DE2526209A1

DE2526209A1 - Verfahren zum ueberziehen von glas

Info

Publication number: DE2526209A1
Application number: DE19752526209
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Pilkington Brothers Ltd
Current assignee: Pilkington Group Ltd
Priority date: 1974-06-14
Filing date: 1975-06-12
Publication date: 1976-01-02
Also published as: AR205204A1; DK154340B; BE830179A; ATA455675A; ZA753807B; NZ177812A; NO140533B; IN144078B; GB1507465A; RO75159A; ES438551A1; IE41157L; FI59238B; NO752111L; JPS5531099B2; CA1048870A; CS209479B2; DD120644A5; FI751752A; US4019887A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Überziehen von Glas, insbesondere auf ein Verfahren zum Überziehen von Glas mit Silizium und auf mit Silizium überzogenes Glas, insbesondere flaches Glas mit einem gleichmäßigen Überzug aus elementarem Silizium auf einer oder beiden Oberflächen. Die Erfindung bezieht sich außerdem auf eine Vorrichtung zum überziehen von Glas, die zum Zuführen des Überzugsmaterials in Gasform in die Nähe einer zu überziehenden Glasoberfläche eingerichtet ist.

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Verschiedene Überzugsmaterialien wurden verwendet oder vorgeschlagen, um die Strahlungsdurchlässigkeit und die Reflexionseigenschaften von Glas zu ändern und dadurch das Aussehen des Glases zu verbessern oder dekorative Muster auf einer Glasoberfläche zu erzeugen. Solche Überzüge dienen oft mehr als einem Zweck. Beispielsweise wurden Metalloxidüberzüge und im Vakuum aufgedampfte Metallüberzüge verwendet, um dem Glas Sonnenstrahlungssteuereigenschaften und gleichzeitig einen anziehenden Farbton zu verleihen.

Es ist andererseits bekannt, daß sich Silane beim Erhitzen unter Erzeugung von Silizium zersetzen. So wurden Silane bereits als Quelle zur Erzeugung von Silizium zwecks Verwendung in elektrisch leitenden Bauelementen verwendet.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Überzug für Glas anzugeben, der sich wirtschaftlich aufbringen läßt und gute Sonnenstrahlungssteuereigenschaften sowie ein gefälliges Aussehen aufweist, um neben der bereits verfügbaren Auswahl eine weitere Möglichkeit von zur Sonnenstrahlungssteuerung überzogenem Glas, insbesondere für Fensterverglasungsanwendungen, zur Verfügung zu stellen.

Die Erfindung basiert auf der Entdeckung, daß ein Siliziumüberzug auf einer heißen Glasoberfläche, z. B. auf einer zusammenhängenden Bahn aus heißem Glas, nach einem wirtschaftlichen Verfahren gebildet werden kann, das einen dauerhaften und gleichmäßigen Überzug mit erwünschten Sonnenstrahlungssteuereigenschaften und einem gefälligen und gleichmäßigen Aussehen liefert.

Gegenstand der Erfindung ist zunächst ein Verfahren

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zum überziehen von Glas, mit dem Kennzeichen, daß man das Glas an einer Überzugsstation vorbeibewegt, wobei die Temperatur des Glases wenigstens 400 ⁰C ist, der Überzugsstation silanhaltiges Gas zuführt, das Gas nahe der heißen Glasoberfläche mit im wesentlichen konstantem Druck in eine zur Glasoberfläche geöffnete und quer über diese erstreckte heiße Zone einführt und in der heißen Zone nichtoxydierende Bedingungen aufrechterhält.

Vorzugsweise reguliert man die Zusammensetzung des Gases zur Beibehaltung einer Silanpyrolysegeschwindigkeit auf der heißen Glasoberfläche derart, daß ein Siliziumüberzug bestimmter Dicke auf der Oberfläche erzeugt wird.

Vorzugsweise wird die Gasströmungsgeschwindigkeit reguliert, um einen gleichmäßigen Überzug zu erhalten, und die Konzentration des Silans im Gas wird derart gesteuert, daß die gewünschte Überzugsdicke erhalten wird.

Während die Temperatur der zu überziehenden Glasoberfläche über 400 ⁰C sein muß, um das Silan an dieser Oberfläche zu zersetzen, kann die Glasoberflächentemperatur auch beträchtlich höher, z. B. bis zu 750 ⁰C sein.

Man findet jedoch, daß die Anwendung hoher Temperaturen zur Verzerrung oder Spannung im überzogenen Glas führt und zur Erzeugung eines überzogenen Glases mit einem opalisierenden oder unklaren Oberflächenaussehen neigt. Daher wendet man vorzugsweise eine Temperatur unterhalb 700 ⁰C an, falls nicht eine Verzerrung und/oder Unklarheit im überzogenen Produkt annehmbar ist.

Allgemein liegt die Temperatur des Glases an der Überzugsstation vorzugsweise im Bereich von 500 bis 700 ⁰C.

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Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich zum Überziehen einer Oberfläche einer Glasbahn anwenden, die an der Überzugsstation vorbeigeführt wird, und die Zusammensetzung des Gases wird in Abhängigkeit von der Vorrückgeschwindigkeit der Glasbahn reguliert.

Zum Überziehen einer Glasbahn, die längs eines Meta 11schmelzbades vorrückt, über dem eine Schutzatmosphäre aufrechterhalten wird, leitet man das silanhaltige Gas vorzugsweise in die heiße Zone, die sich dort befindet, wo die GIastemperatur im Bereich von 600 bis 670 ⁰C liegt.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht die Erzeugung eines gleichmäßigen Siliziumüberzuges gewünschter Dicke auf einer bewegten Glasoberfläche unter Steuerung der Verfahrensbedingungen. In der .Praxis wird bei Verarbeitung einer kontinuierlich neu produzierten Glasbahn die Geschwindigkeit der Gläsbewegung an der Überzugsstation vorbei allgemein von Glaserzeugungsgesichtspunkten bestimmt. Es wurde gefunden, daß ein zweckmäßiges Vorgehen zur Erzeugung eines gleichmäßigen Überzugs gewünschter Dicke darin besteht, die Gasströmungsgeschwindigkeit zu justieren, bis ein gleichmäßiger überzug erhalten wird, und dann die Konzentration des Silans im Gas einzustellen, bis die gewünschte Dicke des Überzugs erhalten wird. Jedoch kann die Dicke auch in anderer Weise gesteuert werden. Zum Beispiel kann man die Temperatur des Glases erhöhen, um die Dicke des erzeugten Überzugs zu steigern. Beim Behandeln einer bewegten Glasbahn im Fließbandbetrieb bei dessen Herstellung kann es ggf. auch erforderlich sein _f die Überzugsstation längs der Glasbahn zu bewegen. Man wird jedoch verstehen, daß dies nicht stets zweckmäßig ist«

Ein Siliziumüberzug kann nach dem erfindungsgemäßen

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Verfahren auch auf eine oder beide Oberflächen einer Glasbahn aufgebracht werden, während sie vergütet wird, und das Verfahren sieht auch die Aufbringung des Überzuges auf ein Glasband vor, das durch einen ("lehr") Vergütungsofen vorrückt, wobei das silanhaltige Gas in eine heiße Zone eingeleitet wird, die in diesem Vergütungsofen dort angeordnet ist, wo die Glastemperatur im Bereich von 400 bis 700 ⁰C liegt.

So ist das erfindungsgemäße Verfahren auch auf die Behandlung von gezogenem Plattenglas im Vergütungsofen anwendbar. Wenn gezogenes Plattenglas verarbeitet wird, kann eine Unklarheit oder Verzerrung im Endprodukt annehmbar sein, und es kann daher möglich sein, bei Temperaturen über 700 ⁰C, z. B. Temperaturen von etwa 750 ⁰C zu arbeiten. Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich auch auf die Fließbandbehandlung von Scheibenglas anwenden.

Das Silan in dem Gas, das in Richtung zu der heißen, zu überziehenden Glasoberfläche hin und in deren Nähe strömt, wird vorgeheizt, bevor es diese Oberfläche erreicht. Es ist erwünscht, daß die Temperatur des Silangases, wenn es die zu überziehende Glasoberfläche kontaktiert, so heiß wie bei Vermeidung einer Zersetzung in der Gasphase möglich sein sollte. Das silanhaltige, zur Überzugsstation geleitete Gas wird zunächst auf einer Temperatur, bei der keine merkliche Zersetzung auftritt, und zwar mit Sicherheit unter 400 ⁰C, gehalten, bis es in den unmittelbar an die heiße Glasoberfläche angrenzenden Raum gelassen wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist besonders zur Abscheidung von im wesentlichen aus Silizium bestehenden Überzügen anwendbar, doch läßt es sich auch zur Abschei-

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dung von Silizium und andere Stoffe enthaltenden überzügen anwenden. So kann z. B. das silanhaltige Gas auch gasförmige Ausgangsstoffe für andere überzugsmaterxalien enthalten, die mit dem aus dem Silan abgeschiedenen Silizium reagieren können oder auch nicht. Das erfindungsgemäße Verfahren ist zur Aufbringung von überzügen auf klares Glas oder gefärbtes Glas, z. B. die braunen, grünen oder grünkörpergefärbten Gläser anwendbar, die im Handel erhältlich sind.

Vorzugsweise enthält das silanhaltige Gas 0,1 bis 20 Vol.-% Silan, bis zu 10 Vol.-% Wasserstoff und 70 bis 99,9 Vol.-% eines Ϊ; 3rtgasc=s, Das Silan kann Monosilan, SiH. sein.

