DE2619312C2

DE2619312C2 - Halbleiter-Heizelement mit positivem Temperaturkoeffizienten(PTC)

Info

Publication number: DE2619312C2
Application number: DE2619312A
Authority: DE
Inventors: Toshikazu Yokaichi Shiga Nakamura; Takashi Shikama; Ninoru Tamada
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1976-01-23
Filing date: 1976-04-30
Publication date: 1987-04-23
Also published as: US4034207A; FR2339313B1; DE2619312A1; FR2339313A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Halbleiter-Heizelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Ein bekanntes PTC-Heizelement dieser Art ist in den Fig. 1 und 2 dargestellt. Es besteht aus einem dünnen PTC-Körper mit zwei gegenüberliegenden ebenen Oberflächen, an denen Metallfilmstreifen, die als Elektroden dienen, angebracht sind. Jede der Elektroden ist gabel- oder kammförmig ausgebildet und besitzt mehrere Arme oder Finger in Form dünner Streifen, die im Abstand voneinander von der Basis abstehen, so daß auf dem PTC-Körper eine vergrößerte Wärmeerzeugungsfläche entsteht. Zum Abschluß von Verbindungsdrähten an den PTC-Körper ist die Elektrode mit einem Ansatz versehen, der als Anschlußstück dient. Der elektrische Strom fließt normalerweise von einer der Elektroden (erste Elektrode) zur benachbarten Gegenelektrode (zweite Elektrode). Wenn die zweite Elektrode in derselben Ebene wie die erste Elektrode angeordnet ist, fließt der Strom durch die Außenbereiche des Halbleiterkörpers. Wenn jedoch die zweite Elektrode an den gegenüberliegenden Flächen des Halbleiterkörpers angeordnet ist, fließt der Strom durch das Innere des Halbleiterkörpers in Richtung der Dicke des Körpers hindurch. Unter dem Gesichtspunkt einer schnellen Reaktion der Wärmeemission auf den Strom sollte der Wärmeerzeugungsbereich an der Außenseite des Halbleiterkörpers liegen. Obwohl bei den bekannten Halbleiter-Heizelementen die Elektrodenpaare an derselben Seite angebracht sind, sind die Elektrodenanschlüsse an der gegenüberliegenden Seite des Halbleiterkörpers angeordnet, so daß das Anschlußstück für die erste Elektrode sich teilweise durch den Halbleiterkörper hindurch mit der zweiten Elektrode überlappt. Daher fließt ein Strom durch den Halbleiterkörper hindurch, was dazu führt, daß die Wärmeemission träger wird.
Ein solcher Stromfluß in Richtung der Dicke des Halbleiterkörpers führt nicht nur zu einer trägeren Wärmeemission, sondern hat nachteilige Auswirkungen auch bei solchen Halbleiterelementen, die für relativ hohe Temperaturen eingesetzt werden, da innerhalb des Halbleiterkörpers eine ungleichmäßige Temperaturverteilung auftritt.
Aus der US-PS 38 85 129 ist ein Halbleiter-Heizelement bekannt, das eine runde Halbleiterscheibe aufweist, auf deren Oberseite die Elektroden angeordnet sind. Jede der Elektroden besteht aus teilkreisförmigen Streifen, die koaxial zueinander angeordnet sind, wobei die Streifen der beiden Elektroden in radialer Richtung einander abwechseln. Jede der Elektroden ist mit einem Anschlußstück verbunden, das auf der Rückseite der Halbleiterscheibe angeordnet, um deren Rand herumgeführt und mit den Streifen der betreffenden Elektrode verbunden ist. Da bei dem bekannten Halbleiter-Heizelement die Streifen auf unterschiedlichen Radien liegen, haben alle Streifen unterschiedliche Längen, so daß jeweils der innere Streifen einer jeden Elektrode kürzer ist als der benachbarte äußere übrige Streifen. Es wird angestrebt, daß der Stromfluß vorwiegend in der Nähe der Oberseite zwischen den Elektroden fließt und nicht durch den Halbleiterkörper hindurch, indem der Halbleiterkörper mindestens so dick gemacht wird, wie der Abstand der Streifen breit ist.
