DE2610639C2 - Verfahren zur Herstellung von scheibenförmigen Ultraschallverzögerungsleitungen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von scheibenförmigen UltraschallverzögerungsleitungenInfo
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/30—Time-delay networks
- H03H9/36—Time-delay networks with non-adjustable delay time
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von scheibenförmigen Ultraschallverzögerungsleitungen
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Ein solches Verfahren ist bekannt aus der US-PS 35 81 247. Bei den dabei erhaltenen Ultraschall Verzögerungsleitungen kommen durch Streueffekte unerwünschte Signale zustande, welche von dem gewünschten Signalpfad
abweichen. Man hat daher zur Dämpfung dieser unerwünschten Signale entweder an ausgewählten Stellen
innerhalb der Scheibe (DE-AS 1139 218) oder an ausgewählten, die uneryjünschten Signale reflektierenden
Bereichen der Seitenfläche ultraschalldämpfendes Material, zum Beispiel Blei, Zinn oder dergleichen vorgesehen
(DE-AS 12 68 750). Das erstehe Verfahren ist äußerst zeitaufwendig und kostspielig. Das letztere Verfahren kann
zwar mit einfacheren Mitteln durchgeführt werden, jedoch muß es immer noch bei den einzelnen, bereits auf
das Endmaß geschliffenen Ultraschallverzögerungsleitungen angewandt werden. Daher eignet sich das bekannte
Verfahren nicht für die Massenfertigung.
Es ist beKits aus de;- DE-Ai- 15 41 957 bekannt, zwei Ultraschallverzögerungsleitungen durch Zerteilen eines
Blockes herzustellen, wabeJ zwei Seitenflächen des Blockes aufgerauht sind. Diese Aufrauhung dient ebenfalls
der Absorption von unerwünsch λι Signalkomponenten. Sie befindet sich jedoch nicht an den Seltenflächen der
fertigen Ultraschallverzögerungsleitungen, sondern an einer der beiden Hauptflächen. Ferner sind aus der DE-OS
21 31 614 Ultraschallverzögerungsleitungen bekannt, bei denen die Kanten mit Einkerbungen versehen sind.
Auch diese Einkerbungen müssen bei Herstellung der Ultraschallverzögerungsleitungen durch Zerteilen eines
Blockes in eine Vielzahl von Scheiben nach der Endbearbeitung der einzelnen Scheiben ausgebildet werden.
Es ist somit Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art durch zusätzliehe
einfache, am gesamten Block ausführbare Maßnahmen derart weiterzubilden, daß auf kostengünstige
Weise UltraschallverzCgerungsleitungen erhalten werden, die an Seitenflächenbereichen für unerwünschte Reflexion
Ultraschalldämpfungseigenschaften aufweisen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Verfahren der eingangs genannten Art durch die Merkmale
im kennzeichnenden TeIi des Anspruchs 1 gelöst.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Flg. 1 einen vorgefertigten Block des Verzögerungsmediums;
Fig. 2 einen vorgefertigten Block des Verzögerungsmediums mit Bogennuten;
Fig. 3 einen zusammengesetzten Block mit niedrig schmelzendem Metall· oder niedrig schmelzender Leglerung
in den Bogennuten und mit Wandlern; und
Fig. 4 eine Ultraschallverzögerungsleitung.
Fig. 4 eine Ultraschallverzögerungsleitung.
Durch die Anordnung des Eingangswandlers und des Ausgangswandlers ist der Fortpflanzungsweg für die
Ultraschallschwingung festgelegt. Die unerwünschten Reflexionsbereiche befinden sich auf den Seitenflächen
außerhalb der erwünschten Reflexionsberelche. Das niedrig schmelzende Metall oder die niedrig schmelzende
Legierung haben einen hohen Absorptionskoeffizienten für Ultraschallschwingungen und die mechanische
impedanz dieses Materials und die mechanische Impedanz des Verzögerungsmediums sind gut aneinander angepaßt.