Außerdem ist Gegenstand der Erfindung eine Vorrichtung zum Überziehen von Glas, die einen Gasverteilar zur Anordnung quer zur Bewegungsbahn einer zu überziehenden Glasoberfläche mit einer Gaszuführleitung zum Zuführen des Überzugsmaterials in Gasform, Mitteln zur Steuerung der Temperatur der Leitung und einer länglichen, nach einer Seite offenen Kammer zur Anordnung der Bewegungsbahn und in Verbindung mit der Gaszuführleitung über ihre gesamte Länge durch eine Gasströmungsdrosseleinrichtung umfaßt, die zur Gaseinführung aus der Leitung in die Kammer mit konstantem Druck über die Länge der Kammer eingerichtet ist.

Die Mittel zur Steuerung der Temperatur der Leitung können Mittel zur Kühlung der Leitung sein.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist besonders zur Erzeugung eines Siliziumüberzuges aus einem silanhaltigen Gas geeignet, kann jedoch auch zur Erzeugung anderer

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Überzüge durch Abscheidung aus der Gasphase verwendet werden.

Die Gasströmungsdrosseleinrichtung kann von einer Ansammlung aus Kanälen mit geringer Querschnittsfläche gebildet werden, die von der Gaszufuhrleitung zur Kammer führen, wobei die Abmessungen dieser Kanäle so gewählt sind, daß der Druckabfall, längs der Leitung, im Vergleich mit dem Druckabfall längs dieser Kanäle klein ist.

Man kann eine Wärmeisolation zwischen der Leitung und der Kammer vorsehen. Dadurch lassen sich die Gaszuführleitung und die Gasströmungsdrosseleinrichtung kühlhalten, um eine Zersetzung des Silans in der Gasphase in der Leitung oder im Bereich der Drosseleinrichtung zu vermeiden, wogegen das Gas nach seinem Eintritt in die Kammer mit konstantem Druck über deren Länge vor seinem Kontakt mit der Glasoberfläche rasch erhitzt wird. Außerdem begrenzt die Anbringung der Wärmeisolation die Kühlung der die Kammer bildenden Wände durch die Leitungskühlmittel und ermöglicht eine verbesserte Steuerung der Bedingungen in der Kammer.

Eine solche Vorrichtung läßt sich z. B. zur Aufbringung eines gleichmäßigen Siliziumüberzuges auf eine Bahn aus Schwimmglas ("float glass") von 3 m Breite verwenden.

Die Seitenwände der Kammer können so gestaltet sein, daß sie einen Kanal in der Kammer bilden, d=r von der Drosseleinrichtung zur offenen Seite der Kammer divergiert.

Die Anbringung besonders gestalteter Seitenwände für die Kammer steuert das GasStrömungsmuster innerhalb der Kammer. Das Gasströmungsmuster hängt auch von anderen

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Parametern, wie ζ. B. der Temperatur der Glasoberfläche, der Temperatur des in die Kammer eingeleiteten, silanhaltigen Gases und der Durchlaufgeschwindigkeit der Glasoberfläche an der offenen Seite der Kammer ab. Durch Steuerung der diversen Parameter läßt sich das Gasströmungsmuster regulieren, um gleichmäßige Überzüge und eine wirksame Silanausnutzung zu erreichen und gleichzeitig eine Silanzersetzung in der Gasphase im wesentlichen zu vermeiden.

Bei Verwendung von Silan zur Aufbringung eines Siliziumüberzuges auf ein Band oder eine Bahn aus Glas, das bzw. die längs eines Metallschmelzbades vorrückt, sollte die Temperatur der Gaszuführleitung so gesteuert werden, daß das silanhaltige Gas auf einer Temperatur gut unter 40 ⁰C gehalten wird, bevor es durch die Gasströmungsdrosseleinrichtung in die Auslaßkammer strömt. Die Mittel zur Steuerung der Temperatur der Leitung können einen Mantel für ein Heiz- oder Kühlfluid im Wärmekontakt mit der Gaszufuhr leitung umfassen. Zum Kühlen der Leitung kann man Wasser durch den Mantel zirkulieren lassen, um das Gas bei etwa der Temperatur des Kühlwassers zu halten. Die Kühlung des Verteilers dient auch zur Geringhaltung des Krümmens des Verteilers und des Entstehens damit verbundener Probleme.

Die Erfindung stellt ein Verfahren zur Bildung eines gleichmäßigen und dauerhaften Siliziumüberzuges auf einer heißen Glasbahn zur Verfügung, der dem Glas erwünschte Sonnenstrahlungssteuerungseigenschaften und ein gefälliges Äußeres verleiht. So liefert die Erfindung auch als neue Erzeugnisse eine Glasbahn oder ein Glasband mit einem im wesentlichen gleichmäßigen, aus elementarem Silizium bestehenden oder dieses enthaltenden überzug sowie

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aus diesem Band oder dieser Bahn geschnittene Stücke aus überzogenem Glas. Der Überzug kann im wesentlichen aus Silizium bestehen.

Der Überzug kann eine Dicke von 250 bis 600 A aufweisen, die gemäß der weiter unten folgenden Beschreibung bestimmt wird. Außerdem kann der überzug eine Vorzugsdicke im Bereich von 300 bis 450 Ä entsprechend der weiter unten folgenden Beschreibung aufweisen.

Gegenstand der Erfindung ist außerdem eine Verglasungseinheit- die eine Scheibe aus Glas mit einem elementares Silizium enthaltenden Überzug auf einer Hauptoberfläche und einen Rahmen für diese Scheibe aufweist. Wenn die Scheibe direkt in einer Wand verglast wird, besteht der Rahmen aus den Kanten der die Scheibe umgebenden Wände.

Der überzug kann auch hierbei eine Dicke im Bereich von 250 bis 600 A bzw. eine Vorzugsdicke vo- 300 bis 450 A entsprechend folgender Beschreibung aufweisen.

Die Erfindung bezieht sich schließlich auf eine Mehrfachverglasungseinheit, die wenigstens zwei Scheiben aus Verglasungsmaterial in Parallelabstandsanordnung umfaßt, wovon wenigstens eine Scheibe eine Glasscheibe mit einem elementares Silizium enthaltenden überzug darauf ist. Der Siliziumüberzug kann innerhalb der Verglasungseinheit angeordnet sein, doch ist dies nicht unbedingt erforderlich.

Die Erfindung liefert weiter mit Silizium überzogenes flaches Glas mit einem gleichmäßigen Siliziumüberzug einer optischen Dicke im Bereich von 950 bis 1600 Ä und einem Brechungsindex im Bereich von 3,0 bis 4,0. Solche Siliziumüberzüge ergeben, wenn auf klares Glas aufgebracht, typisch

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ein überzogenes Glas, das, von der Überzugsseite aus betrachtet, eine Weißlichtdurchlässigkeit im Bereich von 17 bis 34 % (unter Verwendung einer "C.I.E.-Illuminant-C"-Quelle bestimmt), eine direkte Sonnenwärmedurchlässigkeit im Bereich von 27 bis 45 % und eine Sonnenstrahlungsreflexion im Bereich von 34 bis 52 % aufweist.

Die Erfindung umfaßt auch flaches Glas mit einem Silizium enthaltenden Überzug darauf, sofern es nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erzeugt ist.

Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung veranschauJichten Ausfuhrurgsrbei spiele näher erläutert; darin zeigen:

Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch eine Schwimnglaserzeugungsvorrichtung mit einer Be*älrareinheit, die ein Metallschmelzbad und einen Gasverteiler enthält, der erfindungsgemäß quer zur Bewegungsrichtung der Glasbahn nahe dem Auslaßende der Vorrichtung angeordnet ist;

Fig. 2 einen Schnitt nach der Linie ΙΙ-ΙΊ in Fig. 1;

Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie III-III in Fig. zur Veranschaulichung der Einzelheiten des Gasverteilers;

Fig. 4 eine Unteransicht des Verteilers nach Fig. 3

zur Veranschaulichung der Gasströmungsdrosseleinrichtung, durch die gekühltes Gas in eine nach unten geöffnete Kammer eingeleitet wird;

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Fig. 5 eine Vergrößerung eines Teils der Gasströmungsdrosse!einrichtung;

Fig. 6 eine Ansicht in der Richtung des Pfeils VI in Fig. 3 zur Darstellung eines Mechanismus zur Lageeinstellung von KohlenstoffSeitenstücken am Verteiler;

Fig. 7 einen Fig. 3 ähnlichen Teilschnitt, der eine Variante des Gasverteilers mit besonders gestalteten, divergierenden Seitenwänden für die nach einer Seite offene Kammer veranschaulicht;

Fig. 8 einen Fig, 7 ähnlichen Teilschnitt, der noch eine andere Variante der besonders gestalteten Seitenwände für die nach einer Seite offene Kammer des Verteilers veranschaulicht;

Fig. 9 einen Fig. 3 ähnlichen Schnitt einer alternativen Form des Gasverteilers mit einer anderen Gestaltung der nach einer Seite offenen Kammer;

Fig. 10 einen schematischen Querschnitt durch eine andere Ausführungsart der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Aufbringen des Glasüberzuges in einem Vergütungsofen;

Fig. 11 einen Querschnitt durch eine Verglasungseinheit gemäß der Erfindung mit einer einzigen Scheibe aus mit Silizium überzogenem Glas nach Montage in einem Rahmen; und

Fig. 12 einen Querschnitt durch eine Vielfachverglasungseinheit gemäß der Erfindung.

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In den Figuren sind gleiche oder ähnliche Teile mit gleichen Bezugsziffern versehen.

Fig. 1 bis 6 veranschaulichen eine bevorzugte Form der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verwendung beim Aufbringen eines gleichmäßigen dünnen Siliziumüberzuges auf die Oberseite einer Bahn aus Schwimmglas ("float glass"). Der überzug wird nahe dem Auslaßende des Bades aufgebracht, wenn die Bahn die Stelle erreicht, wo sie von der Oberfläche eines Metallschmelzbades angehoben wird, auf dem die Bahn gebildet wurde.

