DE2542047C2 - Vorrichtung zum Handhaben von Plättchen, insbesondere Masken für die Fertigung von Halbleiterbauelementen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs I.

Solche Vorrichtungen sind bereits bekannt (vgl. US-PS 36 45 581,US*PS37 18371).

Der Erfindung liegt die Aufgäbe zugrunde, derartige Vorrichtungen mil dem Ziel zu Verbessern, daß die einzelnen plätfcheriförmigen Werkstücke bei ihrer Erfassung mittels des Sauggreifers Und ihrer Überlei·' tung auf die Bearbeitungsstelle jeweils selbsttätig präzise ausgerichlel werden und ihre Ausrichtung Während der Bearbeitung beibehalten.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.

Möglichkeiten zur vorteilhaften weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 4 angegeben.

Durch die Erfindung gelingt es, auch bei sehr rascher Aufeinanderfolge zahlreicher zu bearbeitender Plättchen diese störungsfrei in einer genau vorgeschriebenen Ausrichtung an die Bearbeitungsstelle zu leiten ^nd sie

ίο nach erfolgter Bearbeitung weiterzuleiten.

Im folgenden ist ein Ausführungsbeispie' der Erfindung anhand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine Draufsicht auf eine als Ausführungsbeispiel dargestellte Vorrichtung zum Handhaben von sogen. »Masken« in Form kleiner eckiger Plättchen,

F i g. 2 einen Aufrißquerschnitt durch einen Teil der Vorrichtung in einer Ebene entlang der Linie 2-2 von Fig. 1,

F, g. 3 eine Draufsicht einer drehbaren Saugscheibe mit inner darauf befindlichen, nicht genau ausgerichteten Maske, ohne nähere Einzelheiten der Vorrichtung und
Fig.4 ein senkrechter Querschnitt in einer Ebene entlang der Linie 4-4 von F i g. 1 mit Darstellung einer in richtiger Lage auf der Saugscheibe befindlichen Maske.

Bei der als Beispic« in der Zeichnung dargestellten

Ausführungsform der Vorrichtung nach der Erfindung werden quadratische Maskenplatten automatisch von einem schrittweise fortschaltbaren Beschickungsmagazin einer zugeordneten Strömungsmittelgleitbahn zugeführt und auf dieser in einer präzisen, vorbestimmten Lage in bezug auf einen Sauggreifer ausgerichtet. Bei Überleitung der Platte mittels des Sauggreifers wird die Ausrichtung der Platte nicht verändert, und die Platte wird mittels des Arms auf eine drehbar gelagerte Saugscheibe in der Bearbeitungsstation gelegt in welcher eine bestimmte Bearbeitung an der Platte ausgeführt wird. Nach Beendigung des Bearbeitungs-

■to Vorgangs wird die bearbeitete Maske mittels eines zweiten Sauggreifers zu einer zweiten Strömungsmittelgleitbahn übergeführt und von dieser einem zugeordneten, schrittweise fortschaltbaren Abgabemagazin zugeführt. Sämtliche Handhabungs- und Bearbeitungsschritte erfolgen vollautomatisch und bedienungsfrei, wobei lediglich das Beschtckungs- und das Abgabemagazin nach Entleerung bzw. Befullung ausgetauscht werden müssen.

Die Behandlungsvorrichtung 1 besteht grundsätzlich

w aus drei Teilen oder Stationen, nämlich einer Beschikkungsstation 2, einer Bearbeitungsstation 3. und einer Abgabestation 4. Gegenstände, hier Maskenplatten M. werden nacheinander von der Beschickungsstation 2 über die Bearbeitungsstation 3 der Abgabestation 4 zugeführt.

Die Vorrichtung macht Eingriffe einer Bedienungsperson nur insoweit erforderlich, um zu gewährleisten, daß sich eine zur Bearbeitung ausreichende Menge an Masken in der Beschickungsstation 2 befindet und die bearbeiteten Masken in regelmäßigen Zeitabständen aus der Abgabestation 4 entnommen werden.

