DE2557273A1 - Einrichtung zur uebernahme, zum transport und zur uebergabe von scheiben, insbesondere von halbleiterscheiben - Google Patents

Einrichtung zur uebernahme, zum transport und zur uebergabe von scheiben, insbesondere von halbleiterscheiben

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DE2557273A1
DE2557273A1 DE19752557273 DE2557273A DE2557273A1 DE 2557273 A1 DE2557273 A1 DE 2557273A1 DE 19752557273 DE19752557273 DE 19752557273 DE 2557273 A DE2557273 A DE 2557273A DE 2557273 A1 DE2557273 A1 DE 2557273A1
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DE
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DE19752557273
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English (en)
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Kurt Koch
Eberhard Sauer
Paul Dipl Ing Sauerbrei
Kuno Schwarz
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Elektromat VEB
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Elektromat VEB
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers

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EP0134621A1 (en) * 1983-05-20 1985-03-20 Proconics International Inc. Apparatus for the automatic, precise transport of objects, e.g. semiconductor wafers

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DD120400A1 (https=) 1976-06-12
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CS181534B1 (en) 1978-03-31

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