische Röntgenstrahlung
detektiert.
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Bekannt ist auch das Elektronen-Durchstrahl-
und Rückstreuverfahren
(siehe V.), in dem radioaktive β-Quellen
als Elektronenstrahler verwendet werden. Die Nachteile dabei liegen
in der festgelegten Elektronenenergie und der Intensität der gewählten Quellen.
Aufgrund der geringen Intensität
werden Einzelteilchen-Zähler
verwendet, was bei einem statistischen Fehler von ca. 1% eine Messdauer
im Sekundenbereich bedingt.
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Eine Einrichtung zur örtlichen
Schichtdickenmessung an einer Probe mit einem Elektronenstrahl durch
Messung des transmittierten Elektronenstroms, mit einer Elektronenkanone,
Strahlablenkung, Probenhalterung für eine Probe und Verstärker zur
Auswertung wird in VI. gezeigt. Zur Normierung muss etwa durch eine
einen Teilstrom abschälende Blende
auch der Strom vor der Probe gemessen werden. Solche Konzeptionen
sind in handelsüblichen Transmissionselektronenmikroskopen
realisiert, in denen die Elektronenintensität nach abbildenden Linsen durch
ver schiedene Verfahren, wie Strommessung, Elektronenzähler, Leuchtschirm,
zu Bildern gewandelt wird.
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Die Aufgabe, die zur Erfindung führte, ist:
ein
Target während
der Bestrahlung prompt oder anschließend hinsichtlich seiner aktuellen,
ortsaufgelösten
Schichtdicke zu überprüfen;
es
soll möglich
sein, ein Targetdickenprofil hinsichtlich Homogenität, Loch-
oder Klumpenbildung zu erstellen bzw. darzustellen.
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Die Aufgabe wird durch die Einrichtung
gemäß den Kennzeichen
des gegenständlichen
Anspruchs 1 und den kennzeichnenden Verfahrensschritten des Anspruchs
9 gelöst.
Die örtliche
Veränderung
wird durch den Verwendungsanspruch 10 beansprucht.
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Die Einrichtung zur örtlichen
Schichtdickenmessung an einer Probe/einem Target besteht einerseits
aus dem strahloptischen Aufbau aus den Komponente: Elektronenkanone
zur Erzeugung des Elektronenstrahl, Blende zum Schälen/Formen
des Nutzstrahls, Ablenkeinrichtung (Deflektor), Probe/Target als
zu durchstrahlenden Gegenstand und dem Elektronenstrahlauffänger in
Form eines Faraday-Bechers mit geometrisch vorgegebener Elektroneneintrittsöffnung.
Andrerseits aus den elektronischen Komponenten:
zur Signalwandlung,
dem ersten, am Faraday-Becher angeschlossenen Verstärker, dem
zweiten, am Gitter angeschlossenen Verstärker;
zur Signalverarbeitung,
die elektronische Rechner-Verknüpfungseinrichtung
als PC, X-Y-Schreiber beispielsweise, und einer Regel-/Steuersignalformungseinrichtung
zur Erzeugung einer vom Gitterstrom abhängigen Ablenkspannung zur entsprechenden
Ablenkung im Deflektor. Die Wirkung der Komponenten wird weiter
unten bei der Erläuterung
des Verfahrens beschrieben.
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In den Unteransprüchen 2 bis 7 werden Besonderheiten
an den Komponenten beschrieben, mit denen das Verfahren gezielt
und einfach durchgeführt
werden kann.
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So ist die Elektroneneintrittsöffnung des Elektronenstromauffängers, wie
gesagt, teilweise abgedeckt und die belassene Öffnung besteht nach Anspruch
2 aus mindestens einem Schlitz. Die Längsachse des bei der Bestrahlung
benutzten Schlitzes wird von der Strahlachse überstrichen.
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Das Gehäuse des Elektronenstromauffängers ist
nach Anspruch 3 mit einer elektrischen Abschirmung umgeben, die
auf ein vorgegebenes Potential gelegt werden kann.
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Der erste Verstärker mündet in einen Strom-Frequenz-Wandler
mit am Ausgang angeschlossener Frequenzanzeige und der zweite Verstärker mit
einem eben solchen Strom-Frequenz-Wandler mündet in einen Frequenzuntersetzer.
