DE2604480B2 - Thyristor - Google Patents
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Description
Aus der DE-OS 21 40 993 ist bereits ein Thyristor der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 beschriebenen
Art bekannt. Dabei bilden die zweite Hauptelektrode und die Hilfselektrode, jeweils zusammen mit der ersten
Hauptelektrode einen Haupt-Thyristorteil und einen Hilfs-Thyristorteil, wobei der Zündsignalstrom von der
Steuerelektrode den Hilfs-Thyristorteil und dessen Einschaltstrom als Steuerstrom wiederum den Haupt-Thyristorteil
einschaltet.
Ein Einschalten des Thyristors tritt unabhängig davon, ob eine Zündsignalspannung anliegt, auch dann
auf, wenn die zwischen den beiden Elektroden anliegende Spannung höher als die höchste Sperrspannung
des Bauelementes ist oder wenn die Geschwindigkeit, mit der die Spannung ansteigt, groß genug ist,
obgleich die Spannung selbst kleiner ist als die höchste Sperrspannung, oder wenn der Temperaturanstieg des
Bauelementes hoch ist. Wenn ein Thyristor in den leitenden Zustand versetzt wird, bevor das Zündsignal
angelegt wird, während die zwischen den Hauptelektroden anliegende Spannung kleiner als die höchste
Sperrspannung des Bauelementes ist, kann das Bauelement nicht bei Inverterschaltungen, Zerhackern oder
anderen elektrischen Schaltungen eingesetzt werden. Daher besteht für einen Thyristor die wichtige
Forderung, daß er möglichst selten von selbst in den leitenden Zustand übergeht, auch dann, wenn die
Geschwindigkeit, mit der die Spannung zwischen den beiden Hauptelektroden ansteigt (nachfolgend mit
der Kürze wegen bezeichnet) hoch ist, das heißt, daß also verbessert wird, und daß das
der , -Wert
Bauelement mögiichst selten von sich aus in den leitenden Zustand übergeht, auch dann, wenn am
Bauelement hohe Temperaturen auftreten. Nachfolgend soll erläutert werden, wie der Thyristor vor Anlegen der
Zündsignalspannung in den leitenden Zustand übergeht, wenn der d'; - Wert oder die Temperatur hoch ist.
Wenn die am Thyristor anliegende Spannung in Vorwärtsrichtung erhöht wird, verbreitert sich die
Verarmungsschicht auf beiden Seiten des mittleren PN-Übergangs, der in Sperrichtung vorgespannt werden
soll. Daher fließt ein Verschiebungsstrom, der in
Abhängigkeit vom . -Wert der Spannung in Vorwärtsrichtung ansteigt. Andererseits fließt der Rückwärtsstrom,
der etwa proportional der Spannung in Vorwärisrichtung ist, über den mittleren Übergang. Auf
Grund der kombinierten Wirkung von Verschiebungsstrom und Rückwärtsstrom werden die PN-Übergänge
zwischen den mittleren Schichten und den benachbarten äußeren Schichten (nachfolgend als Emitterübergänge
bezeichnet) in Vorwärtsrichtung vorgespannt, so daß Ladungsträger von den äußeren Schichten in die
mittleren Schichten gelangen. In der Nähe des Umfanges jedes Emitterüberganges, wo sich der
Verschiebungs- und der Rückwärtsstrom konzentrieren, werden die Emitterübergänge in hohem Maße in
Vorwärtsrichtung vorgespannt. Der Verschiebungsund Rückwärtsstrom wird im mittleren Übergang
erzeugt, der nicht über dem Emitterübergang liegt, wenn die Schichten in einem Querschnitt senkrecht zu
den Schichten betrachtet werden. Auf Grund der durch die Konzentration des Verschiebungs- und Rückwärtsstroms
stark in Vorwärtsrichtung vorgespannten Emitterübergänge kommt es vor, daß am oder in der
Nähe des Umfangs des Emitterübergangs ungewollt ein Einschalten oder ein Leitendwerden stattfindet, wenn
der ^ -Wert hoch ist. Wenn der Thyristor eine hohe
Temperatur aufweist, steigt die Konzentration bzw. die Zahl der durch thermische Anregung in der Verarmungsschicht
des mittleren Übergangs erzeugten Ladungsträger an, so daß sich auf Grund dieser
Ladungsträger der Rückwärtsstrom im mittleren Übergang ansteigt. Daher schaltet sich der Thyristor
ungewollt selbständig ein, wenn" die Temperatur des Bauelementes hoch ist, und zwar in derselben Weise,
wie wenn der
' -Wert hoch ist. Um die ,'-Werte und
die Temperatureigenschaften zu verbessern, ist es daher erforderlich, zu verhindern, daß die Emitterübergänge
durch den Verschiebungs- und Rückwärtsstrom in Vorwärtsrichtung vorgespannt werden.