Bei der erfindungsgemäßen Verzögerungsleitung wird die Ultraschallschwingung, welche aus dem
gewünschten Pfad der Ultraschallschwingung gestreut wird, in dem niedrig schmelzenden Metall oder in der
niedrig schmelzenden Legierung absorbiert. Die nicht absorbierten an den unerwünschten Reflexionsbereichen
reflektierten Wellen erleiden eine gleichförmige Streuung durch die Bogennuten, so daß die unerwünschten
Signale drastisch gedämpft werden. Das energiedämpfende Material befindet sich In den Bogennuten, so daß es
nicht leicht durch mechanische Einwirkungen abgelöst werden kann.
Es kommen verschiedenste niedrig schmelzende Metalle oder Metall-Legierungen für die Zwecke der vorliegenden
Erfindung In Frage, insbesondere Legierungen mit den Hauptkomponenten Pb, Sn oder Bl. Bei der
Herstellung der erfindungsgemäßen Verzögerungsleitungen, welche unerwünschte Signale stark dämpfen, wird
ein Verzögerungsmedium aus zum Beispiel Quarz, Glas, Metall, Keramik zu einem vorgefertigten Block
gewünschter Gestalt geschliffen. An den unerwünschten Reflexionsbereichen werden eine oder mehrere Bogennuten
ausgebildet. Sodann werden der Eingangswandler und der Ausgangswandler in vorbestimmten Positionen
am Block befestigt und das niedrig schmelzende Metall oder die niedrig schmelzende Legierung werden In die
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Nuten eingefüllt. Sodann wird der Block parallel zu den Hauptflächen des Verzögerungsmediums und senkrecht
zu den mit dem Eingangswandler und dem Ausgangswandler versehenen Flächen gespalten.
Ultraschallverzögerungsleitungen für PAL-Farbfernsehempfänger und Videobandaufzeichnungsgeräte benötigen
eine Genauigkeit der Verzögerungszelt von weniger als Vioooo see. Zur direkten Herstellung derartiger
Verzögerungsleitungen aus dem Gesamtblock ist eine große Bearbeitungsgenauigkeit erforderlich mit linearen
Toleranzen von bis zu mehreren μηο und mit Winkeltoleranzen von bis zu mehreren 10 Winkelsekunden. Eine
ähnliche Genauigkeit ist für das Anbringen des Eingangswandlers und des Ausgangswandlers erforderlich. Zur
Herstellung von Verzögerungsleitungen mit einer derartigen Genauigkeit wird ein vorgefertigter Block verwendet,
dessen Abmessungen die präzisen Endabmessungen der fertigen Verzögerungsleitungen übersteigen und der
eine den präzisen Winkeln entsprechende Gestalt hat. Sodann werden die Bogennuten an den unerwünschten
Refiexionsbereichen des Blocks ausgebildet. Danach wird das niedrig schmelzende Metall oder die niedrig
schmelzende Legierung in die Bogennuten eingefüllt, und die Wandler werden an vorbestimmten Stellen des
zusammengesetzten Blocks angebracht. Danach wird der Gesamtblock gespalten oder in Scheiben zerteilt, und
zwar in einer Richtung, welche senkrecht zu den mit dem Eingangswandler und dem Ausgangswandler versehenen
Flächen verläuft. Danach wird eine Seitenfläche des gespaltenen Blocks unter Messung der Verzögerungszeit
geschliffen, bis die gewünschte Verzögerungszeit erreicht ist. Man kann den Block des Verzögerungsmediums
an den unerwünschten Reflexionsbereichen mit großer Genauigkeit mit Nuten versehen, ohne daß das
Werkstück bei der Ausbildung der Nuten zu Bruch geht. Beim Einfüllen des niedrig schmelzenden Metalls oder
der niedrig schmelzenden Legierung in die Bogennuten wird eine große Gleichförmigkeit hinsichtlich der Position
und der Genauigkeit der Abmessungen, d. h. der Breite und der Dicke des niedrig schrm Senden Metalls
öder der niedrig schmelzenden Metall-Legierung erreicht und es kommt beim Zerteilen des Blacks nicht zu
einer Ablösung des Metalls oder der Legierung.
