DE2533661A1 - Verfahren und vorrichtung zum ausrichten scheibenfoermiger objekte - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum ausrichten scheibenfoermiger objekte

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DE2533661A1
DE2533661A1 DE19752533661 DE2533661A DE2533661A1 DE 2533661 A1 DE2533661 A1 DE 2533661A1 DE 19752533661 DE19752533661 DE 19752533661 DE 2533661 A DE2533661 A DE 2533661A DE 2533661 A1 DE2533661 A1 DE 2533661A1
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Germany
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roller
disk
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DE19752533661
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Hans-Ulrich Herzog
Kurt Koch
Siegfried Dipl Ing Leuschke
Paul Dipl Ing Sauerbrei
Peter Siegel
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108033239A (zh) * 2018-01-11 2018-05-15 浙江大学 一种用于圆柱形零件传送的排列装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108033239A (zh) * 2018-01-11 2018-05-15 浙江大学 一种用于圆柱形零件传送的排列装置

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FR2282669B3 (https=) 1978-04-07
CS215874B1 (en) 1982-09-15
FR2282669A1 (fr) 1976-03-19

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