Die Beschickungsstalion 2 weist eine Maskenzuführ' vorrichtung 6 auf, durch die einzelne Masken M nacheinander einer Slrömungsmittelgleitbahn 7 züge*

führt Werden- Die Zuführvorrichtung 6 enthält das Beschidkungsmagäzin SA, das iifi an sich bekannter Weise schrittweise nach unten fortgeschaltet wird, wobei die jeweils im Magazin befindliche unterste

Maske entnommen und nach Bedarf während des Handhabungsvorgangs auf die Strömungsmittelgleitbahn abgelegt wird Das Beschickungsmagazin 84 weist mehrere, auf entgegengesetzten Seiten in gegenseitigen senkrechten Abständen angeordnete Schlitze auf, in welche gegenüberliegende Ränder der hintereinander gestapelten Masken eingreifen. Jedes, mit mehreren Masken, wie z. B. 25 Masken, geladene Beschickungsmagazin wird VGP einer Bedienungsperson von Hand in die Vorrichtung eingesetzt Bei der schrittweisen Fortschaltung des Beschickungsmagazins 84 nach unten werden die Masken nacheinander abgegeben und in an sich bekannter Weise auf die Strömungsmittelgleitbahn 7 abgelegt.

Die Strömungsmittelgleitbahn weist zwei zusammenwirkende Gleitbahnabschnitte 8 und 9 auf, wobei eine Verlängerung 11 des Abschnitts 9 den Abschnitt 8 untergreift. Zwischen die beiden Gleitbahnabschnitte 8, 9 ist ein biegsamer streifenförmiger Strahldüseneinsatz 12 mit gerichteten Strömungsmittelkanälen eingesetzt. Das Gleitinedium, z. B. Druckluft, wird von einer (nicht dargestellten) Druckluftquelle über eine Samn^lkammer 13 den auf einer oder auf beiden Seiten des Einsatzes 12 ausgebildeten Strömungsmittelkanälen zugeführt Das aus der Sammelkammer 13 austretende Strömungsmittel bildet an der oberen Oberfläche 14 der Gleitbahn über deren ganze Länge ein die Maske M tragendes Strömungsmittel- oder Luftpolster.

Wenngleich die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Strömungsmittelgleitbahn 7 nur einen einzigen Strahldüseneinsatz 12 aufweist lassen sich in Abhängigkeit von Größe und Gewicht der zu transportierenden Masken selbstverständlich auch zwei oder mehrere in Gleitbahnlängsrichtung parallel zueinander verlaufende Strahldüseneinsätze vorsehen.

Wenn das Beschickungsmagazin 84 vermittels einer (nicht dargestellten) zugeordneten Schaltvorrichtung nach unten fortgeschaltet wird, gelangt die unterste, im Magazin befindliche Maske M in eine Überlagerungsstellung in be; ig auf das außen liegende Ende 16 der Strömungsmittelgleitbahn 7. Bei Zufuhr von Strömungsmittel durch die Stromungsmittelkanäle in der Gleitbahn wird die unterste Maske aus dem Träpermagazin entnommen und entsprechend der Pfeilrichtung im linken Teil von Fig. 1 zum inneren Ende 17 der 4i Strömungsmi'.telgleitbahn fortbewegt.

Dem Beschickungsmagazin 8A und der Strömungsmittelgleitbahn 7 ist ein Fühler zugeordnet durch den die Zufuhr der nächstfolgenden Maske von dem Magazin durch die Gleitbahn angezeigt und das to Magazin dm einen weiteren Schritt nach unten fortgeschalte! wird, um eine weitere Maske in Überlagerungsstellung über das außen liegende Ende 16 der Gleitbahn zu bringen, so daß diese Maske als nächste durch das aus der Gleitbahn austretende Strömungsmittel aus dem Magazin entnommen werden kann.

