DE2725959C3 - Elektronenstrahl-Bearbeitungseinrichtung - Google Patents

Elektronenstrahl-Bearbeitungseinrichtung

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Takashi Kiyose Tokyo Souma
Kazumitsu Akishima Tokyo Tanaka
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Jeol Ltd
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
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Nihon Denshi KK
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3007—Electron or ion-optical systems

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