CS209479B2

CS209479B2 - Method of coating the flat glass by the silicon and device for executing the same

Info

Publication number: CS209479B2
Application number: CS754156A
Authority: CS
Inventors: Bernard J Kirkbride; Robert A Downey; Charles V Thomasson; Joseph E Lewis
Original assignee: Pilkington Brothers Ltd
Priority date: 1974-06-14
Filing date: 1975-06-12
Publication date: 1981-12-31
Also published as: RO75159A; ZA753807B; SE410591B; DE2526209A1; AT347617B; ATA455675A; FR2274572A1; IT1041380B; NO140533C; AR205204A1; JPS5130219A; IN144078B; IE41157B1; DD120644A5; JPS5531099B2; CA1048870A; LU72728A1; NZ177812A; DE2526209C3; US4019887A

Description

(54) Způsob povlékání plochého skla křemíkem a zařízení k provádění tohoto způsobu

Účelem vynálezu je vytvořit zlepšený způsob a zařízení k povlékání plochého -skla křemíkem, aby byla zvýšena hospodárnost způsobu a dosaženo větší rovnoměrnosti . tloušťky povlaku z křemíku.

Účelu vynálezu se dosahuje tím, že -se v bezprostřední blízkosti povrchu plochého skla o teplotě 400 až 750 °C uvolňuje plyn obsahující silan - a inertní plyn při konstantním tlaku a při udržování neoxidaoních podmínek v místě vytváření povlaku. Uvolňování plynu obsahujícího sílán a inertní plyn se provádí v zařízení podle vynálezu, které za< hrnuje podlouhlý rozváděč plynu, uložený j napříč dráhy posuvu povlékaného povrchu

I skla a sestávající z podlouhlé komory -s čel| ní plochou otevřenou směrem' .k povrchu i skla a z přívodního vedení, vytvořeného z menšího- členu tvaru obráceného U, umístěného .souběžně nad touto- podlouhlou komorou. Kolem přívodního vedení pro plyn přilehle k jeho vnějšímu povrchu tvořenému menším členem tvaru obráceného- U je uspořádán kanál pro cirkulaci teplosměnné tekutiny, -vymezený klenbou a postranními -stěnami většího členu tvaru -obráceného U, přičemž mezi podlouhlou komorou a přívodním vedením pro· plyn je uspořádán po délce podlouhlé -komory omezovač proudu plynu.

Vynález je použitelný - ve spojení se všemi známými způsoby výroby plochého -skla.

Obr: 3

Vynález se týká způsobu povlékání plochého skla křemíkem, při kterém se ploché sklo pohybuje povlékací stanicí, přičemž jeho teplota je od 400 °C do 750 °C a sklo se povléká křemíkem tepelným rozkladem plynu obsahujícího sílán a inertní plyn na povrchu skla.

Vynález se dále týká zařízení к provádění výše uvedeného způsobu, zahrnujícího podlouhlý rozváděč plynu, uložený napříč dráhy posuvu povlékaného povrchu skla a sestávající z podlouhlé komory s čelní plochou otevřenou směrem к povrchu skla a z přívodního vedení, vytvořeného z menšího členu tvaru obráceného U, umístěného souběžně nad touto podlouhlou komorou.

Různé povlékací materiály se dosud používají nebo se navrhují pro úpravu propustnosti záření a odrazových vlastností skla, pro zlepšení vzhledu skla nebo pro vytvoření dekorativních vzorů na povrchu skla. Takové povrchy často slouží více než jednomu účelu. Například povlaky z kysličníků kovů a vakuově naparované povlaky se užívají pro vybavení skla vlastnostmi к ovládání slunečního· záření a současně dávají sklu přitažlivý odstín.

Je známo, že se sílaný zahříváním rozkládají a při tom vzniká křemík. Sílaný se tudíž používají jako zdroj křemíku v elektrovodivých strukturách.

Úkolem vynálezu je vytvořit na povrchu skla povlak z křemíku, který by se mohl nanášet hospodárně, měl dobré vlastnosti pro ovládání slunečního· záření a příjemný vzhled, jako doplněk sortimentu známých skel s povlakem pro ovládání slunečního· záření, zejména pro zasklívání oken.

Vynález je založen na objevu, že povlak z křemíku může být vytvořen na žhavém povrchu skla, například na spojitém pásu žhavého skla, hospodárným způsobem, který vytváří trvanlivý a stejnoměrný povlak, se žádanými vlastnostmi pro ovládání slunečního záření a mající příjemný a stejnorodý vzhled.

Vynález řeší úkol tím, že vytváří způsob povlékání plochého skla křemíkem, při kterém se ploché sklo pohybuje povlékací stanicí, přičemž jeho teplota je od 400 do 750 °C a sklo se povléká křemíkem tepelným rozkladem plynu obsahujícího silan a inertní plyn ,na povrchu skla, jehož podstata spočívá v tom, že plyn obsahující silan a inertní plyn se uvolňuje v bezprostřední blízkosti žhavého povrchu skla při konstantním tlaku na povrch plochého· skla do horké zóny povlékací stanice a v horké zóně se udržují neoxi•dačiní podmínky.

Je výhodné, když se udržuje rychlost tepelného rozkladu sílánu regulací koncentrace sílánu v plynu obsahujícím silan a inertní plyn pro vytváření povlaku křemíku předem stanovené tloušťky na povrchu skla.

Dále je výhodné, když se reguluje rychlost proudění plynu obsahujícího silan a inertní plyn na hodnotu, při které se vytváří stejnoměrý povlak.

Dále je výhodé, když se teplota skla v povlékací stanici udržuje v rozmezí 500 až 700 °C.

Dále je výhodné, když se sklo posouvá povlékací stanici ve tvaru spojitého pásu skla a koncentrace silanu v plynu :se reguluje v závislosti na rychlosti posuvu pásu skla.

Dále je výhodné, když se pás skla posouvá po lázni roztaveného kovu, nad kterou se udržuje ochranná atmosféra a plyn obsahující silan a inertní plyn se uvolňuje do uvedené horké zóny, která je umístěna v místě, kde teplota skla je v rozmezí 600 až 670 ^QC.

Dále je výhodné, když se pás skla posouvá chladicí pecí a plyn obsahující silan a inertní plyn se uvolňuje do uvedené horké zóny, která je umístěna v chladicí peci v místě, kde teplota skla je v rozmezí 400 až 700 °C.

Dále je výhodné, když plyn obsahující silan a inertní plyn obsahuje silan v objemové koncentraci od 0,1 do 20 %, vodík v objemové koncentraci od 1 do 10 % a inertní plyn v objemové koncentraci od 70 do

99,9 %.

Dále je výhodné, když je silanem moinosilan SiH4.

Vynález dále vytváří zařízení к provádění způsobu definovaného výše, zahrnující podlouhlý rozváděč plynu, uložený napříč dráhy posuvu povlékaného povrchu skla a sestávající z podlouhlé komory s čelní plochou otevřenou směrem к povrchu skla a z přívodního vedení vytvořeného z menšího členu tvaru obráceného U, umístěného souběžně nad touto podlouhlou komorou, jehož podstata spočívá v tom, že kolem přívodního vedení pro plyn, přilehle к jeho vnějšímu povrchu tvořenému menším členem tvaru obráceného U, je uspořádán kanál pro cirkulaci teplosměnné tekutiny, vymezený klenbou a postranními stěnami většího členu tvaru obráceného U, přičemž mezi podlouhlou komorou a přívodním vedením pro plyn je uspořádán po délce podlouhlé komory omezovač proudu plynu.

Je výhodné, když omezovač proudu plynu sestává ze řady kanálků vedených mezi přívodním vedením pro plyn a podlouhlou komorou.

Dále je výhodné, když je mezi přívodním vedením pro plyn a podlouhlou komorou vložena deska z tepelně isolačního materiálu.

