DE2511486C2 - Verfahren zur Bilderzeugung und photopolymerisierbares Gemisch - Google Patents

Verfahren zur Bilderzeugung und photopolymerisierbares Gemisch

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DE2511486C2 DE19752511486 DE2511486A DE2511486C2 DE 2511486 C2 DE2511486 C2 DE 2511486C2 DE 19752511486 DE19752511486 DE 19752511486 DE 2511486 A DE2511486 A DE 2511486A DE 2511486 C2 DE2511486 C2 DE 2511486C2
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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