Um dies zu erreichen, wurde bereits eine Anordnung mit kurzgeschlossenem Emitter vorgeschlagen, bei der
entweder die zugehörige Hauptelektrode in die benachbarte äußerste Schicht bis zur Zwischenschicht
eindringt oder Bereiche der Zwischenschicht durch die benachbarte äußerste Schicht bis zur Hauptelektrode
reichen (vgl. DE-OS 23 29 872). Diese Anordnung verbessert tatsächlich auch die ' -Werte und die
Temperatureigenschaften des Thyristors beträchtlich, es treten jedoch weiterhin folgende Nachteile auf. Um
die . -Werte zu verbessern, muß die Zahl der
Emitterkurzschlüsse im Bereich der äußersten Schicht, die der Steuer-Elektrode gegenüberliegt, groß sein.
Andererseits sind die wichtigsten Charakteristika von Thyristoren der anfängliche Einschaltbereich und die
Ausbreitung und Vergrößerung des leitenden Bereichs am Anfang des Einschaltvorganges. Der Einschaltbereich
sollte so groß wie möglich und die Geschwindigkeit, mit der sich der leitende Bereich ausbreitet und
vergrößert, sollte so hoch wie möglich sein, um den Thyristor möglichst schnell in den leitenden Zustand zu
versetzen, damit der Thyristor beim Schaltvorgang eine hohe Leistung aushalten kann. Um diese Erfordernisse
zu befriedigen, muß die Zahl der Emitterkurzschlüsse im Bereich der äußersten Schicht, die der Steuer-Elektrode
gegenüberliegt, möglichst klein oder vorzugsweise Null sein.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Thyristor zu schaffen, der einen großen
Einschaltbereich bei kleinem Zündsignalstrom sowie
hohe , -Werte aufweist und hohe Temperaturbelastungen aushält.
Diese Aufgabe wird durch Thyristoren gelöst, die die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale aufweisen.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Thyristors sind Gegenstand der
Unteransprüche 2 bis 5.
Durch die Anordnung der Steuerelektrode zwischen der zweiten Hauptelektrode und der Hilfselektrode, und
damit zwischen dem Haupt- und dem Hilfs-Thyristorteil wird es möglich, beide Teile im wesentlichen gleichzeitig
bei Zufuhr des Zündsignalstroms einzuschalten, wodurch sich ein großer anfänglicher Einschaltbereich
ergibt. Hierdurch wiederum kommt der Thyristor mit einem kleinen Zündsignalstrom aus. Durch die Annäherung
der Gateelektrode an die Hilfselektrode in einem Teil des Bereiches, in dem sie einander gegenüberliegend
angeordnet sind, fließen von der Steuerelektrode in die hieran angrenzende Hilfselektrode und danach in
die Hauptelektrode ein Verschiebungs- und ein Leckstrom, so daß die beiden Ströme nicht über den
Emitterübergang im Hilfs-Thyristorteil fließen. Hierdurch wird die Stromdichte am Emitterübergang im
Hauptthyristorteil gering, so daß der Thyristor höhere
j( -Werte und eine höhere Temperaturbeständigkeit
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 in Aufsicht einen Thyristor gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 einen Querschnitt entlang der in Fig. 1 eingezeichneten Schnittlinie 11-11,
Fig. 3 in Aufsicht einen Thyristor gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig.4 einen Querschnitt entlang der in Fig.3
eingezeichneten Schnittlinie IV-IV,
F i g. 5 in Aufsicht einen Thyristor gemäß einer dritten
Ausführungsform der Erfindung,
Fig.6 einen Querschnitt entlang der in Fig.5
eingezeichneten Schnittlinie VI-VI,
-> Fig.7 in Aufsicht einen Thyristor gemäß einer
vierten Ausführungsform der Erfindung,
Fig.8 einen Querschnitt entlang der in Fig. 7 eingezeichneten Schnittlinie XlI-XII.
