DE2512235A1 - Kuehlfalle fuer vakuumanlagen - Google Patents

Kuehlfalle fuer vakuumanlagen

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DE2512235A1
DE2512235A1 DE19752512235 DE2512235A DE2512235A1 DE 2512235 A1 DE2512235 A1 DE 2512235A1 DE 19752512235 DE19752512235 DE 19752512235 DE 2512235 A DE2512235 A DE 2512235A DE 2512235 A1 DE2512235 A1 DE 2512235A1
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cold trap
chamber
vacuum
vessel
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Helmut Adam
Hans Lutz
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps

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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Description

  • Anlage Kühlfalle für Vakuumanlagen =========================== Als Kühlfallen bezeichnet man tiefgekühlte Teilstücke einer Vakuumanlage, die die Aufgabe haben, Wasser- und Lösungsmitteldämpfe in dem zu evakuierenden Raum zu binden, damit diese Dämpfe nicht von den Vakuumpumpen abgesaugt werden müssen. Als Kühlmittel dient meist flüssiger Stickstoff mit einer Temperatur von etwa 19000.
  • Die Kühlfalle ist so innerhalb der Vakuumleitung anzuordnen, daß möglichst viele der zu kondensierenden Moleküle auf die Kühlfläche treffen, wobei jedoch der Strömungswiderstand der Kühlfalle möglichst klein sein soll. Es ist daher günstig, die Kühlfalle unmittelbar im Rezipienten, d. h. in dem zu evakuierenden Raum, unterzubringen.
  • Weist das unter Vakuum zu behandelnde Gut einen hohen Feuchtigkeitsgehalt auf, wie es beispielsweise bei zu metallisierenden Kondensatorbändern der Fall ist, so überzieht sich die Kühlfalle aufgrund der niedergeschlagenen Feuchtigkeit rasch mit einer dicken Reifschicht. Diese Xeifschicht wächst zu einem Bispanzer an, der die ';armeübertragung von der Kühlfläche zum Kühlmittel behindert. Es ist daher notwendig, diese Bisschicht in regelmäßigen Abständen abzukratzen, was meist recht mühevoll ist.
  • Dieselben Nachteile stellen sich auch bei der Belüftung des Rezipienten ein, was insbesondere bei chargenweisem Betrieb zu einem schnellen Anwachsen der Eis-.
  • schicht führt.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Kühlfalle dahingehend zu verbessern, daß man unter Vermeidung der oben genannten lachteile auch bei großem Feuchtigkeitsanfall auf das lästige Abkratzen der Eisschicht verzichten kann, ohne da--£ dabei die Deistungsfähigkeit der kühlfalle beeinträchtigt wird. Außerdem soll der Xühlmittelverbrauch für die Kühlfalle reduziert werden.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Kühlfalle in einer gegenüber dem Rezipienten vakuumdicht abschließbaren Kammer angeordnet ist und daß die Rammer ein Ablaufventil zur Atmosphäre aufweist. Beim Evakuieren des Rezipienten steht die Kühlfalle mit diesem in Verbindung, bis sich der gewünschte Restgasdruck eingestellt hat. Der Rezipient wird sodann gegenüber der Kühlfalle vakuumdicht abgesperrt, so daß der Kühlmitteldurchfluß durch die Kühlfalle abgestellt werden kann. Nan spart dadurch gegenüber den bekannten Anlagen, bei denen die kühlfalle während der gesamten Behandlungszeit der im Rezipienten befindlichen werkstücke auf der gewünschten Kühltemperatur gehalten werden muß, da anderenfalls niedergeschlagene Feuchtigkeit wieder abdampfen würde, große Kühlmittelmengen ein. Weiterhin ergibt sich der Vorteil, daß sich die Kühlfalle noch während der ~ehandlung der im Rezipienten befindlichen Werkstücke allmählich erwärmt - sei es durch die Umgebung, sei es durch künstliche Beheizung -, so daß die an die Kuhlfalle gebundene Feuchtigkeit allmählich abgetaut und über das Ablaufventil entnommen werden kann. Die Erfindung bietet somit die Möglichkeit, bei jeder Neubeschickung des Rezipienten eine abgetaute Kühlfalle anzubieten, ohne daß es für den Abtauvorgang einer Betriebsunterbrechung bedarf.
  • In Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist es besonders zweckmäßig, wenn die Kühlfalle aus ihrer Kammer in dem Rezipienten hinein verschiebbar ist. Sie kann dadurch unmittelbar in den Bereich gebracht werden, an dem die niederzuschlagenden Feuchtigkeitsmengen entstehen. Die Verschiebung der Kühlfalle erfolgt vorteilhafterweise mittels einer vakuumdicht durch die Kammer- oder durch die Rezipientenwand hindurchgeführten Betätigungsstange. Diese Betätigungsstange kann auch zugleich Träger des Kühlmittelzuflusses und -abflusses sein. Dadurch erübrigt sich die Verwendung flexibier Beitungselemente.
