DE2511210B2 - Verfahren und Vorrichtung zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Tauchlöten von HalbleiterbauelementenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen, insbesondere
von unter Verwendung von Kammteilen in Massenfertigung hergestellter. Halbleiterbauelementen. Sie bezieht
sich weiterhin auf eine Vcrrichtur^ zur Durchführung
dieses Verfahrens mit ein^m temperaturgeregelten
Lötbad.
Es ist bekannt, bei der Massenfertigung von Halbleiterbauelementen Kammteile mit Halbleiterbauelementen
zu bestücken und sie zwecks Verbindung mit Kontaktteilen der Kämme tauchzulöten (DE-OS
19 64 481). Dabei werden die halbleiterbestückten Kammteile in ein Flußmittel getaucht und anschließend
in ein auf der geeigneten Löttemperatur gehaltenes Lötbad. Beim Tauchlöten wird Erhitzungszeit gespart.
Auf der Badoberfläche bildet sich jedoch eine Oxidhaut, die die Benetzung der Lötstellen stört und zu
Verunreinigungen führt. Nach dem Herausziehen der Teile muß man Flußmittelreste und Verschmutzungen
an ihrer Oberfläche durch schwierige Reinigungsmethoden beseitigen. Dabei stellt sich immer wieder heraus,
daß die Flußmittelreste aus den gelöteten Teilen nie voll entfernt werden können. Die Verunreinigungen sind
später oft Ursache für Fehler in den gelöteten und gekapselten Bauelementen.
Der Erfindung liegt ausgehend vom eingangs genannten Verfahren die Aufgabe zugrunde, den
Tauchlöt-Prozeß zu rationalisieren und dennoch eine bessere Lötbenetzung an der Oberfläche, einen guten
Reduktionsprozeß und bessere intermetallische Verbindungen zu erreichen.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß die zu lötenden Halbleiterbauelemente und Ansehlußteile
flußmittelfrei in ein Lötbad getaucht werden, dessen Oberfläche homogen von Wasserstoffflammen bestrichen
wird.
F.s ist an sich bekannt. Halbleiterbauelemente flußmittelfrci an elektrische Zuleitungen anzulöten,
indem der Lötvorgang in einer reduzierenden Wasscrstoffiitmospharc
erfolgt (IBM Technical Disclosure
Ferner ist bei einem Verfahren zum Anlöten von Drahtenden von Anschlußdrähten an elektrische Kondensatoren
oder ähnliche elektrische Bauelemente bekannt, die zu verlötenden Drahtenden vor ihrer
Verlötung in einer reduzierenden Gasflamme zu erhitzen, um die Bildung einer Oxidhaut auf den
Anschlußdrähten und dem Lötmetall beim Erhitzen zu vermeiden (DE-AS 11 72 376). Die erhitzten D^ahtenden
werden nachfolgend gegen die Kontaktflächen des Kondensators gepreßt
Die Erfindung nutzt demgegenüber die Zeitersparnis beim Tauchlöten. Es werden nicht Drahtenden bzw.
Kammteile mit einer reduzierenden Gasflamme vorerhitzt,
sondern die Lötbadoberfläche wird unmittelbar und homogen mit Wasserstoffflammen bestrichen, so
daß sich keine Oxidhaut auf derselben bildet Aus diesem Grund und wegen der überraschenderweise
möglichen Vermeidung eines Flußmittels ergeben sich gegenüber dem eingangs beschriebenen bekannten
Tauchlöten Einsparungen bei der Nachreinigung.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gelöteten Halbleiterbauelemente und Kammteile sind sehr
sauber, sehr gut benetzt und oxidfrei.
Aus Sicherheitsgründen und zum Zwecke der Reinigung der Lötbadoberfläche ist es zweckmäßig,
zunächst durch die Wasserstoffzuführungsleitungen und -Austrittsdüsen Stickstoff zu leiten und den Stickstoffstrom
unmittelbar vor dem Zünden der Wasserstoffflamme zu unterbrechen.
Der Erfindung lizgt weiterhin die Aufgabe zugrunde,
eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens anzugeben, mit der gleichbleibende Lötbedingungen
eingestellt werden können.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht ausgehend von einem temperaturgeregelten Lötbad darin, daß für die
Zuführung von Stickstoff und Wasserstoff ein Stahlrohr dient, das waagerecht und senkrecht justierbar sowie
um seine Längsachse drehbar gelagert ist und
■to Austrittslöcher für die Gase in bestimmten Abständen
aufweist
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher
erläutert.
In der Zeichnung sind ein Lötbad mit 1, eine mit Halbleiterbauelementen bestücker Kamm mit 2, und ein
Stahlrohr mit 3 bezeichnet. Das Stahlrohr 3, vorzugsweise aus rostfreiem austenitischem Chrom-Nickel-Stahl,
besitzt in gleichmäßigen Abständen Austrittsdüsen 4, aus denen die Wasserstoffflammen 5 austreten
können. Es wird von einer Stellvorrichtung 6 gehalten, mittels der es wangerecht und senkrecht verstellt und
uni seine Längsachse gedreht werden kann. Weilerhin dient ein Zweiwegeventil 7 zum wahlweisen Anschluß
an die Stickstoff- oder Wasserstoff-Versorgung oder zur Unterbrechung der Gasversorgung.
