CS215874B1 - Apparatus for positioning semiconductor discs - Google Patents

Description

Vynález se týká zařízení pro polohování polovodičových kotoučů s tětivou na jejich obvodu ve · směru souřadnice ^f, . sešívající z · oíčivehLo ' sílu ^pro' · objeto к ukídání a ot^áčení polovodičového kotouče, jemuž je za účelem snímání obvodu'polovodičového kotouče a orientační polohy tětivy přiřazeno kluzné posouvací ústrojí se dvěma fotoprvky, uspořádanými v určité vzdálenooti, jako prostředky pro přerušování otočného pohybu. Zařízení se užívá zejména u polohovácích a osvětlovacích ústrojí.

V. současné době je znám automatický systém pro přivádění a předběžnou orientaci, u něhož se polovodičový kotouč dostává prostřednictvím vzduchové dopravní dráhy do rotujícího kulatého vzduchového ložiska. Na okraji tohoto vzduchového ložiska jsou uspořádány dvě optické^- snímací hlavy tak, že úhel, který mezi sebou svíra/jí, činí 30°. Jakmile projde zářez nebo segmentový úsek polovodičového kotouče okolo prvního optického snímače, je konstantní otáčivý pohyb nahrazen pohybem vibračním. Tímto způsobem se ' polovodičový kotouč otáčí po krocích dále, dokud · není uveden v činnost druhý snimač a tím zcela zastaven otáčivý pohyb. Na tomto rístě je polovodičový ' kotouč hrubě předběžně . orientován ve směru souřadnice a může být pod mikroskopem ručně ns-staven na požadované jemné vyřízení.

Vibračním vyřizováním polovodičového kotouče po krocích na vzduchovém ložisku je dosaženo pouze hrubé přesnosti předběžné orientace, nedostatečná pro následné jemné vyřízení. Kromě toho vykazuje princip vzduchového ložiska tu .nevýhodu, že jeho funkce závisí směrodatně na velikosti pohybového kotouče, takže při různých průměrech kotoučů je též zapotřebí přestavby celé vzduchové dopravní dráhy a vzduchového ložiska. Tento funkční princip vykazuje kromě toho též relativně značnou citlivost proti nerovnoměrnostem na obvodu kotoučte.

Dále je ji_ž známo, ručně pokládat polovodičové kotouče, opatřené segmentovým úsekem, na ^tř^bbodsvsu podloží tak a^{by by}ly jak vystřelovány ^ta^{k i} vyhov-my ve směru souřadnice ^f . T^oom jsou totouče zac^hycov^ln^y ^nseiou ne^bo ^přísavkou a zav^^ny do ^dik^dací^ho ústrojí. Na základě s tím spojeného dotyku povrchu polovodičového kotouče nelze zcela zabránit poškozen:! naneebného fotolaku, resp. .již existujících struktur konstrukčních prvků.

Účelem vynálezu je proto provádět vyřizování polovodičových kotoučů tak přesně, aby bylo bez zásahu obsluhující osoby a bez dotyku novrchu kotouče možné přiřazení polovodičového kotouče ^tomasce v záchj'tné obbasbi speciálního mikroskopu nebo světelně elektrického automatického zařízení pro jemné polohování.

Úkolem vynálezu je navrhnout zařízení pro polohování polovodičových kotoučů, odebíraným v libovo].^ poloze ze záso^ntou, ve směru souřadnice ^γ , toeré b^y zarufovalo reprodukovatelné vyřízení kotouče, ve značné · míře neovlivněné nepravidelnostmi na · obvodu kotouče a universálně pouuitelné pro různé průměry kotoučů.

Podle vynálezu je tento úkol vyřešen v podstatě tím, že jako kluzné posouvací ústrojí jsou uspořádány vodicí saně radiálně posuvné · vzhledem ke · stolu pro objekt, na jejichž čelní straně· jsou souměrně uspořádány dva sensory a uprostřed volné kolečko pro odvalování po obvodu polovodičového kotouče · uváděného do· otáčivého pohybu.se stolem pro .o^lekt· •Zařízení podle vynálezu u^c^o^ž^i^/ie rychlé a přesné vyřizování polovodičových kotoučů. Zbaštní výhoda zařízey-J podle vynálezu spočívá v tom, že kotouče mohou být strojně odebí rány ze zásobníku . a vyřizovány, aniž by došlo k dotyku s jejich povrchem. Vyřizování se provádí s tak vysokou přesností, že je možné bezprostředně nappjit světelně elektrické automatické zařízení pro jemné polohování. Při zvolení přiměřené velikosti vzájemné vzdálenost snímačů není výsledek vyřízení ovlivňován ani většími nepravidelnostmi na obvodu kotouče. Radiální·pohyblivost koleda vz^hledem ke kotouči umožňuje.vyřizoróní kotouc^ů'různéh· průměr* - bez jakékoliv přestavby.