Da man ein niedrig schmelzendes Metall oder eine niedrig schmelzende Metall-Legierung als energiedämpfendes
Material verwendet, ist das energiedämpfende Material sehr stabil und wird unter der Einwirkung von
Wasser oder organischen Lösungsmitteln in der Waschstufe nach dem Spalten des Blocks nicht beeinträchtigt
oder abgelöst. Diese Nachteile sind bei Verwendung von organischen energiedämpfenden Materialien unvermeidlich.
Im folgenden werden anhand der Zeichnungen verschiedene Ausführungsformen der Ultraschallverzögerungsleitung
und deren Herstellung erläutert. Für die Massenfertigung von Glasverzögerungsleitungen in Form
dünner flacher Platten wird zunächst ein hexagonaler Block aus Glas gemäß Fig. 1 hergestellt. Dieser Block
wird sodann zu vorbestimmten Abmessungen geschliffen, welche größer sind als die der gewünschten Verzögerungszeit
entsprechenden Abmessungen. Sodann werden die Bogennuten 3 an unerwünschten Reflexionsbereichen
gemäß Fig. 2 ausgebildet. Bei den Bogennuten handelt es sich um nutenförmige Ausnehmungen mit
gekrümmtem Nutengrund. Die gekrümmten Flächen der Bogennuten und die vorbestimmten Bereiche für das
Anbringen der Wandler 5 an den Seitenflächen 2 des Blocks werden sodann mit einem Metallfilm durch chemisehe
Abscheidung oder Dampfabscheidung beschichtet. Sodann werden die Wandler 5 an den vorbestimmten
Stellen befestigt und das niedrig schmelzende Metall oder die niedrig schmelzende Metali-Legierung 4 wird in
die Nuten 3 eingefüllt, wie Fig. 3 zeigt. Sodann wird der Block zu Scheiben gewünschter Dicke (etwa 1 mn)
gespalten, und zwar in einer Richtung, welche senkrecht zu der Seltenfläche 2 gemäß Fig. 3 verläuft. Danach
wird eine Seitenfläche des gespaltenen zusammengesetzten Blocks unter Messung der Verzögerungszeit präzise
geschliffen, bis die gewünschte Verzögerungszeit erhalten wird.
Im folgenden werden die dabei erhaltenen Verzögerungsleitungen mit herkömmlichen Verzögerungsleitungen
verglichen. In Tabelle 1 ist jeweils das SN-Verhältnis angegeben.
Aufbau der Verzögerungsleitungen SN-Verhältnis (dB)
keine besondere Behandlung (Fig. 1) 23
Bogennuten gemäß Fig. 2 30
Epoxyharz in den Bogennuten gemäß Fig. 2 32
niedrig-schmelzende Legierung in den BogennuUn gemäß Fig. 3 37
SN-Verhältnis = -20 log ψ0 (dB)
Eo: Ausgangssignal
Ex: unerwünschtes Signal
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Zur Herstellung der Verzögerungsleitungen wurden Materialien mit den folgenden Eigenschaften verwendet:
Material Dichte Geschwindigkeit mechanische Dämpfungskonstante
(g/cm1) (10' cm/s) Impedanz bei 5 MHz (dB/mm)
(10* g/cm's)
Verzögerungsmediuni Epoxyharz
niedrig-schmelzende Legierung
Die niedrig-schmelzende Metall-Legierung hat die folgende Zusammensetzung in Gew.-%:
Bi: 50.0; Sn: 17.8; Pb: 32.2
3,43 | 2,74 | 9.4 | - |
0.9 | 1.0 | 0,9 | etwa 4 |
9,95 | 1,06 | 10,5 | etwa 5 |
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung von scheibenförmigen Ultraschallverzögerungsleitungen mit mehrmaliger
Reflexion, bei dem an einem Block gewünschter Gestalt aus einem Verzögerungsmedium ein Eingangswandler
und ein Ausgangswandler angebracht werden, bei dem weiterhin der Block in einer zu den den Eingangswandler beziehungsweise den Ausgangswandler tragenden Flächen senkrechten Richtung in eine Vielzahl
von dünnen Scheiben zerteilt wird und bei dem schließlich die Scheiben auf ihr Endmaß geschliffen werden,