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Nach Anspruch 6 ist die Auswerteeinrichtung ein
elektronischer Rechner wie ein PersonalComputer,PC, oder einfach
ein X-Y-Schreiber.
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Die Elektronenstrahlblende ist einfach
eine Blende zum Ausblenden von Strahlteilen oder ein strahloptisches
Mittel zum Fokussieren oder beides (Ansprüche 7 und 8).
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Das Verfahren (Anspruch 9) beruht
auf der Messung der Stromabschwächung
eines Elektronenstrahls, der eine zu untersuchende Probe durchdringt.
Der Elektronenstrahl kann ein Gleichstrom, Dauerstrichbetrieb, oder
mit einem gewählten Puls-Breiten-Verhältnis gepulst
sein, Pulsbetrieb. Jede handelsübliche
einfache Elektronenkanone, wie sie z.B. in Bildröhren eingesetzt sind, kann
als Elektronenquelle verwendet werden. Mit Hilfe eines hinter der
Probe angeordneten Auffängers,
einem Faraday-Becher
vom physikalischen Prinzip her, der in Bezug auf die durch die Probe
bewirkte Winkelaufstreuung des Elektronenstrahls in geeigneten Abstand
platziert ist, wird mit einem empfindlichen (Gleichstrom-) Verstärker oder
Pulsverstärker
der austretende Strom/Strompuls gemessen. Die gemessene Strom abschwächung wird
einerseits durch die Absorption der Elektronen in der Probe und
andererseits durch die Winkelaufstreuung des Elektronenstrahls nach
dem Targetdurchtritt in Verbindung mit der Auffängergeometrie, der teilweisen
Abdeckung und der Geometrie der Öffnung
des Faraday-Bechers sowie dem Abstand von der Probe bedingt. Sie hängt dabei
von der Targetdicke, der Atomzahl des Materials und von der wählbaren
Elektronenenergie ab (siehe I. – III.).
Der dabei auftretende mittlere Energieverlust und die Energieverbreiterung,
in der Fachsprache auch „energy
straggling" genannt,
des Elektronenstrahls ist für
diese Strommessung unwesentlich. Je nach Dickenbereich der Probe,
etwa d < 1 μg/cm2 bis ungefähr 1 mg/cm2,
lässt sich
durch die Wahl der Elektronenenergie und der Auffanggeometrie eine
optimale Empfindlichkeit für
die Stromabschwächung
in Abhängigkeit
einer Dickenänderung
in der Probe einstellen (Anspruch 10).
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Die bisherige Messdauer im Sekundenbereich
wird mit der Erfindung ganz wesentlich verkürzt, weil die Signalstärke durch
den wählbaren
Elektronenstrom auf erheblich kürzere
Messzeiten eingestellt werden kann. Durch Wahl der Elektronenenergie
wird eine optimale Anpassung der Messempfindlichkeit auf den zu
untersuchenden Dickenbereich erreicht, was bei dünnen Folien (d 0,1 μm) von großem Vorteil
ist. Weiterhin ermöglicht
die Einstellbarkeit/Fokussierung des Elektronenstrahls auf kleine
Durchmesser eine hohe örtliche
Auflösung
in der Dickenmessung, was mit festen radioaktiven Quellen nur sehr
aufwendig möglich
ist. Durch die Wahl einer ausreichenden primären Elektronenintensität im Bereich
von 100 μA
bis 100 nA, die jedoch so begrenzt bleibt, dass keine strukturelle
Veränderung
im Fall der Schichtdickenmessung an der zu vermessenden Substanz,
der Probe oder dem Target, erfolgt, und durch Verwendung schneller
empfindlicher Verstärker
wird eine genaue Messung kleiner Stromänderungen in kurzer Zeit, < 50 μs, erreicht.
Damit ist eine prompte Überwachung
von Materialdicken und Profilen möglich.
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Ein Prototyp der Apparatur wird bei
der GSI zur Überwachung
von bewegten Targets – rotierendes
Targetrad mit einer Geschwindigkeit von ~ 60 km/h mit einer Ortsauflösung von
1 mm – eingesetzt.
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Zum Erreichen einer hohen Empfindlichkeit in
der Targetdickenmessung ist die Normierung des hinter der Probe
austretenden Elektronenstroms auf den primären Strom ein wichtiger Bestandteil
des Verfahrens. Dadurch werden Schwankungen des Stromes der Elektronenkanone/-quelle
korrigiert. Mit Hilfe eines dünnes
Drahtgitters, Transmission ~ 80%, wird vor der Probe ein Teilstrom
gemessen und das Signal darauf normiert.