Das Zuführen der Masken erfolgt nacheinander so lange, bis das Magazin SA völlig geleert ist. Dann überträgt der Fühler ein entsprechendes Signal, mit dem angezeigt wird, daß anstelle des geleerten Beschib küngsmagazins 84 ein neues, gefülltes Magazin eingesetzt Werden kann,

tn der Abgabestation 4 der Vorrichtung befindet sich ein in gleicher Weise ausgebildetes Abgabemägazin 21, das die in der Bearbeitungsstation 3 bearbeiteten Masken nacheinander aufnhnmt Das Abgabemagazin 21 weist den gleichen Aufbau wie das Beschickungsmagazin SA von F i g. 1 aul, wird jedoch mittels einer (nicht dargestellten) Schaltvorrichtung in entgegengesetzter Richtung schrittweise fortgeschaltet, d, h. nach Einführen jeder Maske jeweils um einen Schritt nach oben verlagert Das Abgabemagazin 21 weist somit gegenüber der zugeordneten Strömungsmittelgleitbahn 22 jeweils einen leeren Schlitz auf, in den die Masken nacheinander eingeführt werden können. Mittels eines entsprechenden Fühlers wird das Abgabemagazin schrittweise fortgeschaltet

Eine der Strömungsmittelgleitbahn 7 entsprechende, dem Abgabemagazin 21 zugeordnete Strömungsmittelgleitbahn 22 führt die Masken dem nach oben fortschaltbaren Abgabemagazin 21 zu. Diese Masken werden nacheinander auf das innere Ende 23 der Strömungsmittelgleitbahn 22 mittels eines Sauggreifers abgelegt und vermittels der Gleitbahn zum außen liegenden Ende 24 fortbewegt das sich unterhalb des Abgabemagazins 21 befindet und in dieses hinein vorsteht. Dem Abgabemagazin 21 is ein (hier nicht dargestellter) Fühler zugeordnet der dss Einsetzen einer Maske in das Abgabemagazin feststellt und der Schaltvorrichtung ein Steuersignal zuführt aufgrund dessen diese das Magazin einen Schritt anhebt, so daJ es sich in Bereitschaft zur Aufnahme einer nächstfolgenden Maske in einem leeren Magazinschlitz befindet

Zur Verhinderung seitlicher Verlagerungen einer sich entweder entlang der beschickungsseitigen oder der abgabeseitigen Strömungsmittelgleitbahn 7 bzw. 22 fortbewegenden Maske weist jede Gleitbahn eine in Gleitbahnlängsrichtung verlaufende Führungsschulter 26 bzw. 27 auf.

Wie bereits aufgeführt, besteht ein wichtiges Merkmal der Erfindung darin, daß die von dem Beschickungsmagazin SA zugeführten Masken einer vorbestimmten und genau ausgerichteten Lage zugeführt werden, von welcher aus sie zu der Bearbeilungsstation frei übergeleitet werden können. Zu diesem Zweck weist die Vorrichtung einen Anschlag auf, an dem die vom Beschickungsmagazin SA nacheinander zugef ihnen Masken in einer präzisen Lage ausgerichtet werden.

Der Anschlag ist bei der hier dargestellten Ausführungsform allgemein mit 31 bezeichnet und besieht aus einer allgemein L-förmigen Anschlagschuiter an einem ersten Sauggreifer 32. der zwischen Beschickungsstation 2 und Bearbeitungsstation 3 hin und her verschwenkbar gelagert ist. Die Anschlagschulter 31 besteht aus zwei integral miteinander verbundenen, an der oberen Oberfläche des Sauggreifers 32 befestigten Schulterabschnitten. Die Anschlagschuiter kann entweder, wie in F i g. 2 dargestellt, integral am Sauggreifer 32 ausgebildet oder ggf. als getrennter Teil ausgebildet sein, der durch Schrauben oder andere (nicht dargestellte) Befestigungsmittel an dem Arm gehalten ist

Die Anschlagschuiter 31 weist einen in Längsrichtung der Strömungsmittelgleitbahn 7 parallel zur gegenüberliegenden Führungsschulter 26 verlaufenden Längsabschnitt 33 und einen .m Fortbewegungsweg jeder vom Beschickungsmagazin 84 zugeführten Maske befindlichen Querabschnitt 34 auf, Der Querabschnitt 34 schließt mit dem Längsabschnitt 33 einfm reichten Winkel ein und verhindert die Verlagerung jeder Maske über die in Fig. 1 dargestellte Läge hinaus nach rechts.