Fig. 3 zeigt die Widerstands-Temperaturcharakteristik eines PTC-Körpers. Wenn eine bestimmte Spannung an ihn angelegt wird, erhöht sich seine Temperatur entsprechend der Widerstandserhöhung bis zu einem bestimmten Punkt T _N, der in der Kurve durch Ro und To definiert ist, und behält diesen Zustand bei. Wenn jedoch die Spannung über den vorbestimmten Wert ansteigt, erhöht sich die Temperatur des Halbleiterkörpers über To hinaus und der Widerstandsabfall verursacht einen hohen Stromfluß. Auf diese Weise steigt die Temperatur unzulässig an, bis der Halbleiterkörper zu Bruch geht. Der Halbleiterkörper sollte daher nur bis zur Temperatur To betrieben werden. Aus dem Gesichtspunkt der Ausnutzung des Halbleiterkörpers sollte die Temperaturverteilung möglichst gleichmäßig sein, was bedeutet, daß die maximale Betriebstemperatur, d. h. die Temperatur in der Nähe von To, über die gesamte Fläche des Halbleiterkörpers möglichst gleichmäßig erreicht werden sollte.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Halbleiter-Heizelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 dahingehend weiterzubilden, daß die im Innern des dünnen Halbleiterkörpers entstehende Verlustwärme stark reduziert ist.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit dem Merkmal im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1.
Während bei den bekannten Halbleiter-Heizelementen lediglich Wert darauf gelegt wird, die Elektroden an der Oberfläche des Halbleiterkörpers so anzuordnen, daß möglichst wenig Wärme in den Halbleiterkörper eindringt, berücksichtigt die Erfindung auch den Einfluß der Anschlußstücke auf das Entstehen von Verlustwärme. Der Einfluß der auf der Rückseite des Halbleiterkörpers angeordneten Anschlußstücke ist bisher nicht beachtet worden, so daß im Bereich der Anschlußstücke eine erhöhte Verlustleistung im Halbleiterkörper auftrat. Dadurch, daß die Anschlußstücke sich mit den Streifen der jeweils gegenüberliegenden Elektrode nicht überlappen, weil diese Elektroden bewußt kurz gestaltet sind, wird der Einfluß der Anschlußstücke auf das Entstehen von Verlustwärme weitgehend eliminiert. Der Strom wird dadurch auf die Oberfläche des Halbleiterkörpers konzentriert. Dadurch wird auch eine geringere Trägheit der Wärmeemission gegenüber den elektrischen Strömen erzielt.
Betrachtet man das in den Fig. 1 und 2 dargestellte bekannte Halbleiter-Heizelement, so stellt man fest, daß die Temperaturverteilung zusätzlich noch aus folgendem Grunde ungleichmäßig ist. Die Metallfilmstreifen für die erste und die zweite Elektrode sind normalerweise derart angeordnet, daß die Entfernung zwischen den Kanten der ersten und der zweiten Elektrode konstant ist, so daß von dem Halbleiterkörper im wesentlichen dieselbe Wärmemenge erzeugt wird. Als Folge davon wird die in dem Halbleiterkörper erzeugte Wärme stärker von den Randbereichen des Halbleiterkörpers emittiert als von dessen Innenbereichen, was bei den meisten Substanzen der Fall ist. Die herkömmlichen Halbleiter-Heizelemente haben daher eine ungleichmäßige Temperaturverteilung, d. h. es bleibt mehr Wärme im Mittelbereich als in den Randbereichen des Halbleiterkörpers. Eine solche ungleichmäßige Temperaturverteilung führt zu ungleichmäßiger Expansion des Halbleiterkörpers, der während des Betriebes dazu neigt, auseinanderzubrechen oder nicht mit Maximaltemperatur betrieben werden kann.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung nach dem Merkmal des Patentanspruchs 5 wird erreicht, daß die pro Flächeneinheit erzeugte thermische Energie an den Randbereichen größer ist als im Mittenbereich. Dadurch wird die Temperaturverteilung zwischen dem Mittenbereich und dem Randbereich des Halbleiterkörpers ausgeglichen, so daß eine gleichmäßige Temperaturverteilung entsteht.