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Die Messmethode eignet sich zur empfindlichen
Registrierung relativer Targetdickenunterschiede. Absolute Dickenbestimmungen
werden dadurch ermöglicht,
dass bei festgehaltenen Apparaturparametern, Elektronenenergie,
Geometrie, die Stromabschwächungen
durch Targets bekannter Dicken, sogenannter Eichproben, gemessen
und mit den zu untersuchenden Proben verglichen werden.
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Die Ortsauflösung in der Dickenmessung wird
durch das Profil des Elektronenstrahls, Fläche und Intensitätsverteilung,
bestimmt. Dieses ist durch Blenden und Fokussierlinsen, letzteres
ein den Elektronenstrahl umgebendes Solenoid, einstellbar.
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Für
den Anwendungsfall der Targetüberwachung
ist beispielsweise ein Elektronenstrahldurchmesser von 2 bis 3 mm
geeignet.
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Die gemessenen Targetdicken sind
Mittelwerte über
das Elektronenstrahlflächenprofil.
Feinere Dickenstrukturen: Granulate, Mikrolöcher, Risse, werden in diesem
Fall nicht mehr scharf wiedergegeben. Prinzipiell kann jedoch die
Ortsauflösung
durch Feinfokussierung des Elektronenstrahls auf z.B. 0,1 mm gesteigert
werden.
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Das Verfahren ist, bei einem eingeschränkten Dickenbereich,
auch auf flüssige,
dampf-, cluster- oder gasförmige
Substanzen, letzterer insbesondere Atomstrahlen/-jets anwendbar.
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Durch die Maßnahmen aus den Ansprüchen 1 bis
9 wird die Messempfindlichkeit für
dünne Folien dadurch
optimiert, dass die Geometrie der Messanordnung, d.h. der Abstand
des schlitztragenden Elektronenauffängers zur durchstrahlten Probe,
die Schlitzbreite und Schlitzlänge
so gewählt
sind, dass die dickenabhängige
Winkelaufstreuung des Elektronenstrahls in der Probe gemäß den elementaren
physikalischen Streuprozessen (siehe II.) zur Signalabschwächung gezielt
ausgenutzt wird. Zusätzlich
wird die dickenabhängige
Absorption des Elektronenstroms (siehe III.) wahrgenommen, was bei
größeren Dicken,
bei denen sich die Winkelstreuverteilung nur noch schwach ändert, die
Information zur Probendicke trägt.
Die Ausnutzung der Kombination dieser zwei Effekte führt bei
einer gewählten
Elektronenenergie zu hoher Messempfindlichkeit über einen großen Dickenbereich.
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Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher beschrieben.
Sie besteht aus den 1 bis 8, die im einzelnen zeigen:
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1 die
schematische Darstellung der Einrichtung,
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2 die
Wirkung der Normierung,
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3 die
Stromabschwächung
an Kohlenstofffolien,
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4 der
Einfluss der Erhöhung
der effektiven Dicke,
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5 die
Ergebnisse einer Untersuchung,
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6 eine
Messwiederholung,
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7 modifizierte
Messtargets,
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8 Anpassung
der Messempfindlichkeit.
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Vorbemerkung:
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Zur Vermessung von Dickenprofilen
wird entweder die Probe entlang zweier senkrechter Koordinaten bewegt
oder der Elektronenstrahl abgelenkt. Bei der Ablenkung des Elektronenstrahls
ist die Position des Elektronenauffängers entsprechend nachzufahren.
Diese Komplikation entfällt,
wenn die Ablenkung des Elektronenstrahls nur in einer Dimension beschränkt bleibt
und der Stromauffänger/Faraday-Becher
eine dem Ablenkungsbereich entsprechende streifen-/schlitzförmige Eintrittsfläche, Schlitz in
der Abdeckung des Faraday-Bechers, hat. Die Darstellung des Dickenprofils
erfolgt zweckmässiger Weise
in einem PC-Datenaufnahmesystem oder z.B. in einfachster Form mit
Hilfe eines X-Y-Schreibers.