Dále je výhodné, když boční stěny podlouhlé komory vymezují v podlouhlé komoře kanál vytvořený rozbíhavě od omezovače proudu plynu к otevřené čelní ploše podlouhlé komory.

Těmito opatřeními podle vynálezu se dosáhne obzvláště hospodárného způsobu povlékání skla křemíkem, vysoké rovnoměrnosti tloušťky i vzhledu křemíkového povlaku -s výbornými vlastnostmi к ovládání slunečního záření, přičemž poměrně jednodu209479 chou regulací lze dosáhnout na skle křemíkového povlaku předem určené tloušťky.

Nyní bude popsáno několik příkladů provedení vynálezu -s odkazem na přiložené výkresy, - ve kterých obr. 1 je svislý podélný řez zařízením na výrobu -plaveného skla, s -nádrží obsahující lázeň roztaveného kovu a rozváděč plynu podle vynálezu, umístěný -napříč dráhy posuvu pásu skla u -výstupního konce zařízení, obr. 2 je řez v -rovině II—II z obr. 1, obr. 3 je řez v rovině III—III z obr. 2, znázorňující podrobněji detail rozváděče plynu, obr. 4 je pohled ze -spodní strany na rozváděč plynu z obr. 3, znázorňující omezovač proudění plynu, kterým se ochlazený plyn -vpouští do -spodní podlouhlé komory s otevřenou čelní plochou, obr. 5 je část omezovače proudění plynu -ve větším měřítku, -obr. 6 je -nárys ve směru šipky VI z obr. 3, znázorňující mechanismus nastavení postranních uhlíkových bloků -na rozváděči plynu, -obr. 7 je částečný řez podobný obr. 3, který znázorňuje úpravu rozváděče plynu s -tvarovanými postranními -stěnami podlouhlé - komory vytvářejícími rozbíhavý průřez této podlouhlé komory, obr. 8 je částečný řez podobný -obr. 7, který znázorňuje ještě jiný tvar tvarovaných postranních -stěn podlouhlé komory, obr. 9 je řez podobný jako -v obr. 3 alternativním tvarem^ rozváděče plynu s ještě jinak tvarovanou podlouhlou komorou, obr. 10 je schematický řez jiným provedením vynálezu pro p-ovlékání -skla v chladicí peci, obr. 11 je řez zasklívací jednotkou -obsahující -sklo- opatřené povlakem -z křemíku vyrobeným způsobem podle vynálezu a obr. 12 je řez podobnou, avšak vícenásobnou zasklívací jednotkou.

Shodné součásti jsou -na výkresech označeny -shodnými vztahovými značkami.

Obr. 1 až -6 -znázorňují výhodnou formu zařízení podle vynálezu pro použití k nanášení stejnoměrného tenkého povlaku z kře^ míku na horní povrch pásu skla vyráběného· plavením na lázni roztaveného· kovu. Povlak z -křemíku se nanáší u výstupního- konce lázně roztaveného kovu, když se pás skla přibližuje k místu, kde -se zdvihá s povrchu - lázně roztaveného kovu, na které byl -vytvarován.

Obr. 1 -a 2- znázorňují zařízení pro výrobu plochého· skla plavením na lázni 13 roztaveného kovu uložené -v nádrži -sestávající ze vstupní koncové stěny 6, dna 7, výstupní koncové stěny 8 a postranních -stěn 9. U vstupní - koncové stěny 6 je žlab 2 pro přivádění -skloviny 1 z úpravné části sklářské tavící pece. Žlab 2 je zakončen výpustí s postranními stěnami 3 a dnem 4. Proud -skloviny - 1 tekoucí do výpusti, -obvykle sodnovápenatokřeimičité skloviny, se řídí ovládacím hradítkem 5. Výpust přečnívá přes vstupu koncovou stěnu 6 nádrže.

Sklovina 1 stéká přes dno- 4 výpusti ne povrch lázně 10 roztaveného kovu, kde vy - ý tváří rozplav 11. U vstupního konce lázně roztaveného kovu se udržuje teplota as.M

100C °C -ohřívači 12 -upevněnými v klenbě- 13, která je uložena nad nádrží a vymezuje -horní prostor 14 nad lázní 18 roztaveného- kovu. Klenba 13 má vstupní koncovou -stěnu 15, která sahá dolů až k povrchu lázně 10 roztaveného- kovu u jejího vstupního konce a která vytváří vstup 16 vymezené výšky. Klenba 13 má nástavec 17, který sahá až k - -ovládacímu hradítku 5 pro vytvoření komory, ve které je uzavřena výpust.

Klenba 13 má dále u -výstupního konce svislou -stěnu 19. Mezi spodní plochou svislé -stěny 19 klenby 13 a horní plochou výstupní koncové -stěny - <3 nádrže je vytvořen výstup 23 pro- pás 21 skla. Za výstupem 20 jsou upevněny poháněné -tažné válce 22, které -mají horní povrchy právě nad - úrovní horního povrchu koncové stěny 8 nádrže, takže pás 21 skla -se mírně zdvihne -s povrchu lázně 10 roztaveného kovu pro jeho odvedení vodorovným, směrem po- tažných válcích 22 od výstupu 23 nádrže.

V - herním prostoru 14 nad lázní 19 -roztaveného kovu se- udržuje -s přetlakem ochranná atmosféra, -například objemová koncentrace- 95% dusíku a 5% vodíku, která se přivádí trubkami 23 vedenými dolů klenbou 13 a připojenými ke společné napájecí trubce

24. Ochranná atmosféra proudí dole vstupem 18 a -vyplňuje tak komoru, ve- které je uzavřena výpust skloviny 10. Podél lázně 10 roztaveného kovu -se udržuje teplotní -spád, takže u vstupního konce lázně 10 roztaveného -kovu je- teplota asi 1000 °C a u výstupního konce lázně 10 roztaveného· - kovu je teplota v rozmezí 570 až 650 ^CC, při které je pás 21 skla již dostatečně ztuhlý, aby -se nepoškodil -stykem s tažnými válci 22, takže může být zvednut s povrchu lázně 10 roztaveného kcvu (obr. lj.

Sklovina 1, která proudí přes -dno 4 výpuste - na lázeň 13 -roztaveného kovu, -se -roztěká na lázni 1Γ5 roztaveného kovu do stran (obr. 2] a vytváří vrstvu, která se potom- dále posouvá .jako pás 21 -skla, který -se postupně ochlazuje a nakonec se odvádí s povrchu lázně -roztaveného· kovu. Šířka pásu 21 skla vytvářeného- na lázni 10 roztaveného kovu je menší než šířka nádrže mezi postranními stěnami 9.

U výstupního· konce lázně 10 roztaveného kovu, kde je teplota pásu 21 -skla v - rozmezí 570 až 670 =C, je -napříč ke dráze posuvu pásu 21 skla po lázni 10 roztaveného· kovu uspořádán rozváděč 26 plynu pro přivádění plynu obsahujícího· silan k hornímu povrchu 41 pásu 21 skla.

Při provádění způsobu podle vynálezu -se ; k povrchu 41 pásu 21 skla přivádí plyn obsa- bující silan, který -obsahuje v objemové kon. ceutraci 0,1 až 20 % sílánu, 0,1 až 10 % vojliku a 70 až 99,,3% inertního plynu, napří' klad dusíku. Při teplotách v rozmezích 570 iž 670 ^cC se silan snadno- rozkládá pyrolýД Jdi -na žhavém povrchu 41 pásu 21 skla a r? :u nechává na něm povlak - křemíku Si. - Vý^:ffi^;iodně se jako· -silan použije monosilan SiH<r

Ί

Rozváděč 26 plynu z obr. 1 je podrobněji znázorněn na obr. 3 až 6. Rozváděč 26 plynu zahrnuje dutou kanálovou sek-ci 27, která je přivařena svarem 28 ke klenbě 29 většího členu tvaru obráceného U, který má postranní stěny 30. Dutá kanálová sekce 27 slouží jako vedení 31 pro průtok chladicí kapaliny, obvykle vody.