Mit dem Merkmal des Patentanspruchs 6 wird erreicht, daß die im Mittenbereich erzeugte Wärme in den nichtwärmeerzeugenden Bereichen des Halbleiterkörpers, d. h. unter den Elektroden, besser absorbiert wird, als in den Randbereichen.
Die Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren an Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Fig. 4 und 5 zeigen Ansichten des erfindungsgemäßen PTC- Heizelementes von oben und von unten,
Fig. 6 und 7 zeigen ähnliche Ansichten wie die Fig. 4 und 5 bei einem modifizierten Ausführungsbeispiel,
Fig. 8 und 9 zeigen ähnliche Ansichten wie die Fig. 4 und 5 bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 10 und 11 zeigen ähnliche Ansichten wie Fig. 8 und 9 bei einer weiteren Ausführungsform, und
Fig. 12 und 13 zeigen noch eine andere Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 14 und 15 zeigen eine Modifizierung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 12 und 13.
Vor der detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele sei darauf hingewiesen, daß gleiche Elemente in sämtlichen Darstellungen der Zeichnungen jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen sind.
Das in den Fig. 4 und 5 dargestellte Halbleiter-Heizelement mit positivem Temperaturkoeffizienten (PTC) besteht aus einem PTC-Körper 2 und zwei Elektroden 10 und 20. Der PTC-Körper hat rechteckige Form und besitzt zwei ebene, parallel zueinander liegende Flächen 2 a und 2 b und zwei Paare einander gegenüberliegender Umfangsflächen 2 c, 2 d , 2 e und 2 f. Die Oberseite 2 a des PTC- körpers 2 trägt zwei Metallfilmelektroden 10 und 20, die mit ihr verbunden sind. Die Elektrode 10 besitzt fünf verhältnismäßig schmale lange Streifen 10 a, 10 b, 10 c, 10 d und 10 e, die fingerförmig von der Umfangsfläche 2 c abstehen und sich über die Fläche 2 a erstrecken. Die Streifen haben über ihre Länge jeweils im wesentlichen den gleichen Abstand voneinander. Von den fünf Streifen ist mindestens ein Streifen, beispielsweise der mittlere Streifen 10 c, kürzer als die anderen Streifen, während die übrigen vier Streifen 10 a, 10 b, 10 d und 10 e bis in die Nähe der gegenüberliegenden Umfangsfläche 2 d ragen. Diese fünf Streifen 10 a bis 10 e sind elektrisch durch einen Basisfilm 12, der entlang der Umfangsfläche 2c verläuft, miteinander verbunden. Der Basisfilm hat eine möglichst geringe Breite a, damit die von ihm eingenommene Wärmeerzeugungsfläche klein ist. Auch die von der Umfangsfläche 2 d ausgehende Elektrode 20 hat fünf lange Streifen 20 a, 20 b, 20 c, 20 d und 20 e, die in einem ähnlichen Muster angeordnet sind wie die Streifen der Elektrode 10, wobei der Basisfilm 22 die Streifen elektrisch miteinander verbindet. Jeder Streifen ist so angeordnet, daß die benachbarten Streifen der gegenüberliegenden Elektrode angehören.
An der rückwärtigen Fläche 2 b des PTC-Körpers 10 befinden sich zwei Metallfilme, die als Anschlüsse 14 und 24 für die Elektroden 10 bzw. 20 dienen. Die Metallfilme sind an den den Umfangsflächen 2 c und 2 d benachbarten, einander gegenüberliegenden Rändern angeordnet. Die Breite b der Anschlüsse 14 und 24 ist jeweils verhältnismäßig groß, um einen (nicht dargestellten) Anschlußdraht leicht befestigen zu können. Wie man am besten aus der Fig. 5 ersieht, ist der Anschluß 14 für die Elektrode 10 an der Fläche 2 b in Höhe des Zwischenraumes zwischen den Streifen 10 d und 10 c und getrennt bzw. mit Abstand von dem Streifen 20 c der gegenüberliegenden Elektrode 10 angeordnet. Die Entfernung zwischen dem Rand der Anschlußstelle 14 und der Sptize des Streifens 20c ist diagonal durch den PTC- Körper 2 hindurch nicht kleiner als die Entfernung zwischen benachbarten Streifen. Der Anschluß 14 ist natürlich elektrisch mit der Elektrode 10 verbunden. Der Anschluß 24 ist ebenfalls an dem gegenüberliegenden Rand an der Umfangsfläche 2 d in ähnlicher Weise wie der Anschluß 14 angebracht. Wenn zwischen die Anschlüsse 14 und 24 eine Spannung gelegt wird, fließt ein Strom von der Elektrode 10 zur Elektrode 20 (oder in umgekehrter Richtung), vorwiegend in der Nähe der Fläche 2 a, die einem Wärmeerzeugungsbereich gleicht.