Fig. 1 und 2 veranschaulichen geschmolzenes Glas 1, das in üblicher Weise längs eines Kanals 2 zugeführt wird, der von dem Vorherd eines Glasschmelzofens herführt. Der Kanal 2 endet in einer Mündung mit Seitenflächen 3 und einer Lippe 4, und der Strom der Glasschmelze, die üblicherweise aus Soda-Kalk-Kieselsäure-Glas besteht, zur Mündung wird durch einen Regulierschieber 5 gesteuert. Die Mündung erstreckt sich über die Einlaßendwand 6 einer Behältereinheit mit einem Boden 7, einer Auslaßendwand 8 und Seitenwänden 9. Die Behältereinheit enthält das Metallschmelzbad 10, üblicherweise eine Zinn- oder Zinnlegierungsschmelze, in der Zinn überwiegt, und das geschmolzene Glas fließt, wie bei 11 angedeutet, über die Mündungslippe 4 auf die Oberfläche des Metallschmelzbades 10 am Einlaßende des Bades, wo die Temperatur im Bereich von 1000 ⁰C durch bei 12 angedeutete Heizgeräte gehalten wird, die in einer Dachkonstruktion 13 montiert sind, die über der Behältereinheit gehalten ist und einen Kopfraum 14 über dem Metallschmelzbad bildet. Die Dachkonstruktion hat eine Einlaßendwand 15, die nach unten bis nahe der Oberfläche des Metallschmelzbades 10 am Einlaßende des Bades zur Bildung eines Einlasses 16 beschränkter Höhe

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herabhängt. Ein Verlängerungsstück 17 der Dachkonstruktion 13 reicht bis zu dem Schieber 5 unter Bildung einer geschlossenen Kammer, in der die Mündung eingeschlossen ist.

Die Dachkonstruktion 13 weist außerdem eine nach unten herabhängende Wand 19 am Auslaßende auf. Ein Auslaß 20 für eine auf dem Metallschmelzbad erzeugte Glasbahn 21 wird zwischen der Unterseite der Auslaßendwand 19 der Dachkonstruktion 13 und der Oberseite der Auslaßendwand 8 der Behältereinheit definiert. Angetriebene Zugrollen 22 sind jenseits des Auslasses 20 montiert, wobei die Oberseiten der Rollen etwas über dem Niveau der Oberseite der Endwand 8 sind, so daß die Glasbahn sanft von der Badoberfläche zur horizontalen Abführung nach außerhalb des Auslasses 20 auf den Rollen 22 angehoben wird.

Eine Schutzatmosphäre, z. B. aus 95 % Stickstoff und 5 % Wasserstoff, wird im Bereich des Kopfraumes 14 über dem Bad aufrechterhalten, die durch Leitungen 23 zugeführt wird, die durch die Dachkonstruktion 13 nach unten ragen und mit einem gemeinsamen Sammelrohr 24 verbunden sind.

Die Schutzatmosphäre strömt durch den Einlaß 16 nach außen und füllt somit die die Mündung einschließende Kammer unter dem Verlängerungsstück 17. Man behält einen Temperaturgradienten längs des Bades von einer Temperatur von etwa 1000 ⁰C am Einlaßende des Bades bis zu einer Temperatur im Bereich von etwa 570 bis 650 ⁰C am Auslaßende bei, wo die Glasbahn vom Bad abgeführt wird. Bei dieser niedrigeren Temperatur ist das Glas ausreichend verfestigt, um durch seinen Kontakt mit den Zugrollen 22 nicht beschädigt zu werden, läßt sich jedoch entsprechend der Darstellung in Fig. 1 noch von der Badoberfläche abheben.

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Das geschmolzene Glas 11, das über die Mündungslippe 4 auf das Metallschmelzbad fließt, läßt man sich seitlich auf dem Bad ausbreiten, wie in Fig. 2 veranschaulicht ist, um eine Schicht 21 aus geschmolzenem Glas zu bilden, die man dann als Bahn 21 vorrücken läßt, die abgekühlt und vom Bad abgeführt wird. Die Breite der das Bad enthaltenden Behältereinheit ist zwischen den Seitenwänden 9 größer als die Breite der Glasbahn.

Ein Gasverteiler zum Zuführen silanhaltigen Gases zur Oberfläche der Glasbahn ist quer zur Bewegungsrichtung der Glasbahn längs des Bades nahe dem Auslaßende des Behälters entsprechend Fig. 1 und 2 angeordnet, wo die Temperatur des Glases im Bereich von 570 bis 670 ⁰C liegt.

Bei Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der Glasoberfläche ein silanhaltiges Gas zugeführt, das 0,1 bis 20 % Vol.-% Silan, bis zu 10 Vol.-% Wasserstoff und 70 bis 99,9 Vol.-% eines Inertgases, gewöhnlich Stickstoff enthält. Bei Temperaturen im Bereich von 570 bis 670 ⁰C zersetzt sich das Silan im Gas ohne weiteres durch Pyrolyse auf der heißen Glasoberfläche, wobei sich eine Siliziumschicht auf der Glasoberfläche abscheidet. Vorzugsweise ist das verwendete Silan Monosilan, SiH..

Der Gasverteiler ist in Fig. 1 allgemein mit 26 bezeichnet und in den Fig. 3 bis 6 in mehr Einzelheiten veranschaulicht. Der Verteiler umfaßt einen Hohlkanalteil 27, der bei 28 mit dem Dach 29 eines größeren Kanalteils mit umgekehrtem U-Querschnitt verschweißt ist, der außerdem Seitenwände 30 aufweist. Der Hohlkanalteil 27 dient als Leitung 31 für den Durchstrom eines Kühlfluids, üblicherweise Wassers.

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Von den beiden Seitenwänden 30 erstreckt sich je eine horizontale Platte 32 über die gesamte Länge dieser Seitenwände, und die Innenkanten der Platten 32 begrenzen untereinander eine längliche schlitzartige öffnung 33.

Ein weiterer Teil 34 von umgekehrtem U-Querschnitt ist auf den horizontalen Platten 32 symmetrisch unter Abdekkung der öffnung 33 angebracht. Die unteren Kanten des Teils 34 sind mit den horizontalen Platten 32 verschweißt, und der Teil 34 definiert eine Gaszufuhrleitung 35, in deren Unterseite die Schlitzöffnung 33 als Auslaßöffnung dient.

Zwischen dem Teil 34 und dem Teil mit dem Dach 29 und den Seitenwänden 30 wird ein weiterer Kanal 36 mit umgekehrtem U-Querschnitt zum Durchstrora von Kühlwasser definiert .

Der Verteiler enthält schließlich eine längliche, an einer Seite offene Kammer 40 zur Einstellung an der Bewegungsbahn der Oberseite 41 der Glasbahn 21, welche Kammer über ihre gesamte Länge mit der Gaszuführleitung 35 in Verbindung steht.

Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 6 weist die einseitig offene Kammer 40 ein Dach auf, das aus Platten 42 aus komprimiertem Mineralfaserwärmeisolationsmaterial gebildet ist, zwischen denen eine längliche öffnung 43 existiert, die zur öffnung 33 im Boden der Gaszuführleitung 35 ausgerichtet ist. Die Enden der Kammer 40 sind durch Kohlenstoffendwände 44 geschlossen, und jede Seitenwand der Kammer 40 wird durch zwei Kohlenstoffplatten 45 gebildet, die untereinander durch einen Zentralschwenkzapfen 46 (Fig. 2) verbunden sind, der an der Seitenwand 30 des Kanals 36 befestigt ist.

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Die Platten 45 werden gegen Isolierzwischenlagen 47 aus dem gleichen Material wie dem der Platten 42, die an mit den Seitenwänden 30 verschweißten Befestigungsplatten 48 anliegen, durch Bolzen 49 in ihrer Lage gehalten, die durch Schlitze 50 in den Platten führen und in den Platten 48 befestigt sind. Eine Druckfeder 51 wird auf jedem der Bolzen 49 durch Muttern 52 gehalten und stützt sich gegen eine Ringplatte 53 an der Außenseite der Platte 45 ab. Diese Anordnung ermöglicht eine Lageeinstellung der Platten 45 in der noch zu beschreibenden Weise, so daß die Bodenseiten 54 der Platten 45 so justierbar sind, daß sie sich so nahe wie möglich an der Oberseite der Glasplatte oder -bahn üL^r deren gesamte Breite befinden.

Eine Gasströmungsdrosseleinrichtung 26 ist zwischen den Öffnungen 33 und 43 befestigt und umfaßt Tragplatten 55, die eine zentrale Waffelplatte 56 tragen, die aus gewellten Metallblechen gefertigt ist. Die Tragplatten 55 sind an den horizontalen Platten 32 mittels Bolzen 57 verbolzt, deren Köpfe in den Platten 55 versenkt und durch die Isolierplatten 42 abgedeckt sind, die an den Platten 55 mit einem geeigneten Kleber befestigt sind. Die zentrale Waffelplatte 56 enthält, wie im einzelnen in Fig. 5 veranschaulicht ist, eine Mehrzahl von gewellten Metallstreifen oder -blechen 58, die "phasenverschoben" angeordnet sind, um eine Mehrzahl von Kanälen 59 zu begrenzen, die im Vergleich mit der Querschnittsfläche der Gaszuführleitung 35 von geringer Querschnittsfläche sind, so daß beim Zuführen von silanhaltigem Gas unter Druck zur Leitung 35 durch Gaszufuhrleitungen 60 an beiden Enden des Verteilers gemäß Fig. 2 der Druckabfall längs der Leitung 35 im Vergleich mit dem Druckabfall durch die engen Kanäle 59 gering ist und die Waffelplatte 56 eine wirksame Gasströmungsdrosseleinrichtung bildet, um eine Abgabe von kühlem

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silanhaltigem Gas in die Auslaßkammer 40 bei im wesentlichen konstantem Druck und im wesentlichen konstanter Temperatur über die gesamte Länge der Auslaßkammer zu sichern.