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Zunächst sei die Einrichtung zur örtlichen Schichtdickenmessung
an einer Probe mit einem Elektronenstrahl anhand von 1 vorgestellt: Der Elektronenstrahl
wird mit einer handelsüblichen
Elektronenkanone aus der Fernsehbildröhrentechnik erzeugt. Der Strahlstrom,
typisch 0,1 μA – 100 μA, wird über die
Heizung der Kathode eingestellt. Mit dem Linsensystem der Kanone
wird der Strahl auf ca. 2 mm fokussiert. Alle Spannungen der Elektroden
der Kanone sind auf eine Beschleunigungsspannung eines regelbaren
Hochspannungsgerätes,
von 0 – 30 kV,
bezogen, so dass der Elektronenstrahl gegenüber dem Erdpotential der Apparatur
eine einstellbare Energie erhält.
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Mit der Wehneltelektrode kann der
Elektronenstrom gesperrt werden. In diesem Fall wird für Messungen
mit gepulstem Elek tronenstrahl ein hochspannungsisolierter Ferrittkernransformator
benutzt, um einen 5 μs
langen Niedervoltpuls von –10
V als Sperrspannung an die Wehneltelektrode zu legen.
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Die Blende von 1 mm Weite begrenzt
und fixiert den Elektronenstrahl. Anschließend durchdringt der Strahl
das feinmaschige Edelstahldrahtgitter, das einen Teil des Elektronenstroms
aufnimmt.
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Nachfolgend sind auf ca. 20 mm Länge hier zwei
Paar Plattenelektroden angeordnet, die es erlauben, den Strahl vertikal
und/oder und horizontal über
die Probe zu lenken.
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Im vorliegenden Aufbau wird eine
Targetleiter, die in Ablenkrichtung des Strahls verschiebbar ist,
zur Positionierung der Proben verwendet.
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Durch Drehung der Targetleiter wird
die Einschussrichtung des Elektronenstrahls zur Flächennormalen
variiert und damit die effektive Targetdicke gemäß deff = d/cosϑerhöht, wobei θ der Winkel
zwischen Normalen und Strahlrichtung ist.
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Hinter der Probe ist der rechteckige,
abgeschirmte Faraday-Becher als Auffänger mit einem Eingangsschlitz
der Geometrie: 5 mm vertikal und 50 mm horizontal als Elektronenauffänger angebracht. Um
Verfälschungen
der Strommessung durch niederenergetische Streuelektronen zu vermeiden,
liegt das den Stromauffänger
umgebende Abschirmgehäuse
auf einer negativen Spannung. Aufgrund der noch hohen Energie des
durch die Probe abgeschwächten
Elektronenstromes wird dieser durch die negative Spannung nicht
beeinflusst.
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Das Stromsignal vom Faraday-Becher
wird mit dem angeschlossenen, ersten Stromintegrator in institutseigener
Bauweise (GSI-Typ:
CD1011) aufgenommen, in eine zum Strom proportionale Frequenz (0 – 10 kHz)
umgesetzt und in den Zähler:
50 MHz, Typ C-SD-24,
eingelesen.
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Der an das Gitter angeschlossenen,
zweite Stromintegrator misst den Normierungsstrom des Gitters, dessen
Signal nach dem Zählrateuntersetzer (GSI-Typ:
FX060) zum Auslesen des Zählers
verwendet wird. Gleichzeitig wird dieses Signal zur Erhöhung der
Ablenkspannung an den Deflektor geschaltet womit eine kontrollierte
Positionierung des Elektronenstrahls auf die Probe erreicht wird.
Die normierten Stromsignale werden schließlich mit Hilfe des Personal
Computers als Strom-Zeit-Spektrum bzw. als Abbildung des Targetdickenprofils,
wie in den 2 bis 8 beispielsweise gezeigt,
dargestellt.
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In 2 wird
die Elektronenstromnormierung durch den Gitterstrom demonstriert.
Der Figurenteil a) zeigt die Abschwächungen des Elektronenstromes
des gepulsten, 5 μs
dauernden, 20 keV Elektronenstrahls durch 20, 40 und 60 μg/cm2 dicke Kohlenstofffolien, dem Schwankungen
der Elektronenemission durch variierte Kathodenheizung überlagert sind.