Od každé z postranních stěn 30 po celé jejich délce· vyčnívají dovnitř vodorovné desky 32, jejichž vnitřní okraje mezi sebou vymezují štěrbinu 33.

Na vodorovných deskách 32 je souměrně uložen menší člen 34 tvaru obráceného* U a zakrývá štěrbinu 33. Spodní okraje menšího členu 34 tvaru obráceného· U jsou přivařeny k vodorovným deskám 32. Menší člen 34 tvaru obráceného· U vymezuje přívodní vedení 35 pro· plyn s výstupním otvorem tvořeným štěrbinou 33 na jeho spodní straně.

Mezi menším_: členem 34 tvaru obráceného· U a klenbou 29 a postranními stěnami 30 je vymezen kanál 36 tvaru obráceného U pro proud chladicí vody.

Rozváděč 26 plynu také vymezuje podlouhlou komoru 40 s otevřenou spodní plochou, přilehlou k hornímu povrchu 41 pásu 21 skla a spojenou v *ce.lé své délce · s přívodním vedením 35 pro plyn.

V provedení podle obr. 1 až 6 má podlouhlá komora 40 klenbu vymezenou deskami 42 z tepelně isolačního materiálu, zejména ze stlačeného •anorganického* vláknitého· materiálu, které mezi sebou vymezují podlouhlý otvor 43, který lícuje se štěrbinou 33 ve dnu přívodního vedení 35 pro plyn.

V provedení podle obr. 1 až 6 má podlouhlá komora 40 konce uzavřeny dvěma uhlíkovými deskami 44 *a každá postranní stěna podlouhlé komory 40 je vytvořena ze dvou uhlíkových desek 45, které jsou spolu spojeny středovým čepem 46 (obr. 2], který je upevněn v postranní stěně 30 kanálu 36.

Uhlíkové desky 45 jsou udržovány v poloze přilehlé k izolačním podložkám 47 z téhož materiálu jako desky 42 z tepelně isolačního materiálu, které přiléhají k upínacím deskám 48 přivařeným k postranním stěnám 30, šrouby · 49, které procházejí štěrbinami 50 v uhlíkových deskách 45 a jsou připevněny k upínacím deskám 48. Na každém šroubu 49 je maticí 52 držena tlačná pružina 51, která je opřena o podložku 53 na vnější ploše uhlíkové desky 45. Toto uspořádání umožňuje · nastavení uhlíkových desek 45 popsaným způsobem tak, *aby spodní plochy 54 uhlíkových desek 45 byly uspořádány co· nejblíže ' k hornímu povrchu 41 pásu 21 skla po jeho· celé šířce.

Omezovač 56 proudu plynu je upevněn mezi štěrbinou 33 a· otvorem 43 a m₍ezi nosnými deskami 55 a je vyroben ze zvlněných kovových pásů. Nosné desky 55 jsou přišroubovány k vodorovným deskám 32 šrouby 57, jejichž hlavy jsou zapuštěny do nosných desek 55 a jsou překryty deskami 42 z tepelně isolačního· materiálu, které jsou upevněny vhodným lepidlem k nosným deskám 55. Jak je znázorněno na obr. · 5, omezovač 56 proudu plynu obsahuje · množství zvlněných kovových pásků 58, které mají malou plochu průřezu vzhledem k ploše průřezu přívodního vedení 35 pro plyn, takže když se plyn obsahující silan přivádí · pod tlakem do· přívodního vedení 35 pro· plyn, jak je znázorněno na obr. 2, úbytek tlaku v přívodním vedení 35 pro plyn je nízký ve srovnání s úbytkem tlaku v kanálcích 59 a omezovač 56 · proudu plynu účinně · omezuje proudění plynu ' obsahujícího silan do podlouhlé komory 40 při dostatečně stálém tlaku a teplotě po její celé délce.

Nosné desky 55, ve kterých je omezovač 56 proudu plynu upevněn, jsou také · z kovu, který je v bezprostředním styku s chlazený- i mi vodorovnými deskami 32, · takže omezovač 56 proudu plynu se udržuje na· teplotě pod 400 °C přes to, že rozváděč 26 plynu je- umístěn v horním prostoru 14 u výstupního- kon- m ce výrobního zařízení pro· plavené sklo, kde teplota okolí je mírně pod teplotou pásu 21 skla.

Je ovšem třeba, aby se podlouhlá komora 40 ohřívala zářením z horního povrchu 41 pásu 21 sk-a, který se pohybuje pod · · otevřenou plochou podlouhlé komory 40, přičemž rozváděč 26 plynu je umístěn tak, jak je znázorněno na obr. 3 a č-elní plocha 61 por dlouhlé komory 40 je· umístěna přilehle · k hornímu povrchu 41 pásu 21 skla, na kterém se usazuje povlak z křemíku.

Uspořádání desek 42 z tepelně isolačního materiálu zajišťuje, že přívodní vedení 35 pro plyn -a omezovač 56 proudu plynu se mohou udržovat na teplotě pod 400 °C, · takže silan se nerozkládá a neusazuje na vnitřním povrchu přívodního vedení 35 pro plyn nebo na omezovači 56 proudu plynu. Uhlíkové stěny podlouhlé komory 40 se udržují v podstatě na teplotě okolí, takže prostor v · podlouhlé komoře 40 tvoří ohřívací zónu, do které · se ochlazený plyn · obsahující silan uvolňuje při dostatečně stálé teplotě a stálém tlaku napříč povrchu pásu 21 skla.

K jednomu konci rozváděče · . 26 plynu se vně nádrže přivádí chladicí voda, · jak · je znázorněno· na obr. 2. Přívodní potrubí 62 * je připojeno ke kanálu 36 a voda teče* kanálem 36 · k druhému konci rozváděče 26 · plynu a potom ineznázorněným otvorem · v klenbě 29 a ve dnu duté kanálové sekce · 27 · do horního vedení 31 v duté kanálové sekci 27. Voda protéká · vedením 31 · do odváděcího vodního· potrubí 63 na témže konci rozdělovače 26 plynu, na kterém je připojeno· · přívodní vodní potrubí 62.

'Chladící voda takto ochlazuje dutou kanálovou sekci 27, klenbu 29, postranní stěny 30 a menší člen 34 tvaru obráceného U, takže je zajištěna tuhost rozdělovače · 26 plynu a plyn obsahující silan, proudící přívodním · vedením 35 pro plyn, je udržován na teplotě přibližně rovné teplotě chladicí vody, to je· 40^ až 50 °C.

10

Podle obr. 2 je podlouhlá komora 40 u dna rozváděče 26 plynu uspořádána pouze v jeho střední části a má délku rovnou největší šířce pásu 21 skla, který se vyrábí plavením na lázni 10 .roztaveného· kovu. Štěrbina 33 je tudíž vytvořena pouze ve střední části přívodního· -vedení 35 pro plyn, a směrem k jeho oběma koncům, to· je mimo podlouhlou komoru 40, má přívodní vedení 35 pro plyn i kanál 36 pro cirkulaci teplosměnné .kapaliny spojitou stěnu, vytvořenou z desky přivábené k postranním' stěnám 30.

Rozváděč 26 plynu je nastavitelně uložen ve stěnách 9 nádrže na lázeň 10 roztaveného kovu způsobem znázorněným na obr. 2 a je utěsněn v otvorech 64 v nich vytvořených. Při montáži rozváděče 26 plynu jsou otvory 64 prosty těsnění a rozváděč 26 plynu se zasune ve -směru napříč nádrže z jedné strany, to- jest z levé -strany podle obr. 2. Levý -konec rozváděče 26 plynu je upevněn v objímce 65, která - je -uložena na horním konci - ozubené tyče 66, jejíž spodní konec je v záběru se šnekovým -kolem uloženým ve skříni 67 s ručně -otočným kolečkem 68. Skříň 67 je uložena na podvozku 69, který je uzpůsoben pro pojíždění -na nosné kolejnici 70, jejíž pouze -malá část je znázorněna na obr. 2. Nosná kladka 71 uložená na horním konci podpěry 72 je -svisle nastavitelná -k vytvoření podpěrného- účinku pro -rozváděč 26 plynu při jeho zasouvání z levé strany nádrže na lázeň - 10 roztaveného kovu (obr. 2).

