CS215874B1

CS215874B1 - Apparatus for positioning semiconductor discs

Info

Publication number: CS215874B1
Application number: CS575875A
Authority: CS
Inventors: Kurt Koch; Paul Sauerbrei; Siegfried Leuschke; Hans-Ulrich Herzog
Original assignee: Kurt Koch; Paul Sauerbrei; Siegfried Leuschke; Herzog Hans Ulrich
Priority date: 1974-08-23
Filing date: 1975-08-22
Publication date: 1982-09-15
Also published as: FR2282669A1; GB1510715A; DE2533661A1; FR2282669B3

Abstract

1510715 Orienting articles ELEKTROMAT VEB 21 Aug 1975 [23 Aug 1974 (2)] 34708/75 Heading B8U Apparatus for rotatably positioning a flat object 2 having a straight chord-portion S, comprises a rotatable worktable 8 on which the object 2 is located, and a slide 1 which is movable radially of the object 2 and on which a roller 3 and sensors 4a, 4b are mounted. During rotation of the object 2 while the roller 3 is in contact with its curved portion, Fig. 1a, the sensors 4a, 4b are remote from the object 2, but as the roller 3 moves on to the chordportion S the sensor 4b moves across the surface of the object 2, Fig. 1b (not shown, and generates a signal to reduce the rotational speed of the worktable 8, continued movement of the roller 3 along the chord-portions bringing the sensor 4a also to a position over the surface of the object 2, Fig. 1c (not shown), which generates a signal to cause stopping of the worktable 8. The sensors 4a, 4b each comprises a light source 5 and a photoelectric detector 6, but mechanical sensing devices may alternatively be used.

Description

Vynález se týká zařízení pro polohování polovodičových kotoučů s tětivou na jejich obvodu ve · směru souřadnice ^f, . sešívající z · oíčivehLo ' sílu ^pro' · objeto к ukídání a ot^áčení polovodičového kotouče, jemuž je za účelem snímání obvodu'polovodičového kotouče a orientační polohy tětivy přiřazeno kluzné posouvací ústrojí se dvěma fotoprvky, uspořádanými v určité vzdálenooti, jako prostředky pro přerušování otočného pohybu. Zařízení se užívá zejména u polohovácích a osvětlovacích ústrojí.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a device for positioning chord semiconductor disks on their circumference in the direction of the coordinate ^f . · sešívající of oíčivehLo 'power ^p ro' · Objeto к ukídání and ot her ^Ace semiconductor disks, which it is for the purpose of sensing obvodu'polovodičového wheel position and orientation chord assigned sliding displacement mechanism with two photocells arranged in a vzdálenooti as a means for interrupting rotary motion. The device is used in particular for positioning and lighting devices.

V. současné době je znám automatický systém pro přivádění a předběžnou orientaci, u něhož se polovodičový kotouč dostává prostřednictvím vzduchové dopravní dráhy do rotujícího kulatého vzduchového ložiska. Na okraji tohoto vzduchového ložiska jsou uspořádány dvě optické^- snímací hlavy tak, že úhel, který mezi sebou svíra/jí, činí 30°. Jakmile projde zářez nebo segmentový úsek polovodičového kotouče okolo prvního optického snímače, je konstantní otáčivý pohyb nahrazen pohybem vibračním. Tímto způsobem se ' polovodičový kotouč otáčí po krocích dále, dokud · není uveden v činnost druhý snimač a tím zcela zastaven otáčivý pohyb. Na tomto rístě je polovodičový ' kotouč hrubě předběžně . orientován ve směru souřadnice a může být pod mikroskopem ručně ns-staven na požadované jemné vyřízení.At present, an automatic feeding and pre-orientation system is known in which the semiconductor disk reaches a rotating round air bearing via an air conveying path. At the edge of the air bearing are provided two optical ^- sensor head such that the angle therebetween gripped in / her, is 30 °. As the notch or segment segment of the semiconductor disc passes the first optical sensor, the constant rotational motion is replaced by a vibration motion. In this way, the semiconductor disk rotates incrementally until the second sensor is actuated and the rotational movement is completely stopped. On this bar, the semiconductor disk is roughly preliminary. oriented in the coordinate direction and can be manually adjusted to the desired fine adjustment under the microscope.