Der Sauggreifer 32 iS,· mittels einer (nicht dargestellten) Vorrichtung um eine senkrechte Achse 36 eines Tragarms verschwenkbar, welche ihn genau in die beiden in Fig. 1 dargestellten Lagen bringt Wenn sich

der Sauggreifer 32 in der in ausgezogenen Linien dargestellten Lage befindet, nimmt die Anschlagschulter 31 die genaue Ausfichtlage zur präzisen Aufnahme einer in der vorbestimmten Ausrichtung befindlichen Maske ein.

Um zu gewährleisten, daß zwei rechtwinklig zueinander stehende Ränder an den einen fechten Winkel miteinander einschließenden Abschnitten 33 und 34 def Anschlagschulter 31 entsprechend der Darstellung in Fig. 1 anliegen, sind zur seitlichen Beaufschlagung aufeinanderfolgender Masken entlang der Strömungsmittelgleitbahn 7 dienende Mittel vorgesehen, welche wirksam sind, während die Maske entlang der Gleitbahn auf dem von dieser ausgehenden Luftpolster getragen und fortbewegt wird. Diese Mittel bestehen bei der hier dargestellten Ausführungsform aus einem seitlichen Luftstrahl 41, der von einem seitlichen Luftkanal 42 abgegeben wird, welcher durch die Führungsschulter 26 hindurch verläuft. Der Luftkanal 42 wird beispielsweise vermittels eines Druckluftspeiseschlauches 43 mit Druckluft gespeist Beim nacheinander erfolgenden Abziehen der Masken M vom Beschickungsmagazin 8/4 Vermittels der Strömungsmittelgleitbahn 7 und Fortbewegen der Masken entlang der Gleitbahn trifft der seitliche Luftstrahl 41 auf einen Rand der Maske und beaufschlagt die Maske zur randseitigen Anlage gegen die beiden Abschnitte 33 und 34 der Anschlagschulter 31. Da jede Maske von dem von der Strömungsmittelgleitbahn ausgehenden Luftpolster getragen wird, läßt sich die Maske vermittels des seitlichen Luftstrahls 41 leicht in die vorgenannte, präzise Ausrichtung bringen.

Sobald sich die Maske in der in F i g. 1 dargestellten Lage befindet, wird über einen sich quer über das Ende des Sauggreifers 32 erstreckenden Saugschlitz 46 eine Saugwirkung ausgeübt. Der Saugschlitz 46 ist über einen in Längsrichtung des Sauggreifers 32 verlaufenden Kanal 47 in an sich bekannter Weise mit einer Vakuum- oder Unterdruckquelle verbunden.

Das aus der Strömungsmittelgleitbahn 7 und der seitlichen Öffnung 41 austretende Strömungsmittel besteht vorzugsweise aus Luft. Die Unterdruck- oder

intermittierend und nach Ablauf eines vorbestimmten Zeitintervalls nach dem vom Fühler angezeigten Entnehmen einer Maske vom Beschickungsmagazin ausgeübt. Somit werden die aufeinanderfolgenden Masken M nacheinander einzeln gegen die Anschlagschulter 31 fortbewegt und lassen sich dann durch den Sauggreifer 32 ergreifen.