Rozváděč 26 plynu je dále veden ve -směru napříč nádrže na -další nosné kladce 71‘, která je uložena na horním konci nastavitelné podpěry 73 umístěné na pravé straně nádrže na lázeň 10 roztaveného· kovu (obr. 2], Pravý konec rozváděče 26 plynu je uložen v -objímce- 74, která je upevněna na -ozubené tyči 75, uspořádané v záběru se šnekovým kolem v pouzdru 76, přičemž šnekové soukolí je -ručně nastavitelné kolečkem 77. Pouzdro 76 je upevněno- na pevné nodpěře 78. ^x

Při seřizování rozváděče 26 plynu po jeho zasunutí do nádrže a zajištění mezi -objímkami 65 -a 74, -se kolečka 68 -a 77 uvedou -do otáčení pro zdvihnutí rozváděče 26 plynu z nosných kladek 71, 7ť. Otáčení koleček 68 a 77 také umožňuje- nastavení výšky rozváděče 26 plynu podél celé šířky nádrže tak, že spodní plochy 54 uhlíkových desek 45 jsou nastaveny co -nejblíže k hornímu povrchu 41 pásu 21 -skla. V -provozu je výhodné podepřít -rozváděč 26 plynu na jeho spodní straně při jeho zavádění do nádrže. V -tomto - případě se- rozváděč 26 plynu vsunuje shora dolů a potom se -otočením objímek 65 a 74 převrátí o 180°.

Přes chlazení duté kanálové sekce 27, klenby 29 -a postranních stěn 30, které pomáhá udržet tuhost rozváděče 26 plynu, se vyskytuje určité prohnutí rozváděče 26 plynu a pro jeho- kompensaci jsou uhlíkové -desky 45 nastavitelné -kolem -svých středových čepů 46. Toto nastavení se -provádí -mechanismem - - znázorněným schematicky v obr. 2 a podrobněji v obr. 3 - a 6.

.Každá uhlíková deska 45 má pět štěrbin 50, kterými - prochází - pružina zatěžující silou přídržné šrouby 49. Přilehle k vnějšímu konci každé uhlíkové desky 45 v blízkosti druhé štěrbiny 50 je k hornímu povrchu každé štěrbiny 50 upevněn nastavovač, který je také upevněn -k hornímu povrchu každé uhlíkové desky 45 k jejich otáčení kolem jejich pevného- středového čepu 46 v mezích nastavení vymezených štěrbinami 50. Obvykle -seuhlíkové desky 45 otáčejí mírně dolů kolem svého středového- čepu 46, aby se vyrovnalo prohnutí duté -kanálové -sekce 27, klenby 29 a postranních -stěn 30 a aby spo^dní -plochy 54 uhlíkových -desek 45 byly nastaveny co nejblíže k hornímu povrchu 41 -pásu - 21 skla podél jeho celé šířky. Každý nastavovač sestává z kovové základní desky 79, která je upevněna šrouby 80 -k hornímu - povrchu příslušné uhlíkové desky 45. Základní - deska 79 nese nahoru -vyčnívající kolík 81, ke - , kterému jsou připojeny vidlice - 82 na -spodním konci závitové tyče 83 čepem 84. Závitová tyč 83 je vyvedena nahoru okem 85 v nosném -držáku 86, který je přivařen ke vnější ploše - postranní stěny 30 kanálu 36. Opěrná podložka 87 je upevněna k vrchu nosného držáku 86 a -závitová tyč 83 prochází nahoru touto opěrnou podložkou 87 a -má na sobě našroubováno ozubené kuželové kolo 88 -s vnitřním závitem, které zabírá -s kuželovým ozubeným -kolem 89, které je -připevněno ke konci vodorovně upevněné tyče 99, která je držena v ložisku 91 -upevněném na žebru 92, které je připevněno šrouby- 93 k -držáku 94 přivalenému ke -vnějšímu povrchu duté - kanálové sekce 27.

Jak je -znázorněno na obr. 2, každá tyč 90 prochází vedle duté kanálové sekce - 27 postranní stěnou 9 nádrže -a je uložena v neznázorněném druhém ložisku, v -objímce 65, popřípadě v -objímce 74, -a vnější konec každé tyče 90 má tvar matice pro nasazení nástroje pro otáčení tyče 90 pro -zdvihnutí nebo -spuštění uhlíkových desek 45 kolem jejich -středových čepů 46. Každé plynové -přívodní potrubí 60 je připojeno·, jak je znázorněno na obr. 2 u levé strany, ke směšovací 192, který je spojen -s plynovým přívodním potrubím 193 přes průtokoměr 194 -a nastavitelný ventil 95 -k potrubí 96, které je- připojeno ke zdroji plynného monosilainu -S1H4 v - dusíku. Drahé plynové přívodní potrubí 97 je připojeno ke- směšovací 192 .a průtokoměrern 98 k nastavitelnému ventilu 99, -spojenému - plynovým přívodním potrubím 100 se zdrojem směsi dusíku -a vodíku, jejíž složení je- nastavitelné.

Regulace ventilů 95 -a 99 umožňuje- řídit složení plynu obsahujícího silan, dodávaného do- plynového přívodního potrubí 60 tak, že tento plyn obsahuje v - objemové koncentraci od -0,1 do 20- % silanu, až -do 10 % vodíku ia od 70 do 99,9 % inertního' plynu, kterým je- v tomto- případě - dusík. Výhodně jsou plynová přívodní potrubí 60 u obou konců rozváděče 26 plynu připojena ke

192, , avšak může být vytvořen oddělený přívod pro- oba, konce rozváděče 26 plynu.

Zatímco v popisovaném provedení vynálezu se plyn přivádí k -oběma koncům rozváděče 26 plynu, může být postačující přivádět plyn -do potrubí pouze u jednoho konce rozváděče 26 plynu. Ventily 95, 99 v přívodu plynu se používají v řízení rychlosti proudění plynu obsahujícího! siian do přívodního vedení 35 pro· plyn ia tím pro řízení proudění plynu podložkou 53 do podlouhlé komory 40. Rychlost proudění plynu do přívodního vedení 35 pro· plyn je taková, aby -se zajistil průtok plynu přes podložku 53 a podlouhlý oovor 43 do podlouhlé komory 40 při rovnoměrném tlaku po -ce-lé délce podlouhlé -komory 40 pro- zajištění rovnoměrnosti zpracování -pásu - 21 -skla v jeho -celé šířce.

Celková rychlost proudění plynu obsahujícího sílán se řídí nastavením ventilů 95 a 99 pro vytvoření ssejnoměrného- povlaku křemíku. Složení plynu -obsahujícího -siian, zejména -koncentrace sílánu, se řídí nastavením ventilu 95 v zá-vislosti na rychlosti posuvu pásu 21 skla po- povrchu lázně 10 -roztaveného' kovu pod otevřenou spodní plochou podlouhlé komory 40 pro udržení rychlosti pyrolýzy sHanu na žhavém povrchu 41 pásu- 21 skla vytvoření křemíkového povlaku předem určené tloušťky na horním povrchu 41 pásu 21 skla v -době, kdy -se pás 21 skla- vysune zpod otevřené spodní plochy podlouhlé -komory 40. Obvykle se při provádění· -způsobu podle vynálezu provádí řízení - -složení plynu obsahujícího -sílán ve spojení -s - kontrolou výrobku -a seřízení ventilů 95, 99 se zachová, jestliže se vytváří křemíkový povlak ρ-coíadované -tloušťky. Složení plynu Ώbsshujícího· silan -se může předem -stanovit- výpočtem a/nebo pokusně - a pro - dosažení požadované - tloušťky -křemíkového - povlaku se může provést dostatečné jemné nastavení.

