DE2518225A1

DE2518225A1 - Aetzmaschine

Info

Publication number: DE2518225A1
Application number: DE19752518225
Authority: DE
Inventors: Harald Freeman Jones; David Lynn Ousterling
Original assignee: Allied Chemical Corp
Current assignee: Allied Corp
Priority date: 1974-04-29
Filing date: 1975-04-24
Publication date: 1975-11-13
Also published as: FR2268569B1; US3889696A; GB1474007A; FR2268569A1; JPS50140274A

Description

Priorität vom 29_1-April_1974 in USA, Serial No. 465.441

Viele der unterschiedlichen Schritte bei der Herstellung elektronischer Halbleitervorrichtungen beinhalten die Verwendung von flüssigen Chemikalien. Bs ist in der Vergangen-

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heit schon versucht worden, Naschinen auf kontinuierlicher Basis für die Durchführung verschiedener, bei der Herstellung elektronischer Halbleitervorrichtungen verwendeter Schritte vorzusehen, wie z.B. in folgenden US-Patentschriften beschrieben ist: 3 219 509, 3 388 023, 3 63O 804, 3 657 049, 3 663 724 und 3 727 620.

Offensichtlich aufgrund der Verflechtung wirtschaftlicher Überlegungen, Zuverlässigkeit und fehlender gleichmäßiger

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Ergebnisse oder aus anderen Gründen haben diese Vorrichtungen bei der Halbleite^iiarstellenden Industrie keinen breiten Zugang gefunden, da die Praxis bei der Durchführung dieser Behandlungsechritte mit flüssigen Chemikalien mittels kleiner einzelner Proben bzw. Chargen in der Industrie noch weit verbreitet ist. Diese chargenweisen Verarbeitungen werden in kleinen Kesseln durchgeführt, die gewöhnlich weniger als 18,9 1 (5 Gallonen) Flüssigkeit und in speziellen Fällen etwa 3»79 1 (1 Gallone) fassen. Die Werkstücke oder Gegenstände werden von Hand durch die einzelnen Prozeßstufen transportiert. Betriebsvariable, wie z.B. Über- oder Unterbearbeitung, Verunreinigung, unkorrekte Badgemische u.dgl. werden ökonomisch unannehmbar, weil die Massenhandhabung von Gegenständen nicht gewährleistet werden kann, und da fertige Werkstücke nicht übereinstimmend den notwendigen Normen genügen·

Die Betriebsvariablen werden insbesondere bei Ätzverfahren bemerkenswert.

Das Ätzen betrifft im allgemeinen Verfahren des Entfernens ausgewählter bloßgelegter Bereiche metallischer oder dielektrischer Filme mittels Oxydation und/oder Lösen. Viele Ätzschritte werden bei der Halbleiterherstellung verwendet sowie zum Erhalten gleichmäßiger und zufriedenstellender Ergebnisse und erfordern eine genaue Temperatur-

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steuerung der Ätzlösung und eine genaue Steuerung der Ätzzeit. Bei der Steuerung der Ätzzelt muß die Zeit, während welcher das Werkstück der Ätzlösung ausgesetzt ist, genau gesteuert werden. Diese Zeit des Aussetzens ist nicht nur die Zeit, während welcher das Werkstück in die Ätzlösung eingetaucht ist, sondern weist auch die Zeit zwischen dem Entfernen des Werkstückes aus der Ätzlösung und derjenigen Zeit auf, während der die Ätzlösung von dem Werkstück abgespült oder gewaschen wird. Um ein gleichmäßiges Ätzergebnis zu erhalten, muß die Zeit zwischen dem Entfernen von der Lösung bis zu der Zeit, wenn das Werkstück gespült wird, genau gesteuert werden. Da ferner Ätzlösung vom Werkstück tropft, nachdem dieses aus der Lösung herausgenommen ist, wodurch sich verändernde Konzentrationen von Ätzlösung auf dem Werkstück ergeben, muß die Zeitdauer zwischen dem Entfernen aus dem Ätzlösungsbad bis zur Zeit, zu welcher die Ätzlösung vom Werkstück abgespült wird, möglichst klein gehalten werden. Xn der Vergangenheit ist die Zeitdauer zwischen dem Entfernen aus dem Bad und dem Augenblick, wenn die Ätzlösung von dem Werkstück abgespült wird, nicht ausreichend gesteuert worden und zusätzlich auch nicht hinreichend klein gehalten worden.

Ein erheblicher Nachteil bekannter Vorrichtungen zur Verarbeitung von Gegenständen finde^sich als beschwerlich bei Fördersystemen, die notwendigerweise eine verlängerte Zeit benötigen für die Überführung des Werkstückes von einer Prozeßstufe zur anderen. Solche verlängerten Zeiten sollten

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vermieden werden, insbesondere wenn das Werkstück aus einer Ätzlösung herausgenonun en wird und zu einer Prozeßstufe zum Herausnehmen der Ätzlösung aus dem Werkstück überführt wird.

Gemäß der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Verarbeitung eines Gegenstandes geschaffen, die einen Träger für den Gegenstand, eine Einrichtung zur Bewegung des Trägers des Gegenstandes nach unten in ein Bad mit einer ersten Flüssigkeit, eine Einrichtung zum Anheben des Trägers und des Gegenstandes nach oben aus dem Bad, eine Sprühkammer, die getrennt von dem Bad ist, und eine Einrichtung zum Sprühen des Gegenstandes auf dem Träger mit einer zweiten Flüssigkeit aufweist, wenn der Träger und der Gegenstand sich in der Sprühkammer befinden. Die neue Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Sprühkammer mit einem bewegbaren Teil und eine Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils aufweist, um die Sprühkammer um den Träger und den Gegenstand und zwischen den Gegenstand und das Bad einzustellen, nachdem der Träger und der Gegenstand nach oben aus dem Bad von der Anhebevorrichtung hochgeführt worden sind.

Man fand, daß die Sprühkammer um den Träger und den Gegenstand schneller angeordnet werden kann als der Träger und der Gegenstand von einem Förderer angehoben, horizontal zu einer Stellung über einer anderen Prozeßzone getragen und

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dann in die Verarbeitungszone hinein abgesenkt werden kann. Da wenigeτ/Zelt für die Einstellung der Sprühkammer um den Träger und den Gegenstand herum in einem Ätzprozeß erforderlich ist, ist weniger Zeit zwischen dem Entfernen des Trägers und des Gegenstandes aus dem Ätzbad bis zu dem Zeitpunkt erforderlich, wenn der Träger und der Gegenstand durch eine Spülflüssigkeit besprüht werden können, um restliche Ätzlösung zu entfernen und zu neutralisieren.