  • Aus fertigungstechnischen Gründen ist die Kammer als Zylindergehäuse ausgebildet, das unmittelbar über ein Vakuumschieberventil an den Rezipienten angeschlossen werden kann.
  • Hinsichtlich der Ausbildung der Kühlfalle bieten sich zahlreiche konstruktive kiögliobkeiten an. Doch ist es in Verbindung mit dem zylindrischen Kammergehäuse am zweckmäßigsten, wenn die Kühlfalle als zylindrische Rohrschlange ausgebildet wird. Zur Erzielung besonders rascher Abtauzeiten kann die Rohrschlange beheizt werden, wobei es besonders zweckmäßig ist, wenn sie als Heizwiderstand in einen elektrischen Stromkreis eingeschaltet wird. Dabei kann aer eine Pol des Stromkreises etwa in der mitte der Rohrschlange, der andere Pol an ihre beiden Enden angeschlossen sein.
  • Weitere Einzelheiten und Merkmale der erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zweier Ausführungsbeispiele anhand von Zeichnungen; darin zeigt: Fig. 1 eine ortsfest in einer Kammer angeordnete Kühlfalle und Fig. 2 eine verschiebbar in der Kammer angeordnete Kühlfalle.
  • Ein Rezipient 1, an den eine nicht dargestellte Vakuumanlage angeschlossen ist, ist über ein Schieberventil 2 mit einer zylindrischen Kammer 3 verbunden. Die Rammer 7 enthält die Kühlfalle in Form einer Rohrschlange 4.
  • Über einen Deckel 5 des zylindrischen Gehäuses durchquerende Zu- und Abflußleitungen 6 bzw. 7 wird die Rohrschlange 4 mittels einer nicht dargestellten Kryopumpe mit flüssigem Stickstoff versorgt.
  • Ein an der Unterseite der zylindrischen Kammer 7 angebrachtes Nahnventil 8 dient zum Ablassen der kondensierten Feuchtigkeit. Dieses Eahnventil ist ebenso wie das Schieberventil 2 in vakuumdichter Bauweise ausgeführt.
  • Die Wirkungsweise ist folgende: Während der Rezipient 1 von der nicht dargestellten Vakuumanlage ausgepumpt wird, steht sie über das geöffnete Schieberventil 2 mit der Kühlfalle 4 in Verbindung. Die Kühlfalle wird durch umzgepumpten flüssigen Stickstoff auf einer Temperatur von etwa -190°0 gehalten, so daß Wasser- und Lösungsmitteldämpfe an ihr gebunden werden. Hat sich innerhalb des Rezipienten der gewünschte Enddruck eingestellt und braucht auch nicht mit der Entstehung weiterer Dämpfe gerechnet zu werden, so wird das Schieberventil 2 verschlossen, indem der Schieber 10 über seine Betätigungsstange 9 in die Geschlossenstellung gebracht wird. Zugleich wird die Zufuhr von flüssigem zur Kühlfalle 4 abgestellt, so daß diese sich allmählich erwärmt und der in Form einer Reif- oder Eisschicht gebundene Wasser- oder Lösungsmitteldampf abtaut. Das abgetaute Kondensat kann sodann über das Hahnventil 8 abgelassen werden, wodurch gleichzeitig die Kammer 3 belüftet wird. Pür die nächste im Rezipienten zu behandelnde Charge steht somit wieder eine völlig eisfreie Kühlfalle zur Verfügung.
  • Die in Fig. 2 dargestellte Bauform bietet den weiteren Vorteil, daß die Kühlfalle in den Rezipienten hinein, also in unmittelbare Nähe der ausdampfenden Werkstücke gebracht werden kann. Sie ist hierzu über eine Betätigungsetange 11 in einem vakuumdichten Sitz 12 des Deckels 5 verschiebbar geführt.
  • Während des Auspumpvorganges des Rezipienten wird die Kühlfalle 4 über das geöffnete Schieberventil 2 in den Rezipienten hineingefahren und mit flüssigem Stickstoff durchflutet, bis die anfallenden Dämpfe gebunden sind. Die Kühlfalle wird sodann in die zylindrische Kammer 3 zurückgefahren und das Absperrventil 2 verschlossen, worauf das Abtauen der Kühlfalle beginnen kann.
  • Bei beiden Ausführungsformen ist es selbstverständlich möglich, bei Werkstücken mit relativ geringer Dampfentwicklung mehrere Chargen ohne zwischenzeitlichen Abtauvorgang zu fahren.
  • Zusammenfassend bietet die Erfindung den Vorteil, aaß das Abtauen der Kühlfalle ohne Betriebsunterbrechung möglich ist und zugleich erhebliche ilengen an flüssigem Stickstoff eingespart werden können.