Da eine Elektrode, beispielsweise die Elektrode 10, sich durch den PTC-Körper 2 mit der gegenüberliegenden Elektrode 20 einschließlich ihrer Anschlußstelle 14 nicht überlappt oder überkreuzt, fließt der Strom überhaupt nicht in Dickenrichtung des Körpers 2, so daß die erzeugte Wärme schnell von der Fläche 2a abgestrahlt wird.
In den Fig. 6 und 7 ist ein PTC-Heizelement 1 b dargestellt, daß eine Modifizierung des oben beschriebenen Heizelementes 1 a darstellt und an beiden Flächen 2 a und 2 b Wärme erzeugt. Das PTC-Heizelement 1 b enthält bei dieser Ausführungsform gegenüber dem PTC-Heizelement des vorherigen Ausführungsbeispiels zusätzlich einen Satz gegenüberliegender Elektroden 10 und 20, die auf der Fläche 2 b in ähnlicher Weise befestigt sind wie die anderen Elektroden auf der Fläche 2 a. Die Elektrode 10 besitzt ferner fünf lange Streifen 10 a&min;, 10 b&min;, 10 c&min;, 10 d&min; und 10 e&min;, die an der Fläche 2 b derart angebracht sind, daß die jeweiligen Streifen durch den PTC-Körper 2 den fünf langen Streifen 10 a bis 10 e gegenüberliegen. In gleicher Weise sind die Streifen 20a&min;, 20 b&min;, 20 c&min;, 20 d&min; und 20 e&min; für die Elektrode 20 an der Fläche 2 b angebracht, so daß sie den Streifen 20 a bis 20 e durch den PTC- Körper 2 hindurch gegenüberliegen.
Das PTC-Heizelement 1 b dieses Ausführungsbeispiels eignet sich insbesondere für solche Fälle, in denen das Heizelement Wärme von beiden Flächen 2 a und 2 b des Körpers 2 aussenden muß.
Da die Streifen einer Elektrode nicht auf beiden Seiten des Körpers flächig den Streifen der anderen Elektrode gegenüberliegen, fließt der Strom nicht quer (in Dickenrichtung) durch den Körper hindurch, so daß die Wärme an den Oberflächen 2 a und 2 b erzeugt und von diesen ausgesandt wird, während der PTC-Körper als dünne Schicht ausgebildet ist.
In den Fig. 8 und 9 ist ein PTC-Heizelement 1 c als weitere Modifizierung des PTC-Heizelementes 1 a dargestellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Elektrode 10 Streifen 16 a, 16 b und 16 c auf, und die Elektrode 20 weist Streifen 26 a, 26 b und 26 c auf. Jeder der Streifen, beispielsweise ein Streifen 26 a, verjüngt sich in der dargestellten Weise derart, daß seine Breite sich zur Spitze hin stetig verringert, wodurch der Zwischenraum zwischen benachbarten Streifen sich im Vergleich zu den vorhergehenden Ausführungsbeispielen verbreitert, so daß ein größerer Wärmeerzeugungsbereich entsteht. Aus den oben schon erwähnten Gründen sind die Streifen 16 b und 26 b kürzer als die anderen Streifen.
Da der Wärmeerzeugungsbereich eine so große Fläche einnimmt, eignet sich das PTC-Heizelement 1 c insbesondere für die Erzeugung hoher Temperaturen.