Wenn die Vorrichtung in einem Ätzverfahren verwendet wird, wird das Bad gewöhnlich von Doppelwänden gebildet, zwischen denen eine Temperatursteuerflüssigkeit fließt, um das Bad auf einer konstanten Temperatur zu halten. Die Zeit zwischen der Bewegung des Gegenstandes nach unten in das Bad hinein und dem Zeitpunkt, zu welchem der Träger und der Gegenstand nadi oben aus dem Bad herausgehoben werden, wird genau von einer Zeitgebereinrichtung gesteuert, und so-mit erhält man eine präzise Zeitsteuerung für die Prozeß- bzw. Verarbeitungsstufe. Eine solche genaue Zeitsteuerung ist insbesondere bei Ätzarbeiten wichtig.

Die Vorrichtung gestattet eine Massenverarbeitung von Gegenständen mit weniger Verunreinigungen und weniger Veränderlichen in Prozeßzuständen, wie z.B. sich verändernde Zeit und Temperaturen.

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Außerdem gestattet die Vorrichtung eine mechanische und automatische Handhabung der Gegenstände in einem kleineren Raum als bei bekannten Vorrichtungen erforderlich, daiaeins kontinuierlichen HängeforcLerbänder zur Bewegung des Gegenstandes und des Trägers von ainer Verarbeitungszone zur anderen erforderlich sind.

Weitere Vorteile» Merkmale find Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den Zeichnungen. E3 zeigen:

Fig* 1 die Vorderansicht der Vor richtung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 eine Ansicht von rechts auf die Vorrichtung der Fig.1, Fig. 3 eine Draufsicht auf die Vorrichtung der Fig. 1,

Fig. h eine Draufsicht auf die Vorrichtung entlang der Linie k-k der Fig. 1,

Fig. 5 eine Vorderschnittansicht entlang der Linie 5-5 der Fig. k,

Fig. 6 eine Frontschnittansicht der Fig. 5» bei welcher der Gegenstand und Träger sich in der Sprühkammer befinden,

Fig. 7 eine Endschnittansicht entlang der Linie 7-7 der

Fig. 5,
Fig. S eine Endschnittansicht entlang der Linie 8-8 der Fig. 5 t

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Fig. 9 ein schematisches Diagramm unter Darstelltang des Betriebes der Sprüheinrichtung der bevorzugten Ausführurgpform und

Fig. 10 ein schematisches Diagramm unter Darstellung einer Einrichtung zur Zuführung einer ersten Flüssigkeit zu dem Bad und einer Einrichtung zum Halten der ersten Flüssigkeit in dem Bad bei konstanter Temperatur«

Die hier beschriebene Vorrichtung weist eine verbesserte Apparatur zur Verarbeitung eines Gegenstands auf, der einen Träger für den Gegenstand, eine Einrichtung zur Bewegung des Trägers und des Gegenstandes nach unten in ein Bad mit einer ersten Flüssigkeit hinein, eine Einrichtung zum An heben des Trägers und des Gegenstandes nach oben aus dem Bad heraus, eine von dem Bad separate Sprühkammer und eine Einrichtung zum Sprühen des Gegenstandes auf dem Träger mit einer zweiten Flüssigkeit auf_f wenn der Träger und der Gegenstand sich in der Sprühkammer befinden, wobei die Verbesserung gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Sprühkammer ein bewegbares Teil und eine Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils aufweist, um die Sprühkammer um den Träger und den Gegenstand herum und zwischen dem Träger und dem Bad anzuordnen, nachdem der Träger und der Gegenstand nadioben aus dem Bad von der Anhebevorrichtung hochgehoben worden sind.

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Bei der bevorzugten Ausführungsform weist die Sprüükammer eine vertikal gerichtete stationäre erste Endwand und ein horizontal bewegbares Teil mit einer Bodenwand, erste und zweite vertikale Seitenwände, die an der Bodenwand an ihren unteren Kanten angebracht sind, und eine vertikale zweite Endwand mit einer unteren Kante auf· Die Endwand ist in der Nähe ihrer unteren Kante am Boden befestigt, ist in der Nähe ihrer ersten Vertikalkante an der ersten vertikalen Seitenwand befestigt und ist in der Nähe ihrer zweiten Vertikalkante an der zweiten vertikalen Seitenwand angebracht. Das horizontal bewegbare Teil hat ein offenes Ende entgegengesetzt der, zweiten Endwand und gegenüber dem stationären ersten Endwandteil. Das offene Ende wird durch unbefestigte Kanten der Seiten- und Bodenwände gebildet. Das offene Ende befindet sich in der Nachbarschaft eines stationären ersten Endwandteils und tritt mit diesem in Eingriff, wenn die Spruh.-kammer um den Gegenstand herum angeordnet ist. Vorzugsweise ist das horizontal bewegliche Teil der Sprühkammer von mindestens einer horizontalen Schiene unterstützt und kann auf dieser gleiten.

Die Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils zur Sprühkanmer um den Träger und Gegenst and herum weist vorzugsweise ein Gestell oder Zahnstange axt, welches entlang der Horizontalen des bewegbaren Teils der Sprühkammer befestigt ist, weist ferner ein mit der Z ahnstange in Eingriff befindliches Ritzel oder Treibrad und eine erste Antriebseinrichtung zur

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Drehung des Zahnrades in der Zahnstange auf, wodurch die

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Zahn und das bewegliche Teil der Sprühlammer sich in horizontaler Richtung bewegen können, so daß die Drehung der ersten Antriebseinrichtung in Vorwärtsrichtung das bewegbare Teil der Sprühkammer sich gegen die stationäre erste Bndwand bewegen läßt, so daß die Sprühkammer um den Gegenstand herum angeordnet wird. Die Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils weist erwünschtenfalls ferner eine Einrichtung zur Betätigung der ersten AntriebseinrL chtung in Vorwärtsrichtung nach Hochheben des Trägers und des Gegenstandes auf. Die Vorrichtung, welche die Einstellung der Sprühkammer um den Träger und den Gegenstand herum ermöglicht, gestattet das Besprühen des Gegenstandes mit einer zweiten Flüssigkeit, d.h. einer Spülflüssigkeit, und zwar schneller, als wenn der Träger und der Gegenstand horizontal hätten gefördert werden müssen, nachdem sie aus der ersten Flüssigkeit, d.h. der Ätzlösung, entfernt worden sind und nachfolgend in eine zweite Behandlungszone abgesenkt worden sind, bevor das Sprühen des Gegenstandes mit einer zweiten Flüssigkeit beginnen könnte.

Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform weist die Vorrichtung ferner eine Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils der Sprühkammer von der stationären ersten Endwand fort auf, so daß der einen anderen zu verarbeitenden Gegenstand halternde Träger wiederum nach unten in das Bad hinein

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bewegt werden lann. Bei der bevorzugten Ausführungsform ist die Einrichtung des bewegbaren Teils der Sprühkammer von der stationären ersten Endwand fort dieselbe wie die Einstelleinrichtung, und die Bewegung von der stationären Endwand fort wird durch Umkehren der Antrxebseinrxchtung erreicht.

Vorzugsweise weist die Einrichtung zur Bewegung des Trägers nach unten folgende Teile auf: Eine Halteeinrichtung für den Träger; einen Arm mit benachbarten vertikalen und horizontalen Abschnitten und ersten und zweiten Enden, wobei sich das erste Ende beim untersten Teil des vertikalen Abschnittes und das zweite Ende in der von dem vertikalen Abschnitt am weitesten entfernten Stellung auf den horizontalen Abschnitten befinden und der Arm an der Halteeinrichtung in der Nähe ihres ersten Endes angeschlossen ist und sich von der Halteexnrxchtung nach oben erstreckt; eine vertikal bewegbare Platte mit einer daran angebrachten vertikalen Zahnstange, wobei die vertikal bewegbare Platte an dem Arm in der Nähe seines zweiten Endes befestigt ist; eine stationäre Führung für den Eingriff sowie zur Halterung der vertikal bewegbaren Platte, während diese sich in vertikaler Richtung bewegen kann; ein zweites Ritzel bzw. Zahnrad, welches mit der Zahnstange so in Eingriff steht, daß die Zahnstange, die angebrachte Platte, der Arm und die Haiteeinrichtung sich in vertikaler Richtung nach

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Drehung des Zahnrades in Vorwärtsrichtung bewegen; und eine zweite Antriebsanrichtung zur Drehung des Zahnrades in Vorwärt srichtung. Vorzugsweise sind die Anhebeeinrichtung und die Einrichtung zur Bewegung des Trägers und des Gegenstandes nach unten dieselben, und der Träger wird dadurch angehoben, daß man die Antriebseinrichtung das Zahnrad in umgekehrter Richtung drehen läßt.

Bei der"bevorzugten Ausführungsform weist die Einrichtung zur Betätigung der ersten Antriebseinrichtung in einer Richtung, welche den bewegbaren Teil der Sprühkammer sich gegen die stationäre erste Endwand bewegen läßt, einen Fühlschalter auf, der durch die Anhebeeinrichtung dann betätigt wird, wenn die Halteeinrichtung aus dem Bad um einen ausreichenden Abstand angehoben worden ist, um eine Anordnung der Sprühkammer um den Gegenstand herum zu gestatten, damit der Gegenstand aus dem Bad entnommen wird.

Erwünschtenfalls weist die Sprüheinrichtung mindestens eine Düse auf, die vorzugsweise bei einer Stellung über dem Träger und Gegenstand angeordnet ist und vorzugsweise an der Einrichtung zur Bewegung des Trägers und Gegenstandes nach unten angebracht ist. Die Düse ist an einer Zufuhr für die zweite Flüssigkeit unter Druck angeschlossen. Die Sprüheinrichtung weist vorzugsweise ferner folgende Teile auf:

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Ein normalerweise geschlossenes automatisches Ventil mit einem Einlaß und einem Auslaß; ein normalerweise offenes automatisches Ventil mit einem Einlaß und einem Auslaß; ein T-Stück mit einer ersten, zweiten und dritten Öffnung; eine erste Leitung, welche die Düsenmit der ersten Öffnung des T verbindet; eine zweite Leitung, welche diezweite Öffnung mit dem T zum Auslaß des normalerweise geschlossenen Ventils verbindet; eine dritte Leitung, welche die dritte Öffnung des T zum Einlaß des normalerweise offenen Ventils verbindet; eine vierte Leitung, welche die Einlaßöffnung des normalerweise geschlossenen Ventils zur Zufuhr der zweiten Flüssigkeit verbindet; eine fünfte Leitung, welche den -^uslaß des normalerweise offenen Ventils zu einem Abzug und einer Einrichtung zur Öffnung des nor malerweise geschlossenen Ventils und zum Schließen des normalerweise offenen Ventils verbindet, wenn die Sprüh kammer um den Gegenstand und Träger herum angeordnet ist und somit den Pluß der zweiten Flüssigkeit von der Zufuhr der zweiten Flüssigkeit durch die vierte Leitung, das normalerweise geschlossene Ventil, die zweite Leitung, das T, die erste Leitung und die Düse zum Gegenstand ermöglicht. Die Sprüheinrichtung weist ferner ggf. eine Einrichtung zum Wiederschließen des normalerweise geschlossenen Ventils und Öffnen des normalerweise offenen Ventils auf, wenn das Sprühen abgeschlossen ist, wodurch die Strömung der zweiten Flüssigkeit aus der Zufuhr der zweiten Flüssigkeit angehalten wird und eine Strömung der zweiten Flüssigkeit in der Düse, der ersten Leitung und dem T zum Ab-

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fluß über die dritte Leitung, das normalerweise offene Ventil und die fünfte Leitung zum Abzug hin ermöglicht wird.

Das Bad, in welches der Gegenstand bewegt wird, weist einen oben offenen Behälter auf, der vorzugsweise durch eine innere Seitenwand und einen inneren Boden gebildet wird, der an der inneren Seitenwand dichtend angebracht ist, ferner eine äußere Seitenwand und einen äußeren Boden, der an der ausseren Seitenwand dichtend angebracht ist, wobei die äußere Seitenwand und der äußere Boden im Abstand zur inneren Seitenwand uid zum inneren Boden derart angeordnet sind, daß erste Flüssigkeit in dem Bad bei einer konstanten bestimmten Temperatur dadurch gehalten werden kann, daß man eine Flüssigkeit mit einer gesteuerten Temperatur zwischen der inneren und äußeren Wand umwälzt.