In den eine erste Ausführungsform der Erfindung
in zeigenden Fig. 1 und 2 ist ein Thyristor mit einem
Halbleitersubstrat^ mit vier Schichten Pe Nb, Pe und Ne
mit abwechselnden p- und n-Leitfähigkeitstyp dargestellt. Das Substrat _1 besitzt zwei Hauptoberflächen 11
und 12, die parallel zueinander und einander gegenüber
ι ri angeordnet sind. Die Schicht Pe ist eine Emitterschicht
vom p-Leitfähigkeitstyp (nachfolgend als »P^Schicht«
bezeichnet). Die Schicht Nb ist eine Basisschicht vom n-Leitfähigkeitstyp (nachfolgend als »VVe-Schicht« bezeichnet),
die mit der Pe-Schicht einen ersten PN-Über-
·>" gang /ι bildet. Die Schicht Pb ist eine Basisschicht vom
p-Leitfähigkeitstyp (nachfolgend als »/VSchicht« bezeichnet),
die an die Ne-Schicht angrenzt und mit dieser
einen zweiten PN-Übergang /2 bildet. Die Schicht Neist
eine Emitterschicht vom n-Leitfähigkeitstyp (nachfol-
2r) gend als »Ne-Schicht« bezeichnet), die in der Oberfläche
der /VSchicht ausgebildet ist und deren Oberfläche zur Hauptoberfläche hin frei liegt und mit der /VSchicht
einem dritten PN-Übergang/3 bildet.
Die frei liegende Oberfläche der Pf-Schicht dient als
so eine Hauptoberfläche 11, und die frei liegende Oberfläche der AtSchicht, sowie die /VSchicht bildet
die andere Hauptoberfläche 12. Eine Hilfszone /Vo besteht aus einer η-leitenden Schicht, die in der
/VSchicht ausgebildet ist und zur Hauptoberfläche 12
r> hin frei liegt, von der Ne-Schicht durch die /VSchicht
isoliert ist und einen kleineren Bereich als die /V^Schicht einnimmt. Eine erste Hauptelektrode 2 steht
mit der P/E-Schicht an der ersten Hauptoberfläche 11,
und eine zweite Hauptelektrode 3 steht mit der /Vt-Schicht und dem Teil der /VSchicht. die die
A/i-Schicht auf der zweiten Hauptoberfläche 12 umgibt,
in niederohmigem Kontakt. Eine Hilfselektrode 4 steht mit den Oberflächen der Hilfszone /Vo und der
/VSchicht, die von der /VpSchicht isoliert ist, in
4") Kontakt. Die Hilfselektrode 4 erstreckt sich über den
Außenbereich der /VfSchicht, und die Endbereiche 41 der Hilfselektrode 4 werden durch die vorspringenden
Bereiche 31 der zweiten Hauptelektrode 3 umfaßt.