Vodík -a -dusík z -plynu obsahujícího s-šlan unikají -mezerou vymezenou mezi spodní plochou 54 poddouhlé komory 40 a horním - povrchem 41 pásu 21 skla. Je také možno -vytvořit těsnění -mezi spodním* povrchem- uhlíkové - desky 45 uložené - ve -směru proti - -posuvu pásu 21 skla takovou - úpravou -uhlíkových desek 45, aby vrstva roztaveného kovu, například roztaveného cínu, lnula ke spodnímu povrchu této uhlíkové desky 45 a dotý-kala se -horního povrchu 41 pásu 21 skla bezprostředně - před tím, než se na tomto povrchu 41 pásu 21 skla -vytvoří křemíkový povlak. Vytvoření takového těsnění způsobí, že všechen unikající - plyn uniká - ve -směru posuvu pásu 21 skla a zamíchá se do -celkového proudu -ochranné atmosféry, -opouštějící -výstupní konec lázně 10 roztaveného kovu - výstupem - 20.

Může být vytvořeno -odtahové potrubí, například -štěrbinové trubice uspořádané u vnější -strany . rozváděče- 26 plynu pros odvádění odpadních plynů z podlouhlé -komory 40.

Požaduje- se - rychlé ohřátí plynu -obsahujícího srlan- bez rozkladu v plynné - fázi. Když plyn proudí podlouhlou komorou 40; je jeho ohřátí ovlivněno dobou jeho setrvání v této podlouhlé komoře 40 a tato doba závisí - na vnitřním objemu podlouhlé komory 40* a na jejím uspořádání.

Obr. 7 -a - 8 znázorňují -dvě alternativní m spořádání podlouhlé komory 40, jejíž boční stěny 101 jsou tlusté uhlíkové -desky, které j.sou upevněny šrouby 102 k nosným deskám 55 s -vloženými deskami 42 z tepelně isolαčního - -materiálu- pro tepelnou - isolaci. Boční ssény 101 jsou tvarovány tak, že -v podlouhlé komoře 40 vymezují žlab, -který sse rozbíhá od -podlouhlého -otvoru 43 k -otevřené spodní ploše podlouhlé komory 40. Vnitřní povrchy 103 bočních -stěn 101 mohou mít zakřivený tvar podle obr. 7 -s rychle -rostoucím průřezem podlouhlé komory 40, aby -se zajistila prudká expanze -plynů proudících -dolů podlouhlým otvorem 43.

Mírnější expanze a pozměněné proudové pole sse vytvoří u provedení podlouhlé -komory 40 podle obr. 8, -ve kterém- vnitřní - povrchy 103 bočních stěn 101 podlehlé komory 40 - jsou rovinné skloněné plochy.

•Jiný rozváděč 26 plynu podle vynálezu- je znázorněn na obr. 9 a má podlouhlou komoru -se spodní -otevřenou plochou tvarovanou -pro laminární- proudění obsahujícího sílán rovnoběžně s horním povrchem- 41 pásu 21 skla.

Rozváděč - 26 plynu podle obr. 9 zahrnuje kanálový člen 133 tvaru převráceného U ss postranními -stěnami 131, 132 a s vrchní -stěnou 133. Kanál uvnitř kanálového -členu -130 je rozdělen - do dvou -sekcí - -svislou přepážkou 134, přivařenou ssarem 135 k - vrchní - stěně 133. Vodorovné desky 138 a 139 směřují dovnitř od postranní- ssíěny 131 a od svislé -přepážky 134· u jejich -spodních okrajů a- s^sp^l.Bčně vymezují podlouhlý srtvor 136. Nad podlouhlým otvorem 136 je souměrně -uspořádán - druhý, menší kanálový člen 143 : tvaru obráceného U, přičemž - jeho - spodní okraje jsou přivařeny k vodorovným deskám 138 a 139. K -základně svislé přepážky- 134· je - přis vařen -vodorovný -člen 141, zasahující za -postranní -stěnu -132.

Oba kanálové členy 130 · a 140 tvaru převráceného U spolu s vodorovnými deskami 138; 139 · -vymezují vedení 36 · průřezu- U pro průtok chladicí kapaliny. Postranní stěnou 132, vrchní stěnou 133, · svislou - přepážkou 134 a vodorovným členem 141 je vymezeno zpětné vedení 143 obdélníkového průřezu. Vnitřní plocha kanálového členu 140 · tvaru převráceného- U spolu s vodorovnými - -deskami 138, 139 vymezuje plynové přívodní potrubí.

Omezovači prostředek -145 proudění plynu je podobný uspořádání v -s^lbcr. 3, 4 a 5, má omezovač -56 uspořádaný - -mezi - . nosnými - deskami 55 sa je přišroubován ke spodní- stra209479 ně vodorovných desek 138, 139 zapuštěnými šrouby 57 tak, že omezovač 56 lícuje s podlouhlým otvorem 136. Jako u provedení podle obr. 3 mají kanálky v omezovači 56 malou plochu průřezu vzhledem k ploše přívodního plynového potrubí.

Tvarované uhlíkové bloky 146, 147, 148, 149 vymezují podlehlou .komoru 40 tvaru U s otevřenou spodní plochou nad horním povrchem 41 pásu 21 skla, který má být povlečen křemíkem. Uhlíkový blok 146 · se skládá z horní sekce 152 a ze spodní sekce 153 s vloženou vrstvou 154 vláknité tepelné izolace uloženou mezi nimi. Tvarovaný uhlíkový blok 147 se podobně skládá z horní sekce 155 a ze spodní sekce 156 s vloženou vrstvou 157 vláknité tepelné izolace mezi nimi. Vrstvy 154 a 157 vláknité tepelné izolace řídí proudění tepla mezi přívodním vedením 35 pro plyn a podlouhlou komorou 49 a umožňují ohřev uhlíkových bloků 145, 147, 148, 149, vymezujících stěny podlouhlé komory 40 za provozu.

Ke vnější ploše postranní stěny 132 kanálového členu 130 tvaru U je při var eino· několik rozporných dílů 167. Tvarovaný uhlíkový blok 148 stojí na vrchní ploše, uhlíkový blok 147 v dotyku se zadními plochami rozpěrných dílů 167. Rozperné díly 158, odpovídající rozpěrným dílům 167, jsou uspořádány v dolním ramenu, ve směru posuvu pásu 21 skla, profilu U podlouhlé komory 40 a oddělují tvarované uhlíkové bloky 148 a 149. Rozpěnné díly 158 -a uhlíkový blok 148 jsou připevněny k rozpěrným dílům 167 šrouby 155, jejichž hlavy jsou zapuštěny v rozpěnných dílech 158. Uhlíkový blok 149 je upevněn šrouby 168, které jsou zapuštěny v rozpšrných dílech 158. Šrouby 168 také zajišťují držáky 161 a 162, které jsou uloženy podél rozváděče 26 plynu a nesou trubku 163 s podélným otvorem 164 pro· přívod plynu pod tlakem.

Plochy uhlíkových bloků 146, 147, 148, 149, které vymezují stěny tvaru U podlouhlé komory 40, jsou hladké a jsou tvarovány tak, aby nenastávala turbulence a zachovalo se laminární proudění plynu nad horním povrchem 41 pásu 21 skla. K zadní ploše tvarovaného' uhlíkového bloku 149 jsou u jeho· horní i spodní části připevněny pomocné uhlíkové bloky 165 a 166 pro pomoc v řízení proudění plynu. Spodní pomocný uhlíkový blok 166 je uložen bezprostředně nad horním povrchem 41 pásu 21 skla a omezuje proudění plynu u spodku uhlíkového bloku 149.