Es folgt nun eine ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Gemäß den Fig. 1, 5» 6 und 7 ist der Träger 10 zum Halten des Gegenstandes 11 vorgesehen. Die Einrichtung zur Bewegung des Trägers 10 und Gegenstandes 11 nach unten in das Bad 12 mit der ersten Flüssigkeit 14 hinein weist eine Halteeinrichtung in der Form eines Korbes 16 zum Halten des Trägers 10 auf. Die Einrichtung zur Bewegung des Trägers nach unten weist ferner einen Arm 18 mit einem vertikalen Abschnitt 20 und horizontalem Abschnitt 22 auf. Der Arm hat an seinem untersten

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Teil des vertikalen Abschnittes ein erstes Ende 24 und an einem Teil auf dem horizontalen Abschnitt 22 am weitesten von dem vertikalen Abschnitt 20 entfernt ein zweites Ende 26. Der Arm 18 ist nahe seinem ersten Ende am Korb 16 angebracht. Die Einrichtung zur Bewegung des Trägers nach unten weist ferner eine vertikal bewegbare Platte 28 mit einem angebrachten vertikalen Zahnstange auf. Die vertikal bewegbare Platte 28 ist an dem Arm 18 in der Nähe des zweiten Endes 26 befestigt. Eine stationäre Führung 32 ist für den Eingriff und zum Halten der vertikal bewegbaren Platte 28 vorgesehen, während sich die vertikal bewegbare Platte 28 in Vertikalrichtung bewegen kann. Ein Ritzel oder Zahnrad Jk ist vorgesehen und steht in Eingriff mit der vertikalen Zahnstange derart, daß die Zahnstange 30, die Platte 28, der Arm 18 und der Korb 16 sich in einer vertikalen Richtung rech unten nach Drehung des Zahnrades 34 in Vorwärtsrichtung bewegen. Eine zweite Antriebseinrichtung 36 ist entsprechend der vorstehenden Beschreibung zur Drehung des Zahnrades 34 in Vorwärtsrichtung vorgesehen. Die Antriebseinrichtung kann jede zweckmäßige Einrichtung sein, die für eine Drehbewegung des Zahnrades 34 sorgt, wie z.B. ein Getriebemotor.

Bei der bevorzugten Ausführungsform sind die Anhebeeinrichtung und die Einrichtung zur Bewegung des Trägers 10

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und Gegenstandes 11 nach unten dieselben, und der Träger 10 und Gegenstand 11 werden dadurch angehoben, daß man die Antriebseinrichtung 36 das Zahnrad in Umkehrrichtung drehen läßt.

Am besten erkennt man aus den Fig. 5f 6» 7 und 12, daß das Bad 12 eine erste Flüssigkeit 14 aufweist, die von einem Behälter 5° gehalten wird, der durch eine innere Seitenwand gebildet ist, welche nahe ihrer Unterkante 4o an einer inneren Bodenwand 42 angebracht ist. Im Abstand zur inneren Seitenwand 38 und inneren Bodenwand 42 befinden sich eine äußere Seitenwand 44 und eine äußere Bodenwand 46. Die Außenwand ist an ihrer unteren Kante am äußeren Boden 46 befestigt. Die innere Seitenwand 38, innere Bodenwand 42, äußere Seitenwand 44 und äußere Bodenwand 46 bilden einen Hohlraum 47, durch welchen eine temperaturgesteuerte Flüssigkeit 48 fließt, um die im Behälter 50 gehaltene erste Flüssigkeit 14 auf einer konstanten Temperatur zu halten. Der Behälter 50 wird gebildet durch die innere Seitenwand 38 und die innere Boden wand 42. Bei der bevorzugten Ausführungsform ist ein Überlauf abfluß 52 derart vorgesehen, daß das Niveau bzw. der Pegel der ersten Flüssigkeit 14 nicht ein ausreichend hohes Niveau erreicht, um oben aus dem Behälter 50 zu entweichen. Die erste Flüssigkeit 14 gibt man über Einlaß 54 zum Behälter 50.

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Wie man am besten in den Pig. 1, 4, 5, 6 und 8 sieht, weist die Sprühkammer 56, -die vom Bad 12 separat ist, eine vertikal gerichtete stationäre erste Endwand 58 und einen horizontal bewegbaren Teil 60 auf, und ist durch diese gebildet. Der horizontal bewegbare Teil 60 weist eine Bodenwand 62, erste und zweite vertikale Seitenwände 64 und 66 und eine zweite vertikale Endwand 68 auf. Die unteren Kanten 70 und 72 der ersten und zweiten vertikalen Seitenwände 6k und 68 sind am Boden 62 befestigt. Die Endwand 68 hat eine untere Kante 74, die am Boden 62 befestigt sein kann, eine erste vertikale Kante 76, die an der ersten vertikalen Seitenwand 6k angebracht ist, und eine zweite vertikale Kante 78 an der zweiten vertikalen Seitenwand 66 befestigt. Ein Abfluß 75 ist vorzugsweise zwischen der zweiten Endwand 68 und der Bodenwand 62 vorgesehen. Der horizontal bewegbare Teil 60 hat ein offenes Ende 80 gegenüber der zweiten vertikalen Endwand 68 und vis a vis der stationären Endwand 58. Das offene Ende 80 wird durch unbefestigte Kanten 82, 8k und 86 der vertikalen Seiten wände 64 und und der Bodenwand 62 gebildet. Das offene Ende 80 ist benachbart zu der stationären ersten Endwand 58 und beendet sich mit dieser in Eingriff, wenn die Sprühkammer 56 um den Träger 10 und den Gegenstand 11 herum angeordnet ist.

Vorzugsweise wird der horizontal bewegbare Teil 60 der Sprühkammer 56 durch horizontale Schienen 88 und 90 unter-

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stützt und Jam auf diesen gleiten.