Claims (7)

  1. A n s p r ü c h e
    Kühlfalle für Vakuumanlagen, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlfalle (4) in einer gegenüber dem Rezipienten (1) vakuumdicht abschließbaren Kammer (3) angeordnet ist und daß die Kammer ein Ablaufventil (8) zur Atmosphäre aufweist.
  2. 2. Kühlfalle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus der Kammer (3) in den Xezipienten (1) hinein verschiebbar ist.
  3. 3. Kühlfalle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlfalle (4) mittels einer vakuumdicht durch die Kammer hindurchgeführten Betätigungsstange (11) verschiebbar ist.
  4. 4. Kühlfalle nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungsstange zugleich Träger des Rühlmittelzuflusses und -abflusses (6 bzw. 7) ist.
  5. 5. Kühlfalle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zimmer als ein an ein Vakuum-Schieberventil (2) angeflansohtes Zylindergehäuse (3) ausgebildet ist.
  6. 6. Kühlfalle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie als von flüssigem Stickstoff durchflossene Rohrschlange (4) ausgebildet ist.
  7. 7. Kühlfalle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie beheizbar ist.
    L e e r s e i t e
DE19752512235 1975-03-20 1975-03-20 Kuehlfalle fuer vakuumanlagen Granted DE2512235A1 (de)

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Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2512235A1 true DE2512235A1 (de) 1976-09-23
DE2512235B2 DE2512235B2 (de) 1979-06-13
DE2512235C3 DE2512235C3 (de) 1980-02-07

Family

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DE (1) DE2512235A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993021441A1 (en) * 1992-04-16 1993-10-28 Helix Technology Corporation Cryopump water drain
US5542257A (en) * 1992-01-23 1996-08-06 Leybold Aktiengesellschaft Cryogenic pump with an essentially cup-shaped housing
US20160273526A1 (en) * 2015-03-17 2016-09-22 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Cryopump Arrangement For Improved Pump Speed

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Also Published As

Publication number Publication date
DE2512235B2 (de) 1979-06-13
DE2512235C3 (de) 1980-02-07

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