Sobald auf eine in der in F ι g. 1 dargestellten Lage befindliche Maske ein Unterdruck ausgeübt worden ist, wird der Sauggreifer mittels seiner (nicht dargestellten) Schwenkvorrichtung um 90° verschwenkt und bringt dabei die durch Unterdruck angesaugte Maske in eine vorbestimmte Lage in der Bearbeittingsstation. Diese Lage ist in F i g. 1 in gestrichelten Linien angedeutet. Nach Ablegen der Maske in der Bearbeitungsstation verschwenkt der Sauggreifer 32 in die in F i g. I in ausgezogenen Linien dargestellte Lage zurück, wobei gleichzeitig die nächstfolgende Maske vom Beschikkungsmagazin herausgenommen wird, sobald der Fühler anzeigt, daß sich an der Anschlagschulter 31 keine Maske mehr befindet-

Bei der hier dargestellten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird in der Bearbeitungsstation ein Bearbeitungsvorgang an jeder Maske ausgeführt. Dieser Bearbeitungsvorgang besteht beispielsweise im Aufbringen einer Phoforesistschicht auf die obere Oberfläche der in genau vorgegebener Lage in die Bearbeitungsstation abgelegten Maske, Die Beafbeilungsslation 3 umfaßt einen Vorratsbehälter al für Photoresist, def über eine Speiseleitung 52 mil einer über def Mitte def Maske liegenden Stelle verbunden ist. Über die Speiseleitung 52 wird eine vofbestimmte Menge von Photoresist oder einer anderen Flüssigkeil in auf dem Gebiet der Halbleiterherstellung bekannter Weise auf die obere Maskenoberfläche abgegeben.

Wenn die Maske schnell umläuft, wird das Photoresistmaterial gleichförmig auf der oberen Maskenoberfläche verteilt. Zu diesem Zweck weist die Bearbeitungsstalion eine allgemein mit 56 bezeichnete, drehbar gelagerte Scheibe auf, und die Maske M wird vermittels

Ϊ5 des Sauggreifer 32 in ganz genaue Ausrichtung auf der oberen Oberfläche der Saugscheibe abgelegt. Die Saugscheibe umfaßt entsprechend Fig.4 außerdem eine von ihrer planaren Oberfläche 58 nach unten vorstehende Tragwelle 57, die in einem Lager 59 geführt und vermittels eines (nicht dargestellten) Drehantriebs in an sich bekannter Weise mit hoher Drehzahl äntreibbarist.

Die Tragwelle 57 ist hohl und weist eine Bohrung 61 auf, durch welche ein Unterdruck an der oberen, planaren Oberfläche 58 der Saugscheibe ausgeübt werden kann. Die Bohrung 61 steht über mehrere Saugkanäle 62 an der Oberfläche 58 der Saugscheibe in Verbindung, so daß die Saugwirkung an der Unterseiti; jeder vermittels des Sauggreifers 32 auf der Saugschei·

jo be abgelegten Maske Mangelegt werden kann.

Die Unterdruckquelle für die Saugscheibe und den Sauggreifer ist synchronisiert, so daß das Anlegen eines Unterdrucks an die Saugscheibe und damit an die Unterseite jeder Maskenplatte genau in dem Zeitpunki:

j5 erfolgt, in welchem das an den Sauggreifer 32 angelegte Vakuum abgestellt wird. Die Synchronisierung der Saugwirkungsumschaltung erfolgt vermittels einer bekannten Ventilsteuerung.

Zur Vervollständigung des Überleitvorgangs wird die Saugscheibe in senkrechter Richtung verstellt, damit die von dem Sauggreifer gehaltene Maske an Halterunger

liegenden Enden 66 und 67 der Saugscheibe ausgebildei sind. Zu diesem Zweck kann die Saugscheibe unter schiedlich gestaltet sein. Bei der hier dargestellten Ausführungsform ist der Umfang der Saugscheibe rechteckig. Die Halterung besteht aus zwei erhabenen Schulterabschnitten 68 und 69 an sich gegenüberliegenden Enden der Saugscheibe. Jeder Schulterabschnitt weist (wie am besten aus Fig.3 ersichtlich) eine rechtwinklige Ausnehmung auf, welche zur Aufnanme einer Ecke einer Maske dient. Zwischen gegenüberliegenden Maskenecken und den Innenflächen der Halterungsschulterabschnitte ist, wie aus F i g. 1 ersichtlieh, ein kleiner Toleranzzwischenraum belassen, wenn eine Maske richtig auf der Saugscheibe 56 ausgerichtet ist.