Bei der bevorzugten Ausführungsform weist die Einrichtung zur Einstellung der Sprühkammer vorzugsweise Zahnstangen 92 und 9k auf, die längs des bewegbaren Teils 60 der Sprühkammer 56 befestigt sind. Zahnräder 96 und 98 befinden sich mit den Zahnstangen 92. bzw. 9h in Eingriff und sind an einer ersten"Antriebseinrichtung 100 zur Drehung der Zahnräder 96 und 98 in den Zahnstangen 92 und 9^· angebracht, wodurch die Zahnstangen 92 und 9^- und der bewegbare Teil 60 der Sprühkammer 56 sich in einer horizontalen Richtung bewegen können . Vorgesehen ist ferner eine Einrichtung zur Betätigung der ersten Antriebseinrichtung in einer Richtung, wodurch der bewegbare Teil 60 der Sprühkammer 56 sich gegen die stationäre erste Endwand 58 nach Hochheben des Trägers 10 und Gegenstandes 11 bewegt, so daß die Sprühkammer 56 um den Träger 10 und Gegenstand 11 herum angeordnet ist. Bei der bevorzugten Ausführungsform ist die Einrichtung zur Betätigung des ersten Antriebs 100 nach dem Anheben des Trägers 10 und Gegenstandes 11 ein erster Fühlschalter 102, der von einem Arm 18 nach der Aufwärtsbewegung des Trägers 10, Gegenstandes 11, Korbes 16 und Armes 18 berührt wird. Der erste Fühlschalter 102 betätigt ein nicht dargestelltes Relais, welches im Steuerpult 104 angeordnet ist und seinerseits den ersten Antrieb 100 betätigt. Bei der bevorzugten Ausführungsform weist die Maschine ferner eine Einrichtung zur Bewegung

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des bewegbaren Teils 60 der Sprühkammer 56 von der stationären ersten Endwand 58 fort auf, so daß der Träger wieder nach unten in das Bad 12 hinein bewegt werden kann. Vorzugsweise ist die Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils 60 der Sprühkammer 56 von der stationären ersten Endwand 58 fort dieselbe wie die Einstelleinrichtung, und die Bewegung von der stationären ersten Endwand 58 fort wird durch Umkehren des Antriebs erreicht. Bei der bevorzugten Ausführungsform wird der Antrieb entweder von Hand durch Schließen eines nich^Äargestellten Schalters und somit Umkehren des Antriebes 100 oder mittels des Fühlschalters 142 umgekehrt, der ein Relais betätigt, welches seinerseits den Antrieb 100 umkehrt.

Die Einrichtung zum Besprühen des Gegenstandes 11 auf dem Träger 10 mit einer zweiten Flüssigkeit 106 weist vorzugsweise mindestens eine und ggf. mehrere Düsen 108 auf, die an einer Leitung oder einem Rohr 110 angeschlossen sind, wobei die Düse 108 und Leitung 110 am Arm 18 bei einer Stellung über dem Träger und dem Ge g eitstand 11 befestigt sind. Vorzugsweise ist die Leitung 110 an einem Ende eines elastischen, gewundenen Schlauches 112 angeschlossen. Das andere Ende des elastischen Schlauches 112 ist an einer Öffnung des T 114 angeschlossen. Eine ädere Öffnung des T ist an einer Leitung II6 angeschlossen, die ihrerseits an einem normalerweise offenen Solenoidventil 118 angeschlossen ist. Die verbleibende Öffnung des T

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ist mittels einer Leitung 120 an einem normalerweise geschlossenen Solenoidventil 122 angeschlossen, welches seinerseits an der Zufuhr 125 für die zweite Flüssigkeit 106 angeschlossen ist. Es ist eine Einrichtung vorgesehen zum Öffnen des normalerweise geschlossenen Solenoidventil s 122 und zum Schließen des normalerweise offenen Solenoidventils 118, wenn der Träger 10 und der Gegenstand 11 in der Sprühkammer 56 angeordnet worden sind.

Erwünschtenfalls ist die Einrichtung zum Schließen des Solenoidventils 118 und zum Öffnen des Solenoidventils 122 ein Fühlschalter 123» der durch den bewegbaren Teil 60 der Sprühkammer 56 betätigt wird, wenn der bewegbare Teil 60 so angeordnet ist, daß sich sein offenes Ende 80 in Berührung mit der stationären ersten Endwand 58 befindet. Der Fühlerschalter 12k ist seinerseits an einem Relais angeschlossen, welches im Steuerpult 104 angeordnet ist und seinerseits das Solenoidventil 118 schließt und das Solenoidventil 122 öffnet.

Das Sprühen wird angehalten entweder durch Betätigung eines Handschalters, der wiederum das Solenoidventil 118 öffnet und das Solenoidventil 122 schließt, um Flüssigkeit, die in Leitung 110 gehalten wird, durch den Schlauch 122, das T 114, die Leitung II6 und das normalerweise offene Solenoidventil 118 zu einer Abfall-Leitung ausströmen zu lassen, so daß verbleibende zweite Flüssigkeit, die in

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der Leitung 110 gehalten wird, daran gehindert wird, von der Düse 108 zu tropfen. Das Solenoidventil 118 kann wiederum geöffnet und das Solenoidventil 122 automatisch geschlossen werden mittels eines Zeitgebers, der an den Solenoidventilen 118 und 122 angeschlossen ist und sich im Steuerpult 104 befindet.

Beim Betrieb der bevorzugten Vorrichtung gemäß der Erfindung wird zunächst im Behälter 126 gehaltene Ätzlösung 14 durch Leitung oder Rohr 128 mittels einer Pumpe I30 zum Bad 12 zugeführt. Die Pumpe 130 wird durch eine zweckmässige Einridatung betätigt, die bestimmt, wann zusätzliche erste Flüssigkeit 14 im Bad 12 benötigt wird. Die Einrichtung zur Bestimmung, wann zusätzliche Flüssigkeit im Bad 12 benötigt wird, kann eine Hand- oder eine beliebige andere zweckmäßige Vorrichtung sein, z.B. ein Kapazitätsniveau-Steueranzeiger, Schwimmschalter oder eine Einrichtung zur Bestimmung der Flüssigkeitsausdehnung und -verdampfung. Erwünschtenfalls wird zusätzliche Flüssigkeit dem Bad nur dann zugegeben, wenn der Gegenstand 11 sich nicht im Bad befindet. Die Temperatur der ersten Flüssigkeit 14 im Bad 12 wird durch Umwälzen einer temperaturgesteuerten Flüs sigkeit 48 zwischen der Innenwand 37 und der Außenwand 43 des Bades 12 gehalten. Die temperaturgesteuerte Flüssigkeit 48 wird in einem Behälter 130 gehalten und von einer Heizschlange 132 erwärmt, durch welche heißes Wasser umgewälzt wird, wenn ein Ventil 134 geöffnet wird. Die temperaturgesteuerte Flüssigkeit 48 wird durch