Die Tragplatten 55, in der die Waffelplatte 56 montiert ist, sind ebenfalls aus Metall, das in enger Berührung mit den gekühlten horizontalen Platten 32 ist, so daß die Waffelplatte 56 auf einer Temperatur unter 400 ⁰C gehalten wird, obwohl sich der Verteiler innerhalb des Kopfraumes am Auslaßende der Schwimmglaserzeugungsvorrichtung befindet, wo die Umgebungstemperatur etwas unter der Glasbahnterc-eratur ist.

Es ist jedoch erwünscht, daß die Auslaßkan.mar 40 durch Strahlung von der Oberseite 41 der Glasbahn 21 erhitzt wird, die unter der offenen Seite der Auslaßkammer vorr'ickt, wobei der Verteiler, wie Fig. 3 veranschaulicht, so angobracht ist, daß der untere Rand 61 der Auslaßkammer 40 ganz nahe über der Oberseite 41 der Glasbahn 21 ist, die den Siliziumüberzug erhalten soll.

Die Anbringung der wärmeisolierenden Platten 42 sichert, daß die Gaszuführleitung 35 und die Waffelplatte 56 auf einer Temperatur unter 400 ⁰C gehalten werden können/ so daß sich das Silan nicht unter Abscheidung von Silizium entweder an der inneren Oberfläche der Leitung 35 oder an der Waffelplatte 56 zersetzt. Die Kohlenstoffwände der Kammer 40 werden im wesentlichen auf der Umgebungstemperatur gehalten, so daß der Raum innerhalb der Kammer 40 eine Heizzone darstellt, in die gekühltes silanhaltiges Gas mit im wesentlichen konstanter Temperatur und im wesentlichen konstantem Druck über die Glasoberfläche eingeleitet wird.

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Kühlwasser wird einem Ende des Gasverteilers außerhalb der Behältereinheit zugeführt, wie in Fig. 2 dargestellt ist. Ein Wasserzuführrohr 6 2 ist mit dem Kanal 36 verbunden, und Wasser strömt längs des Kanals 36 zum anderen Ende des Verteilers und dann durch ein nicht dargestelltes Loch im Dach 29 und im Boden des Hohlkanalteils 27 in die obere Leitung 31 im Teil 27. Das Wasser strömt weiter längs der Leitung 31 zu einem Auslaßrohr 6 3 am gleichen Ende des Verteilers, wo sich das Wasserzuführrohr 62 befindet.

Die Zufuhr von Kühlwasser in dieser Weise ergibt eine Kühlung der Teile 27, 29, 30 und 34, so daß der Gasverteiler seine Formsteifheit behält und das durch die Gasleitung 35 strömende silanhaltige Gas auf etwa der Temperatur des Kühlwassers, d. h. etwa 40 bis 50 ⁰C gehalten wird.

Fig. 2 zeigt, wie die Kammer 40 am Boden des Gasverteilers nur im mittleren Bereich des Verteilers vorgesehen und so lang wie die breiteste, während ihres Vorrückens längs des Metallbades zu überziehende Glasbahn ist. Die öffnung 33 erstreckt sich daher nur über einen entsprechenden mittleren Teil der Gaszuführleitung 35,und in den beiden Endteilen der Leitung, d. h. jenseits der Kammer 40, haben die Gaszuführleitung 35 und der Kühlwasserkanal 36 einen geschlossenen Boden, der durch eine zusainmenhängende Platte gebildet wird, die mit den Seitenwänden 30 verschweißt ist.

Der Gasverteiler wird in der Behältereinheit in der in Fig. 2 dargestellten Weise lageeinstellbar gehalten und ist in öffnungen 64 in den Seitenwänden 9 der Behältereinheit abgedichtet. Zum Montieren des Gasverteilers werden

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die Öffnungen 64 von ihren Dichtunqen befreit, und man führt den Gasverteiler quer zur Behältereinheit von einer Seite, die in Fig. 2 die linke Seite ist, ein. Die linke Seite des Verteilers wird in einer Muffe 65 gehalten, die auf einem Gelenk am oberen Ende einer Gewindetragstange montiert ist, deren unteres Ende im Verzahnungseingriff mit einem Schneckengetriebe in einem Gehäuse 67 steht, welches Getriebe von Hand mittels eines Rades 68 drehbar ist. Das Gehäuse 67 wird von einer Laufkatze 69 getragen, die auf einem Laufkatzengleis 70 läuft, von dem nur eine kurze Länge dargestellt ist. Eine am oberen Ende einer Halterung 72 montierte Laderolle 71 ist vertikal einstellbar, um eine Abstützung für den Verteiler zu bilden, wenn er von der linken Seite dor Behältereinheit aus eingefahren wird.

Der Verteiler wird durch die Behältereinheit >uf aine ähnliche Laderolle 71 geführt, die rechts von der Behältereinheit auf dem oberen Ende einer einstellbaren Halterung 73 montiert ist. Das rechte Ende des Verteilers wird durch eine Muffe 74 geführt, die ähnlich wie die Muffe 65 auf einer Gewindestange 75 montiert ist, die im Verzahnungseingriff mit einem Schneckengetriebe in einem Gehäuse 76 steht, welches Schneckengetriebe von Hand durch ein Rad 77 einstellbar ist. Das Gehäuse 76 ist auf einer festen Halterung 78 montiert.

Bei der Lageeinstellung des Verteilers, nachdem er durch die ganze Behältereinheit eingefahren und zwischen den Muffen 65 und 74 befestigt ist, werden die Räder 68 und 77 gedreht, um den Verteiler von den Laderollen 71, anzuheben. Die Drehung der Räder 68 und 77 ermöglicht auch eine Einstellung zum Anheben des Verteilers quer über der Behältereinheit, so daß die Unterseiten 54 der Seitenwände

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45 so nahe wie möglich über der Oberseite der Glasbahn eingestellt werden. In der Praxis hält man den Verteiler vorzugsweise von oben nach unten gekehrt liegend, während er durch die Behältereinheit eingeführt wird. Hierzu wird also der Verteiler umgedreht und nach dem Einführen durch Drehung der Muffen 65 und 74 um 180 ° wieder in seine richtige Lage gekehrt.

Trotz der Kühlung der Teile 27, 29 und 30, die zur Bewahrung der Formsteifheit beiträgt, tritt eine gewisse Krümmung des Verteilers auf, und um diese zu kompensieren, sind die Platten 45 um ihre zentralen Schwenkzapfen

46 einstellbar. Diese Einstellung wird mittels eines schematisch in Fig. 2 angedeuteten und in den Fig. 3 und 6 im einzelnen dargestellten Mechanismus durchgeführt.

Jede der Platten 45 weist fünf Schlitze 50 auf, durch die die federbelasteten Haltebolzen 49 geführt sind. Neben dem äußeren Ende jeder Platte, nahe dem zweiten Schlitz, ist ein Einstellorgan an der Oberseite jeder Platte befestigt, um die Platten um ihren feststehenden zentralen Schwenkzapfen 46 innerhalb der durch die Schlitze 50 ermöglichten Justiergrenzen zu schwenken. Allgemein werden die Platten 45 um ihren zentralen Zapfen 46 etwas nach unten geschwenkt, um die Krümmung der Teile 27, 29 und 30 zu kompensieren und die Unterseiten 54 der Seitenwände so nahe wie möglich an die Oberseite der Glasbahn über deren gesamte Breite zu bringen. Jedes Einstellorgan umfaßt eine Metallfußplatte 79, die mit Bolzen 80 an der Oberseite der zugehörigen Platte 45 befestigt ist. Die Fußplatte trägt eine aufrecht Lasche 81, mit der eine Gabel 82 am unteren Ende einer Gewindestange 83 durch einen Schwenkstift 84 verbunden ist. Die Gewindestange 83 verläuft nach oben durch eine öse 85 in einem Haltearm 86, der an der Ober-

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seite der Seitenwand 30 des Kühlwasserkanals 36 angeschweißt ist. Ein Anlagezwischenstück 87 ist am oberen Teil des Armes 86 befestigt, und die Stange 83 verläuft nach oben durch dieses Zwischenstück 87 und trägt ein aufgeschraubtes innenverzahntes Kegelzahnrad 88, das mit einem Kegelradzahnrad 89 im Verzahnungseingriff steht, das am Ende einer horizontal montierten Stange 90 befestigt ist, die in einem Lagerblock 91 gehalten wird, der an einer Rippe 92 montiert ist, die mit Bolzen 93 an einem Arm 94 befestigt ist, der an der Außenseite des Hohlkanalteils 27 angeschweißt ist. Wie Fig. 2 zeigt, verläuft jede der Stangen 90 längs des Kanalteils 27 durch die Behälterseitenwand unt wird in einem nicht dargestellten zweiten Lagerblock in der Muffe 65 bzw. 74 gehalten, und das äußere Ende jeder Stange 90 ist als Mutter zur Betätigung mittels eines Werkzeuges zur Drehung der Stange zwecks Anhebung oder Senkung der Platten 45 um ihre Schwenkzapfen ausgebildet. Jede der Gaszufuhrleitungen 60 ist, wie dargestellt, an der linken Seite der Fig. 2 mit einem Mischer 92 verbunden, der durch eine Gaszuführleitung 93 über einen Strömungsmesser 94 und ein einstellbares Ventil 95 mit einer Leitung 96 verbunden ist, die zu einer Quelle von gasförmigem Monosilan, SiH₄ in Stickstoff führt. Eine zweite Gaszuführleitung 97 ist mit dem Mischer 92 und über einen Strömungsmesser 98 mit einem einstellbaren Ventil 99 verbunden, das durch eine Gaszuführleitung 100 mit einer Quelle einer Mischung von Stickstoff und Wasserstoff, deren Zusammensetzung einstellbar ist, in Verbindung steht.