Die Variation der Ordinatenwerte ist durch unterschiedliche Messzeiten
bestimmt. Der Figurenteil b) zeigt die entsprechenden Schwankungen
des Stromes am Normierungsgitter. Der Figurenteil c) zeigt die auf
Stromschwankungen korrigierten Stromintensitäten ohne Target bzw. mit Folien
verschiedener Dicken.
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Die Stromabschwächung für den 20 keV Gleichstrom-/Dauerstrich-Elektronenstrahl
durch verschieden dicke Kohlenstofffolien ist in 3 dargestellt. Die Zahlen im Diagramm
geben die Probendicke in μg/cm2 sowie den Durchgangsstrom in % an.
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4 demonstriert
die Stromabschwächung durch
Erhöhung
der effektiven Proben-/Targetdicke durch Schrägstellung der 100 μg/cm2 dicken Folie/C-Targets, und zwar nacheinander
die Strahleinfallswinkel ϑ = 0°, 20°, 45° und zurück zu 0°.
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5 zeigt
die Elektronentransmission durch ein Segment eines Urantetrafluorid-Targets von
dem rotierenden Targetrad, nachdem das Target zur Erzeugung schwerer
Elemente mit 5 MeV/u-40Ar-Ionen bestrahlt
worden war. Der Elektronenstrahl wurde mit dem Ablenker senkrecht
zur Bestrahlungsspur gelenkt. Die Messung demonstriert einen deutlichen
Verlust des Targetmaterials im Mittenbereich, der dem intensiven
Ionenstrahl ausgesetzt war. Eine zweite Messung über die gleiche Stelle auf
dem Target ergibt einen deckungsgleichen Verlauf der Stromkurve,
was die Reproduzierbarkeit und Empfindlichkeit der Messmethode demonstriert.
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Im vorliegenden Fall hatte das Target
auf der Austrittsseite des Ionenstrahls keine dünne Kohlenstoffdeckschicht,
die ein Entweichen des UF4 reduzieren würde. Zum
Vergleich ist die Stromkurve eines zweiten mit einer 5 μg/cm2 dicken Kohlenstoffdeckschicht versehenen
Targets aufgenommen. Das Material bleibt in diesem Fall erhalten.
Deutliche Schwankungen in der Homogenität der Targetdicke werden dabei
erkannt.
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Die Messmethode ist sensitiv auf
die effektive Targetdicke deff – d/cosϑ,mit ϑ als
dem Winkel des Messstrahls zur Flächennormalen des Targets und
d der tatsächlichen
Dicke desselben, die in Beschleunigerexperimenten auch eine bestimmende
Grösse
für Reaktionswahrscheinlichkeiten
ist.
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Durch Strahlenbelastung können Targets
deformieren und eine wellige Struktur erhalten, die verschiedenen
effektiven Targetdicken entsprechen. Ein Tantal-Target, das auf
einem rotierenden Targetrad mit einem intensiven Argon Ionenstrahl
be strahlt wurde, entwickelte quer zur Rotationsrichtung verlaufende
Runzeln, die mit blossem Auge deutlich sichtbar sind. Diese werden
mit dem hier entwickelten Messverfahren gut wiedergegeben.
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6 zeigt
den Stromverlauf 1 entlang der Bestrahlungsspur die über eine
Länge von
ca. 20 mm drei deutliche Runzeln aufweist zeigt, Balkenbereiche 1, 2 und 3.
Die wiederholte Messung 2 über die gleiche Spur ergibt
eine genaue Reproduktion des effektiven Targetdickenverlaufs. Der
Elektronenstrahl wurde hierzu entlang der Bestrahlungsspur eines 360 μg/cm2 Ta-Targets, aufgedampft auf eine 44 μg/cm2 Kohlenstoffträgerschicht und bestrahlt mit 40Ar10+ Ionen, gelenkt.
Das temperaturfeste Targetmaterial entwickelte quer zur Ionenstrahlspur
runzlige Deformationen, die mit dem Auge den eingezeichneten Balkenbereichen 1, 2 und 3 zugeordnet
werden. Entsprechend zeigen die Elektronenstrahlmessungen reproduzierbar
verschiedene effektive Targetdicken.