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eine Kühlschlange gekühlt, durch die kaltes lasser strömt, wenn das Ventil I38 geöffnet wird. Eine Abtastvorrichtung 139 bestimmt, wann die erste Flüssigkeit i4 entweder zu warm oder zu kalt ist. Die Abtastvorrichtung 139 ist an im Steuerpult 10 4 befindliche Relais angeschlossen, so daß bei zu niedriger Temperatur der ersten Flüssigkeit 14 die Abtastvorrichtung 119 ein Relais im Steuerpult 104 betätigt, welches seinerseits das Ventil 134 öffnet und somit heißes Wasser durch die Heizschlange 132 strömen läßt. Wenn die Abtastvorrichtung 13^ feststellt, deß die Temperatur der ersten Flüssigkeit 14 zu heiß ist, betätigt sie ein anderes Relais, welches das Ventil I39 öffnet und das Ventil 134 schließt, wodurch heißes Wasser durch die Heizschlange 132 strömen kann und kaltes Wasser durch die Kühlschlange I36 fließen kann. Wenn die Abtastvorrichtung 139 feststellt, daß die erste Flüssigkeit 114 weder zu heiß noch zu kalt ist, wird ein Relais betätigt, welches beide Ventile 13^ und 138 schließt. Die temperaturgesteuerte Flüssigkeit 48 wird vom Behälter 13O durch ein Rohr oder eine Leitung 14O mittels Pumpe 142 umgewälzt. Das Bad 12 ist mit einem Überlaufabfluß 52 versehen, der verhindert, daß die Flüssigkeit 14 ein Niveau über dem Überlaufabfluß im Bad 12 erreicht.

Beim Betrieb der Vorrichtung der bevorzugten Ausführungsform, wie man sie am besten in den Fig. 1 und 4 sieht, befindet sich der Korb 16 zu Anfang in einer Stellung sowohl über dem Bad 12 als auch der prühkammer 56, so daß ein

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Träger 10 und Gegenstand 11 leicht aufgesetzt und vom Korb abgenommen werden können. Nachdem der Träger 10 und Gegenstand 11 auf den Korb aufgesetzt sind, w±d die Vorrichtung gemäß der Erfindung von Hand durch Schließen eines Schalters betätigt, der sich im Steuerpult 104 befindet. Das Schliessen des Schalters läßt entweder direkt oder über ein Relais die Antriebseinrichtung 36 das Zahnrad ^k- so drehen, daß sich die vertikale Zahnstange 30 in eine AbwärtsricHung bewegt, wodurch sich seinerseits gleichzeitig eine vertikal bewegbare Platte 28, der Arm 18 und der angebrachte Korb in Abwärtsrichtung bewegen. Sobald sich der Arm 18 nach unten bewegt, wird der Fühlschalter 142 geschlossen und betätigt somit den Antrieb 100 entweder direkt oder über ein Relais in einer Richtung, wodurch sich der horizontal bewegbare Teil 60 der Sprühkammer 56 von der stationären ersten Endwand 58 fort bewegt und damit den Korb 16, Träger 10 und Gegenstand. 11 an der Sprühkammer ^6 vorbei und nach unten in das Bad 12 hinein gehen läßt. Andererseits kann der Schalter im Steuerpult '\0h direkt den Antrieb 100 betätigen. Wenn der horizontal bewegbare Teil 60 der Sprühkammer 56 sich um einen ausreichenden Abstand von der stationären ersten Endwand 58 bewegt, berührt er den Schalter ikk_t der direkt oder über ein Relais den Antrieb 100 abschaltet und somit eine weitere Bewegung des bewegbaren Teils 60 zur Sprühfeammer 56 verhindert, bis der Antrieb 100 wieder eingeschaltet wird.

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Wenn der Korb 16, der Träger 10 und der Gegenstand 11 eine Stellung erreicht haben, wo der Träger 10 und Gegenstand 11 in der ersten Flüssigkeit Ik, die im Bad 12 enthalten ist, eingetaucht sind, berührt der Arm 18 den Schalter ik6_t der entweder direkt oder über ein Relais den Antrieb 36 abschalten läßt, wodurch eine weitere Abwärtsbewegung des Korbes 16, Trägers 10 und Gegenstandes 11 verhindert ist. Gleichzeitig schaltet der Schalter ik6 einen im Steuerpult 10^ befindlichen Zeitgeber ein.

Nach Ablauf einer bestimmten Zeit, die auf dem Zeitgeber eingestellt ist, wird der Antrieb 36 wieder in einer Richtung eingeschaltet, wodurch man das Zahnrad 3^ die vertikale Zahnstange 30 in Richtung nach oben bewegen läßt, wodurch die vertikal bewegbare Platte 28, der Arm 18 und der angebrachte Korb 16, welcher den Träger 10 und den Gegenstand hält, aus dem Bad 12 nach oben getragen werden.

Wenn sich der Arm 18 um einen ausreichenden Abstand in einer Richtung nach oben bewegt hat, berührt er den Schalter 102, der direkt oder über ein Relais den Antrieb 36 abschaltet und den Antrieb 100 in einer Richtung einschaltet, wodurch die Zahnstangen 92 und Jk den horizontal bewegbaren Teil 60 der Sprühkammer 56 gegen die stationäre erste Endwand 58 bewegen. Wenn sich der horizontal bewegbare Teil 60 in eine Stellung bewegt hat, wo das offene Ende 80 die