Die Einstellung der Ventile 95 und 9 9 ermöglicht eine Regulierung der Zusammensetzung des den Leitungen 60 zugeführten silanhaltigen Gases, so daß das Gas 0,1 bis 20 VoI.-% Silan, bis zu 10 Vol.-% Wasserstoff und 70 bis 99,9 VoI.-% Inertgas enthält, das in diesem Fall Stickstoff ist. Vor-

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2ugsweise sind die Leitungen 60 an beiden Enden des Gasverteilers mit dem Mischer 92 verbunden, doch kann auch eine getrennte Zufuhr für beide Enden des Verteilers vorgesehen werden. Während beim beschriebenen Ausführungsbeispiel Gas an beiden Enden des Verteilers eingeführt wird, kann es auch ausreichend sein, Gas nur der Leitung an einer Seite zuzuführen. Ventile im Gaszuführsystem werden verwendet, um den Strömungsdurchsatz des silanhaltigen Gases in der Gaszuführleitung 35 zu steuern und dadurch die Strömung durch die Waffelplatte 56 in die erhitzte Kammer 40 zu regulieren, und der Gasströmungsdurchsatz durch die Leitung 35 erfolgt derart, daß die Abgabe von Gas durc^v die Waffelplatte und die öffnung 43 in die Kammer 40 mit gleichmäßigen Druck über die gesamte Länge der Kammer 40 zwecks Srreichens einer gleichmäßigen Behandlung über die gesamte Breite der Glasbahn gesichert wird.

Der Gesamtströmungsdurchsatz des silanhaltigen Gases wird durch Einstellung der Ventile 95 und 99 reguliert, um einen gleichmäßigen Überzug zu erzeugen, und die Zusammensetzung des silanhaltigen Gases, insbesondere dessen Silankonzentration, wird durch Einstellung des Ventils 9 5 in Beziehung zur Vorrückgeschwindigkeit der Glasbahn 21 längs der Badoberfläche unter der offenen Seite der Kammer 40 reguliert, um eine Pyrolysegeschwindigkeit von Silan an der heißen Glasoberfläche 41 zur Erzeugung eines Siliziumüber-uges bestimmter Dicke auf dieser Oberfläche bis zum Zeitpunkt sicherzustellen, in dem die Glasbahn den Raum unterhalb der an einer Seite offenen Kammer verläßt, üblicherweise wird bei Ausführung der Erfindung die Regulierung der Zusammensetzung des silanhaltigen Gases in Verbindung mit der Überprüfung des Produkts durchgeführt, und die Einstellung der Ventile wird beibehalten, wenn die ge-

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wünschte Dicke des Siliziumüberzuges erzeugt wird. Die Zusammensetzung kann durch Berechnung und/oder Versuch bestimmt werden, und eine Feineinstellung kann anschließend vorgenommen werden, um die gewünschte Überzugsdicke zu erreichen.

Wasserstoff und Stickstoff des silanhaltigen Gases entweichen durch den zwischen den Unterkanten 54 der an einer Seite offenen Kammer 40 und der Oberseite 41 der Glasbahn 21 definierten Spalt. Es ist auch möglich, daß eine Abdichtung zwischen der Unterseite der stromauf befindlichen Seitenwand 45 der Kammer vorgesehen wird, indem man die Seitenwandplatten 45 so behandelt, daß ein Körper aus geschmolzenem Material, z. B. geschmolzenem Zinn, an der Unterseite dieser Wand 45 haftet und die Oberseite der Glasbahn kontaktiert, unmittelbar bevor sie überzogen wird. Die Schaffung einer solchen Abdichtung sichert, daß sämtliches Entweichen von Gas in Stromabrichtung unter Mitführung im allgemeinen Strom der Schutzatmosphäre erfolgt, die am Auslaßende des Badbehälters durch den Auslaß 20 abströmt.

Auslaßleitungen können z. B. als geschlitzte, an der Außenseite des Verteilers angebrachte Rohre zum Abführen verbrauchter Gase aus der Kammer 40 vorgesehen werden.

Ein rasches Erhitzen des silanhaltigen Gases ist ohne Zersetzung in der Gasphase erwünscht, und es wird, wenn das Gas in die Auslaßkammer 40 strömt, durch die Aufenthaltszeit des Gases in der Auslaßkammer beeinflußt, die vom inneren Volumen der Kammer und ihrer Form abhängt.

Die Fig. 7 und 8 veranschaulichen zwei alternative Ausbildungen der Auslaßkammer, wobei die Seitenwände 101

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dicke Kohlenstoffwände sind, die durch Bolzen 102 an den Tragplatten 55 befestigt sind. Zwischenplatten 42 aus wärmeisolierendem Material sind wiederum vorgesehen. Die Wände 101 sind so geformt, daß sie in der Kammer einen Kanal bilden, der von der öffnung 4 3 zur offenen Seite der Kammer divergiert. Die inneren Oberflächen 103 der Seitenwände können einen gekrümmten Verlauf entsprechend Fig. 7 mit einem rasch steigenden Querschnitt haben, so daß eine rasche Ausdehnung der nach unten durch die öffnung 43 strömenden Gase erhalten wird.

Eine sanftere Ausdehnung und ein geändertes Strömungsmuster werden beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 8 erhalten, bei dem die Innenseiten 103 der Wände 101 gerade Schrägflachen sind.

Ein anderer Verteiler gemäß der Erfindung ist in Fig. 9 veranschaulicht und hat eine an einer Seite offene Kammer mit einer Form zum laminaren Strom des Überzugsgases parallel zur Glasoberfläche 41.

Der Verteiler umfaßt einen Kanalteil 130 von umgekehrtem ü-Querschni-t mit Seitenwänden 131, 132 und einer Oberwand 133. Der Kanal innerhalb des Teils 130 ist in zwei Bereiche durch eine vertikale Trennwand 134 unterteilt, die bei 135 mit der Oberwand 133 verschweißt ist. Horizontale Platten 138 und 139 ragen von der Seitenwand 131 und der Trennwand 134 angrenzend an deren Unterkanten nach innen und definieren zusammen eine längliche öffnung 136. Ein zweiter kleinerer Kanalteil 140 von umgekehrtem U-Querschnitt ist symmetrisch über der öffnung 136 angeordnet, dessen untere Kanten mit den horizontalen Platten 138 und 139 verschweißt sind. Eine horizontale Platte 141 ist mit der Basis der vertikalen Trennwand 134 und der Ba-

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sis der Wand 132 verschweißt und reicht bis jenseits der Wand 132.

Die beiden Kanalteile 130 und 140 mit umgekehrtem U-Querschnitt definieren zusammen mit den horizontalen Platten 138 und 139 eine Leitung 142 von umgekehrtem U-Querschnitt zum Durchströmen eines Kühlfluids. Eine Rechteckquersc-nitt-Rückflußleitung 143 wird durch die Seitenwand 132, die Oberwand 133, die Trennwand 134 und die horizontale Platte 141 gebildet. Die Innenseite des Kanalteils 140 von umgekehrtem U-Querschnitt definiert zusammen mit den horizontalen Platten 138 und 139 eine Gaszuführleitung 144.

Eine Gasströmungsdrosseleinrichtung 145, ähnlich der in den Fig. 3, 4 und 5 gezeigten, mit einer Waffelplatte 56 zwischen Tragplatten 55 ist durch versenkte Bolzen 57 mit der Unterseite der horizontalen Platten 138 und 139 verbolzt, so daß die Waffelplatte 56 zur öffnung 136 ausgerichtet ist. Wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 sind die Kanäle in der Waffelplatte 56 von im Vergleich zur Querschnittsfläche der Gaszuführleitung 144 geringem Querschnitt.

Kohle- oder Kohlenstoff-Formblöcke 146, 147, 148 und 149 definieren eine Kammer 150 von umgekehrtem U-Querschnitt mit einer nach unten offenen Seite, die sich quer über die Oberseite 41 der zu überziehenden Glasbahn 21 erstreckt. Der Kohleblock 146 besteht aus einem oberen Teil 152 und einem unteren Teil 153, zwischen denen eine Schicht 154 aus Faserwärmeisolierstoff fest eingeschlossen ist. Der Kohleformblock 147 umfaßt ähnlich ein Laminat aus einem oberen Teil 155 und einem unteren Teil 156 mit einer dazwischen eingeschlossenen Faserwärmeisolierschicht 157.

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Die Wärmeisolierschichten 154 und 157 steuern den Wärmefluß zwischen der Kaltgaszuführleitung 144 und der Kammer 150, wobei eine Erhitzung der die Kammerwände bildenden Kohleformstücke im Betrieb ermöglicht ist.

Eine Mehrzahl von in Abständen angebrachten Abstandsstücken 167 sind mit der Außenseite der Seitenwand 132 des Kanalteils 130 verschweißt. Der Kohleformblock 148 steht auf der Oberseite des Kohleblocks 147 in Kontakt mit den Hinterseiten der Abstandsstücke 167. In Abständen angebrachte Abstandsstücke 158, die den Abstandsstücken 167 entsprechen, sind im Stromabschenkel der U-Querschnittkammer 150 angeordnet und trennen die Kohleformblöcke 148 und 149. Die Abstandsstücke 158 und der Kohleblock 148 sind an den Abstandsstücken 167 mit Bolzen 160 befestigt, deren Köpfe in den Abstandsstücken 158 versenkt sind. Der Kohleformblock 149 ist mit Bolzen 168 befestigt, die in den Abstandsstücken 158 festliegen. Die Bolzen 168 halten ebenfalls Arme 161 und 162 fest, die sich längs des Verteilers erstrecken und eine Leitung 163 mit länglichen öffnungen 164 für die Zufuhr von Gas unter Druck halten.