Vynález je v následujícím textu ' blíže vysvětlen na příkladu, provedení zařízení.'Na ^přiloženém výkresu znázormje ob]?, la, l^b, 1c zařízení - ^dle. v^ynálezu při r^ůznýc^{h úh}lech natočení kotouče reep. fázích vyřizování, obr. 2 bokorys zařízení podle. obr. 1.

Na . obr. la, lb, 1c jsou jako kluzné posouvací ústrojí znázorněny vodicí saně 1, radiálně posuvné vzhledem k otočnému stolu 8 ^; pro objekt' s upnutým polovodičovým kotoučem 2,. Vodící saně i jsou opatřeny ve svém středu . na čelní straně přivrácené k polovodičovému kotouči 2 volným kolečkem 2» které se odvaluje po obvodu polovodičového kotouče 2, jenž může být uveden do otočného pohybu spolu . se stolem 8 ' pro objekt. Po obou stranách dotykového bodu P volného kolečka 3 na obvodu polovodičového kotouče 2. jsou se vzájemným odstupem uspořádány dva sensary 4a. 4b. ^a to.těsně u okraje celní strany vodicích saní Л Na obor..la, lb, lc je znázorněno odvalování volného kolečka . 2 P° zakřivené . části obvodu polovodičového kotouče 2·.Vzájemná vzdálenost sensorů 4a a 4b a jejích vzdálenost od bodu odvalování, jakož i jejich radiální přestavení. ve.směru ke středu polovodičového kotouče ’ 2 byly zvoleny tak, aby . se senzory 4a a 4b ' nacházely mimo polovodičový kotouč 2.. Při odvalování kolečka 2 P° tětivě S polovodičového kotouče 2 se . pak nejprve . sensor 4b vnoří do plochy polovodičového kotouče 2, jak je patrno z obr. lb,.. a . signalizuje.tuto skutečnost neznázorněné řídicí jednotce hnacího ústrojí 7. Sensor 4a se .i .nadále nachází mimo obvod polovodičového kotouče 2. Při dalším sdvalsvání volného kolečka 2 Р° tětivě S ' se.pak tětiva S dostává do polohy, v .níž i sensor 4a se vnoří do plochy polovodičového kotouče 2 a.odevz^dá příslušný si-gnál. Tato ^polo^ha je patrná z obr. . lc. Řídicí je^o^a. po přijetí ijoho^ druhého signálu zastaví hnací ústrojí 2 stolu 8 pro.objekt a fixuje - je pomocí neznášbrněné spojky, čímž došlo k vyřízení polovodičového kotouče 2· Aby bylo možno zaručit co nejpřesnňjší zastavení polovodičového kotouče .2..a zabránit možnému doběhu stolu 8pro sbjekt· lze ji-ž při signalizaci. prvního sensoru 4b. . zmennit rychlost otáčení hnacího . ústrojí 7.

Obr. 2 znázorňuje bokorys zařízení podle vynálezu. Sensory 4a a jsou zde znázorněny jako světelné. závory . se zdroji 2. světla a fstsietektsrb 6. Vnoření sensorů do plochy polovodičového kotouče 2. zde znamená přerušení. světelného.paprsku polovodičovým kotoučem 2. Jako sensory 4a a 4b mohou být ovšem použity i mmchanické snímače nebo jiná vhodná elektrická nebo elektromechanická zařízení.

Claims (1)

1. Zařízení pro polohování polovodičových kotoučů s tětivou na jejich obvodu vé směru souřadnice . , sestávající z otáčivého stolu pro ·.objekt k ukládání a otáčení polovodičového kotouče,.jemuž je za účelem. snímání obvodu polovodičového . kotouče a orientační polohy tětivy přiřazeno kluzné posouvaci ústrojí.se dvěma ' fstsprvkb·.uspořádanými v určité vzdálenosti, jako prostředky pro přerušování otočného pohybu, vyznačené tím, že jako kluzné posouvací ústrojí jsou uspořádány vodicí saně (1) radiálně posuvně vzhledem ke stolu (8) pro objekt, na jejichž čelní straně jsou souměrně uspořádány dva sensory (4a, 4b), jakož i uprostřed volné kolečko (3.) pro odvalování po obvodu polovodičového kotouče (2), uváděného do otáčivého pohybu se atolem (8) pro objekt.