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stationäre Endwand 58 berührt, wird der Schalter 124 durch die Lage des horizontal bewegbaren Teils 60 geöffnet, der wiederum den Antrieb 100 abschaltet. Der Schalter 124 schließt gleichzeitig das Ventil 118 und öffnet das Ventil 122, wodurch eine zweite Flüssigkeit IO6 durch Leitung 110 zu den Düsen 108 strömen kann* Die zweite Flüssigkeit 106 fließt dann durch die Düsen 108 und wird von den Düsen auf den Gegenstand 11 gerichtet, wodurch die restliche erste Flüssigkeit 14 vom Gegenstand 11 abgespült wird. Der Schalter 124 betätigt auch einen im Steuerpult 104 befindlihen Zeitgeber, der nach Ablauf der vorher eingestellten Zeit einen Warnsummer betätigt und somit der Bedienungsperson ein Signal gibt. Die Bedienungsperson schließt dann von Hand einen auf dem Steuerpult befindlichen Schalter, welcher den Antrieb 36 in einer Richtung betätigt, wodurch der K>rb 16, Träger 10 und Gegenstand 11 nach oben in die ursprüngliche Beladungs-Entladungsstellung bewegt werden. Andererseits kann der Zeitgeber entweder direkt oder über ein Relais den Antrieb 36 in einer Richtung betätigen, wodurch der Korb 16, Träger 10 und Gegenstand 11 nach oben in die Biadungs-Entladungsstellung bewegt werden. Nachdem der Korb 16, Träger 10 und Gegenstand 11 die Belade-Entladesteilung erreichthaben, berührt der Arm 18 den Schalter 142, welcher den Antrieb 36 betätigt, wodurch eine weitere Auf-

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wärtsbewegung des Korbes, Trägers 10 und Gegenstandes 11

verhindert ist.

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Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist vorzugsweise mit änem Kanal 148 versehen, der um den Umfang der Sprühkammer 46 angeordnet ist, wenn sich der horizontal bewegbare Teil 60 in einer Stellung derart befindet, daß das offene Ende 80 an die stationäre erste Endwand 58 anstößt. Der Kanal 1^8 ist so vorgesehen, daß zweite auf den Gegenstand 11 gesprühte Flüssigkeit nach unten in den Kanal 1^8 und entlang diesem entweder in Kammer I50 oder in Kammer 152 fließt. Die Kammern I50 und I52 können an Abflüsse 15^ bzw. 156 zum Abgeben der zweiten benutzten Flüssigkeit angeschlossen sein.

Die Vorrichtung ist ggf. mit einer Entlüftungseinrichtung 158 zum Entfernen von Dämpfen über dem Bad 12 versehen, die von der ersten Flüssigkeit lh abgegeben werden können. Die Entlüftungseinrichtung I58 weist vorzugsweise ein Ausstoßgebläse 160 auf, das durdieine beliebige zweckmäßige Einrichtung I62 an einer Stellung direkt über dem Flüssigkeitspegel in der ersten Flüssigkeit 14 im Bad 12 angeschlossen ist.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung gestattet, daß der Korb 16, Träger 10 und Gegenstand 11 schnell in der Sprühkammer 56 ohne unnötige Vertikalbewegung eingestellt werden, die bei einem Hängeförderer für die Bewegung des Korbes 16, Trägers 10 und Gegenstandes 11 in eine separate Sprühzone erforderlich wäre. Das Vermeiden einer unnötigen Vertikal-

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bewegung erlaubt den Beginn des Sprühens eines Gegenstandes 11 ι um überschüssige erste Flüssiglrit, die auf dem Gegenstand 11 verblieben ist, nachdem er aus dem Bad 12 herausgenommen worden ist, zu entfernen, in kürzerer Zeit beginnen zu lassen, als dies sonst erforderlich wäre. Außerdem gestattet die Vorrichtung gemäß der Erfindung die Vermeidung von Hängeförderern und vermindert somit in erwünschter Weise die Größe der Vorrichtung.

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Claims

Patentansprüche

(i., Vorrichtung zur Bearbeitung eines Gegenstandes mit einem Träger für den Gegenstand, einer Einrichtung zur Bewegung des Trägers und des Gegenstandes nach unten in ein Bad mit einer ersten Flüssigkeit, einer Einrichtung zum Anheben des Trägers und Gegenstandes nach oben aus dem Bad, einer Sprühkammer, die vom Bad getrennt ist, und einer Einrichtung zum Besprühen des Gegenstandes auf dem Träger mit einer zweiten Flüssigkeit, wenn der Träger und der Gegenstand sich in der Sprühkammer befinden, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühkammer (56) einen bewegbaren Teil (60) und eine Einrichtung (92, 9^) für die Bewegung des bewegbaren Teils (60) zur Anordnung der Sprühkammer (56) um den Träger (1O) und Gegenstand (11) herum und zwischen den Gegenstand und Bad (12) vorgesehen sind, nachdem Träger und Gegenstand aus dem Bad (12) durch die Anhebeeinrichtung (i6, 18) nach oben angehoben sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühkammer (56) eine vertikal gerichtete stationäre erste Endwand (58) void einen horizontal», bewegbaren Teil (60) aufweist mit einer Bodenwand (62), ersten und zweiten vertikalen Seitenwänden (64, 66), die am Boden (62) an ihren unteren Kanten (70, 72) befestigt sind,

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und einer vertikalen zweiten Endwand (68) mit einer unteren Kante (7*0, die Endwand (68.) in der Nähe ihrer unteren Kante am Boden (62) angebracht ist, in der Nähe ihrer ersten vertikalen Kante an der ersten vertikalen Seitenwand (64) und in der Nähe ihrer zweiten vertikalen Kante an der zweiten vertikalen Seitenwand (66) befestigt ist, der horizontal bewegbare Teil (6o) ein offenes Ende (8θ) auf der entgegengesetzten Seite der zweiten Endwand (68) und direkt gegenüber dem ersten Endwandteil (58) angeordnet ist und daß das offene Ende (SO) von nicht befestigten Kanten (82, 84, 86) der Seiten (64, 66)- und Bodenwände (62) gebildet ist und in der Nachbarschaft zu dem stationären ersten Endwandteil (58) und mit diesem sich in Eingriff befindet, wenn die Sprühkammer (56) um den Gegenstand (11) herum angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der horizontale bewegbare Teil (60) der Sprühkammer (56) von mindestens einer horizontalen Schiene (88, 90) gestützt ist und auf dieser gleitbar angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Bewegung des bewegbaren Teils (60) eine Zahnstange (92, 94) aufweist, die entlang der Horizontalen des bewegbaren Teils (60) der Sprühkammer (56) befestigt ist, ein Zahnrad (96, 98) mit der Zahnstange (92, 94) in Eingriff steht und eine erste Antriebseinrichtung (IOO) zur Drehung des Zahnrades (96, 98) in der Zahnstange vorgesehen ist,