Die Halterung dient zwei Zwecken: Die Schulterabschnitte verhindern, daß sich eine Maske bei schnellem

ω Umlauf der Saugscheibe seitlich verschieben oder von der Saugscheibe abgeschleudert werden kann, wenn der Unterdruck nicht zur Lagersicherung der Maske ausreichen sollte. Außerdem gewährleisten die Schulterabschnitte die einwandfreie Ausrichtung der Maske auf der Saugscheibe und verhindern ein Umlaufen der Saugscheibe bei fehlerhafter Ausrichtung.

Wenn etwa der Sauggreifer 32 die gegenüberliegenden Ecken einer Maske nicht genau zwischen die

Halterungen einsetzen sollte, so daß dementsprechend die Unterseite der Maske nicht zur Anlage gegen die obere, planare Oberfläche 58 der Saugscheibe 56 gelangen kann, wird eine solche Fehlausrichtung der Maske mittels eines (nicht dargestellten) Fühlers ermittelt, welcher ein Umlaufen der Saugscheibe und die Abgabe v«n Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 51 auf die obere Maskeriobcffläche verhindert. Der Fühler übermittelt außerdem ein optisches oder akustisches Signal, welches der Bedienungsperson anzeigt, ilaß eine Maske nicht einwandfrei ausgerichtet ist und ggf. eine Prüfung oder Korrektur von Hand erfolgen muß.

Sobald sich eine Maske in einwändfreier Lage in Auflage gegen die obere Oberflüche der Saugscheibe befindet, wobei gegenüberliegenden Maskenecken entsprechend den Fig. 1 und 4 zwischen den gegenüberliegenden Halterungen gehalten sind, erfolgt automatisch der Drehantrieb der Saugscheibe. Um zu verhindern, daß Photoresistmaterial infolge Zentrifugalkräften in der Bearbeitungsstation 3 austritt, wird zusammen mit dem Anheben der Saugscheibe 56 eine riapfförmigc Wanne 86 angehoben, welche überschüssiges Material auffängt.

Nach erfolgter Bearbeitung einer Maske in der Bearbeitungsstation wird die Saugscheibe genau in der in Fig. I dargestellten Lage zum Stillstand gebracht. Ein zweiter Sauggreifer 71 wird dann vermittels eines entsprechenden Antriebs in die in Fig. I in gestrichelten Linien angedeutete Schwenkstellung gebracht, nimmt die bearbeitete Maske auf unöl überführt diese durch Verschwenken um die Drehachse 42 der dargestellten Tragwelle in die in F i g. 1 in ausgezogenen Linien dargestellte Lage. Der Sauggreifer 71 ist in gleicher Weise wie der Sauggreifer 32: ausgebildet, mit der Ausnahme, daß er nicht die L-förmige Anschlagschulter 31 von Fig. I aufweist. Statt dessen weist der Sauggreifer 71 eine gerade Anschlagschulter 73 auf, die integral mit dem Arm ausgebildet oder an diesem befestigt ist, und gegen welche ein Rand einer Maske während des Überleitvöfgangs anliegt. Der Sauggreifer 71 ist mit einem Saugschlitz 74 versehen, welche über eine Sauglcitung 76 tiiit einer entsprechenden Unter* druckquelle verbunden ist.

Sobald die Saugscheibe 56 zum Stillstand gelangt ist, wird die Wanne 86 abgesenkt, der Sauggreifer 71 in die in Fig. i in gestrichelten Linien dargestellte Lage

ι» verschwenkt, die Saugscheibe 56 ebenfalls abgesenkt, der Unterdruck an der Saugscheibe aufgehoben und gleichzeitig über den Saugschlitz 71 im Sauggreifer 71 angelegt und dadurch eine Maske beschädigungsfrei von der Saugscheibe zum Sauggreifer 71 übergeben.

i) Nach Verschwenken des Sauggreifers 71 um 90" überlagert die bearbeitete Maske die abgabeseitige Strömungsmittelgleitbahn 22. In dieser Lage wird der Unterdruck aiii Sauggreifer 71 abgestellt, und der Gleitbahn 22 Gleitlagerluft zugeführt, wodurch die Maske entsprechend Fig. I nach rechts in einen freien Schlitz des Abgabemagazins 21 eingeführt wird.