Die Flächen der Kohleblöcke 146, 147, 148 und 149, die die Wände der U-Querschnittkammer 150 definieren, sind glatt und so geformt, daß Wirbelbildung vermieden wird, und ermöglichen somit eine laminare Strömung des Gases über die Glasoberfläche 41. Ergänzende Kohleblöcke 165 und 166 sind an der Rückseite des Kohleformblocks 149 an dessen Oberteil und Boden befestigt, um die Steuerung der Gasströmung zu unterstützen. Der untere Ergänzungsblock erstreckt sich horizontal nahe der Glasoberfläche und beschränkt das Ausströmen von Gas unter dem Boden des Blocks 149.

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Im Betrieb werden die Leitungen 142 und 143 (die untereinander durch ein Loch in der Trennwand 134 an deren einem Ende verbunden sind) mit einer Quelle von Kühlfluid verbunden, und die Gaszufuhrleitung 144 wird mit einer Quelle von Silangas in gleicher Weise wie bei der Vorrichtung nach Fig. 1 bis 6 verbunden. Außerdem wird die Leitung 163 an eine (nicht dargestellte) Quelle von Gas unter Druck (z. B. Stickstoff/Wasserstoff) angeschlossen, das durch die öffnungen 164 strömt und zum Abführen von Abgas dient, das aus der Kammer 150 austritt.

Einige Beispiele zum Betrieb der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sollen nun erläutert werden. Die Beispiele 1 bis 4 beziehen sich auf die Erzeugung eines Siliziumüberzugs auf der Oberseite einer Bahn aus Schwimmglas, kurz bevor die Bahn aus der Schwimmglaserzeugungsvorrichtung abgezogen wird. Das Beispiel 5 bezieht sich auf das Aufbringen eines Siliziumüberzuges auf eine Bahn von gezogenem Plattenglas, wenn es durch einen Vergütungsofen ("lehr") geführt wird.

In den Beispielen werden die optischen Eigenschaften der Erzeugnisse angegeben. Die für die überzüge angegebenen Dickewerte werden aus den optischen Dickemessungen in bekannter Weise bestimmt. Die Werte für die Weißlichtdurchlässigkeit werden unter Verwendung von "C. I. E. Illuminat C" als Lichtquelle bestimmt. Die angegebenen optischen Eigenschaften wurden aufgrund von Messungen bestimmt, bei denen sich der Oberzug auf der Seite des Glases befand, die der verwendeten Lichtquelle zugewandt war.

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Beispiel 1

Unter Verwendung der in den Fig. 1 bis 6 veranschaulichten Vorrichtung wird eine aus 94 Vol.-% Stickstoff und 6 Vol.-% Wasserstoff bestehende Schutzatmosphäre im Kopfraum 14 über dem Zinnschmelzbad 10 aufrechterhalten, längs dessen die Bahn aus Schwimmglas vorrückt.

Die Bahn 21 wird aus der Vorrichtung durch die Rollen 22 mit einer Geschwindigkeit von 295 m/h herausgeführt und läuft durch den Vergütungsofen, der sich jenseits der Rollen 22 befindet.

Der Gasverteiler ist nahe dem Auslaßende des Behälters angeordnet, wo die Glasoberflächentemperatur etwa 610 ⁰C beträgt, und so montiert, daß der untere Rand der Auslaßkammer 40, d. h. auch die Unterseiten 54 der Platten 45 so nahe wie möglich an die Oberseite 41 der Glasbahn 21 ohne tatsächlichen Kontakt herangebracht sind.

Ein silanhaltiges Gas, das aus 3,9 Vol.-% Monosilan, SiH₄, 93,9 Vol.-% Stickstoff und 2,2 Vol.-% Wasserstoff bestand, wurde dem Verteiler durch die Leitungen 60 mit einem Durchsatz von 90 l/min je 1 m Länge des Verteilers zugeführt. Der Durchsatz wurde justiert, bis ein im wesentlichen gleichmäßiger SiliziuisüberzGg auf dem Glas am Auslaßende des Ofens erzeugt wurde.

Der Farbton der mit Silizium überzogenen, aus der überzogenen Glasbahn geschnittenen Glasscheiben erschien braun im durchgelassenen Licht und silbern im reflektierten Licht. Die Dicke, der Brechungsindex und die optischen Eigenschaften des überzogenen Glases sind folgendes

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Wellenlänge der Maximalreflexion ( λ max) 5300 A

Brechungsindex 3,73

Optische Dicke 1234 Ä

.Dicke 355 Ä

Weißlxchtdurchlässigkeit 23 %

Direkte Sonnenwärmedurchlässxgkeit 34 %

Totale Wärmedurchlässigkeit 40 %

Sonnenstrahlungsreflexion 48 %

Beispiel 2

Das Verfahren räch Beispiel 1 wurde wiederholt, jedoch die entsprechend Fig. 7 modifizierte Vorrichtung verwendet, wobei die Auslaßkammer 40 eine besondere Form aufweist.

Die Verfahrensbedingungen waren folgende:

Zusammensetzung der Schutzatmosphäre;

Ofengeschwindigkeit der Glasbahn Glastemperatur

Zusammensetzung der zugeführten Gasmischung

Durchsatz der Gasmischung

94 Vol.-% Stickstoff

6 Vol.-% Wasserstoff 215 m/h
640 ⁰C

2.6 Vol.-% Monosilan, SiH₄

4.7 Vol.-% Wasserstoff 92,7 Vol.-% Stickstoff

84 l/min/m Verteilerlänge

Es wurde ein gleichmäßiger Siliziumüberzug erzeugt, und der Farbton des überzogenen Glases war im durchgelassenen Licht braun und im reflektierten Licht silbern.

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Die Dicke, der Brechungsindex und die optischen Eigenschaften des überzogenen Glases waren folgende:

Wellenlänge der Maximalreflexion ( X max)

Brechungs index Optische Dicke Dicke

Weißlxchtdurchlässigkeit Direkte Sonnenwärmedurchlässigkeit Gesamte Wärmedurchlässigkeit Sonnenstrahlungsreflexion

5850 A

3_f55

1463 A

412 A

24 %

33 %

39 %

47 %

Beispiel 3

Das Verfahren nach Beispiel 1 wurde er-eut wiederholt, jedoch eine Variante der Auslaßkammer entsprechend Fig. 8 verwendet,- Die Verfahrensbedingungen waren folgende:

Zusammensetzung der Schutzatmosphäre 94 Vol.-% Stickstoff

6 Vol.-% Wasserstoff 295 m/h
650 ⁰C

Ofengeschwindigkeit der Glasbahn Glastemperatur

Zusammensetzung der zugeführten Gasmischung

Durchsatz der Gasraischung

2,3 Vol.-% Monosilan, SiH₄

5,2 Vol.-% Wasserstoff 92,5 Vol.-% Stickstoff

87 l/min/m Verteilerlänge

Wieder wurde ein gleichmäßiger überzug erzeugt, und der Farbton des überzogenen Glases war im durchgelassenen Licht braun und im reflektierten Licht silbern.

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Die Dicke, der Brechung.¹, ndex des Überzugs und die optischen Eigenschaften des Glases waren folgende:

Wellenlänge der Maximalreflexion ( X max)

Brechungsindex Optische Dicke Dicke

Weißlichtdurchlässigkeit Direkte Sonnenwärmedurchlässigkeit Gesamte Wärmedurchlässigkeit Sonnenstrahlungsreflexion

5100 A

3,60

1274 Ä 354 A 27 % 36 % 41 % 47 %

Ein weiteres Ausführungsbeispiel mit dem Verteiler nach Fig. 1 bis 6 ist folgendes:

Beispiel 4

Die zu überziehende Glasbahn war 3 m breit.

Die Verfahrensbedingungen waren folgende:

Zusammensetzung der Schutzatmosphäre

Ofengeschwindigkeit der Glasbahn Glastemperatur

Zusammensetzung der zugeführten Gasmischung

Durchsatz der Gasmischung 90 Vol.-% Stickstoff 10 Vol.-% Wasserstoff 360 m/h
660 ⁰C

2,2 Vol.-% Monosilan, SiH₄

5,6 Vol.-% Wasserstoff 92,2 Vol.-% Stickstoff

66 l/min/m Verteilerlänge

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Es wurde ein gleichmäßiger überzug erhalten, dessen
Farbton im durchgelassenen Licht braun und im reflektierten Licht silbern war.