Vibračním vyřizováním polovodičového kotouče po krocích na vzduchovém ložisku je dosaženo pouze hrubé přesnosti předběžné orientace, nedostatečná pro následné jemné vyřízení. Kromě toho vykazuje princip vzduchového ložiska tu .nevýhodu, že jeho funkce závisí směrodatně na velikosti pohybového kotouče, takže při různých průměrech kotoučů je též zapotřebí přestavby celé vzduchové dopravní dráhy a vzduchového ložiska. Tento funkční princip vykazuje kromě toho též relativně značnou citlivost proti nerovnoměrnostem na obvodu kotoučte.By the vibration adjustment of the semiconductor disc in steps on the air bearing, only the rough accuracy of the preliminary orientation is achieved, insufficient for subsequent fine adjustment. In addition, the principle of the air bearing has the disadvantage that its function is decisively dependent on the size of the motion disc, so that, at different disc diameters, the entire air conveying path and the air bearing are also to be rebuilt. In addition, this operating principle also exhibits a relatively high sensitivity to irregularities on the periphery of the disc.

Dále je ji_ž známo, ručně pokládat polovodičové kotouče, opatřené segmentovým úsekem, na ^tř^bbodsvsu podloží tak a^{by by}ly jak vystřelovány ^ta^{k i} vyhov-my ve směru souřadnice ^f . T^oom jsou totouče zac^hycov^ln^y ^nseiou ne^bo ^přísavkou a zav^^ny do ^dik^dací^ho ústrojí. Na základě s tím spojeného dotyku povrchu polovodičového kotouče nelze zcela zabránit poškozen:! naneebného fotolaku, resp. .již existujících struktur konstrukčních prvků.Furthermore ji_ž known hand lay semiconductor discs provided segmental sections on ^three bodsvsu ^b subsoil and thus ^{should be} fired as poly ^T and satisfy ^ki-we are in the direction ^f. T ^ oom are totouče zac ^hy ^l cov n ^y ^ nseiou not ^b o ^p řísavkou and close to ny ^ ^^ ^ DACI dik ^ his device. Due to the associated contact of the surface of the semiconductor disc, it is not possible to completely prevent:! of a poor photolak, respectively. existing structures of structural elements.

Účelem vynálezu je proto provádět vyřizování polovodičových kotoučů tak přesně, aby bylo bez zásahu obsluhující osoby a bez dotyku novrchu kotouče možné přiřazení polovodičového kotouče ^tomasce v záchj'tné obbasbi speciálního mikroskopu nebo světelně elektrického automatického zařízení pro jemné polohování.It is therefore an object of the present invention to perform the processing of the semiconductor disks so precisely that, without the operator's intervention and without touching the top of the disk, the semiconductor disks can be assigned to a tomb in a special microscope or light-electric automatic positioning device.

Úkolem vynálezu je navrhnout zařízení pro polohování polovodičových kotoučů, odebíraným v libovo].^ poloze ze záso^ntou, ve směru souřadnice ^γ , toeré b^y zarufovalo reprodukovatelné vyřízení kotouče, ve značné · míře neovlivněné nepravidelnostmi na · obvodu kotouče a universálně pouuitelné pro různé průměry kotoučů.The object of the invention is to propose a device for positioning a semiconductor disc, subscribed in the lean]. ^ Position of the head f ^ Nth, in the Z direction ^γ, Toer b ^y zarufovalo reproducible processing disk considerable · largely unaffected by irregularities on · periphery of the disc and universal pouuitelné various wheel diameters.