Eine Steuer-Elektrode 5 ist auf der /VSchicht
>o zwischen der AVSchicht und der Hilfszone /V0
angeordnet und besitzt einen ersten, der Hilfszone /Vo gegenüberliegenden Bereich 51 und an den Enden des
ersten Bereichs 51 in einem Stück ausgebildete zweite Bereiche 52, die zur Hilfselektrode 4 hin abstehen. Der
v") elektrische Widerstand zwischen den zweiten Bereichen
52 und der Hilfselektrode 4 ist kleiner als der elektrische Widerstand zwischen dem ersten Bereich 51 und der
Hilfszone /Vo. Weiterhin ist auch der elektrische Widerstand zwischen den Außenbereichen der Endbe-
Mi reiche 41 und der vorstehenden Bereiche 31 kleiner als
der elektrische Widerstand zwischen dem anderen Bereich der Hilfselektrode 4 und der /VpSchicht.
Nachfolgend soll die Aibeits- und Funktionsweise des
derart aufgebauten Thyristors beschrieben werden.
h1) Wenn zwischen die Hauptelektroden eine Spannung in
Vorwärtsrichtung angelegt wird, wobei die erste Hauptelektrode 2 bezüglich der zweiten Hauptelektrode
3 eine Dositive Süannunc aufweist, wird der zweite
PN-Übergang /2 in Sperrichtung vorgespannt, so daß
ein Verschiebungsstrom und ein Rückwärtsstrom auftritt. Die Verschiebungs- und Rückwärtsströme
fließen durch den (nicht dargestellten) kurzgeschlossenen Emitterweg auf die zweite Hauptelektrode 3 in dem
mittleren Bereich des Substrats 1 gerade unter der /Vf-Schicht, wogegen im Außenbereich oder in der
Nähe des Außenbereichs des Substrats 1, wo die Oberfläche der /VSchicht mit der zweiten Hauptelektrode
3 in Kontakt steht, diese Ströme direkt zur zweiten Hauptelektrode 3 fließen. Im Bereich des
Substrats I^ oder in der Nähe des Bereichs des Substrats
t, v/o die Oberfläche der P^-Schicht mit der Hilfselektrode
4 in Kontakt steht, fließen diese Ströme über die Hilfselektrode 4 und den Bereich der /VSchicht
zwischen den Endbereichen 41 der Hilfselektrode 4 und den vorstehenden Bereichen 31 der Hauptelektrode 3 in
die zweite Hauptelektrode 3. Im Bereich des Substrats ± oder in der Nähe des Bereichs des Substrats i, wo die
Oberfläche der /VSchicht in Kontakt mit der Steuer-Elektrode 5 steht, fließen diese Ströme über die
Steuer-Elektrode 5, deren zweite Bereiche 52, die /VSchicht, die Hilfselektrode 4, die Endbereiche 41 der
Elektrode 4 und die /VSchicht zur Hauptelektrode 3. Daher können die Verschiebungs- und Rückwärtsströme
den dritten PN-Übergang Jz nicht in Vorwärtsrichtung
vorspannen, so daß df und die Temperatureigenschaften
verbessert werden können.
Es sei nun angenommen, daß eine Steuersignalspannung angelegt wird, derart, daß die Steuer-Elektrode 5
gegenüber der zweiten Hauptelektrode 3 positiv ist, wobei die erste Hauptelektrode 2 bezüglich der zweiten
Hauptelektrode 3 positiv ist. Bei Anlegen der Steuersignalspannung zwischen die Elektroden 5 und 3 fließt
zunächst ein Steuerstrom in die zweite Hauptelektrode, der an den zweiten Bereichen 52 der Steuer-Elektrode 5
zu fließen beginnt und dann durch die /VSchicht, die
Hilfselektrode 4, deren Endbereiche 41 und die Pb-Schicht fließt. Dieser Steuer-Strom trägt in keinem
Falle dazu bei, den Thyristor einzuschalten. Wenn ein solcher Steuer-Strom ansteigt, steigt auch der Spannungsabfall
über den Bereich der /VSchicht zwischen den zweiten Bereichen 52 der Steuer-Elektrode 5 und
der Hilfselektrode 4 an. Wenn der Spannungsabfall die Diffusionsspannung des PN-Übergangs /0 zwischen der
Hilfszone N0 und der /VSchicht übersteigt, fließt der
Steuer-Strom über den PN-Übergang J0 in die Hilfszone
Mj. Daher wirkt der Steuer-Strom zunächst auf den Vierschichten-Bereich, dessen äußerste Schicht die
Hilfszone No ist. Dieser Vierschichten-Bereich wird vom
Steuer-Strom in den leitenden Zustand versetzt, also eingeschaltet, so daß Strom in Vorwärtsrichtung
(Einschaltstrom) durch den Vierschichten-Bereich fließt, so daß der Strom in Vorwärtsrichtung durch die
Hilfselektrode 4 in den Außenbereich der /V/:-Schicht
fließt. Dadurch, daß der Strom in die A//-Schicht fließt,
wird der weitere Vicr.schichtcnbereich mit der Nr Schicht als äußerster Lage, d. h. also der Thyristor selbst,
in den leitenden Zustand versetzt, also eingeschaltet.