Die Dicke des Überzugs und die optischen Eigenschaften des überzogenen Glases waren folgende:

Wellenlänge der Maximalreflexion ( λ max) 4400 A

Brechungsindex 2,9

Optische Dicke 1100 A

Dicke 380 Ä

Weißlichtdurchlässigkeit 36 %

Direkte Sonnenwärmedurchlässigkeit 47 %

Gesamtwärmedurchlässigkeit 54 %

Sonnenstrahlungsreflexion 35 %

Beispiel 5

Das Verfahren nach Beispiel 1 wurde unter Verwendung der abgeänderten Vorrichtung nach Fig. 9 und Durchleiten
des silanhaltigen Gases durch die nach einer Seite offene Kammer parallel zur Glasoberfläche unter im wesentlichen
laminaren Strömungsbedingungen wiederholt. Der Gesamtgasdurchsatz wurde eingestellt, um einen gleichmäßigen überzug zu schaffen, und die Konzentration an Silan im Gas
wurde dann variiert, um die Dicke des Überzuges zu variieren und gleichzeitig dessen Gleichmäßigkeit beizubehalten. Die Verfahrensbedingungen waren:

Zusammensetzung der Schutzatmosphäre 90 Vol.-% Stickstoff

10 Vol.-% Wasserstoff Ofengeschwindigkeit der Glasbahn 365 m/h

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Glastemperatur

Durchsatz der Gasmischung

Zusammensetzung der zugeführten Gasmischung 620 ⁰C

50 l/min/m Verteilerlänge

(a) 5 Vol.-% Monosilan, SiH₄

95 Vol.-% Stickstoff

(b) 10 Vol.-% Monosilan, SiH₄

90 Vol.-% Stickstoff

(c) 7 Vol.-% Monosilan, SiH₄

3 Vol.-% Wasserstoff 90 Vol.-% Stickstoff

Die Dicke, der Brechungsindex und die optischen Eigenschaften des Glases waren:

5 (a) 5 (b)

5 (c)

Wellenlänge der maximalen Reflexion ( X max)

Brechungsindex Optische Dicke Dicke
Weißlichtdurchlässigkeit

Direkte Sonnenwarmedurchlassigkeit

Gesamte Wärmedurchlässigkeit Sonnens trahlungsreflexion

Farbe im durchscheinenden Licht Farbe bei Reflexion

4800 A	7100	O A	6000 A
3,45 1190 Ä 348 A 25 %	4,00 1780 444 21	Ä Ä %	3,80 1500 Ä 395 Ä 18 %
37 %	24	%	28 %
43 % 43 %	31 54	% %	34 % 52 %
braun silbern	grün golden	braun silbern golden

Ebenso wie die Anwendung der Erfindung auf das überziehen von Schwimmglas während seiner Herstellung läßt sich das erfindungsgemäße Verfahren auch zum Überziehen einer

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heißen Glasbahn anwenden, die auf anderem Wege erzeugt wird, z. B. nach dem bekannten Ziehverfahren oder Vertikalziehverfahren, bei dem eine geformte Glasbahn durch einen Vergütungs("lehr")Ofen vorrückt. Eine Form des Gasverteilers zum Oberziehen einer gezogenen Glasbahn in einem ("lehr")-Vergütungsofen ist schematisch in Fig. 10 dargestellt. Dieser Gasverteiler wäre im Vergütungsofen dort anzuordnen, wo die Glastemperatur im Bereich von 400 bis 750 ⁰C ist. Die Bahn von gezogenem Plattenglas 110 rückt auf "lehr"-Rollen 111 vor. Der Gasverteiler umfaßt eine Haube 112, die mit einer Abzugsleitung 113 verbunden ist. Der Gasverteiler befindet sich unter der Abzugshaube 112, und die Seitenwände der Abzugshaube 112 reichen nach unten bis nahe der Oberseite der Glasbahn 110. Der Gasverteiler weist außerdem eine Schutzhaube 114 auf, in der die Gaszuführleitung 35 liegt, die von einem wassergekühlten Mantel 36 in ähnlicher Weise wie beim Beispiel nach Fig. 3 umgeben ist.

Eine Gasströmungsdrosseleinrichtung in Form einer Waffelplatte 56 aus gewellten Metallblechen der gleichen Art wie in Fig. 5 wird auch hier von Tragplatten 55 getragen.

Die längliche, nach einer Seite offene Kammer 40 wird unter der Waffelplatte durch Kohleseitenstücke 115 begrenzt, die L-querschnittsförmig sind und eine öffnung im Dach der Kammer unter der Gasströmungsdrosselwaffelplatte 56 definieren. Der Boden der Seitenwände der Kohleformstücke 115 reicht bis dicht über die Oberseite der Glasbahn 110, und diese Anordnung ermöglicht eine Abgabe von silanhaltigem Gas in die Kammer 40 unter konstantem Druck über die Länge der Kammer, welche sich quer über die Breite der vorrückenden Bahn 110 aus gezogenem Glas erstreckt. Um eine nichtoxydierende Atmosphäre unter der Schutzhaube 114 zu haben,

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wird eine Schutzatmosphäre, ζ Β. eine Stickstoffatmosphäre oder eine aus 95 Vol.-% Stickstoff, und 5 Vol.-% Wasserstoff bestehende Atmosphäre durch Leitungen 117 eingeführt, die an der Oberseite der Haube 114 stromauf und stromab des Gasverteilers angeordnet sind. Gasströmungsdrosselmitte3 in Form von Waffelplatten 118, die der Waffelplatte 5? ähneln, ergeben einen Auslaß von jeder der Leitungen 1 17 für einen Strom der Schutzatmosphäre nach unten mit im wesentlichen konstantem Druck über die gesamte Breite des Verteilers zur Oberseite der Glasbahn hin. In dieser Weise ergibt sich ein konstanter Strom von Schutzatmosphäre im Bereich zwischen den Kohleseitenstücken 115 und der Schutzhaube 114. Gase werden unter den Bodenkanten der Schutzhaube nach oben durch die Abzugshaube 112 zur Abzugsleitung 113 abgezogen. Dadurch wird eine nicht-oxydierende Atmosphäre im Bereich des "lehr"-Ofens geschaffen, wo der Siliziumüberzug auf der Oberseite der Glasbahn erzeugt wird, und es ergibt sich ein ständiges Abziehen von Abgasen aus der Überzugszone weg, wodurch die Möglichkeit vermieden wird, daß sich silanhaltige Gase über die gesamte Länge des Vergütungsofens verbreiten.

Eine Abwandlung der Vorrichtung nach Fig. 10 kann auch in einer Umgebung verwendet werden, wo keine Schutzatmosphäre existiert, wie z. B. in einem Vergütungsofen, und ohne daß eine Schutzatmosphäre direkt zur Überzugsstation geleitet wird. Bei dieser Abwandlung werden die Leitungen 117 und die Waffelplatten 118 ausgelassen, und der Boden jedes der Kohleseitenstücke 115 wird in der Vorrückrichtung des Glases bis zu einer Abmessung erweitert, mit der im wesentlichen ein Eindringen der Außenatmosphäre in die Kammer 40 verhindert wird.

Ein Ausführungsbeispiel unter Verwendung dieser abge-509881/0998

wandelten Vorrichtung für das überziehen von gezogenem, mit Muster versehenem Glas beim Durchlaufen durch einen Vergütungs("lehr")Ofen ist folgendes:

Beispiel 6

überzogene Glasbahnbreite 1 m Ofendurchlaufgeschwindigkeit

der Glasbahn 350 m/h

Glastemperatür 620 ⁰C

Zusammensetzung der zugeführten Gasmischung 5,0 Vol.-% Monosilan, SiH₄

5,0 Vol.-% Wasserstoff 90,0 Vol.-% Stickstoff Durchsatz der Gasmischung 60 l/min/m Verteilerlänge

Es wurde ein gleichmäßiger überzug erzielt, der im durchscheinenden Licht braun und im reflektierten Licht silbern war.

Die optischen Eigenschaften des Überzugs sind folgende: Wellenlänge der Maximal-

reflexion ( X max)	4000 A
Brechungsindex	3,2
Optische Dicke	1000 Ä
Dicke	312 A
Weißlichtdurchlässigkeit	33 %
Direkte Sonnenwärme-
durchlässigkeit	45 %
Gesamtwärmedurchlässigkeit	51 %
Sonnens trahlungsreflexion	36 %

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Auch Schwimmglas ("float glass") läßt sich im Vergütungs("lehr")Ofen überziehen, durch den die Schwimmglasbahn vorrückt, nachdem sie vom Metallbad abgezogen wurde, sofern der Gasverteiler in dem Vergütungsofen dort angeordnet wird, wo die Glastemperatur über 400 ⁰C liegt.

Das erzeugte, mit Silizium überzogene Glas, hatte, wenn aus der Bahn in üblicher Weise in Scheiben geschnitten, ein gefälliges Aussehen und nützliche Sonnenstrahlungssteuerungseigenschaften, die es für Verglasungseinheiten, insbesondere für Fenster in Gebäuden, brauchbar machen.

Fig. 11 veranschaulicht eine solche Verglasungseinheit gemäß der Erfindung mit einer Glasscheibe 120, die einen Siliziumüberzug 121 trägt, dessen Dicke aus Veranschaulichungsgründen stark übertrieben ist. Die Scheibe ist in einem Rahmen 122 montiert, der in einer Wand 123 in irgendeiner bekannten Weise befestigt ist.

Das mit Silizium überzogene Glas kann auch in Vielfachverglasungseinheiten, insbesondere Doppelfenstereinheiten, verwendet werden. Eine solche Einheit ist in Fig. 12 dargestellt und umfaßt eine überzugslose Glasscheibe 126 und eine Glasscheibe 120 mit einem Siliziumüberzug 121, der im dargestellten Ausführungsbeispiel zwecks Schutzes gegen Witterungsexnflüsse im Inneren der Einheit angeordnet ist. Die Glasscheiben sind voneinander durch Abstandsstücke 124 bekannter Art getrennt, wobei die Glasoberflächen an den Abstandsstücken 124 unter Verwendung eines geeigneten Klebers haften. Die gesamte Einheit ist in einem Rahmen 125 zum üblichen Befestigen in einer Wand montiert.

Die Anordnung der mit Silizium überzogenen Flächen

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des Glases innerhalb der Doppelverglasungseinheit schützt die Siliziumüberzüge gegen Witterungseinflüsse. Unter Berücksichtigung der Dauerhaftigkeit der Siliziumüberzüge ist dies jedoch nicht unerläßlich, und die mit Silizium überzogenen Oberflächen der Glasscheiben können auch Außenoberflächen sein.

Eine überzogene Glasscheibe kann das innere oder das äußere Feld einer Doppelverglasungseinheit bilden. In einer Vielfachverglasungseinheit mit drei oder mehr Feldern kann das überzogene Glas als ein Zwischenfeld oder als das innere oder äußere Feld dienen.