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Eine weitere Verwendung des Messverfahrens
der Abschwächung
des Elektronenstroms eines gesteuerten Elektronenstrahls liegt darin,
in bestimmten Anwendungsfällen,
in denen gezielte Veränderungen
der. Proben, z.B. durch Strahlungseinwirkungen, hergestellt werden
sollen, diese simultan als Dickenänderungen zu messen und zu
kontrollieren. 7 zeigt
ein solches Beispiel. Zur Herstellung eines dünnen, freitragenden Kohlenstofftargets
von 2 μg/cm2 Dicke wurde Kohlenstoff auf einen Träger aus Kollodium
(Schießbaumwolle)
bis zu einer Dicke von ca. 32 μg/cm2 aufgedampft. Das leicht flüchtige Trägermaterial
sollte durch moderate Wärmezufuhr,
z. B. durch Strahlung, im Vakuum verdampft werden. Mit dem Messelektronenstrahl
ist es möglich,
durch Wahl des Elektronenstroms und der Elektronenenergie die geeignete
Energie zur Modifikation der Probe zu deponieren und die resultierende
Veränderung zeitlich
zu verfolgen. 7 demonstriert
die Abnahme des Trägermaterials mit
wachsender Bestrahlungsdauer für
einen ortsfesten Elektronenstrahl von 5 keV Energie und 80 nA Stromstärke. Die
kontrollierte Modifikation des Komposittargets aus 32 μg/cm2 kolodiumträger mit 2 μg/cm2 aufgedampfter
Kohlenstoffschicht durch Einwirkung eines stehenden 5 keV-/80 nA-Elektronenstrahls
ist ersichtlich. Mit zunehmender Bestrahlungsdauer wird Kollodium-Material
abgebaut und im ansteigenden Stromsignal nachgewiesen. Die Stufe:
1-min-Warten, zeigt die weitere Einwirkung des Elektronenstrahls
bei Aussetzung der Datenaufnahme für 1 Minute. Die Wiederholung
des Vorgangs wird durch Verschieben des Targets um 2 mm demonstriert.
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Die Empfindlichkeit der Messung von
Dickenänderungen
kann für
dünne Proben
durch Verringerung der Elektronenenergie gesteigert und damit in
einem weiten Bereich an die Anwendung angepasst werden. 8 zeigt ein Beispiel für 1,2 μg/cm2 und 0,6 μg/cm2 Kohlenstofffolien, die auf einem Trägergitter
von ca. 70 % optischer Transmission aufgebracht sind. Zum Vergleich
ist ein freitragendes Kohlenstofftarget von 5 μg/cm2 Dicke
bei zwei Drehwinkeln, 0° und
3,0°, dargestellt.
Die Proben wurden mit einem 5 keV-Elektronenstrahl an festgehaltenen Stellen
durchstrahlt. Der reproduzierbare, deutliche Abfall des Elektronenstroms
auf ca. 70% ist ersichtlich, der bei einer Dickenzunahme von 0,6 μg/cm2 auf 1,2 μg/cm2 um ~3% ansteigt. Die 5 μg-Folie zeigt eine Abschwächung des
Elektronenstrahls auf 74%, die bei Schrägstellung des Targets auf ϑ ~
30° um ca.
4% ansteigt.
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Literaturstellen:
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- I. Benjamin M. Siegel and Donald R. Beaman, „Physical
Aspects of Electron Microscopy and Microbeam Analysis", p. 53, (1975) New
York, ISBN 0-471-79020-6;
- II. G. Knop and W. Paul, K. Siegbahn, „Alpha-, Beta- and Gamma-Ray
Spectroscopy", Vol.1,
S. 1 – 25, 1968,
North-Holland, ISBN: 0 7204 0083 x;
- III. Manfred von Ardenne, „Tabellen
zur angewandten Physik",
Band 1, S. 159 – 161
- IV. J. Herberger, W. Gloede, W. Krämer, H. Leistner und E. Roll, „Zur Anwendung
der Elektronenstrahlmikroanalyse in der Dünnschichtphysik", Exp. Tech. d.Phys.,
Vol.20, 1972;
- V. Karl Nitzsche, „Schichtmeßtechnik", Vogel-Fachbuch
1997, ISBN3 – 8023-1530-8,
Seite 295 und 449,
und P.W. Büchel, Innerstaatliche Fachhochschule
für Technik,
Buchs, Schweiz, „Dickenmessung
von Kunststofffolien",
Diplomarbeit 17. 12. 1999.
- VI. JP-Abstr. 57 00 63 10 A