dadurch gekennzeichnet, daß an den nach dem Zerteilen die Ränder der Scheiben bildenden Fachen
des Blocks vor dem Zerteilen desselben an nicht von Wandlern belegten Bereichen unerwünschter Reflexion
ίο Bogennuten ausgebildet werfen, daß sodann in diesen Ultraschall absorbierendes niedrig schmelzendes
Metall eingebracht wird und daß danach der Block zerteilt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bogennuten zunächst durch Dampfabscheidung
oder chemische Abscheidung mit einem Metallfilm beschichtet werden und danach das niedrig
schmelzende Metall eingebracht wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als niedrig schmelzendes
Metalt eine Metallegierung mit Pb und/oder Sn und/oder Bi als Hauptkomponente verwendet wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50029468A JPS51105252A (en) | 1975-03-13 | 1975-03-13 | Choonpakotaichensen oyobi sonoseizoho |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2610639A1 DE2610639A1 (de) | 1976-09-23 |
DE2610639C2 true DE2610639C2 (de) | 1984-08-02 |
Family
ID=12276923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2610639A Expired DE2610639C2 (de) | 1975-03-13 | 1976-03-13 | Verfahren zur Herstellung von scheibenförmigen Ultraschallverzögerungsleitungen |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4034317A (de) |
JP (1) | JPS51105252A (de) |
DE (1) | DE2610639C2 (de) |
FR (1) | FR2304219A1 (de) |
GB (1) | GB1493091A (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2128429A (en) * | 1982-09-17 | 1984-04-26 | Marconi Co Ltd | An oscillator |
US11417309B2 (en) * | 2018-11-29 | 2022-08-16 | Ascent Venture, Llc. | Ultrasonic transducer with via formed in piezoelectric element and method of fabricating an ultrasonic transducer including milling a piezoelectric substrate |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL154076B (nl) * | 1966-12-28 | 1977-07-15 | Philips Nv | Werkwijzen voor het vervaardigen van een ultrasone vertragingslijn, alsmede ultrasone vertraginslijnen vervaardigd volgens die werkwijzen. |
US2859415A (en) * | 1952-09-03 | 1958-11-04 | Bell Telephone Labor Inc | Ultrasonic acoustic wave transmission delay lines |
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GB748438A (en) * | 1953-11-30 | 1956-05-02 | Marconi Wireless Telegraph Co | Improvements in or relating to ultrasonic delay devices |
NL132570C (de) * | 1963-03-07 | |||
US3581247A (en) * | 1968-06-13 | 1971-05-25 | Andersen Lab Inc | Delay lines having nondispersive width-shear mode propagation characteristics and method of making same |
DE2131614A1 (de) * | 1971-06-25 | 1972-12-28 | Siemens Ag | Funktionselement nach dem Oberflaechenwellenprinzip,insbesondere Frequenzfilter oder Ultraschallverzoegerungsleitung |
JPS4947055A (de) * | 1972-09-12 | 1974-05-07 |
-
1975
- 1975-03-13 JP JP50029468A patent/JPS51105252A/ja active Pending
-
1976
- 1976-03-03 GB GB8541/76A patent/GB1493091A/en not_active Expired
- 1976-03-04 US US05/663,703 patent/US4034317A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-03-12 FR FR7607144A patent/FR2304219A1/fr active Granted
- 1976-03-13 DE DE2610639A patent/DE2610639C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1493091A (en) | 1977-11-23 |
US4034317A (en) | 1977-07-05 |
JPS51105252A (en) | 1976-09-17 |
FR2304219A1 (fr) | 1976-10-08 |
FR2304219B1 (de) | 1982-09-17 |
DE2610639A1 (de) | 1976-09-23 |
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