Za provozu zařízení jsou vedení 142 tvaru U a zpětné vedení 143 propojena otvorem ve svislé přepážce 134 u jejího jednoho· konce a jsou spojena s přívodem chladicí kapaliny a přívodní vedení 35 pro plyn je připojeno ke zdroji plynu obsahujícího silan stejným způsobem jako u zařízení v obr. 1 až 6. Dále je trubka 163 připojena k neznázorněinému zdroji plynu pod tlakem, například směsi dusíku a vodíku, který proudí otvory 164 ·ο slouží k rozptýlení odpadového plynu vytékajícího z podlouhlé komory 40 průřezu U.

Nyní budou popsány některé příklady provedení vynálezu.

Příklady 1 až 4 se týkají výroby křemíkového. povlaku na horním povrchu 41 pásu 21 skla vyráběného plavením na lázni 10 roztaveného kovu bezprostředně před odváděním pásu 21 skla z výrobního zařízení. Příklad 5 se týká nanášení křemíkového' povlaku na pás 110 litého zrcadlového skla, když je veden chladicí pecí.

V příkladech jsou uvedeny optické vlastnosti výrobků. Uvedené tloušťky povlaků jsou -.určeny měřením optické tloušťky známými způsobem. Propustnost denního světla je určena·, při použití C. I. E. světelného zdroje C jako zdroje světla. Uvedené optické vlastnosti byly určeny z měření prováděných se sklem s povlakem z křemíku na straně přivrácené k použitému zdroji světla.

Ve všech příkladech jsou složení plynů uvedena v objemové koncentraci.

Přikladl

V zařízení -znázorněném na obr. 1 až 6 se udržuje ochranná atmosféra obsahující 94 % dusíku a 6 % vodíku . v horním prostoru 14 nad lázní 10 roztaveného cínu, po které se posouvá pás 21 skla.

Pás 21 skla se odvádí ze zařízení tažnými válci 22 rychlostí 295 m. h^_1 a vede se chladicí pecí, která je umístěna za tažnými válci 22.

U výstupního- konce lázně 10 roztaveného kovu je umístěn rozváděč 26 plynu v místě, kde je teplota horního povrchu 41 pásu 21 skla asi 610 °C, a je upevněn spodní plochou podlouhlé komory 40 co nejblíže k hornímu povrchu 41 pásu 21 skla.

Plyn obsahující silan se skládá ze 3,9 % miouosilanu SiH4, 93,9 % dusíku a. 2,2^ % vodíku a přivádí se do rozváděče 26 plynu plynovým přívodním potrubím 60 v množství 90 1 .min1 na 1 m délky rozváděče 26 plynu. Přiváděné množství plynu se nastavuje tak dlouho, dokud se u výstupního konce rozváděče 26 plynu nevytvoří na povrchu pásu 21 skla souvislá vrstva křemíku.

Odstín křemíkem povlečených skleněných tabulí nařezaných z pásu 21 skla je hnědý v procházejícím světle a. stříbřitý v odraženém světle. Tloušťka, index lomu a optické vlastnosti povlečeného skla jsou tyto:

1S na obr. 7, jehož podlouhlá komora 40 má zvláštní tvar.

Vlnová délka maximálního odrazu

Index lomu povlaku

Optická tloušťka povlaku

Tloušťka povlaku

Propustnost denního· světla

Propustnost přímého slunečního· světla Celková propustnost tepla

Odraz slunečního¹ záření

0,53 μπι

3,73

0,1324 μιη

0,0355 μΐη %

% %

%

Příklad 2

Byl opakován postup z příkladu 1, ale bylo použito! pozměněné zařízení, znázorněné

Složení ochranné atmosféry

Rychlost pásu 21 skla

Teplota skla

Složení přiváděné směsi plynů

Množství přiváděné směsi plynů • Pracovní podmínky byly tyto:

% dusíku a 6 % vodíku

215 m. hi

640 °C

2.6 % monosilanu S1H4

4.7 % vodíku

92.7 % dusíku lmin~i na 1 metr délky rozváděče 26 plynu

Byl vyroben křemíkový povlak stejnoměrné tloušťky. Odstín povlečeného skla byl hnědý v procházejícím světle a stříbrný · v odraženém světle.

Tloušťka, index lomu a optické vlastnosti povlečeného· skla byly tyto:

Vlnová délka maximálního· odrazu

Index lomu povlaku

Optická tloušťka povlaku

Tloušťka povlaku

Propustnost denního světla

Propustnost přímého slunečního světla Celková propustnost tepla

Odraz slunečního záření

0,5850 μ-m

3,55

0,1463 ·μΐη

0,0412 μιη %

% %

%

Byl opakován postup z příkladu 1, avšak

Složení ochranné atmosféry

Rychlost pásu 21 skla

Teplota skla

Složení přiváděné směsi plynů

Množství přiváděné směsi plynů bylo použito upravené 40 znázorněné v obr. 8.

: byly tyto·:

% dusíku, 6 % vodíku

295 m. h“¹

660 °C

2,3 % monosilanu SrH4,

5,2 % vodíku, 92,5 · % dusíku 87 l.min*¹ na 1 metr délky rozváděče 26 plynu podlouhlé komory Pracovní podmínky

Byl vytvořen povlak z křemíku stejnoměrné tloušťky. Odstín povlečeného skla byl hnědý v procházejícím světle a stříbřitý v odraženém světle.

Tloušťka, index lomu vlastnosti skla byly tyto:

povlaku a optické

0,51 um

3,60

0,124 μπι.

0,0354 μπι %

°/o %

°/o

Vlnová délka maximálního odrazu

Index lomu povlaku

Optická tloušťka povlaku

Tloušťka povlaku

Propustnost přímého slunečního světla

Propustnost denního světla

Celková propustnost · tepla

Odraz slunečního záření

20.9479

Další příklad provedení způsobu podle vynálezu s rozváděčem 26 plynu podle obr. 1 až 6 je tento:

Příklad 4

Povlékaný pás 21 skla měl šířku 3 m. Pra covní podmínky byly tyto:

Složení ochranné atmosféry

Rychlost pásu 21 skla

Teplota skla

Složení přiváděné směsi plynů

Množství přiváděné směsi plynů % dusíku, 10 % vodíku

360 m. hi

660 °C

2,2 % monosilanu SiHá,

5,6 % vodíku, 99,2 % dusíku

l.minti na 1 metr délky rozvaděče 26 plynu

Byl vytvořen povlak stejnoměrné tloušťky, jehož odstín byl hnědý v procházejícím světle a stříbřitý v odraženém světle.

Vlnová délka maximálního odrazu

Index lomu povlaku Optická tloušťka povlaku Tloušťka povlaku

Propustnost denního světla Propustnost přímého slunečního světla Celková propustnost tepla Odraz slunečního záření

Příklad 5

Byl opakován postup z příkladu 1, přičemž bylo použito upravené zařízení · podle obr. 9 a plyn· obsahující sílán proudil podlouhlou komorou 40 rovnoběžně s horním povrchem 41 pásu 21 skla při v podstatě lanunár.ním

Složení ochranné atmosféry Rychlost pásu 21 skla

Teplota skla

Složení přiváděné směsi plynů [a] (b) . (c)

Tloušťka povlaku z křemíku a optické vlastnosti povlečeného skla byly tyto:

0,44 m

9

0Д1 m

0,038 μιη 36 % %

54% .