Das Lötbad 1 wird mittels eines Thermostates derart temperaturgeregeät, daß die jeweilige Lötzusammensetzung
bis zu ihrem eutektischen Punkt zum Schmelzen gebracht wird. Das Lötbad I ist etwa bis zum oberen
Rand des Lötbadbe.hällers gefüllt. Das Rohr 3 wird an
einem Rand des Lötbadbehälters parallel zur Lötbadoberfläche geführt, so daß die Wasserstoffflammen 5 die
Badoberfläche gleichmäßig bestreichen.
f>5 Nachem die Lötbadtemperatur auf einen auf die
verwendeten Materialien abgestimmten Wert eingeregelt ist, läßt man etwa 5 Minuten lang Stickstoff durch
das Rohr 3 fließen. Nach 5 Minuten schallet man auf
3 4
flammen 5. Dabei wird dafür gesorgt, daß sich die und Herausziehen soll innerhalb von 1,5 bis 2 Sekunden
verteilen. Die mit Halbleiterbauelementen bestückem Oberflächentemperatur des Lötbades kann etwa 600° C
Kämme 2 werden anschließend senkrecht in das Lötbad 5 betragen.
1 getaucht und nach einer Tauchzeit von etwa 1
1 getaucht und nach einer Tauchzeit von etwa 1
Claims (1)
- Patentansprüche:I. Verfahren zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen, insbesondere von unter Verwendung von Kammteilen in Massenfertigung hergestellten Halbleiterbauelementen, dadurch gekennzeichnet, daß die zu lötenden Halbleiterbauelemente und Anschlußteile (2) flußmittelfrei in ein Lötbad (1) getaucht werden, dessen Oberfläche homogen von Wasserstoffflammen (5) bestrichen wird.Z Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst durch die Wasserstoffzuführungsleitungen (3) und -Austrittsdüsen (4) Stickstoff geleitet und der Stickstoffstrom unmittelbar vor dem Zünden der Wasserstoffflammen unterbrochen wird.3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2 mit einem temperaturgeregelten Lötbad, dadurch gekennzeichnet, daß für die Zuführung von Stickstoff und Wasserstoff ein Stahlrohr (3) dient, das waagerecht und senkrecht justierbar sowie um seine Längsachse drehbar gelagert ist und Austrittslöcher (4) für die Gase in vorbestimmten Abständen aufweist
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2511210A DE2511210C3 (de) | 1975-03-14 | 1975-03-14 | Verfahren und Vorrichtung zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen |
CH208876A CH596736A5 (de) | 1975-03-14 | 1976-02-20 | |
US05/665,762 US4019671A (en) | 1975-03-14 | 1976-03-11 | Method for dip-soldering semiconductor components |
JP51027022A JPS51115772A (en) | 1975-03-14 | 1976-03-12 | Method and apparaus for dippsoldering semiconductor element |
FR7607283A FR2304176A1 (fr) | 1975-03-14 | 1976-03-12 | Procede et dispositif de soudage par immersion de composants a semi-conducteurs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2511210A DE2511210C3 (de) | 1975-03-14 | 1975-03-14 | Verfahren und Vorrichtung zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2511210A1 DE2511210A1 (de) | 1976-09-23 |
DE2511210B2 true DE2511210B2 (de) | 1979-06-28 |
DE2511210C3 DE2511210C3 (de) | 1980-03-06 |
Family
ID=5941404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2511210A Expired DE2511210C3 (de) | 1975-03-14 | 1975-03-14 | Verfahren und Vorrichtung zum Tauchlöten von Halbleiterbauelementen |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4019671A (de) |
JP (1) | JPS51115772A (de) |
CH (1) | CH596736A5 (de) |
DE (1) | DE2511210C3 (de) |
FR (1) | FR2304176A1 (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5731195A (en) * | 1980-08-01 | 1982-02-19 | Aiwa Co | Method of soldering leadless electric part |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1975
- 1975-03-14 DE DE2511210A patent/DE2511210C3/de not_active Expired
-
1976
- 1976-02-20 CH CH208876A patent/CH596736A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-03-11 US US05/665,762 patent/US4019671A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-03-12 JP JP51027022A patent/JPS51115772A/ja active Pending
- 1976-03-12 FR FR7607283A patent/FR2304176A1/fr active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2304176B1 (de) | 1979-08-24 |
DE2511210C3 (de) | 1980-03-06 |
US4019671A (en) | 1977-04-26 |
JPS51115772A (en) | 1976-10-12 |
FR2304176A1 (fr) | 1976-10-08 |
DE2511210A1 (de) | 1976-09-23 |
CH596736A5 (de) | 1978-03-15 |
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Legal Events
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OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
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