Die Strömungsmittel- und Unterdrücke für die Lagerung einer Maske bzw. das Festhalten derselben an einem sich bewegenden Sauggreifer während Übergabe

r> zwischen den Stationen sind jeweils von Größe und Gewicht der Masken abhängig, weswegen hier keine speziellen Werte angegeben sind. Die entsprechende Bemessung liegt im Können des Durchschnittsfachmanns.

ίο In Fig. I ist weiterhin der genaue Verlauf der Fortbewegung einer Maske durch die Vorrichtung anhand der Ecke 81 einer Maske veranschaulicht, welche sich zunächst in der Beschickungsstation 2, dann in der Bearbeilungsstation 3 und schließlich in der

r> Abgabestation 4 befindet. Der bogenförmige Fortbewegungsweg dieser Ecke 81 ist durch die gestrichelten Linien 82 und 83 in F i g. I dargestellt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

t30 239/23*

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Handhaben leichter kleiner zerbrechlicher eckiger Plättchen, insbesondere »Masken« für die Fertigung von Halbleiterbauelementen, die einzeln von einem Beschickungsmagazin aus über eine Strömungsmittelgleitbahn und mittels an ihnen angreifenden Sauggreifers einer Bearbeitungsstelle zugeführt und von da aus, wiederum durch einen Sauggreifer und über eine Strömungsmittelgleitbahn, einem Abgabemagazin zugeführt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Sauggreifer als schwenkbare Arme (32, 71) mit je einer Anschlagschulter (31,73) für die zu handhabenden Plättchen (M) ausgebildet und zwischen einer im Zuge der Strömungsmittelgleitbahn (7; 12) befindlichen Lage und einer mit der außerhalb dieser gelegenen Bearbeitungsstelle (3) übereinstimmenden Lage schwenkbar sind, daß mindestens einem der Sauggreifer (32) eine Vorrichtung zum seitlichen Andrücken {42, 43) des jeweils zu handhabenden Plättchens gegen die entsprechende Anschlagschulter (31) zugeordnet ist, und daß die Bearbeitungsstelle (3) mit Halterungen (68, 69) zur Beibehaltung der durch die das Plättchen übernehmende Anschlagschulter (31) geschaffenen Ausrichtung des Plättchens während der Bearbeitung versehen ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungen (68, 69) aus auf einer Saugscheibe (56) sich paarweise gegenüberliegenden Halteschultern (68,69) bestehen, die jeweils eine Winkelausnehiiiung bilden, in die sich gegenüberliegende Ecken eines in a jsgeric' ieter Lage auf der Saugscheibe liegenden Plä'tchens eingreifen.

3. Vorrichtung nach Anspruch ' dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlagschulter (31) des dem Beschickungsmagazin zugeordneten Sauggreifers (32) zwei rechtwinklig zueinander angeordnete Abschnitte (33,34) aufweist, von denen der eine (33) parallel zur Richtung der beschickungsseitigen Strömungsmittelgleitbahn (7) verläuft und der andere (34) im Weg eines sich auf der Strömungsmittelgleitbahn fortbewegenden Plättchens angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Vorrichtung zum seitlichen Andrücken des zu handhabenden Plättchens gegen die Anschlagschulter (31) eine Strömungsmitteldüse (42) so angeordnet ist, daß das von der Strömungsmittelgleitbahn getragene Plättchen durch den aus dieser Düse kommenden Strömungsmittelstrahl gegen die Kontur Ger Anschlagschulter (31) am Sauggreifer gedrückt wird.