% proudění. Celková rychlost proudění plynu byla nastavena pro zajištění povlaku stejnoměrné tloušťky a koncentrace sílánu v plynu byla· měněna k dosažení změny tloušťky povlaku při zachování rovnoměrné · tloušťky povlaku. Pracovní podmínky byly tyto:

% dusíku, 10 % vodíku

365 m . ti v ¹

620 °C % •monosilanu SiHi, % dusíku % monosilanu S1H4, % dusíku · % monosilanu · SiPIi, % vodíku, 90· % dusíku

Tloušťka, index lomu a optické vlast^i^<^^^1^j^-skly byly tyto:

(a) (b) (c)

Vlnová délka ·maximálního odrazu (um]	0,48	0,71	0,60
Index lomu povlaku	3,45	4,0	3,8
Optická tloušťka· povlaku (um)	0,119	0,178	0-,150
Tloušťka povlaku (μπι)	0,0348	0,0444	0,0395
Propustnost denního- světla (% j	25	21	18
Propustnost přímého slunečního světla (%) 37	24	28
Celková propustnost tepla· {% ]	43	31	34
Odraz slunečního záření (%)	43	54	52
Barva v procházejícím světle	hnědá	zelená	hnědá
Barva v Odraženém světle	stříbřitá	zlatá	stříbřitě zlatá

Kromě použití vynálezu při výrobě plochého skla plavením po· lázni 10 roztaveného kovu je možno vynálezu použít pro· povlékání žhavého pásu skla vyráběného jinými způsoby, například známým válcováním nebo svislým tažením, při kterých se vytvarovaný * pás skla následně vede chladicí pecí.

Další tvar rozváděče 26 plynu pro povlékání pásu 110 válcovaného· zrcadlového skla v chladicí peci je schematicky znázorněn v obr. 10. Tento rozváděč 26 plynu se umístí v chladicí peci, kde je teplota skla v rozmezí 400 až 750 °C. Pás 110 válcovaného* zrcadlového- skla se posouvá na válcích 111 chladicí * pece. Rozváděč 26 plynu zahrnuje kryt

112, který je· připojen k odtahovému vedení

113. Rozváděč 26 plynu je umístěn pod odtahovým vedením 113 · a postranní stěny krytu 112 sahají · dolů bezprostředně k hornímu povrchu pásu 110 válcovaného zrcadlového skla. Rozváděč 26 plynu zahrnuje ochranný kryt 114, ve kterém je vymezeno přívodní vedení 35 pro plyn, obklopené vodou chlazeným kanálem 36 podobným způsobem, jak je znázorněno * v · obr. 3.

Omezovač 56 proudu plynu ve tvaru přehrávkové · desky je vyroben ze* zvlněných kovových pásků 58 stejného tvaru, jako je znázorněno v obr. 5. Omezovač 56 proudu plynu je nesen nosnými deskami * 55. Podlouhlá komora 40 je pod omezovačem 56 proudu plynu omezena uhlíkovými postranními · díly 115, které mají tvar písmena L pro vymezení otvoru ve stropu podlouhlé komory 40 pod omezovačem 56 proudu plynu. Spodek postranních dílů 115 zasahuje bezprostředně k hornímu povrchu pásu 110 skla. Toto ušpořádání umožňuje vtékání plynu obsahujícího sílán do podlouhlé komory 40 při stálém tlaku po celé její délce, která je rovna celkové šířce posouvaného pásu * 110 skla.

Aby se pod ochranným krytem 114 vytvořila neoxidační atmosféra, zavádí se směs plynů obsahující 95 % objemu * dusíku a 5 % objemu vodíku vedeními 117, která jsou uspořádána u vrchu •ochranného krytu 114 po obou stranách rozváděče 26 plynu.

Omezovač 118 proudu plynu podobný omezovači 56 proudu plynu tvoří výstup z každého vedení 117 pro ochrannou atmosféru pro proudění směrem dolů v celé šířce rozváděče 26 plynu směrem k * hornímu povrchu pásu 110 skla při dostatečně stálém tlaku. Tímto způsobem je vytvořeno stálé proudění · ochranné atmosféry v oblasti mezi * uhlíkovými postranními díly 115 a ochranným krytem 114. Plyny *se odvádějí potd spodními okraji -ochranného krytu 114 nahoru odtahovým krytem 112 k odtahovému vedení 113.

Tímto, způsobem je vytvořena neoxidační atmosféra v oblasti pece, kde se vytváří křemíkový povlak na horním povrchu pásu 110 skla a je zde plynulý odtah odpadových ply- » nů *z povlékací zóny, čímž *se zamezí možnost difúze plynů * obsahujících silan po celé délce chladicí pece.

Zařízení upravené podle obr. 10- může* být také použito v prostředí,* kde není žádná ochrainná atmosféra, jako’ je chladicí pec, *a plyn *se přivádí přímo do povlékací stanice bez ochranné atmosféry. V tomto provedení jsou vedení 117 a omezovače 118 proudu plynu vynechány a spodek každého z * uhlíkových postranních dílů 115 je rozšířen *ve* směru posuvu pásu 110 skla na rozměry, které dostatečně * zabraňují vnikání okolní atmosféry do podlouhlé komory 40.

Příklad provozu na tomto upraveném zařízení pro povlékání válcovaného, vzorovaného * skla, *když se vede chladicí pecí, * je tento:

Příklad 6

Povlékaná šířka pásu 110 skla

Rychlost pásu 110· skla v peci Teplota skla

Složení přiváděné směsi plynů

Přiváděné * množství *směsi plynů m

350 m. h620 °C

5,0 % moanosilanu SiH4, % v-vdíkn, 90% dusíkk

l.min“¹ na 1 m délky rozváděče 26 plynu

Byl vyroben povlak stejnoměrné tloušťky, který byl hnědý v * procházejícím * světle a Optické vlastnosti povlaku byly tyto:

stříbřitý v * odraženém světle.

Vlnová délka maximálního* odrazu

Index lomu * povlaku

Optická tloušťka povlaku

Tloušťka* povlaku

Propustnost * denního světla

Propustnost přímého slunečního světla Celková propustnost tepla

Odraz slunečního záření

0,4 μΐη

3,2

0,1 *μΠ1

0,0312 ^m %

% %

Oo

0 9 4 7 9

Také ploché sklo vyrobené plavením na lázni 10 roztaveného kovu se může povlékat v chladicí peci, kterou se pás 21 skla posouvá po -odvedení z lázně 10 roztaveného- kovu, přičemž rozváděč 26 plynu musí být v chladicí peci umístěn v místě, kde -teplota pásu 21 skla je vyšší než 400 °C.

Když se vyrobené, křemíkem povlečené sklo rozřeže na tabule z pásu 21 skla známým způsobem, má příjemný vzhled a užitečné vlastnosti pro ovlivnění slunečního záření, takže je výhodné pro zasklívací jednotky, zejména pro -okna v budovách.

Obr. 11 -znázorňuje takovou zasklívací jednotku zahrnující tabuli 120 -skla -s povlakem 121 z křemíku, jehož tloušťka je pro názornost značně přehnána. Tabule 120 -skla je t upevněna v rámu 122, který je některým známým· způsobem upevněn ve -stěně 123 budovy.

Křemíkem povlečené -sklo se může také c použít ve vícevrstvých zasklívacích jednotkách. Jedna taková jednotka je znázorněna v obr. 12 a zahrnuje jednu -nepovlleieenou tabuli 126 skla a jednu tabuli 120 skla s povlakem 121 z křemíku, který ve znázorněném provedení je uspořádán uvnitř zasklívací jednotky pro jelm ochranu před povětrností. Tabule 120, 126 skla jsou od sebe odděleny rozpěnnými prvky 124 známého -druhu, přičemž povrchy skla lnou k rozpěrným prvkům 124 pomocí vhodného- lepidla. Celá zasklívací jednotka je upevněna v rámu 125 pro zabudování do stěny budovy známým způsobem.

Umístění křemíkem povlečených povrchů skla uvnitř dvojité zasklívací jednotky chrání křemíkové -povlaky proti vlivům povětrnosti. Z hlediska trvanlivosti křemíkových povlaků to -ovšem -není nutné a křemíkem povlečené povrchy - skleněných tabulí mohou být venkovní povrchy.

