DE2557667B2 - Verfahren zur Aufbringung von nebeneinanderliegenden, dicht aneinander anschließenden unterschiedlichen Belägen auf einer lichtdurchlässigen Unterlage - Google Patents

Verfahren zur Aufbringung von nebeneinanderliegenden, dicht aneinander anschließenden unterschiedlichen Belägen auf einer lichtdurchlässigen Unterlage

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3712335A1 (de) * 1987-04-11 1988-10-20 Vdo Schindling Verfahren zur herstellung einer struktur
GB9203595D0 (en) * 1992-02-20 1992-04-08 Philips Electronics Uk Ltd Methods of fabricating thin film structures and display devices produced thereby
JP2500050B2 (ja) * 1992-11-13 1996-05-29 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション リム型の位相シフト・マスクの形成方法
DE102004034417B4 (de) 2004-07-15 2007-09-27 Schott Ag Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substrats mit gewölbter Oberfläche

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH284109A (de) * 1952-02-06 1952-07-15 Ernst Jun Dr Ruest Verfahren zur Herstellung von mit Teilungen, Gittern, Strichzeichnungen, Flächenmarken usw. versehenen Gegenständen.
DE1060717B (de) * 1956-04-13 1959-07-02 Franz Wagner Verfahren zur Herstellung von Rastern, Zeichnungen u. a. auf Filmen, Glaesern und anderen Traegern

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