Es sollte darauf hingewiesen werden, daß die Streifen, die bei diesem Ausführungsbeispiel verjüngt ausgebildet sind, auch andere Formen haben können, wie beispielsweise die Streifen 27 a in Fig. 10 und 11, wenn sie sich nur zu den Spitzen hin gegenüber dem Fußbereich verjüngen. Es sollte ferner darauf hingewiesen werden, daß die PTC- Heizelemente 1 c und 1 c&min;, die in Verbindung mit Fig. 8 bis 11 beschrieben wurden, an der Rückseite 2 b weitere Streifen aufweisen können, wie anhand der Fig. 6 und 7 erläutert wurde.
Das in den Fig. 12 und 13 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt ein PTC-Heizelement 1 d, das eine weitere Modifizierung des PTC-Heizelementes 1 a darstellt. Das Heizelement dieses Ausführungsbeispiels ist imstande, größere Wärmemengen zu erzeugen und besitzt eine Elektrode 10 aus Streifen 18 a, 18 b und 18 c sowie eine Elektrode 20 aus Streifen 28 a, 28 b und 28 c, wobei die Streifen 18 b und 28 b kürzer sind als die übrigen Streifen. Obwohl die Streifen bei diesem Ausführungsbeispiel alternierend in ähnlicher Weise angeordnet sind wie bei den vorherbeschriebenen Ausführungsbeispielen, ist der Abstand T zwischen den Streifen im Mittelbereich am größten, d. h. zwischen den Streifen 18 b und 28 b und verringert sich zu den seitlichen Randflächen 2 e und 2 f hin.
Wenn an die Anschlußstellen 14 und 24 eine Spannung angelegt wird, fließt ein Strom zwischen den beiden Elektroden 10 und 20, wodurch die weitaus überwiegende Wärmemenge in dem PTC-Körper 2 an der Fläche 2 a und insbesondere zwischen den Streifen erzeugt wird. Da der Abstand zwischen den Streifen in dem Mittenbereich am größten ist und zu den Rändern hin kleiner wird, ist die in dem Mittenbereich pro Flächeneinheit erzeugte Wärmemenge kleiner als an den Randbereichen, so daß die erzeugte Wärmeenergie in den Randbereichen groß und im Mittenbereich geringer ist. Infolge der Wärmeemissionscharakteristik eines Festkörpers, z. B. des PTC-Körpers 2, wird jedoch die Wärme an den Randbereichen stärker emittiert als in dem Mittenbereich, so daß man in dem PTC-Körper 2 eine im wesentlichen gleichmäßige, d. h. konstante, Temperaturverteilung erhält, insbesondere wenn das PTC-Heizelement bis in die Nähe seiner Anomalietemperatur aufgeheizt wird.
In den Fig. 14 und 15 ist ein PTC-Heizelement 1 d&min; dargestellt, da eine Modifizierung des PTC-Heizelementes 1 d bildet. Das Heizelement 1 d&min; ist ebenfalls imstande, größere Wärmemengen zu erzeugen und seine Elektrode 10 weist Streifen 18 a&min;, 18 b&min; und 18 c&min; auf, während die Elektrode 20 Streifen 28 a&min;, 28 b&min; und 28 c&min; aufweist. Die Streifen beider Elektroden wechseln einander ab und die Streifen 18 b&min; und 28 b&min; sind kürzer als die übrigen Streifen, wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen. Obwohl die Entfernung T zwischen den Elektroden im wesentlichen konstant ist, ist die Breite W der Streifen im Mittenbereich am größten, d. h. die Streifen 18 b&min; und 28 b&min; haben die größte Breite, während die Streifenbreite zu den Rändern 2 e und 2 f hin abnimmt.
Wenn man eine Spannung an die Anschlüsse 14 und 24 legt, erzeugt das PTC-Heizelement Wärme, insbesondere zwischen den Streifen und vorwiegend an der Fläche 2 a. Der größte Teil der erzeugten Wärme wird von der Fläche 2 a emittiert, jedoch wird auch ein Teil der Wärme in dem PTC-Körper 2 in nicht-heizenden Bereichen absorbiert, die sich unter jedem Streifen befinden. Da die Streifen im Mittenbereich des PTC-Körpers 2 eine größere Fläche einnehmen, wird in diesem Bereich mehr Wärme absorbiert als an den Randbereichen. Wenn das PTC-Heizelement auf eine verhältnismäßig hohe Temperatur aufgeheizt ist, wird die in seinem Mittenbereich erzeugte Wärme teilweise in dem PTC-Körper 2 absorbiert, während die an den Randbereichen erzeugte Wärme zu einem größeren Anteil emittiert wird. Auf diese Weise kann man die Temperaturverteilung in dem PTC-Körper 2 nahezu gleichmäßig machen.