Podle vynálezu je tento úkol vyřešen v podstatě tím, že jako kluzné posouvací ústrojí jsou uspořádány vodicí saně radiálně posuvné · vzhledem ke · stolu pro objekt, na jejichž čelní straně· jsou souměrně uspořádány dva sensory a uprostřed volné kolečko pro odvalování po obvodu polovodičového kotouče · uváděného do· otáčivého pohybu.se stolem pro .o^lekt· •Zařízení podle vynálezu u^c^o^ž^i^/ie rychlé a přesné vyřizování polovodičových kotoučů. Zbaštní výhoda zařízey-J podle vynálezu spočívá v tom, že kotouče mohou být strojně odebí rány ze zásobníku . a vyřizovány, aniž by došlo k dotyku s jejich povrchem. Vyřizování se provádí s tak vysokou přesností, že je možné bezprostředně nappjit světelně elektrické automatické zařízení pro jemné polohování. Při zvolení přiměřené velikosti vzájemné vzdálenost snímačů není výsledek vyřízení ovlivňován ani většími nepravidelnostmi na obvodu kotouče. Radiální·pohyblivost koleda vz^hledem ke kotouči umožňuje.vyřizoróní kotouc^ů'různéh· průměr* - bez jakékoliv přestavby.According to the invention, this object is solved essentially by providing a slide carriage radially displaceable with respect to the object table with two sensors disposed symmetrically in the center and a free wheel for rolling around the periphery of the semiconductor disc. The device according to the invention provides a fast and accurate adjustment of the semiconductor disks. A special advantage of the device according to the invention is that the discs can be machine-wounded from the magazine. and handled without touching their surface. The adjustment is carried out with such high precision that it is possible to immediately plug in the light-electric automatic device for fine positioning. When selecting the appropriate distance between the sensors, the result of the adjustment is not affected by the larger irregularities on the periphery of the disc. Centrifugal carol mobility · ^h mod ice to reel umožňuje.vyřizoróní disks ^of 'varying diameter · * - without any conversion.

Vynález je v následujícím textu ' blíže vysvětlen na příkladu, provedení zařízení.'Na ^přiloženém výkresu znázormje ob]?, la, l^b, 1c zařízení - ^dle. v^ynálezu při r^ůznýc^{h úh}lech natočení kotouče reep. fázích vyřizování, obr. 2 bokorys zařízení podle. obr. 1.The invention is described below 'be explained with an example embodiment zařízení.'Na ^p řiloženém drawing znázormje ob] ?, a, l ^b, 1c device - by ^. ^{characterized} judgment when R ^u znýc ^{diagonals h} Lech steering wheel reep. 2 shows a side view of the apparatus according to FIG. Fig. 1.