Povlečená skleněná tabule může tvořit vnitřní nebo vnější výplň -dvojité zasklívací jednotky. Ve vícevrstvé zasklívací jednotce obsahující -tři nebo -více -výplní se může povlečená skleněná tabule použít j«aJko -střední, vnější nebo- vnitřní výplň.

Pro některé účely, když -se požaduje sklo o- vysoké pevnosti, je třeba -sklo zpevnit tepelným zpracováním. Sklo- povlečené -křemíkem podle vynálezu může být tepelně zpevněno známými způsoby bez jakéhokoli zna' telného poškození křemíkového- povlaku.

Sklo povlečené křemíkem lze také laminovat.

Příjemný vzhled skla povlečeného křemíkem také dává možnosti použití, při kterých se nežádají vlastnosti pro ovlivnění slunečního záření, -například při -vnitřním zasklívání nebo jako ozdoba a někdy jako· stavební prvek při výrobě nábytku. Tak -například sklo povlečené křemíkem může tvořit horní desku stolu.

Sklo· povlečené -křemíkem může také sloužit jako -zrcadlo vytvořením temného podkladu pro zamezení průchodu světla sklem, přičemž takové zrcadlo - obsahuje -sklo- povlečené - křemíkem - podle vynálezu s -temným podkladem, například černou barvou buď na povrchu - křemíkového povlaku, nebo na opačném povrchu -skla.

Při provádění způsobu podle vynálezu mohou být jako složky -plynu obbahujícího sllan použity i jiné -sílaný, například -disilan SižHs nebo· -dichlorsilan SÍH2CI2.

Způsob podle vynálezu -se může použít pro vytvoření povlaku z křemíku na skle, který -má tloušťku v rozmezí 0,02 μη až 0,1 ,am nebo více. Výhodně mají povlaky tloušťku -0,025 ,um až 0,06 μη.

Tenčí povlaky - v tomto rozmezí - tlouštěk jsou stříbřitě modré v odraženém světle a hnědé v procházejícím světle. Se -vzrůstající tloušťkou povlaku se postupně mění i jeho vzhled, takže při tloušťce asi 0,04 je povlečené sklo žlutě -stříbřité v odraženém světle, a hnědé v procházejícím světle.

Barvy propuštěné a odtržené -se stále prohlubují -až d^<-· tloušťky povlku asi 0,045 μη, při které nabývají významu interferenční barvy.

interferenční barvy nejsou -obvykle žádoucí na plochém skle pro zasklívání, ačkoliv mohou dávat přitažlivý -vzhled -ornamentálnímu sklu. Pro ovhvnění slunečního záření jsou --^1^5^^^jkle -výhodné povlaky na nevzorovaném skle, které mají tloušťku v rozmezí 0,03 až 0,045 fim. V tomto -rozmezí -tlouštěk lze snadno vyrobit -povlaky- stejnoměrného vzhledu.

Tloušťka povlaku z křemíku -se určuje jednoduchou optickou technikou měřením vínové délky, při které je -odraz R_max -od povrchu, maximální.

Podle teorie tenkých filmů platí vztah:

Kmax kde Nc je index lomu povlaku a Ng je index lomu -skla.

Za předpokladu, že je znám index Ng lomu skla, -může být z výše uvedeného -vztahu určen index lomu povlaku. Mezi indexem lomu Nc povlaku a -tloušťkou d povlaku platí vztah

N_c. -d —

max

aopt, kde ž_max je vlnová délka odpovídající -maximálnímu odrazu Rmax a dopt je - optická tloušťka povlaku.

Claims

PŘEDMĚT VYNALEZU

1. Způsob povlékání plochého skla křemíkem, přhkterém se ploché sklo pohybuje· povlékací stanicí, přičemž jeho teplota je od 400 °C do· 750* °C a sklo· se povléká křemíkem tepelným rozkladem plynu obsahujícího sílán a inertní plyn na povrchu skla, vyznačený tím, že plyn obsahující silan a. inertní plyn se uvolňuje v bezprostřední blízkosti žhavého povrchu skla při konstantním tlaku na povrch plochého· skla do· horké zóny povlékací stanice · a v horké zóně se udržují neoxidační podmínky.
2. Způsob · podle bodu 1, vyznačený tím, že se -udržuje· rychlost tepelného rozkladu sílánu regulací ' koncentrace· sílánu v plynu obsahujícím silan a inertní plyn pro vytváření povlaku křemíku předem stanovené tloušťky na povrchu skla.
3. Způsob podle·· bodu 2, vyznačený tím·, že se reguluje rychlost proudění plynu •obsahujícího silan a· inertní plyn na ' hodnotu, při které se vytváří stejnoměrný povlak.
4. Způsob podle bodů 1 až 3, vyznačený tím, že se teplota skla v povlékací stanici udržuje v rozmezí 500 až 700 °C.
5. Způsob podle bodů 1 až 4, vyznačený tím, že se sklo posouvá povlékací stanicí ve tvaru spojitého· pásu skla a koncentrace sílánu v plynu se reguluje v závislosti na rychlosti posuvu pásu skla.
6. Způsob podle bodu 5, vyznačený tím, že se pás- skla· posouvá po· lázni roztaveného kovu, nad. kterou se udržuje ochranná atmosféra, a plyn obsahující silan a inertní plyn se uvolňuje do uvedené horké zóny, která je umístěna v místě, kde teplota skla je v rozmezí 600 °C až 670 °C.
7. Způsob · podle bodu 5, vyznačený tím, že se pás skla posouvá chladicí pecí a plyn obsahující silan a inertní plyn se uvolňuje do uvedené horké zóny, která je umístěna v chladicí peci v místě, kde teplota skla je v rozmezí 400 °C · až 700· °C.
8. Způsob podle bodů 1 až 7, vyznačený tím, že plyn obsahující silan a inertní plyn obsahuje silan v objemové · koncentraci · od 0,1 · do · 20%, vodík v objemové koncentraci od 1 · do 10 % a inertní plyn v objemové koncentraci. od 70 do 99,9 %.
9. Způsob podle · bodů 1 až 8, · vyznačený tím, že silan je· monosilan S1H4.
10. Zařízení- k provádění způsobu podle bodu 1, zahrnující podlouhlý rozváděč plynu, uložený napříč dráhy posuvu povlékaného povrchu skla· a sestávající - z podlouhlé komory s čelní plochou otevřenou směrem k povrchu skla a z přívodního vedení, vytvořeného z menšího* členu tvaru · obráceného U, umístěného souběžně nad touto· podlouhlou komorou, vyznačené tím, že kolem· přívodního vedení (35) · pro¹ plyn přilehle k jeho vnějšímu povrchu tvořenému menším· členem (34] tvaru obráceného· U je uspořádán kanál (36i) · pro cirkulaci teplosměnné tekutiny, vymezený klenbou (29) a· postranními stěnami (30) · většího členu tvaru obráceného· U, přičemž mezi podlouhlou· komorou (40) a přívodním vedením (35) pro· plyn je · uspořádán po délce podlouhlé komory (40) omezovač (56) proudu plynu.
11. Zařízení podle bodu 10, vyznačené ·tím, že omezovač (56) proudu plynu sestává ·ze · rady kanálků· (59), vedených mezi . přívodním vedením (35) pro plyn a· podlouhlou komorou (40).
12. Zařízení podle bodu 10 nebo· 11, · vyznačené tím, že mezi přívodním· vedením (35) pro plyn a podlouhlou · komorou (40· ) · je · vložena deska · (42) z tepelně · isolačního · materiálu.
13. Zařízení podle bodů· 10 až 12, · vyznačené tím, že boční stěny· (101) podlouhlé komory (40) vymezují v podlouhlé komoře (40) kanál vytvořený rozbíhavě · od omezovače (56) proudu plynu k otevřené čelní ploše (61) podlouhlé komory (40).