Bei dieser Art des Vorgangs, mit dem der Thyristor in den leitenden Zustand versetzt wird, fließt zunächst kein
Steuer-Strom durch den PN-Übergang /0, so daß etwas von dem Steuer-Strom nutzlos verlorengeht, der Wert
(|/ und die Temperaturaufnahme bzw. -eigenschaften
können jedoch verbessert werden.
Mit dem in den F i g. 1 und 2 dargestellten Aufbau des
Thyristors können, wie zuvor beschrieben, mit einem
kleinen Steuer-Strom ein großer Wert für j( und hohe
> Temperatur-Belastungen sowie ein breiter Einschaltbereich
erreicht werden. Darüber hinaus weist der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Thyristor, der eine erste
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt, die folgenden Vorteile auf. Da die zweiten Bereiche 52
der Steuer-Elektrode 5 auf der Oberfläche der /VSchicht gegenüber der Hilfselektrode 4 angeordnet
sind, läßt sich der elektrische Widerstand zwischen den beiden Elektroden 4 und 5 leichter und genauer
einstellen (d. h., die Reproduzierbarkeit wird verbes-
n sert). Dadurch, daß die Abweichung oder die Streuung
des Widerstandes klein ist, ergibt sich, daß die Thyristoren etwa denselben kleinsten Zündstrom
aufweisen, und es kann etwa der gleiche Wert t)( und
die gleiche Temperaturbelastung für die einzelnen Thyristoren mit hoher Reproduzierbarkeit auf einfache
Weise erhalten werden.
Heutzutage werden die Schaltungen, beispielsweise Umsetzer für die Gleichstrom-Energieübertragung, bei
ri denen eine Vielzahl von Thyristoren in Serien-Parallelschaltung
verwendet wird, immer größer, und in jeder dieser Schaltungen ist es erforderlich, die auf die
jeweiligen Schaltungsbauteile aufgeteilten Spannungen und Ströme gut abzugleichen und abzustimmen, damit
in die einzelnen Bauteile dieselbe Einschaltcharakteristik
aufweisen. Die Thyristoren gemäß F i g. 1 und 2 sind für derartige Schaltungen gut geeignet, weil sie eine
kleinere Zündspannung als herkömmliche Thyristoren aufweisen.
π In den Fig.3 und 4 ist ein Thyristor gemäß einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung dargestellt, die sich von der ersten Ausführungsform nur dadurch
unterscheidet, daß Vorsprünge 42, die zur Steuer-Elektrode 5 hin zeigen, an Bereichen der Hilfselektrode 4 in
der Nähe der Enden der Hilfszone /Vo ausgebildet sind.