Na . obr. la, lb, 1c jsou jako kluzné posouvací ústrojí znázorněny vodicí saně 1, radiálně posuvné vzhledem k otočnému stolu 8 ^; pro objekt' s upnutým polovodičovým kotoučem 2,. Vodící saně i jsou opatřeny ve svém středu . na čelní straně přivrácené k polovodičovému kotouči 2 volným kolečkem 2» které se odvaluje po obvodu polovodičového kotouče 2, jenž může být uveden do otočného pohybu spolu . se stolem 8 ' pro objekt. Po obou stranách dotykového bodu P volného kolečka 3 na obvodu polovodičového kotouče 2. jsou se vzájemným odstupem uspořádány dva sensary 4a. 4b. ^a to.těsně u okraje celní strany vodicích saní Л Na obor..la, lb, lc je znázorněno odvalování volného kolečka . 2 P° zakřivené . části obvodu polovodičového kotouče 2·.Vzájemná vzdálenost sensorů 4a a 4b a jejích vzdálenost od bodu odvalování, jakož i jejich radiální přestavení. ve.směru ke středu polovodičového kotouče ’ 2 byly zvoleny tak, aby . se senzory 4a a 4b ' nacházely mimo polovodičový kotouč 2.. Při odvalování kolečka 2 P° tětivě S polovodičového kotouče 2 se . pak nejprve . sensor 4b vnoří do plochy polovodičového kotouče 2, jak je patrno z obr. lb,.. a . signalizuje.tuto skutečnost neznázorněné řídicí jednotce hnacího ústrojí 7. Sensor 4a se .i .nadále nachází mimo obvod polovodičového kotouče 2. Při dalším sdvalsvání volného kolečka 2 Р° tětivě S ' se.pak tětiva S dostává do polohy, v .níž i sensor 4a se vnoří do plochy polovodičového kotouče 2 a.odevz^dá příslušný si-gnál. Tato ^polo^ha je patrná z obr. . lc. Řídicí je^o^a. po přijetí ijoho^ druhého signálu zastaví hnací ústrojí 2 stolu 8 pro.objekt a fixuje - je pomocí neznášbrněné spojky, čímž došlo k vyřízení polovodičového kotouče 2· Aby bylo možno zaručit co nejpřesnňjší zastavení polovodičového kotouče .2..a zabránit možnému doběhu stolu 8pro sbjekt· lze ji-ž při signalizaci. prvního sensoru 4b. . zmennit rychlost otáčení hnacího . ústrojí 7.On . FIGS. 1a, 1b, 1c show as a sliding shifting device a guide carriage 1 radially displaceable with respect to the rotary table 8 ^; for an object with a fixed semiconductor disk 2. The guide carriage 1 is provided in its center. on the front side facing the semiconductor disk 2 with a free wheel 2 which rolls around the periphery of the semiconductor disk 2, which can be rotated together. with table 8 'for object. On both sides of the contact point P of the free wheel 3 on the periphery of the semiconductor disk 2, two sensors 4a are spaced apart. 4b. ^and to.těsně at edges of the end sides of the guide sleds Л On obor..la, lb, lc shows the free rolling wheel. 2 P ° curved. The distance between the sensors 4a and 4b and their distance from the rolling point, as well as their radial adjustment. in the direction of the center of the semiconductor disk 2 have been selected such that:. The sensors 4a and 4b 'were located outside the semiconductor disk 2. When the wheel 2 is rolled off, the chord S of the semiconductor disk 2 is se. then first. the sensor 4b immerses in the surface of the semiconductor disk 2 as shown in FIGS. 1b, a. The sensor 4a is still outside the periphery of the semiconductor disc 2. When the free wheel 2 rises further, the chord S is moved to the position in which the sensor S is lowered. 4a is immersed in the surface of the semiconductor disk 2 and ^{gives the} corresponding signal. This ^p olo ^h is shown in Fig.. lc. The control is ^ o ^ a. Upon receipt of the second signal, the drive mechanism 2 of the table 8 stops the object and fixes it with a non-depicted clutch, thereby aligning the semiconductor disk 2. In order to guarantee the most accurate stopping of the semiconductor disk 2, sbjekt · can already be used for signaling. of the first sensor 4b. . change the rotation speed of the drive. mechanism 7.

Obr. 2 znázorňuje bokorys zařízení podle vynálezu. Sensory 4a a jsou zde znázorněny jako světelné. závory . se zdroji 2. světla a fstsietektsrb 6. Vnoření sensorů do plochy polovodičového kotouče 2. zde znamená přerušení. světelného.paprsku polovodičovým kotoučem 2. Jako sensory 4a a 4b mohou být ovšem použity i mmchanické snímače nebo jiná vhodná elektrická nebo elektromechanická zařízení.Giant. 2 shows a side view of the device according to the invention. The sensors 4a and are shown here as light. latches. with light sources and fstsietektsrb 6. Inserting the sensors into the surface of the semiconductor disk 2. here means an interruption. However, mmchanic sensors or other suitable electrical or electromechanical devices may also be used as sensors 4a and 4b.

Claims

Device for positioning semiconductor disks with chord on their circumference in the coordinate direction. Consisting of a rotary table for an object for storing and rotating a semiconductor disk, which is for the purpose of. sensing the semiconductor circuit. a sliding shifting device with two spacers arranged at a certain distance as means for interrupting the rotary movement, characterized in that as a sliding shifting device guide slides (1) are arranged radially displaceable with respect to the table (8) ) for an object, on the front side of which two sensors (4a, 4b) are symmetrically arranged, as well as in the middle a free wheel (3) for rolling around the periphery of the semiconductor disc (2) rotating with the atoll (8) for the object.