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wodurch die Zahnstange und der bewegbare Teil (6o) der Sprühkammer (56) sich in horizontaler Richtung bewegen können, so daß die Drehung des ersten Antriebs (IOO) in Vorwärtsrichtung die Bewegung des bewegbaren Teils (60) der Sprühkammer (56) zur stationären ersten Bndwand (58) hin hervorruft, um die Sprühkammer (56) um den Träger (1O) und Gegenstand (11) herum anzuordnen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstelleinrichtung eine Betätigungseinrichtung (1O2) für den ersten Antrieb (IOO) in Vorwärtsrichtung aufweist,
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Bewegungseinrichtmg für den bewegbaren Teil ,(60) der Sprühkammer (56) von der stationären ersten Bndwand (58) fort vorgesehen ist, damit der Träger (1O) wieder nach unten in das Bad (12) bewegt werden kann.
7· Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungseinrichtung für den bewegbaren Teil (60) der Sprühkammer (56) von der stationären ersten Endwand (58) fort dieselbe Einrichtung ist wie die Einstelleinrichtung und daß die Bewegung von der stationären ersten Endwand (58) fort durch Umkehren des Antriebs (100) erreichbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungseinrichtung für den Träger (1O) nach unten einen Halter (16) für den Träger (io), einen Arm (18) mit verti-

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kalen und horizontalen Abschnitten (20, 22) und erste und zweite Enden (24_f 26) aufweist, wobei das erste Ende (2k) sich am untersten Teil des vertikalen Abschnittes und das zweite Ende (26) sich bei einer Stellung auf dem horizontalen Abschnitt am weitesten von dem vertikalen Abschnitt entfernt befinden, der Arm (18) an dem Halter (16) in der Nähe seines ersten Endes befestigt ist und sich nach oben von dem Halter erstreckt; eine vertikal bewegbare Platte (28) an einer vertikalen Zahnstange (92, 9*0 angebracht ist und am Arm (18) in der Nähe seines zweiten Endes befestigt ist; eine stationäre Führung (32) für den Eingriff und die Halterung der vertikal bewegbaren Platte (28) vorgesehen ist, während die vertikal bewegbare Platte (28) sich in vertikaler Richtung bewegen kann; ein zweites Zahnrad (34) mit der Zahnstange (92, 9k) derart im Eingriff ist, daß die Zahnstange, die angebrachte Platte (28), der Arm (18) und der Halter (16) sich nach unten in vertikaler Richtung nach Drehung des Zahnrades (3*0 iⁿ Vorwärtsrichtung bewegen; und daß ein zweiter Antrieb (36) für die Drehung des Zahnrades {3k} in Vorwärtsrichtung vorgesehen ist.
9· Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebeeinrichtung (16, 18) und die Bewegungseinrichtung für den Träger (1O) und den Gegenstand (11) nach unten dieselben sind und der Träger und der Gegenstand dadurch anhebbar sind, daß man den Antrieb (36) das Zahnrad (3*0 in entgegengesetzter Richtung drehen läßt*

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10. Vorrichtung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (102) für den ersten Antrieb Ο®) in Vorwärtsrichtung die Bewegung des bewegbaren Teils (60) der Sprühkammer (56) gegen die stationäre erste Endwand (58) hervorruft und einen Fühlschalter (1O2, 1^2) aufweist, der von der Hebeeinrichtung betätigbar ist, wenn der Halter (16) aus dem Bad ("12) um einen ausreichenden Abstand angehoben ist, um die Anordnung der Sprühkammer

(56) um den Gegenstand (11) zum Separieren des Gegenstandes

Bad
aus dem/(i2) zu ermöglichen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung mindestens eine Düse (108) aufweist, die an einer Stelle über dem Träger (1O) und dem Gegenstand (11) angeordnet ist, und an einer Zufuhr (HO, 112) für unter Druck stehender zweiter Flüssigkeit (*)6) angeschlossen ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (108) an der Bewegungseinrichtung (92, 94) für den Träger (1O) und den Gegenstand (11) nach unten bei einer Stellung über dem Träger und dem Gegenstand befestigt ist; und die Sprüheinrichtung (108) ferner aufweist: Bin normalerweise geschlossenes automatisches Ventil (122) mit einem Einlaß und einem Auslaß, ein normalerweise offenes automatisches Ventil (II8) mit einem Einlaß und einem Auslaß; ein T-Stück (114) mit einer ersten, einer zweiten und einer dritten Öffnung; eine erste Leitung (HO, 112) zur

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Verbindung der Düse (1O8) zur ersten Öffnung des T; eine zweite Leitung (12O) zur Verbindung der zweiten Öffnung des T (11^) zum Auslaß des normalerweise geschlossenen Ventils (122); eine dritte Leitung (116) zum Anschluß der dritten Öffnung des T (114) an den Anschluß des normalerweise offenen Ventils (II8); eine vierte Leitung (125) zum Anschluß der Einlaßöffnung des normalerweise geschlossenen Ventils (122) an die Zufulr der zweiten Flüssigkeit (IO6); eine fünfte Leitung zum Anschluß des Auslasses des normalerweise offenen Ventils (II8) an den Abfluß; eine Einrichtung zur Öffnung des normalerweise geschlossenen Ventils (122) und zumScüießen des normalerweise offenen Ventils (118), wenn die Sprühkammer (56) <vun den Gegenstand (11) und den Träger (1O) herum angeordnet ist, so daß ein Fluß der zweiten Flüssigkeit (106) von der Zufuhr (125) der zweiten Flüssigkeit (106) durch die vierte Leitung (125)» das normalerweise geschlossene Ventil (122), die zweite Leitung (12O), das T-Stück (114), die erste Leitung ("MO, 112) und die Düse (108) zu dem Gegenstand (11) hin möglich 1st; und eine Einrichtung zum Wiederschließen des normalerweise geschlossenen Ventils (122) und Öffnen des normalerweise offenen Ventils (118), wenn das Sprühen abgeschlossen ist, wodurch der Strom der zweiten Flüssigkeit (106) von der Zufuhr (125) der zweiten Flüssigkeit angehalten wird und der Abfluß der zweiten Flüssigkeit in der Düse (108), der ersten Leitung (110, 112) und dem T-Stück (114) durch die dritte Leitung (116), das normalerweise offene Ventil (118), und die fünfte

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Leitung zum Abfluß hin ermöglicht ist.

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