Für einige Anwendungsfälle, wo Hochfestigkeitsglas benötigt wird, ist es zweckmäßig, das Glas durch einen Wärmetemperprozeß zäh zu machen, und das mit Silizium überzogene Glas gemäß der Erfindung wurde dementsprechend thermisch nach bekannten Verfahren zäh gemacht, ohne daß eine merkliche Beeinträchtigung des Siliziumüberzugs beobachtet wurde. Auch kann das überzogene Glas laminiert werden.

Das gefällige Aussehen des mit Silizium überzogenen Glases ermöglicht auch Anwendungsfälle, bei denen seine Sonnenstrahlungssteuerungseigenschaften nicht erforderlich sind, z. B. bei der Innenverglasung oder als dekoratives und manchmal konstruktives Element bei Möbeln. So kann das überzogene Glas beispielsweise eine Tischplatte bilden.

Das mit Silizium überzogene Glas kann auch als Spiegel verwendet werden, indem man einen dunklen Hintergrund zum Verhindern von Lichtdurchlaß durch das Glas vorsieht, wobei ein solcher Spiegel ein erfindungsgemäß mit Silizium überzogenes Glas mit einem dunklen Überzug, z. B. schwarzer Farbe, entweder über dem Siliziumüberzug oder auf der

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entgegengesetzten Oberfläche des Glases aufweist.

Bei Ausführung der Erfindung können auch andere Silane als Bestandteil des silanhaltigen Gases, z. B. Disilan, Si₂Hg oder Dichlorsilan, SiH₂Cl₂ verwendet werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren wurde zur Bildung eines SiIiziumüberzuges auf flachem Glas mit einer Dicke im Bereich von 200 bis 1000 A oder mehr erprobt. Vorzugsweise

haben die überzüge Dicken im Bereich von 250 bis 600 A

Dünnere überzüge innerhalb dieses Bereichs sind im reflektierten Licht silbrig-blau und im durchgelassenen Licht braun. Wenn die Dicke des Überzugs steigt, ergibt sich nach und nach eine Änderung im Aussehen, so daß bei Erreichen der Dicke von etwa 400 A das überzogene Glas im reflektierten Licht gelb-silbrig und im durchgelassenen Licht braun erscheint.

Die Durchlaß- und Reflexionsfarben vertiefen sich weiter, bis die überzugsdicke etwa 450 Ä erreicht, bei welcher Dicke Interferenzfarben bemerkenswert werden. Interferenzfarben sind üblicherweise auf Schwimmglas nicht erwünscht, obwohl sie besondere Effekte für bemustertes Glas ergeben können. Allgemein werden für Sonneneinstrahlungsdämpfung auf nichtgemustertem Glas überzüge mit einer Dicke im Bereich von 300 bis 450 Ä bevorzugt, und überzüge gleichmäßigen Aussehens lassen sich in diesem Dickenbereich ohne weiteres erzeugen.

Die Dicke des erfindungsgemäßen Überzuges auf Glas wurde nach einer einfachen optischen Technik bestimmt, indem die Wellenlänge ( Λ max) gemessen wurde, bei der die Lichtreflexion vom überzug ein Maximum (R max) ist.

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Die Dünnfilmtheorie zeigt:

_max =

Nc² + Ng

worin Nc = Brechungsindex des Überzugs Ng = Brechungsindex des Glases.

So läßt sich, vorausgesetzt, daß der Brechungsindex des Glases bekannt ist, der Brechungsindex bestimmen. Der Brechungsindex steht mit der Dicke des Oberzugs durch die Gleichung

Nc · d = = optische Dicke in Beziehung, worin d die Dicke des Überzugs bedeutet.

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Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zum überziehen von Glas, dadurch gekennzeichnet, daß man das Glas an einer Überzugsstation vorbeibewegt, wobei die Temperatur des Glases wenigstens 400 ⁰C ist, der Überzugsstation silanhaltiges Gas zuführt, das Gas nahe der heißen Glasoberfläche mit im wesentlichen konstantem Druck in eine zur Glasoberfläche geöffnete und quer über diese erstreckte heiße Zone einführt und in der heißen Zone nicht-oxydierende Bedingungen aufrechterhält.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Zusammensetzung des Gases reguliert, um eine Silanpyrolysegeschwindigkeit auf der heißen Glasoberfläche zum Erzeugen eines Siliziumüberzuges von bestimmter Dicke auf der Oberfläche einzuhalten.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man den Gasdurchsatz zum Erhalten eines gleichmäßigen Überzugs und die Silankonzentration im Gas zum Erzielen der gewünschten Dicke des Überzugs reguliert.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Glases an der Überzugsstation im Bereich von 500 bis 700 ⁰C liegt.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß man das Glas an der Überzugsstation in Form einer zusammenhängenden Glasbahn vorbei-

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bewegt und die Zusammensetzung des Gases in Abhängigkeit von der Vorrückgeschwindigkeit der Glasbahn reguliert.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man die Glasbahn längs eines Metallschmelzbades vorrücken läßt, über dem eine Schutzatmosphäre aufrechterhalten wird, und das silanhaltige Gas in die heiße Zone einführt, die dort angeordnet ist, wo die Glastemperatur im Bereich von 600 bis 670 ⁰C liegt.

7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man die Glasbahn durch einen Vergütungs("lehr")Ofen vorrücken läßt und das silanhaltige Gas in die heiße Zone einführt, die sich in dem Ofen dort befindet, wo die Glastemperatur im Bereich von 400 bis 700 ⁰C liegt.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das silanhaltige Gas aus 0,1 bis 20 Vol.-% Silan, bis zu 10 Vol.-% Wasserstoff und 70 bis 99,9 Vol.-% Inertgas besteht.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Silan Monosilan, SiH. ist.

10. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Gasverteiler (26) zur Anordnung quer zur Bewegungsbahn einer zu überziehenden Glasoberfläche (41) mit einer Gaszuführleitung (35) zum Zuführen des Oberzugsmaterials in Gasform, Mitteln (z. B. 36) zur Steuerung der Temperatur der Leitung (35) und einer länglichen, nach einer Seite offenen, an der Bewegungsbahn

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anzuordnenden Kammer (40), die mit der Gaszuführleitung (35) über ihre gesamte Länge durch eine Gasströmungsdrosseleinrichtung (56) in Verbindung steht, die zur Gaseinführung aus der Leitung (35) in die Kammer (40) mit konstantem Druck über die Länge der Kammer dient.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Steuerung der Temperatur der Leitung (35) ein Kanal (36) zum Kühlen der Leitung vorgesehen ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasströmungsdrosseleinrichtung (56) aus einer Anzahl von Kanälen (59) geringer Querschnittsfläche besteht, die von der Gaszuführleitung (35) zur Kammer (40) führen und deren Abmessungen so gewählt sind, daß der Druckabfall längs der Leitung (35) im Vergleich mit dem Druckabfall längs der Kanäle klein ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, gekennzeichnet durch eine Wärmeisolation (42) zwischen der Leitung (35) und der Kammer (40).

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Seitenwände (101) der Kammer (40) unter Bildung eines Kanals in der Kammer geformt sind, der von der Drosseleinrichtung (56) zur offenen Seite der Kammer (40) divergiert (Fig. 7, 8).

15. Glasbahn, die nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1 hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen im wesentlichen gleichmäßigen, elementares Silizium enthaltenden überzug trägt.

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16. Glasbahn nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug im wesentlichen aus Silizium besteht.

17. Glasbahn nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug eine gemäß der Beschreibung be-

stimmte Dicke im Bereich von 250 bis 600 A aufweist.

18. Glasbahn nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der überzug eine gemäß der Beschreibung bestimmte Dik-

ke im Bereich von 300 bis 450 A aufweist.

19. Glasscheibe, die von einer Glasbahn nach einem
der Ansprüche 15 bis 18 abgeschnitten ist.

20. Verglasungseinheit mit einer Glasscheibe nach
Anspruch 19, gekennzeichnet durch einen Überzug (121) mit elementarem Silizium auf dereinen Hauptoberfläche und einen Rahmen (122) für die Scheibe (120).

21. Verglasungseinheit nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug (121) im wesentlichen aus Silizium besteht.

22. Verglasungseinheit nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der überzug (121) eine gemäß der Beschreibung bestimmte Dicke im Bereich von 250 bis 600 A aufweist.

23. Verglasungseinheit nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug eine gemäß der Beschreibung bestimmte Dicke im Bereich von 300 bis 450 Ä aufweist.

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24. Vielfachverglasungseinheit mit wenigstens zwei Scheiben aus Verglasungsmaterial gemäß Anspruch 19 in Parallelabstandsanordnung, dadurch gekennzeichnet , daß wenigstens eine Scheibe eine Glasscheibe (120) mit einem Überzug (121) mit elementarem Silizium ist.

25. Mit Silizium überzogenes, nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1 erzeugtes Flachglas, dadurch gekennzeichnet, daß es einen im wesentlichen gleichmäßigen Siliziumüberzug einer optischen Dicke im Bereich von 950 bis 1600 Ä und mit einem Brechungsindex im Bereich von 3,0 bis 4,0 aufweist.

26. Flachglas nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß es, von der überzogenen Seite aus betrachtet, eine Weißlichtdurchlässigkeit im Bereich von 17 bis 34 % (bestimmt unter Verwendung einer "C. I. E.-Illuminat-C"-Quelle), eine direkte Sonnenwärmedurchlässigkext im Bereich von 27 bis 45 % und eine Sonnenstrahlungsreflexion im Bereich von 34 bis 52 % aufweist.

27. Flachglas, gekennzeichnet durch einen elementares Silizium enthaltenden Überzug, der nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 hergestellt ist.

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