Aus diesem Grunde überstehen die PTC-Körper 2 der PTC- Heizelemente 1 d und 1 d&min; auch hohe Temperaturen und haben eine hohe Widerstandsfähigkeit gegen Stöße. Dennoch fließt auch bei ihnen keine Stromkomponente in Dickenrichtung durch den PTC-Körper 2 hindurch, so daß der PTC-Körper 2 als verhältnismäßig dünne Schicht ausgebildet werden kann.
Es sei darauf hingewiesen, daß das PTC-Heizelement 1 d und 1 d&min; ferner auch an der Rückseite 2 b mit Streifen versehen sein kann, wie es in Verbindung mit Fig. 6 und 7 beschrieben wurde.

Claims

1. Halbleiter-Heizelement mit positivem Temperaturkoeffizienten (PTC), mit einem dünnen Halbleiterkörper in rechteckiger Form mit zwei ebenen, im wesentlichen parallelen Oberflächen, mit zwei Elektroden auf mindestens einer Oberfläche aus mehreren metallischen Streifen, die an ihren einen Enden elektrisch miteinander verbunden sind und über ihre Länge jeweils etwa gleichen Abstand voneinander haben, wobei die Streifen der ersten und der zweiten Elektrode abwechselnd angeordnet sind, so daß benachbarte Streifen jeweils unterschiedlichen Elektroden angehören, und sich die Streifen einer jeden Elektrode von einer Kantenfläche quer über die Oberfläche bis in die Nähe der gegenüberliegenden Kantenflächen erstrecken, und mit Anschlußstücken, die an der den Elektroden abgewandten Rückseite des Halbleiterkörpers angeordnet und jeweils elektrisch mit einer der Elektroden verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Streifen einer jeden Elektrode (10, 20) kürzer ist als die übrigen Streifen dieser Elektrode, daß der kürzere Streifen (10 c, 20 c) einer jeden Elektrode mit solchem Abstand von dem Anschlußstück (24, 14) der anderen Elektrode endet, daß er sich mit diesem Anschlußstück (24, 14) nicht überlappt, und daß der Abstand des Randes des Anschlußstücks (14, 24) einer Elektrode diagonal durch den Halbleiterkörper hindurch bis zu dem freien Ende des kürzeren Streifens (10 c, 20 c) der anderen Elektrode nicht kleiner ist als der Abstand zwischen benachbarten Streifen (Fig. 4, 5).

2. Halbleiter-Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Elektroden (10, 20) zusätzlich auf der Rückseite (2b) des Halbleiterkörpers (1 b) Streifen (10 a&min; bis 10 e&min;, 20 a&min; bis 20 e&min;) aufweisen, die den Streifen ( 10 a bis 10 e, 20 a bis 20 e) auf der Vorderseite des Halbleiterkörpers durch den Halbleiterkörper hindurch genau gegenüberliegen (Fig. 6, 7).

3. Halbleiter-Heizelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Streifen (16 a bis 16 c, 26 a bis 26 c) zum Ende hin verjüngt ausgebildet ist (Fig. 8, 9).

4. Halbleiter-Heizelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Streifen (27 a, 28 a) in seinem Endbereich schmaler ist als in seinem Fußbereich (Fig. 10, 11).

5. Halbleiter-Heizelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen (18 a bis 18 c, 28 a bis 28 c) gegenseitige Abstände (T) voneinander haben, die im Mittenbereich am größten sind und zu den Randbereichen hin abnehmen (Fig. 12, 13).

6. Halbleiter-Heizelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Streifen (18 a&min; bis 18 c&min;, 28 a&min; bis 28 c&min;) im Mittenbereich des Halbleiterkörpers am größten ist und sich zu den Randbereichen hin verringern (Fig. 14, 15).