In den Fig. 5 und 6 ist eine dritte Ausführungsform
eines Thyristors dargestellt, wobei sich diese Ausführungsform von der ersten und zweiten Ausführungsform
α; dadurch unterscheidet, daß ein Vorsprung 43 an der
Hilfselektrode 4 sich in der Mitte der Hilfszone /V0 über
diese hinweg zur Steuer-Elektrode 5 hin erstreckt. Die zweite und dritte Ausführungsform kann dieselben
Wirkungen und Vorteile wie die erste Ausführungsform
-,(ι aufweisen und auch in derselben, im Zusammenhang mit
der ersten Ausführungsform beschriebenen Weise abgeändert und modifiziert werden.
Die F i g. 7 und 8 zeigen einen Thyristor gemäß einer vierten Ausführungsform, bei der die Hilfszone /V0 nicht
r, ringförmig ist. Bei dieser Ausführungsform liegt der Vorsprung 251 der Hilfselektrode 25 in der Nähe der
Steuerelektrode 24, wogegen der Vorsprung der zweiten Hauptelektrode 23 in der Nähe der Hilfselektrode
25 liegt. Der Unterschied der vierten Ausfüh-
Mi rungsform gegenüber der ersten Ausführungsform liegt
darin, daß die Steuerelektrode von der /VpSchicht umgeben ist.
Schließlich sollen zu den Ausführungsbeispielcn der Erfindung noch zahlenmäßige Angaben gemacht
h, werden. Ein Thyristor, der den in den Fig. 1 und 2
dargestellten Aufbau aufweist und eine Sperrspannung von 4000 V und einen mittleren Nennstrom von 800 A
besitzt, wurde mit einem anderen Thyristor verglichen,
der fast denselben Aufbau aufweis, jedoch lediglich die Bereiche, die den zweiten Bereichen 52 der Steuerelektrode
5 entsprechen, nicht besaß. Dabei zeigte sich, daß
der Wert -n beim Thyristor der F i g. 1 und 2
3000 V^sec und beim herkömmlichen Thyristor
1400V^sec bei einer Temperatur von 125° C am
Halbleiterübergang betrug. Der kleinste Zündstrom betrug beim Thyristor der F i g. 1 und 2 3OmA und beim
herkömmlichen Thyristor 15 mA.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Thyristor mit einem aus vier aufeinanderfolgenden Zonen abwechselnd entgegengesetzten Leitungstyps
aufgebauten Halbleiterkörper, wobei ein Teil der einen der beiden Basiszonen an einer ersten
Hauptoberfläche frei liegt und in diesen Teil eine Hilfszone mit im Vergleich zur angrenzenden
Basiszone entgegengesetztem Leitungstyp eingebettet ist, wobei auf der ersten Hauptoberfläche eine
erste Hauptelektrode, eine die Hilfszone teilweise überdeckende Hilfselektrode und eine mit der
Basiszone kontaktierte Steuerelektrode und auf der zweiten Hauptoberfläche eine zweite Hauptelektrode
ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß die Steuerelektrode (5) zwischen der Haupt- (3) und der Hilfselektrode (4) angeordnet ist
und daß die Steuer- und die Hilfselektrode an ihren einander gegenüberliegenden Kanten an einer oder
mehreren Stellen einander angenähert sind.
2. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Steuerelektrode (5) längs der
Hilfselektrode (4) über die Hilfszone (/V0) hinaus erstreckt und sich ein Bereich (52) der Steuerelektrode
(5) der Hilfselektrode (4) nähert.
3. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Steuerelektrode (5) längs der
Hilfselektrode (4) über die Hilfszone (No) hinaus erstreckt und sich ein Bereich (42) der Hilfselektrode
(4) auf dem zur zweiten Hauptfläche freien Teil der zweiten Schicht (Pb) des Substrats seitlich zur
Steuerelektrode (5) hin erstreckt.
4. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich ein Teil (43) der Hilfselektrode (4)
über die Hilfszone (No) hinaus zur zweiten Schicht (Pb) erstreckt und sich der Steuerelektrode (5)
nähert.
5. Thyristor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Hauptelektrode (3) und die Hilfselektrode (4) in einem Teil des Bereichs, in dem sie nebeneinander
angeordnet sind, einander näher liegen als im übrigen Teil des Bereichs.
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